RU2223574C2 - Пьезоэлектрический привод - Google Patents

Пьезоэлектрический привод Download PDF

Info

Publication number
RU2223574C2
RU2223574C2 RU99122020/28A RU99122020A RU2223574C2 RU 2223574 C2 RU2223574 C2 RU 2223574C2 RU 99122020/28 A RU99122020/28 A RU 99122020/28A RU 99122020 A RU99122020 A RU 99122020A RU 2223574 C2 RU2223574 C2 RU 2223574C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
electrodes
piezoelectric
external electrodes
contact
voltage source
Prior art date
Application number
RU99122020/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU99122020A (ru
Inventor
Рудольф ХАЙНЦ (DE)
Рудольф ХАЙНЦ
Клаус-Петер ШМОЛЛЬ (DE)
Клаус-Петер ШМОЛЛЬ
Фридрих БЕКИНГ (DE)
Фридрих БЕКИНГ
Original Assignee
Роберт Бош Гмбх
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Роберт Бош Гмбх filed Critical Роберт Бош Гмбх
Publication of RU99122020A publication Critical patent/RU99122020A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2223574C2 publication Critical patent/RU2223574C2/ru

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/87Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/872Interconnections, e.g. connection electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/87Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/875Further connection or lead arrangements, e.g. flexible wiring boards, terminal pins
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H57/00Electrostrictive relays; Piezoelectric relays

Landscapes

  • Fuel-Injection Apparatus (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

Изобретение относится к многослойным пьезоэлектрическим приводам. Сущность изобретения: привод имеет множество пластин из пьезоэлектрического материала, направление поляризации которых ориентировано перпендикулярно плоскости их расположения и которые размещены в виде пакета одна над другой в направлении поляризации, источник управляющего напряжения с двумя контактными выводами, две группы с по крайней мере двумя внешними электродами в каждой и множество внутренних электродов, каждый из которых расположен между пьезоэлектрическими пластинами. Внешние электроды первой группы электрически соединены с первым контактным выводом источника напряжения, а внешние электроды второй группы электрически соединены со вторым контактным выводом источника напряжения. Внутренние электроды контактируют, чередуясь, с внешними электродами таким образом, что один внутренний электрод электрически соединен с первым контактным выводом источника напряжения, а следующий по высоте пакета внутренний электрод электрически соединен со вторым контактным выводом источника напряжения. Внутренние электроды контактируют с внешними электродами в циклически повторяющейся по высоте пакета последовательности. Технический результат: снижение склонности к растрескиванию и улучшение возможности по шунтированию трещин в случае их образования. 5 з.п.ф-лы, 8 ил.

Description

Настоящее изобретение относится к пьезоэлектрическому приводу, известного, например, из заявки DE 3713697 А1 типа.
Обычно пьезоэлектрические приводы состоят, как схематично показано на фиг. 3 приложенных к настоящему описанию чертежей, из нескольких расположенных одна над другой пластин 2 из пьезоэлектрического материала, так называемых пьезоэлементов, образующих своего рода многослойную структуру по типу пакета или стопки, при этом направление "упаковки" пьезоэлектрических пластин в пакете совпадает с общим направлением поляризации этих пьезопластин. По обеим боковым сторонам стопки, соответственно пьезопакета, расположено по одному внешнему электроду 3 и 4, которые электрически соединены с контактными выводами 12а и 12b источника 11 управляющего напряжения. Между пьезоэлектрическими пластинами 2 размещены соответствующие внутренние электроды 7 и 9 пьезоэлектрического привода 1. Эти внутренние электроды 7 и 9, попеременно чередуясь, электрически контактируют только с одним из внешних электродов 3 и 4, и поэтому каждые из двух смежных, расположенных один над другим внутренних электродов 7 и 9 электрически соединены с различными контактными выводами 12а и 12b источника 11 управляющего напряжения.
В имеющем такую компоновку пьезоэлектрическом приводе каждый пьезоэлемент 2 обеими его поверхностями соединен соответственно с одним электродом 7 и с одним электродом 9, к которым через внешние электроды 3 и 4 прикладывается электрическое напряжение. При приложении напряжения каждый из расположенных один над другим пластинчатых пьезоэлементов 2 в пакете расширяется в направлении возникающего между электродами 7 и 9 электрического поля, направление которого совпадает с направлением поляризации пьезоэлектрических пластин 2. Благодаря большому числу пьезоэлементов 2 в пакете обеспечивается сравнительно большой ход всей конструкции при относительно малой величине управляющего напряжения, называемого также напряжением возбуждения.
Область применения пьезоэлектрических приводов вышеописанного типа достаточно широка, и они используются, например, для управления запорными элементами (обычно иглами) клапанных форсунок для впрыскивания топлива, для управления гидроклапанами, в качестве приводов микронасосов, для управления электрическими реле и т.п. Из уровня техники уже известны такие различные области применения пьезоприводов.
Из ЕР 0361480 В1 известна используемая в двигателях внутреннего сгорания форсунка для впрыскивания топлива, служащая для открытия и закрытия которой игла приводится в возвратно-поступательное движение. Приводом для такого возвратно-поступательного движения является пакет пьезоэлектрически возбуждаемых пластин, снабженных плоскими электродами.
Другая клапанная форсунка, используемая в системах впрыскивания топлива для двигателей внутреннего сгорания, например в дизельных двигателях с непосредственным впрыскиванием топлива, известна из DE 3533085 А1, при этом открытием и закрытием такой форсунки также управляет игла, которая приводится в возвратно-поступательное движение, соответственно перемещается пьезоэлектрическим исполнительным органом. Последний и в этом случае состоит из определенного числа пластинчатых пьезоэлементов и при приложении электрического напряжения может в течение очень короткого промежутка времени удлиняться, соответственно укорачиваться, в осевом направлении.
Кроме того, в DE 3800203 С2 описана клапанная форсунка для впрыскивания топлива с пьезокерамическим исполнительным органом, который образован набранными в пакет пьезокерамическими пластинами, напряжение к каждой из которых подводится по отдельности. Отличительная особенность пьезоэлектрического привода, используемого в такой клапанной форсунке, заключается прежде всего в том, что пакет состоит из набранных попарно пьезокерамических пластин противоположной полярности, благодаря чему увеличивается величина хода иглы форсунки.
Еще одна возможная область применения пьезоэлектрических приводов известна из заявки ЕР 0477400 А1, описанная в которой конструкция пьезоэлектрического привода для датчика перемещений должна обеспечивать увеличение величины хода этого привода.
Хотя в приведенных выше в качестве примеров публикациях, которые раскрывают возможные области применения пьезоэлектрических приводов указанного в начале описания типа, устройство и принцип действия этих пьезоэлектрических приводов и не рассмотрены подробно, тем не менее все они по своему устройству и принципу действия по существу соответствуют описанному выше пьезоэлектрическому приводу, показанному на фиг.3.
В обычных пьезоэлектрических приводах обусловленное пьезоэлектрическим эффектом растяжение пьезоэлементов 2 вследствие жесткого соединения пакета этих пьезоэлементов и внутренних электродов 7, 9 с двумя внешними электродами 3, 4 происходит главным образом в центральной зоне, где внутренние электроды 7 и 9 взаимно перекрываются. В краевых же зонах 13, где внутренние электроды 7 и 9 не перекрываются друг с другом, образуется участок с переменной напряженностью электрического поля, в результате чего элементы привода деформируются неравномерно и в них возникают растягивающие напряжения. Указанные растягивающие напряжения в известных приводах часто приводят к образованию трещин. Процесс такого растрескивания более наглядно поясняется на фиг.4А и 4Б. При этом на фиг.4А привод 1 изображен в нейтральном положении, т.е. при отсутствии управляющего напряжения, а на фиг.4Б привод 1 показан в рабочем состоянии, т.е. при приложенном напряжении, под действием которого пьезоэлементы 2 растянуты.
На фиг.4А и 4Б в увеличенном масштабе показан фрагмент IV обычного пьезоэлектрического привода, изображенного на фиг. 3. В граничной зоне между пакетом, состоящим из пьезоэлементов 2 и внутренних электродов 7, 9, и внешними электродами 3, 4 можно выделить два участка 13 и 14. На участке 13 внутренний электрод 7 не доходит до внешнего электрода 4, а керамика, обычно используемая в пьезоэлементе 2, на этом участке находится в спеченном по всему сечению состоянии. На другом участке, т.е. на участке 14, внутренний электрод 9 проходит до внешнего электрода 4, но не контактирует с противоположным внешним электродом 3. Прочность сцепления на втором участке 14, т. е. сила адгезии между пьезоэлементом 2 и внутренним электродом 9, в 3-5 раз меньше прочности сцепления на участке 13 в объеме пьезоэлектрического материала. При приложении управляющего напряжения растяжение в центре привода 1 существенно превышает таковое на участке, граничащим с внешними электродами, как показано на фиг.4Б. Возникающие в результате этого высокие растягивающие напряжения на участках 13 и 14 привода 1 часто приводят к образованию трещин 15 на граничном участке 14 между внутренними электродами 9 и пьезоэлементами 2. В ходе эксплуатации привода 1 эти трещины 15 постепенно распространяются, переходя в конечном итоге во внешний электрод 4, в результате чего контакт внутренних электродов 9 с пьезоэлектриком по крайней мере на отдельных участках существенно ухудшается или даже полностью нарушается, вследствие чего суммарная величина, на которую растягивается привод 1, уменьшается.
В основу настоящего изобретения была положена задача разработать пьезоэлектрический привод, который был бы лишен описанных выше недостатков, присущих известным пьезоэлектрическим приводам.
Эта задача решается согласно изобретению с помощью пьезоэлектрического привода, имеющего множество размещенных в виде пакета одна над другой пластин из пьезоэлектрического материала, направление поляризации каждой из которых ориентировано перпендикулярно ее плоскости и каждая из которых имеет возможность расширения в направлении приложенного к ней электрического поля, направление которого совпадает с направлением поляризации пластины, источник управляющего напряжения с двумя контактными выводами, две группы по крайней мере по два внешних электрода в каждой, причем внешние электроды первой группы электрически соединены с первым контактным выводом источника напряжения, а внешние электроды второй группы электрически соединены со вторым контактным выводом источника напряжения, и каждый из внешних электродов размещен на разных боковых сторонах пакета пьезоэлектрических пластин, и множество внутренних электродов, каждый из которых расположен между пьезоэлектрическими пластинами и которые контактируют, чередуясь, с внешними электродами таким образом, что один внутренний электрод электрически соединен с первым контактным выводом источника напряжения, а следующий по высоте пакета внутренний электрод электрически соединен со вторым контактным выводом источника напряжения, при этом внутренние электроды контактируют с внешними электродами в циклически повторяющейся по высоте пакета последовательности.
Преимущество предлагаемого в изобретении пьезоэлектрического привода заключается в том, что благодаря выполнению этого привода с двумя группами внешних электродов, каждая из которых образована по меньшей мере двумя электродами, участки переходных соединений внутренних электродов с внешними электродами распределяются по большему числу боковых поверхностей привода, благодаря чему эти участки на одной боковой стороне привода можно разнести по высоте пакета на большее расстояние и одновременно обеспечить спекание пьезоэлектрического материала по всему его объему в трех краевых зонах, окружающих каждый из внутренних электродов. Такое решение позволяет ослабить возникающие в приводе растягивающие напряжения и тем самым существенно уменьшить склонность этого привода к растрескиванию в целом и прежде всего в краевых зонах. Другое преимущество изобретения состоит в том, что благодаря применению четырех внешних электродов значительно улучшается отвод тепла от привода.
Согласно одному из предпочтительных вариантов осуществления изобретения внешние электроды двух групп предлагается располагать по периметру пакета с чередованием.
Помимо этого пьезоэлектрическим пластинам предпочтительно придавать квадратную в плане форму.
В качестве пьезоэлектрического материала для изготовления пластин предпочтительно использовать пьезокерамику на основе цирконата-титаната свинца (ЦТС-керамику).
Переходные соединения между внутренними электродами и различными внешними электродами особенно предпочтительно располагать в циклически повторяющейся по высоте пакета последовательности. Благодаря этому участки переходных соединений распределяются по всей высоте привода не только равномерно, но и на максимальном удалении друг от друга, что при возможном образовании трещин облегчает возможность их шунтирования по внешним электродам. Согласно одному из вариантов выполнения изобретения с целью упомянутого шунтирования трещин на наружных поверхностях внешних электродов предусмотрены гофрированные электроды. При этом шаг между гофрами таких гофрированных электродов в четыре раза превышает расстояние между двумя расположенными последовательно в пакете внутренними электродами, а места контакта гофрированных электродов с внешними электродами в каждом случае находятся между участками переходных соединений внутренних электродов с соответствующими внешними электродами. В обычных пьезоэлектрических приводах шаг между гофрами был бы вдвое меньше указанного и, как следствие этого, существовала бы опасность спайки гофрированных электродов по всей их поверхности с внешними электродами.
Ниже изобретение более подробно рассмотрено на примере одного из вариантов его осуществления со ссылкой на прилагаемые упрощенные чертежи, на которых показано:
на фиг.1 - предлагаемый в изобретении пьезоэлектрический привод в сечении плоскостью 1-1 по фиг.2А,
на фиг. 2А-2Г - вид сверху показанного на фиг.1 привода в сечении плоскостью II-II по фиг.1, соответственно плоскостями, проходящими через расположенные на различных уровнях внутренние электроды и параллельными плоскости II-II,
на фиг.3 - известный пьезоэлектрический привод в разрезе,
на фиг. 4А и 4Б - увеличенное изображение фрагмента IV пьезоэлектрического привода по фиг.3, поясняющее процесс образования трещин в обычных пьезоэлектрических приводах.
На фиг.1 и 2 в качестве примера показан предпочтительный вариант выполнения предлагаемого в изобретении пьезоэлектрического привода 1. При этом на фиг. 1 привод 1 изображен в сечении плоскостью I-I по фиг.2А, а на фиг.2А-2Г показано расположение внутренних электродов 7, 8, 9 и 10 в сечении плоскостью II-II по фиг.1, соответственно в параллельных ей плоскостях.
Как и обычные пьезоэлектрические приводы, предлагаемый в изобретении пьезоэлектрический привод 1 состоит из множества выполненных из пьезоэлектрического материала пластин 2, направление поляризации которых по существу перпендикулярно их плоскости и которые слоями расположены одна над другой в направлении их общей поляризации, образуя так называемый пьезопакет (пьезостопку). В качестве пьезоэлектрического материала для пьезоэлемента 2 можно использовать, например, кварц, турмалин, титанат бария (BaTiO3) или специальные типы пьезокерамики, предпочтительно керамику на основе цирконата-титаната свинца, т.е. так называемую ЦТС-керамику (PbZrO3-PbTiO3). Пригодны также органические соли, например NaK-тартрат, и большое число других известных пьезоэлектрических материалов.
Между отдельными пьезоэлектрическими пластинами 2 расположено соответственно по внутреннему электроду 7, 8, 9, 10. На боковых поверхностях 16, 17, 18, 19 пьезопакета предусмотрены проходящие по всей его высоте внешние электроды 3, 4, 5, 6, которые могут быть выполнены, например, в виде нанесенного на боковую поверхность слоя припоя. Каждый внутренний электрод 7, 8, 9, 10 контактирует только с одним из соответствующих внешних электродов 3, 4, 5, 6, т.е. каждый из внутренних электродов 7-10 проходит внутри пьезопакета только до одной из его боковых поверхностей 16, 17, 18 или 19, не доходя до остальных трех боковых поверхностей 16-19, соответственно остальных трех внешних электродов 3-6, как это показано на фиг.2А-2Г для внутренних электродов 7-10, расположенных последовательно один над другим по высоте пакета. На участках 13, где внутренние электроды не имеют сквозных соединений с внешними электродами, пьезокерамика пьезоэлектрических пластин 2 спечена по всему сечению.
Для достижения необходимого эффекта при работе пьезоэлектрического привода 1 внутренние и внешние электроды соединены по следующей схеме. Внешние электроды 3-6 разделены на две группы 3+5 и 4+6, каждая из которых может электрически соединяться с одним из соответствующих контактных выводов 12а и 12Ь источника 11 управляющего напряжения, соответственно напряжения возбуждения. Внутренние электроды 7-10 контактируют с внешними электродами 3-6 таким образом, что каждый из внутренних электродов 7, 9 электрически соединяется с одним из контактных выводов 12а источника 11 напряжения, а соответственно следующие по высоте пакета внутренние электроды 8, 10 соединяются с другим контактным выводом 12b. Благодаря соединению по такой схеме каждая пьезоэлектрическая пластина 2, образующая пластинчатый пьезоэлемент, обеими ее плоскостями контактирует с электродами 7, 9, соответственно 8, 10, электрическое напряжение к которым в свою очередь может быть приложено от источника 11 через внешние электроды 3, 5 и 4, 6. Как и в обычных пьезоэлектрических приводах, при приложении напряжения каждая из расположенных друг над другом в пакете пьезоэлектрических пластин 2 расширяется в направлении возникающего между электродами 7, 9 и 8, 10 электрического поля, направление которого совпадает с направлением поляризации этих пьезоэлектрических пластин 2. Благодаря большому числу пьезоэлементов (пьезоэлектрических пластин 2) в пакете достигается сравнительно большая величина хода всей конструкции, при этом из-за жесткого соединения пакетированных пьезоэлектрических пластин 2 с внешними электродами 3-6 поступательное движение может осуществляться только в средней зоне между этими внешними электродами 3-6.
Следует также отметить, что применение четырех внешних электродов 3-6 вместо обычно используемых двух внешних электродов 3-4 позволяет улучшить отвод тепла от привода 1. Менее эффективный теплоотвод у известных пьезоприводов связан с тем, что пьезокерамика обладает меньшей теплопроводностью по сравнению с металлами.
С целью снизить согласно изобретению склонность пьезоэлектрического привода 1 к растрескиванию, что подробно пояснялось выше со ссылкой на фиг.4А и 4Б, контактирование внутренних электродов 7-10 с внешними электродами 3-6 осуществляется, кроме того, с соблюдением следующих условий. Каждый из внутренних электродов 7 контактирует с внешним электродом 3, а следующие в пакете внутренние электроды 8, 9 и 10 контактируют с другими внешними электродами 4, 5, соответственно 6, при этом одновременно, как указано выше, каждый из внутренних электродов 7, 9 электрически должен быть соединен с контактным выводом 12а источника 11 напряжения, а каждый из следующих по высоте пакета внутренних электродов 8, 10 должен быть соединен с контактным выводом 12b источника 11 напряжения, чтобы возникающее при приложении напряжения электрическое поле могло создать в пьезоэлементах (пьезоэлектрических пластинах 2) пьезоэффект.
Для варианта выполнения, показанного на фиг.1 и 2А-2Г, сказанное, в частности, означает, что первый внутренний электрод 7 контактирует с первым, расположенным на первой боковой поверхности 16 пьезопакета внешним электродом 3, который в свою очередь электрически соединен с первым контактным выводом 12а источника 11 напряжения (фиг.2А), следующий по высоте пакета внутренний электрод 8 контактирует со вторым, расположенным на второй боковой поверхности 17 пьезопакета внешним электродом 4, который в свою очередь электрически соединен со вторым контактным выводом 12b источника 11 напряжения (фиг.2Б), следующий по высоте пакета внутренний электрод 9 контактирует с третьим, расположенным на третьей боковой поверхности 18 пьезопакета внешним электродом 5, который в свою очередь электрически соединен с первым контактным выводом 12а источника 11 напряжения (фиг.2В), и, наконец, следующий внутренний электрод 10 контактирует с четвертым, расположенным на четвертой боковой поверхности 19 пьезопакета внешним электродом 6, который в свою очередь электрически соединен со вторым контактным выводом 12b источника 11 напряжения (фиг.2Г). Такая последовательность расположения внутренних электродов 7-10 повторяется периодически по всей высоте пьезопакета, благодаря чему по высоте последнего обеспечивается равномерное распределение участков 14 переходных соединений между внутренними и внешними электродами.
Последовательность соединений в пределах одного циклически повторяющегося периода расположения внутренних электродов в принципе может быть выбрана любой в рамках вышеуказанной общей концепции. Более того, внешние электроды 3, 5 и 4, 6 каждой группы также необязательно должны располагаться на соответствующих противоположных боковых сторонах 16+18 и 17+19 пьезопакета. Однако по соображениям симметрии и связанного с этим равномерного распределения электрических полей и растягивающих напряжений в пьезоэлектрическом приводе 1 внешние электроды 3-6, условно разделенные на две группы по одинаковым полярностям, предпочтительно располагать по периметру пьезопакета, соответственно по его боковым сторонам 16-19 с чередованием.
Далее в вышеописанном варианте пьезоэлектрические пластины 2 имеют в плане практически квадратную форму. Однако изобретение не ограничивается только такой формой пьезоэлектрических пластин 2, которые могут быть выполнены и прямоугольными, многоугольными или круглыми. Число внешних электродов 3-6, а также электрическое соединение внешних электродов 3-6 с внутренними электродами 7-10 аналогичны в этих случаях вышеописанному варианту по фиг.1 и 2.
На фиг. 1 в качестве примера показан также гофрированный электрод 20, расположенный поверх внешнего электрода 3, соответственно припаянный к нему. Соответственно и три остальных внешних электрода 4-6 имеют такой же гофрированный электрод 20.
Каждый из этих гофрированных электродов 20 припаян к внешнему электроду 3 на тех участках, которые расположены по середине между переходными электрическими соединениями внутренних электродов 7 с соответствующим внешним электродом 3. При описанном выше периодически повторяющемся расположении внутренних электродов 7-10 шаг между гофрами гофрированных электродов 20 в четыре раза превышает расстояние между двумя соседними внутренними электродами. В случае возможного образования в приводе трещин 15, которые показаны на фиг.4Б, трещина, образовавшаяся в одном из внешних электродов 3-6, шунтируется гофрированным электродом 20, что обеспечивает надежный контакт со всеми внутренними электродами 7-10. Для изготовления гофрированных электродов используется лист из токопроводящего материала, предпочтительно латунный лист толщиной 0,05 мм.
В обычном приводе 1, показанном на фиг.3, шаг между гофрами такого гофрированного электрода 20 только в два раза превышал бы расстояние между двумя соседними внутренними электродами 7, 9. При столь малом шаге между гофрами существует опасность спайки гофрированных электродов 20 по всей их поверхности с внешними электродами 3, 4, что не может гарантировать надежного шунтирования трещин.

Claims (6)

1. Пьезоэлектрический привод (1), имеющий множество размещенных в виде пакета одна над другой пластин (2) из пьезоэлектрического материала, направление поляризации каждой из которых ориентировано перпендикулярно ее плоскости и каждая из которых имеет возможность расширения в направлении приложенного к ней электрического поля, направление которого совпадает с направлением поляризации пластины, источник (11) управляющего напряжения с двумя контактными выводами (12а и 12b), две группы по крайней мере по два внешних электрода (3, 5, 4, 6) в каждой, причем внешние электроды (3, 5) первой группы электрически соединены с первым контактным выводом (12а) источника (11) напряжения, а внешние электроды (4, 6) второй группы электрически соединены со вторым контактным выводом (12b) источника (11) напряжения, и каждый из внешних электродов (3, 4, 5, 6) размещен на разных боковых сторонах (16, 17, 18, 19) пакета пьезоэлектрических пластин (2), множество внутренних электродов (7, 8, 9, 10), каждый из которых расположен между пьезоэлектрическими пластинами (2), которые контактируют, чередуясь, с внешними электродами (3, 4, 5, 6) таким образом, что один внутренний электрод (7, 9) электрически соединен с первым контактным выводом (12а) источника (11) напряжения, а следующий по высоте пакета внутренний электрод (8, 10) электрически соединен со вторым контактным выводом (12b) источника (11) напряжения, при этом внутренние электроды (7-10) контактируют с внешними электродами (3-6) в циклически повторяющейся по высоте пакета последовательности.
2. Привод по п.1, отличающийся тем, что внешние электроды (3, 4, 5, 6) двух групп расположены по периметру пакета с чередованием.
3. Привод по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что пьезоэлектрические пластины (2) имеют в плане квадратную форму.
4. Привод по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что пьезоэлектрический материал представляет собой пьезокерамику на основе цирконата-титаната свинца (ЦТС-керамику).
5. Привод по любому из пп.2-4, отличающийся тем, что на наружной поверхности каждого из внешних электродов (3-6) предусмотрен гофрированный электрод (20).
6. Привод по п.5, отличающийся тем, что шаг между гофрами гофрированных электродов (20) в четыре раза превышает расстояние между двумя расположенными последовательно в пакете внутренними электродами (7-10), а места контакта гофрированных электродов (20) с внешними электродами (3-6) в каждом случае находятся между участками переходных соединений внутренних электродов (7-10) с соответствующими внешними электродами (3-6).
RU99122020/28A 1998-01-22 1998-10-21 Пьезоэлектрический привод RU2223574C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19802302.2 1998-01-22
DE19802302A DE19802302A1 (de) 1998-01-22 1998-01-22 Piezoelektrischer Aktor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU99122020A RU99122020A (ru) 2001-08-20
RU2223574C2 true RU2223574C2 (ru) 2004-02-10

Family

ID=7855338

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU99122020/28A RU2223574C2 (ru) 1998-01-22 1998-10-21 Пьезоэлектрический привод

Country Status (7)

Country Link
US (1) US6765337B1 (ru)
EP (1) EP0978148B1 (ru)
JP (1) JP2001516512A (ru)
CN (1) CN1166013C (ru)
DE (2) DE19802302A1 (ru)
RU (1) RU2223574C2 (ru)
WO (1) WO1999038220A1 (ru)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2447544C1 (ru) * 2010-12-01 2012-04-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский университет "МИЭТ" Пьезоэлектрический прибор
WO2013028092A1 (ru) * 2011-08-24 2013-02-28 Dostiiari Nasir Nadir Ogly Пьезоэлектрический источник электрической энергии для транспортных средств
RU2736071C2 (ru) * 2016-06-14 2020-11-11 Конинклейке Филипс Н.В. Приводное устройство, содержащее привод на основе электроактивного полимера, и способ возбуждения

Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11341838A (ja) * 1998-05-20 1999-12-10 Tokin Ceramics Corp 積層型圧電アクチュエータ
DE19928190A1 (de) * 1999-06-19 2001-01-11 Bosch Gmbh Robert Piezoaktor
DE19946837A1 (de) * 1999-09-30 2001-05-03 Bosch Gmbh Robert Piezoaktor
DE19951118A1 (de) * 1999-10-23 2000-11-09 Bosch Gmbh Robert Piezoaktor und ein Verfahren zu seiner Herstellung
JP2002054526A (ja) * 2000-05-31 2002-02-20 Denso Corp インジェクタ用圧電体素子
DE10113744A1 (de) * 2000-11-27 2002-06-20 Hans Richter Elektrische Anschlußanordnung für einen monolithischen Vielschicht-Piezoaktor
DE10241992B4 (de) * 2002-09-11 2005-05-04 Siemens Ag Piezoelektrischer Aktor
DE10303407A1 (de) * 2003-01-27 2004-08-19 Friedrich-Schiller-Universität Jena Verfahren und Vorrichtung zur hochgenauen Bearbeitung der Oberfläche eines Objektes, insbesondere zum Polieren und Läppen von Halbleitersubstraten
DE10307825A1 (de) 2003-02-24 2004-09-09 Epcos Ag Elektrisches Vielschichtbauelement und Schichtstapel
JP2004363489A (ja) * 2003-06-06 2004-12-24 Ngk Insulators Ltd 圧電/電歪素子、圧電/電歪素子の製造方法、圧電/電歪デバイス及び圧電/電歪デバイスの製造方法
DE10345730A1 (de) * 2003-10-01 2005-04-21 Bosch Gmbh Robert Piezoaktor
JP2005150167A (ja) * 2003-11-11 2005-06-09 Ibiden Co Ltd 積層型圧電素子
US7385337B2 (en) * 2004-06-18 2008-06-10 Tdk Corporation Multilayer piezoelectric element
JP4775372B2 (ja) * 2005-02-15 2011-09-21 株式会社村田製作所 積層型圧電素子
DE102005033858B4 (de) * 2005-07-12 2008-01-31 Siemens Ag Schalteinrichtung
DE102006023468B3 (de) * 2006-05-18 2007-09-13 Siemens Ag Verfahren und Vorrichtung zur Steuerung eines Einspritzventils eines Verbrennungsmotors
CN101558506B (zh) * 2006-12-15 2011-03-16 京瓷株式会社 层叠型压电元件、具有其的喷射装置以及燃料喷射***
DE102007003280A1 (de) * 2007-01-23 2008-07-24 Epcos Ag Piezoelektrisches Bauelement
DE102007008266A1 (de) 2007-02-20 2008-08-21 Siemens Ag Piezoaktor und Verfahren zum Herstellen eines Piezoaktors
ATE517440T1 (de) * 2007-03-14 2011-08-15 Delphi Tech Holding Sarl Reduktion von spannungsgradienten mit piezoelektrischen aktoren
DE102007060052A1 (de) * 2007-12-13 2009-06-18 Robert Bosch Gmbh Anordnung mit einem Piezoaktor mit mehreren Aktiv- und/oder zusätzlichen Sensorbereichen
DE102010055620A1 (de) 2010-12-22 2012-06-28 Epcos Ag Aktor, Aktorsystem und Ansteuerung eines Aktors
DE102010055621A1 (de) * 2010-12-22 2012-06-28 Epcos Ag Aktor, Aktorsystem und Ansteuerung eines Aktors

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4752712A (en) * 1985-06-10 1988-06-21 Nippon Soken, Inc. Piezoelectric laminate stack
DE3533085A1 (de) 1985-09-17 1987-03-26 Bosch Gmbh Robert Zumessventil zur dosierung von fluessigkeiten oder gasen
DE3713697A1 (de) 1987-04-24 1988-11-10 Licentia Gmbh Ultraschnelles steuerventil
DE3800203C2 (de) 1988-01-07 1997-08-14 Atlas Fahrzeugtechnik Gmbh Kraftstoffeinspritzventil
DE3833093A1 (de) 1988-09-29 1990-04-12 Siemens Ag Fuer verbrennungskraftmaschine vorgesehene kraftstoff-einspritzduese mit steuerbarer charakteristik des kraftstoffstrahls
JP2965602B2 (ja) 1990-02-26 1999-10-18 日立金属株式会社 積層型変位素子
ATE192263T1 (de) 1990-09-25 2000-05-15 Siemens Ag Anordnung für einen in hubrichtung wirkenden adaptiven, mechanischen toleranzausgleich für den wegtransformator eines piezoelektrischen aktors
JPH04197086A (ja) * 1990-11-28 1992-07-16 Hitachi Ltd 積層型圧電アクチュエータ及び製造方法
US5345137A (en) * 1991-04-08 1994-09-06 Olympus Optical Co., Ltd. Two-dimensionally driving ultrasonic motor
US5155409A (en) * 1991-07-11 1992-10-13 Caterpillar Inc. Integral conductor for a piezoelectric actuator
JPH0567819A (ja) * 1991-09-10 1993-03-19 Nec Corp 圧電セラミツクトランス
US5485437A (en) * 1993-02-05 1996-01-16 Discovision Associates Shock-resistant, electrostatically actuated pick-up for optical recording and playback
JP2986706B2 (ja) 1995-03-03 1999-12-06 日立金属株式会社 圧電素子及びそれを用いた圧電アクチュエータ
JPH10126202A (ja) * 1996-10-23 1998-05-15 Murata Mfg Co Ltd 圧電共振子およびそれを用いた電子部品

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2447544C1 (ru) * 2010-12-01 2012-04-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский университет "МИЭТ" Пьезоэлектрический прибор
WO2013028092A1 (ru) * 2011-08-24 2013-02-28 Dostiiari Nasir Nadir Ogly Пьезоэлектрический источник электрической энергии для транспортных средств
RU2736071C2 (ru) * 2016-06-14 2020-11-11 Конинклейке Филипс Н.В. Приводное устройство, содержащее привод на основе электроактивного полимера, и способ возбуждения
US11538980B2 (en) 2016-06-14 2022-12-27 Koninklijke Philips N.V. Electroactive polymer actuator device and driving method

Also Published As

Publication number Publication date
WO1999038220A1 (de) 1999-07-29
CN1251211A (zh) 2000-04-19
CN1166013C (zh) 2004-09-08
DE19802302A1 (de) 1999-07-29
US6765337B1 (en) 2004-07-20
EP0978148A1 (de) 2000-02-09
JP2001516512A (ja) 2001-09-25
DE59811430D1 (de) 2004-06-24
EP0978148B1 (de) 2004-05-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2223574C2 (ru) Пьезоэлектрический привод
JP5069233B2 (ja) 移行領域において分極方向が回転するモノリシックピエゾアクチュエータ
GB2375886A (en) Electrode connections for a laminated piezo-electric device
CN1238910C (zh) 压电执行元件
KR100655094B1 (ko) 압전식 액츄에이터의 제조 방법과 압전식 액츄에이터
JP5586777B2 (ja) 積層型圧電素子およびこれを備えた噴射装置ならびに燃料噴射システム
RU99122020A (ru) Пьезоэлектрический привод
KR100692884B1 (ko) 열팽창에 적응하는 외부 전극을 갖는 압전 액추에이터
DE19945933C1 (de) Piezoaktor mit isolationszonenfreier elektrischer Kontaktierung und Verfahren zu dessen Herstellung
JP2006101691A (ja) 応力を減衰する構造体を備えたピエゾアクチュエータ
US6215230B1 (en) Alternately stacked piezoelectric actuator in which each electrode layer leaves an alternately L-shaped stripe of piezoelectric material uncovered
JP2005536067A (ja) ピエゾアクチュエータ
WO2009082007A1 (ja) 積層型圧電素子、これを備えた噴射装置及び燃料噴射システム
EP2913858B1 (en) Multilayered piezo element, as well as piezo actuator, injection apparatus, and fuel injection system provided with said element
EP0550435B1 (en) Piezoelectric solid state motor stack
JP2006527486A (ja) ピエゾアクチュエータ
JP4261903B2 (ja) セラミック電子部品及び噴射装置
JP2002319716A (ja) 圧電セラミック多層アクチュエーターおよびその製造方法
JP2001313428A (ja) 積層型圧電アクチュエータおよび噴射装置
JPS63288075A (ja) 電歪効果素子
JPH08167746A (ja) 積層型圧電アクチュエータ
WO2010141299A1 (en) Piezoelectric stack actuator assembly
JP2005045086A (ja) インジェクタ装置用積層型圧電素子
EP1519425B1 (en) Piezoelectric actuator device
JP3080052B2 (ja) 圧電トランス

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20071022