RU2213945C2 - Способ контроля герметичности изделий - Google Patents

Способ контроля герметичности изделий Download PDF

Info

Publication number
RU2213945C2
RU2213945C2 RU2001124537A RU2001124537A RU2213945C2 RU 2213945 C2 RU2213945 C2 RU 2213945C2 RU 2001124537 A RU2001124537 A RU 2001124537A RU 2001124537 A RU2001124537 A RU 2001124537A RU 2213945 C2 RU2213945 C2 RU 2213945C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
vacuum chamber
concentration
control gas
test gas
product
Prior art date
Application number
RU2001124537A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2001124537A (ru
Inventor
Л.В. Липняк
В.И. Тройников
Original Assignee
Открытое акционерное общество "Ракетно-космическая корпорация "Энергия" им. С.П.Королева"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Открытое акционерное общество "Ракетно-космическая корпорация "Энергия" им. С.П.Королева" filed Critical Открытое акционерное общество "Ракетно-космическая корпорация "Энергия" им. С.П.Королева"
Priority to RU2001124537A priority Critical patent/RU2213945C2/ru
Publication of RU2001124537A publication Critical patent/RU2001124537A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2213945C2 publication Critical patent/RU2213945C2/ru

Links

Landscapes

  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)

Abstract

Изобретение относится к области испытательной техники и может найти применение в космической отрасли при испытании космических аппаратов (КА), атомной, химической промышленности, в отраслях машиностроения и т.д. При осуществлении способа контроля герметичности изделий помещают в вакуумную камеру изделие, заполненное контрольным газом до рабочего давления Рраб, вакуумируют вакуумную камеру, измеряют концентрацию контрольного газа в вакуумной камере, стравливают давление контрольного газа из изделия и измеряют уменьшение концентрации контрольного газа в вакуумной камере. Вакуумирование вакуумной камеры производят до достижения в ней равновесного давления. Измерение концентрации контрольного газа в вакуумной камере производят по достижении упомянутой концентрацией установившегося значения. После достижения в вакуумной камере равновесного давления подают в камеру тарированный поток контрольного газа Qкт, измеряют величину изменения концентрации контрольного газа в вакуумной камере ΔCкт от тарированного потока контрольного газа в момент достижения ею установившегося значения, после измерения величины изменения ΔCкт прекращают подачу тарированного потока контрольного газа. Далее определяют величину минимального регистрируемого изменения концентрации контрольного газа ΔCмин, а при стравливании контрольного газа из изделия непрерывно измеряют величину ΔCизд достигнутого уменьшения концентрации контрольного газа в вакуумной камере от изделия. При достижении соотношения ΔCизд≥ΔCмин прекращают стравливание контрольного газа из изделия и измеряют в момент прекращения стравливания остаточное давление контрольного газа P1 в изделии, при этом степень негерметичности изделия определяют из соотношения, взаимосвязывающего определенным образом упомянутые параметры. Изобретение направлено на повышение производительности контроля герметичности изделий.

Description

Изобретение относится к области испытательной техники, в частности к испытаниям на герметичность изделий, таких как, например, космические аппараты (КА), и может найти применение в атомной, химической промышленности, в отраслях машиностроения, где предъявляются повышенные требования к надежности изделий и производительному их контролю.
Известны аналогичные способы испытаний на герметичность изделий, заключающиеся в том, что помещают изделие в вакуумную камеру, вакуумируют камеру до равновесного давления, подают в вакуумную камеру тарированный поток контрольного газа, измеряют изменение концентрации контрольного газа в вакуумной камере от тарированного потока, прекращают подачу тарированного потока, измеряют установившуюся концентрацию контрольного газа в вакуумной камере, заполняют изделие контрольным газом до рабочего давления, измеряют изменение концентрации контрольного газа в вакуумной камере от изделия и оценивают негерметичность изделия по соотношению изменений концентрации контрольного газа в вакуумной камере от изделия и от тарированного потока (см., например, "Течеискатель ТИ1-14. Паспорт 2.832.024 ПС", с. 39-42, Л., 1987.
Наиболее близким к предлагаемому техническому решению является способ, заключающийся в том, что помещают в вакуумную камеру изделие, заполненное контрольным газом до рабочего давления, вакуумируют вакуумную камеру, измеряют концентрацию контрольного газа в вакуумной камере, удаляют контрольный газ из изделия, измеряют уменьшение концентрации контрольного газа в вакуумной камере от изделия и оценивают негерметичность изделия по уменьшению концентрации контрольного газа в вакуумной камере (см. а.с. СССР, 1772639, G 01 М 3/00, 30.06.78).
Недостатком способа-прототипа и аналогичных способов контроля является то, что необходимо либо в конце контроля (для способа-прототипа), либо в начале (для аналогичных способов) иметь изделие, полностью свободное от контрольного газа. В отдельных случаях это условие достаточно трудно обеспечить, например, в случае необходимости проведения повторных испытаний изделия (не удаляя при этих повторных испытаниях заполненное контрольным газом изделие из вакуумной камеры и не нарушая процесса вакуумирования камеры) с целью подтверждения зарегистрированных результатов, либо в случаях нештатных ситуаций, связанных с несанкционированным отключением электропитания комплекса вакуумной камеры в процессе проведения испытаний при находящемся в отвакуумированной камере изделии, которое при этом заполнено контрольным газом до рабочего давления. В данных случаях удаление контрольного газа из изделия путем стравливания давления и последующего вакуумирования изделия или смены атмосферы в нем является процессом достаточно длительным и не всегда возможным, что особенно наглядно выявляется при испытаниях гермоотсеков КА, оборудованных приборами и аппаратурой с ограничениями на пребывание под вакуумом и под воздействием контрольного газа гелия, а также оборудованных установленным внутренним декоративно-отделочным покрытием.
Задача предлагаемого способа - это повышение производительности контроля герметичности изделий.
Поставленная цель достигается тем, что в известном способе, согласно которому помещают в вакуумную камеру изделие, заполненное контрольным газом до рабочего давления Рраб, вакуумируют вакуумную камеру, измеряют концентрацию контрольного газа в вакуумной камере, стравливают давление контрольного газа из изделия и измеряют уменьшение концентрации контрольного газа в вакуумной камере, вакуумирование вакуумной камеры производят до достижения в ней равновесного давления, измерение концентрации контрольного газа в вакуумной камере производят по достижении упомянутой концентрацией установившегося значения, после достижения в вакуумной камере равновесного давления подают в камеру тарированный поток контрольного газа Qкт, измеряют величину изменения концентрации контрольного газа в вакуумной камере ΔCкт от тарированного потока контрольного газа в момент достижения ею установившегося значения, после измерения величины изменения ΔCкт прекращают подачу тарированного потока контрольного газа и делают выдержку на достижение концентрацией контрольного газа равновесного значения, определяют величину минимального регистрируемого изменения концентрации контрольного газа ΔCмин, а при стравливании контрольного газа из изделия непрерывно измеряют величину ΔCизд достигнутого уменьшения концентрации контрольного газа в вакуумной камере от изделия и при достижении соотношения ΔCизд≥ΔCмин прекращают стравливание контрольного газа из изделия и измеряют в момент прекращения стравливания остаточное давление контрольного газа P1 в изделии, при этом степень негерметичности изделия определяют из соотношения:
Qизд=(ΔCизд/ΔCкт)•Qкт•[1-(P1/Pраб)2]-1 (1)
Таким образом, сокращение продолжительности контроля и соответствующее повышение производительности контроля герметичности изделий в рассматриваемом техническом решении достигаются за счет более полного использования технических возможностей испытательной системы (включающей в себя отвакуумированную вакуумную камеру с установленным в ней изделием, заполненным контрольным газом, и подключенными к вакуумной камере средствами регистрации концентрации контрольного газа), а именно за счет возможности измерения минимального регистрируемого изменения концентрации контрольного газа в вакуумной камере и последующего определения негерметичности изделия с учетом данной измеренной величины.
При реализации предлагаемого технического решения отпадает необходимость в полном удалении контрольного газа из изделия; достаточно зарегистрировать концентрацию контрольного газа в вакуумной камере, когда изделие заполнено контрольным газом до рабочего давления (т.е. тогда, когда утечка контрольного газа через микронеплотности гермоконтура изделия максимальна), а затем частично стравить давление контрольного газа из изделия (снижая перепад давлений на стенках испытываемого изделия и уменьшая таким образом утечку контрольного газ через микронеплотности гермоконтура изделия) до соответствующего уменьшения концентрации контрольного газа в вакуумной камере, которое может уверено быть зарегистрировано средствами, имеющимися в составе испытательной сиcтемы.
Предлагаемый способ контроля герметичности изделий осуществляется следующим образом.
В вакуумную камеру помещают изделие, например КА, имеющий в своем составе гермоотсек, подлежащий испытаниям на герметичность (в дальнейшем под изделием будет подразумеваться упомянутый гермоотсек КА). В процессе испытаний изделие заполняется контрольным газом (например, смесью гелия с воздухом) до рабочего давления Рраб. При этом вакуумную камеру вакуумируют до достижения в ней равновесного давления, составляющего на практике для крупногабаритных вакуумных камер с испытываемыми в них КА величину (1•10-4÷1•10-3)мм рт.ст. По мере достижения в вакуумной камере равновесного давления концентрация контрольного газа в камере достигает своего установившегося значения. Иными словами, при вакуумировании осуществляются переходные процессы стабилизации потока газоотделения от поверхностей вакуумной камеры и КА (газоотделения как всех газов, вносящих вклад в суммарное давление внутри вакуумной камеры, так и, в частности, газоотделения гелия). По достижении концентрацией гелия в вакуумной камере своего установившегося значения производят ее измерения с целью определения негерметичности испытываемого изделия. На практике это осуществляется при помощи гелиевых масс-спектрометрических течеискателей, подключенных к вакуумной камере.
Необходимость в реализации предлагаемого технического решения возникает при нахождении в вакуумной камере изделии, которое заполнено контрольным газом до рабочего давления, например, в упомянутой выше нештатной ситуации остановки и последующего возобновления испытаний на герметичность. Для калибровки испытательной системы и последующего измерения негерметичности изделия после достижения в вакуумной камере равновесного давления подают в камеру тарированный поток контрольного газа Qкт и измеряют величину изменения концентрации контрольного газа в вакуумной камере ΔCкт от тарированного потока контрольного газа в момент достижения ею установившегося значения (т.е. по окончании переходного процесса стабилизации концентрации контрольного газа в вакуумной камере). После измерения величины изменения ΔCкт подачу тарированного потока Qкт контрольного газа прекращают и делают выдержку на достижение концентрацией контрольного газа равновесного значения. После этого определяют величину минимального регистрируемого изменения концентрации контрольного газа ΔCмин, основываясь на величине флюктуации показаний средства регистрации контрольного газа - гелиевого масс-спектрометрического течеискателя. Затем из изделия стравливают давление контрольного газа, причем в процессе стравливания непрерывно измеряют величину ΔCизд достигнутого уменьшения концентрации контрольного газа в вакуумной камере, соответствующего уменьшению утечки через микронеплотности гермоконтура изделия. При достижении соотношения ΔCизд≥ΔCмин (т. е. по достижении регистрируемого уменьшения концентрации контрольного газа в вакуумной камере) прекращают стравливание контрольного газа из изделия. В этот момент (прекращения стравливания контрольного газа) измеряют остаточное давление контрольного газа P1 в изделии. Степень негерметичности изделия определяют из соотношения (1). Это соотношение основывается, во-первых, на линейной связи между величиной подаваемого в вакуумную камеру потока контрольного газа и соответствующим приращением концентрации контрольного газа в вакуумной камере, и, во-вторых, на реализующемся на практике вязкостном характере утечки контрольного газа через микронеплотности гермоконтура изделия. После того как степень негерметичности изделия определена, можно, не теряя времени на дальнейшее стравливание контрольного газа и последующие операции удаления контрольного газа из изделия, либо завершать испытания, либо переходить к испытаниям другого находящегося в данный момент в вакуумной камере объекта (например, другого гермоотсека, входящего в состав испытываемого КА).
Использование предлагаемого способа испытаний на герметичность дает следующие положительные результаты:
- сокращается длительность испытаний на герметичность в вакуумных камерах в случаях необходимости проведения повторных испытаний изделия с целью подтверждения зарегистрированных результатов, а также в случаях нештатных ситуаций, связанных с несанкционированным отключением электропитания комплекса вакуумной камеры в процессе проведения испытаний при находящемся в отвакуумированной камере изделии;
- за счет сокращения длительности испытаний изделий на герметичность в вакуумных камерах повышается производительность этих испытаний.
Предлагаемый способ испытаний изделий на герметичность может иметь широкое практическое применение для обеспечения высокопроизводительного контроля герметичности космических объектов, проходящих испытания в вакуумных камерах, в частности может быть использован при создании модулей долговременных орбитальных станций и пилотируемых и автоматических космических транспортных кораблей.

Claims (1)

  1. Способ контроля герметичности изделий, заключающийся в том, что помещают в вакуумную камеру изделие, заполненное контрольным газом до рабочего давления Рраб, вакуумируют вакуумную камеру, измеряют концентрацию контрольного газа в вакуумной камере, стравливают давление контрольного газа из изделия и измеряют уменьшение концентрации контрольного газа в вакуумной камере, отличающийся тем, что вакуумирование вакуумной камеры производят до достижения в ней равновесного давления, измерение концентрации контрольного газа в вакуумной камере производят по достижении упомянутой концентрацией установившегося значения, после достижения в вакуумной камере равновесного давления подают в камеру тарированный поток контрольного газа Qкт, измеряют величину изменения концентрации контрольного газа в вакуумной камере ΔCкт от тарированного потока контрольного газа в момент достижения ею установившегося значения, после измерения величины изменения ΔCкт прекращают подачу тарированного потока контрольного газа и делают выдержку на достижение концентрацией контрольного газа равновесного значения, определяют величину минимального регистрируемого изменения концентрации контрольного газа ΔCмин а при стравливании контрольного газа из изделия непрерывно измеряют величину ΔCизд достигнутого уменьшения концентрации контрольного газа в вакуумной камере от изделия, и при достижении соотношения ΔCизд≥ΔCмин прекращают стравливание контрольного газа из изделия и измеряют в момент прекращения стравливания остаточное давление контрольного газа P1 в изделии, при этом степень негерметичности изделия определяют из соотношения:
    Figure 00000001
    е
RU2001124537A 2001-09-03 2001-09-03 Способ контроля герметичности изделий RU2213945C2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2001124537A RU2213945C2 (ru) 2001-09-03 2001-09-03 Способ контроля герметичности изделий

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2001124537A RU2213945C2 (ru) 2001-09-03 2001-09-03 Способ контроля герметичности изделий

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2001124537A RU2001124537A (ru) 2003-08-20
RU2213945C2 true RU2213945C2 (ru) 2003-10-10

Family

ID=31988365

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2001124537A RU2213945C2 (ru) 2001-09-03 2001-09-03 Способ контроля герметичности изделий

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2213945C2 (ru)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2457454C1 (ru) * 2011-03-17 2012-07-27 Открытое акционерное общество "Ракетно-космическая корпорация "Энергия" имени С.П. Королева" Способ определения герметичности изделий, работающих под внешним давлением
RU2551399C2 (ru) * 2013-10-09 2015-05-20 Открытое акционерное общество "Ракетно-космическая корпорация "Энергия" имени С.П. Королева" Способ определения герметичности изделий, работающих под внешним давлением
RU2654340C1 (ru) * 2016-11-28 2018-05-17 Публичное акционерное общество "Ракетно-космическая корпорация "Энергия" имени С.П. Королева" Способ испытаний изделий на суммарную негерметичность
RU2811533C1 (ru) * 2023-01-09 2024-01-15 Публичное акционерное общество "Ракетно-космическая корпорация "Энергия" имени С.П. Королева" Способ испытаний многополостных изделий на суммарную негерметичность

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2457454C1 (ru) * 2011-03-17 2012-07-27 Открытое акционерное общество "Ракетно-космическая корпорация "Энергия" имени С.П. Королева" Способ определения герметичности изделий, работающих под внешним давлением
RU2551399C2 (ru) * 2013-10-09 2015-05-20 Открытое акционерное общество "Ракетно-космическая корпорация "Энергия" имени С.П. Королева" Способ определения герметичности изделий, работающих под внешним давлением
RU2654340C1 (ru) * 2016-11-28 2018-05-17 Публичное акционерное общество "Ракетно-космическая корпорация "Энергия" имени С.П. Королева" Способ испытаний изделий на суммарную негерметичность
RU2811533C1 (ru) * 2023-01-09 2024-01-15 Публичное акционерное общество "Ракетно-космическая корпорация "Энергия" имени С.П. Королева" Способ испытаний многополостных изделий на суммарную негерметичность

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0218458B1 (en) Method and apparatus for gross leak detection
US9810600B2 (en) Method for detecting a leak on a non-rigid test specimen
CN1720432B (zh) 用于密封物品中大泄漏检测的方法和装置
KR20040058057A (ko) 가스 투과율 측정 방법 및 가스 투과율 측정 장치
JP2007147327A (ja) 気密漏れ検査装置
CN107907273B (zh) 一种产品局部密封外表面气密性检测方法
RU2213945C2 (ru) Способ контроля герметичности изделий
JPH02122234A (ja) リークテスト装置
US20200370993A1 (en) Leak detection device and leak detection method
RU2680159C9 (ru) Способ определения объёмов замкнутых полостей
CN113113332A (zh) 半导体工艺腔漏的侦测方法
RU2793600C1 (ru) Способ испытаний изделий на суммарную герметичность в вакуумной камере
RU2818989C1 (ru) Способ испытаний многополостных изделий на суммарную герметичность
JPS6315133A (ja) 真空リ−クチエツク方法
RU2716474C1 (ru) Способ определения негерметичности изделий, работающих под внешним давлением и внутренним избыточным давлением
RU2194260C2 (ru) Способ испытаний изделий на герметичность
RU2209409C2 (ru) Способ определения негерметичной полости многополостного изделия
CN112304804B (zh) 一种材料放气率测试***及其测试方法
RU2797657C1 (ru) Способ испытаний изделий на суммарную негерметичность
RU2782813C1 (ru) Способ контроля герметичности элементов изделий
CN109323817A (zh) 一种下限为10-16Pam3/s的超灵敏度检漏装置及方法
RU2073836C1 (ru) Способ контроля герметичности изделий
RU2811533C1 (ru) Способ испытаний многополостных изделий на суммарную негерметичность
RU2063013C1 (ru) Способ контроля герметичности в вакуумной камере
RU2077040C1 (ru) Способ контроля герметичности пневмогидросистем

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20180904