RU2155421C1 - Electrode device with preliminary ionization by ultraviolet light produced by corona discharge - Google Patents
Electrode device with preliminary ionization by ultraviolet light produced by corona discharge Download PDFInfo
- Publication number
- RU2155421C1 RU2155421C1 RU98123871/28A RU98123871A RU2155421C1 RU 2155421 C1 RU2155421 C1 RU 2155421C1 RU 98123871/28 A RU98123871/28 A RU 98123871/28A RU 98123871 A RU98123871 A RU 98123871A RU 2155421 C1 RU2155421 C1 RU 2155421C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- corona discharge
- electrode
- main
- generators
- electrodes
- Prior art date
Links
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к области квантовой электроники и может быть использовано в импульсно-периодических газовых лазерах TE-типа. The invention relates to the field of quantum electronics and can be used in pulse-periodic TE-type gas lasers.
Известно электродное устройство с предварительной ионизацией ультрафиолетовым излучением от коронного разряда в газовом лазере (патент США N 4555787, класс 372/86, от 26.11.85). Генератор коронного разряда содержит относительно длинную диэлектрическую трубку, расположенную вдоль основных электродов, проводник внутри этой трубки и проводящую полоску на внешней стороне трубки. Внутренний проводник и проводящая полоска соединены с тем же высоковольтным источником, что и основные разрядные электроды. Для изоляции высоковольтных элементов корпус лазера выполнен из диэлектрика. Known electrode device with preliminary ionization by ultraviolet radiation from a corona discharge in a gas laser (US patent N 4555787, class 372/86, from 26.11.85). The corona discharge generator comprises a relatively long dielectric tube located along the main electrodes, a conductor inside the tube and a conductive strip on the outside of the tube. The inner conductor and the conductive strip are connected to the same high voltage source as the main discharge electrodes. To isolate high-voltage elements, the laser housing is made of a dielectric.
Известно электродное устройство с предварительной ионизацией ультрафиолетовым излучением от коронного разряда в газовом лазере (патент США N 4817107, класс 372/61, от 28.03.89), в котором элементы предыонизации представляют собой пару расположенных симметрично относительно основных электродов трубок из изолирующего материала с внутренним проводником. Трубки тянутся вдоль одного из основных разрядных электродов. Все элементы камеры лазера, в которой закреплены электроды, и генераторы коронного разряда выполнены из диэлектрических материалов, таких как керамика. Known electrode device with preliminary ionization by ultraviolet radiation from a corona discharge in a gas laser (US patent N 4817107, class 372/61, 03/28/89), in which the preionization elements are a pair of tubes arranged symmetrically relative to the main electrodes of the insulating material with an inner conductor . The tubes extend along one of the main discharge electrodes. All elements of the laser chamber, in which the electrodes are fixed, and corona discharge generators are made of dielectric materials such as ceramics.
Известно электродное устройство с предварительной ионизацией ультрафиолетовым излучением от коронного разряда в газовом лазере (патент США N 5719896, класс 372/086, от 17.02.98), в котором вдоль основных электродов расположены трубки для предыонизации относительно большой длины. Трубки установлены с возможностью легкой замены в случае поломки. В качестве материала используется поликристаллический оксид керамики. Внутри трубок расположен проводник, а внешняя сторона трубок контактирует с другим проводником, внутренний и внешний проводник соединены с источником питания. Герметичный высоковольтный ввод от источника питания к высоковольтному электроду осуществлен с применением изолирующего элемента относительно больших габаритов. Known electrode device with preliminary ionization by ultraviolet radiation from a corona discharge in a gas laser (US patent N 5719896, class 372/086, 02/17/98), in which tubes for preionization of relatively large length are located along the main electrodes. The tubes are easily replaceable in case of breakage. The material used is polycrystalline ceramic oxide. A conductor is located inside the tubes, and the outer side of the tubes is in contact with another conductor, the inner and outer conductor are connected to a power source. The sealed high-voltage input from the power source to the high-voltage electrode is carried out using an insulating element of relatively large dimensions.
Известно электродное устройство с предварительной ионизацией ультрафиолетовым излучением от коронного разряда (патент США N 4718072, класс 372/086, от 15.05.88), в котором генератор коронного разряда представляет собой диэлектрическую трубку с внутренним проводником и касающимся диэлектрической трубки внешним проводником. Внутренний проводник генератора коронного разряда электрически соединен с одним из основных электродов внутри камеры лазера, а внешний проводник генератора коронного разряда электрически соединен со вторым основным электродом. Как трубки генератора коронного разряда, так и изолятор высоковольтного электрода имеют относительно большие габариты и выполнены из высококачественного диэлектрического материала. Known electrode device with pre-ionization by ultraviolet radiation from a corona discharge (US patent N 4718072, class 372/086, 05/15/88), in which the corona generator is a dielectric tube with an inner conductor and an outer conductor touching the dielectric tube. The inner conductor of the corona discharge generator is electrically connected to one of the main electrodes inside the laser chamber, and the outer conductor of the corona discharge generator is electrically connected to the second main electrode. Both the corona discharge tubes and the high-voltage electrode insulator are relatively large and made of high-quality dielectric material.
Как аналоги, так и прототип имеют следующие недостатки. Both analogues and prototype have the following disadvantages.
Тонкостенные диэлектрические трубки имеют длину L, большую длины основных электродов, малый диаметр (порядка 0.01 L) и малый допуск на прогиб (порядка 0.0001 L). Поэтому данный элемент относительно дорог в изготовлении, особенно если в качестве диэлектрика используется керамика. Thin-walled dielectric tubes have a length L greater than the length of the main electrodes, a small diameter (of the order of 0.01 L), and a small deflection tolerance (of the order of 0.0001 L). Therefore, this element is relatively expensive to manufacture, especially if ceramic is used as the dielectric.
Для закрепления трубок используется специальная конструкция, исключающая изгибные деформации трубок при установке и эксплуатации, что усложняет конструкцию. To fix the tubes, a special design is used, eliminating the bending deformation of the tubes during installation and operation, which complicates the design.
Так как генератор коронного разряда установлен вблизи одного из разрядных электродов, то ультрафиолетовое излучение неравномерно освещает разрядный промежуток в направлении, поперечном продольной оси электрода. Since the corona discharge generator is installed near one of the discharge electrodes, ultraviolet radiation irregularly illuminates the discharge gap in the direction transverse to the longitudinal axis of the electrode.
Электрическая цепь питания генераторов коронного разряда имеет высокую индуктивность, так как внутренний проводник при малом поперечном сечении имеет большую длину и может быть подсоединен к элементам цепи только с торцов трубки. Это уменьшает крутизну фронта нарастания напряжения на генераторе коронного разряда, что ведет к уменьшению выхода ультрафиолетового излучения от коронного разряда. The electric power circuit of the corona discharge generators has a high inductance, since the inner conductor with a small cross-section has a large length and can be connected to circuit elements only from the ends of the tube. This reduces the steepness of the front of the voltage rise at the corona discharge generator, which leads to a decrease in the output of ultraviolet radiation from the corona discharge.
Так как генератор коронного разряда находится внутри разрядного контура, то по этой причине минимальная площадь сечения основного разрядного контура увеличена, а значит, увеличена индуктивность основного разрядного контура, что снижает КПД лазера. Since the corona discharge generator is located inside the discharge circuit, for this reason, the minimum cross-sectional area of the main discharge circuit is increased, which means that the inductance of the main discharge circuit is increased, which reduces the laser efficiency.
Для обеспечения малоиндуктивного высоковольтного герметичного ввода к высоковольтному электроду и его крепления требуется либо диэлектрический корпус камеры лазера, либо дополнительный изолирующий элемент относительно больших габаритов. При использовании в качестве материала камеры или изолирующего элемента наиболее предпочтительного керамического материала стоимость изделия значительно возрастает. To provide a low-inductance high-voltage sealed input to the high-voltage electrode and its fastening, either a dielectric housing of the laser chamber or an additional insulating element of relatively large dimensions is required. When using the most preferred ceramic material as the material of the chamber or the insulating element, the cost of the product increases significantly.
Задачей данного изобретения является повышение эффективности электродного устройства с предварительной ионизацией от коронного разряда в газовом лазере, уменьшение индуктивности основного разрядного контура и применение простой, надежной и дешевой конструкции изолятора герметичного токоввода через корпус газового лазера от источника питания к одному из основных электродов. The objective of this invention is to increase the efficiency of the electrode device with preliminary ionization from corona discharge in a gas laser, reduce the inductance of the main discharge circuit and use a simple, reliable and cheap design of the insulator of the sealed current lead through the gas laser housing from the power source to one of the main electrodes.
Для решения этой задачи в электродном устройстве с предварительной ионизацией ультрафиолетовым излучением от коронного разряда, содержащем пару основных протяженных электродов, установленных в герметичном корпусе, соединенных токопроводами с источником питания, генераторы коронного разряда, каждый из которых содержит трубку из диэлектрического материала, внешняя поверхность которой контактирует с проводящим элементом, электрически соединенным с первым основным электродом, внутри трубки расположен проводник, соединенный со вторым основным электродом,
генераторы коронного разряда установлены поперечно продольной оси основных электродов, проводники, расположенные внутри диэлектрических трубок, электрически соединены параллельно и являются силовым токопроводом основного разряда, соединяющим второй электрод и источник питания,
проводящий элемент, электрически соединенный с первым основным электродом, является элементом корпуса, генераторы коронного разряда закреплены в элементе корпуса герметично,
второй электрод закреплен на генераторах коронного разряда,
генераторы коронного разряда установлены в виде хотя бы одного ряда, расположенного вдоль зоны основного разряда,
генераторы коронного разряда установлены в виде двух рядов с одинаковым шагом, причем в продольном направлении один ряд смещен относительно другого на 1/2 шага,
внешняя поверхность генератора коронного разряда в направлении распространения коронного разряда, то есть вдоль продольной оси трубки, имеет развитую поверхность,
на внешней поверхности диэлектрических трубок генератора коронного разряда имеются охватывающие замкнутые проводящие кольца,
диэлектрическая трубка генератора коронного разряда выполнена из керамики,
внешняя поверхность диэлектрической трубки генератора коронного разряда имеет форму с малым аэродинамическим сопротивлением в направлении, поперечном продольной оси электродов и продольной оси самой трубки.To solve this problem, in an electrode device with preliminary ionization by ultraviolet radiation from a corona discharge, containing a pair of main extended electrodes installed in a sealed enclosure, connected by current conductors to a power source, corona discharge generators, each of which contains a tube of dielectric material, the external surface of which contacts with a conductive element electrically connected to the first main electrode, a conductor connected to the second is located inside the tube main electrode
the corona discharge generators are installed transversely to the longitudinal axis of the main electrodes, the conductors located inside the dielectric tubes are electrically connected in parallel and are the main discharge power conductor connecting the second electrode and the power source,
a conductive element electrically connected to the first main electrode is a housing element, corona discharge generators are sealed in the housing element,
the second electrode is mounted on the corona discharge generators,
corona discharge generators are installed in the form of at least one row located along the main discharge zone,
corona generators are installed in the form of two rows with the same pitch, and in the longitudinal direction, one row is offset relative to the other by 1/2 step,
the outer surface of the corona discharge generator in the direction of propagation of the corona discharge, that is, along the longitudinal axis of the tube, has a developed surface,
on the outer surface of the dielectric tubes of the corona discharge generator there are enclosed closed conductive rings,
the dielectric tube of the corona generator is made of ceramic,
the outer surface of the dielectric tube of the corona discharge generator has a shape with low aerodynamic drag in the direction transverse to the longitudinal axis of the electrodes and the longitudinal axis of the tube itself.
Генераторы коронного разряда установлены поперечно продольной оси основных электродов, провода внутри диэлектрических трубок являются токопроводами, соединяющими второй электрод и источник питания. Это позволяет использовать относительно короткие диэлектрические трубки, что более просто изготовить, дешевле. Внутренние провода генераторов коронного разряда выполняют также функцию токопровода от источника питания ко второму электроду. Так как генератор коронного разряда конструктивно объединен с токопроводом ко второму электроду, то по сравнению с прототипом площадь сечения основного разрядного контура может быть уменьшена, образованный малоиндуктивный контур способствует увеличению КПД лазера. Corona discharge generators are installed transversely to the longitudinal axis of the main electrodes, the wires inside the dielectric tubes are current conductors connecting the second electrode and the power source. This allows the use of relatively short dielectric tubes, which are simpler to manufacture, cheaper. The internal wires of the corona discharge generators also perform the function of a current lead from the power source to the second electrode. Since the corona discharge generator is structurally combined with the current lead to the second electrode, compared with the prototype, the cross-sectional area of the main discharge circuit can be reduced, the formed low-inductance circuit increases the laser efficiency.
Проводящий элемент, электрически соединенный с первым основным электродом, является элементом корпуса, генераторы коронного разряда закреплены на нем герметично. Второй электрод закреплен на генераторах коронного разряда. Крепление электродов не требует сложной крупногабаритной конструкции электрического изолятора электродов от корпуса, что в случае изготовления изолятора из керамики существенно удешевляет конструкцию. Из-за меньшей базовой поверхности, по которой идет крепление и уплотнение керамического изолятора, существенно повышается надежность изолятора при сборке и эксплуатации, так как изгибные напряжения, нежелательные для малоупругих материалов, таких как керамика, отсутствуют. The conductive element, electrically connected to the first main electrode, is a housing element, the corona discharge generators are sealed on it. The second electrode is mounted on corona discharge generators. Fixing the electrodes does not require a complex large-sized design of the electrical insulator of the electrodes from the housing, which, in the case of manufacturing an insulator made of ceramic, significantly reduces the cost of the design. Due to the smaller base surface along which the ceramic insulator is fastened and sealed, the reliability of the insulator during assembly and operation is significantly increased, since there are no bending stresses undesirable for inelastic materials such as ceramics.
Генераторы коронного разряда установлены в виде хотя бы одного ряда, расположенного вдоль зоны основного разряда. Генераторы коронного разряда установлены в виде двух рядов с одинаковым шагом, причем в продольном направлении один ряд смещен относительно другого на 1/2 шага. Это позволяет осуществить более равномерную по длине основного разрядного промежутка предварительную ионизацию, что способствует более равномерной концентрации заряженных частиц в зоне разряда, а, как следствие, в процессе работы обеспечивается более однородный объемный разряд накачки. Кроме того, наличие большого количества коротких проводников, электрически соединенных параллельно, создает малоиндуктивный токопровод, соединяющий источник питания с высоковольтным электродом для быстрого энерговклада в основной разряд. Это позволяет электродной системе работать длительное время с высокой эффективностью на газовых смесях, требующих больших энерговкладов за короткие промежутки времени. Corona discharge generators are installed in the form of at least one row located along the main discharge zone. Corona discharge generators are installed in the form of two rows with the same pitch, and in the longitudinal direction, one row is 1/2 relative to the other. This makes it possible to carry out preliminary ionization more uniform along the length of the main discharge gap, which contributes to a more uniform concentration of charged particles in the discharge zone, and, as a result, a more uniform volume pump discharge is ensured during operation. In addition, the presence of a large number of short conductors electrically connected in parallel creates a low-inductance conductor connecting the power source with a high-voltage electrode for quick energy input into the main discharge. This allows the electrode system to work for a long time with high efficiency on gas mixtures requiring large energy inputs for short periods of time.
Внешняя поверхность генератора коронного разряда в направлении распространения коронного разряда имеет развитую поверхность. На внешней поверхности трубки коронного разряда имеются охватывающие проводящие кольца. При подаче импульса напряжения между внутренним проводом генератора коронного разряда и касающимся диэлектрической трубки элементом, на внешней поверхности диэлектрической трубки начинает развиваться коронный разряд, скорость распространения коронного разряда достаточно высока. Чтобы пробой основного разрядного промежутка произошел до того момента, как коронный разряд дойдет до конца диэлектрической трубки, необходимо соответственно увеличить путь коронного разряда. Это достигается развитием поверхности диэлектрической трубки, а также формированием проводящих колец на внешней поверхности диэлектрической трубки. В последнем случае коронный разряд на каждом проводящем кольце будет останавливаться и с характерной временной задержкой начинаться снова. Это увеличивает время до нежелательного полного перекрытия электрическим разрядом поверхности изолятора при сохранении малой индуктивности контура. The outer surface of the corona discharge generator in the direction of propagation of the corona discharge has a developed surface. On the outer surface of the corona tube there are female conductive rings. When a voltage pulse is applied between the inner wire of the corona discharge generator and the element touching the dielectric tube, a corona discharge begins to develop on the outer surface of the dielectric tube, and the propagation velocity of the corona discharge is quite high. In order for the breakdown of the main discharge gap to occur before the corona discharge reaches the end of the dielectric tube, it is necessary to increase the corona discharge path accordingly. This is achieved by developing the surface of the dielectric tube, as well as by forming conductive rings on the outer surface of the dielectric tube. In the latter case, the corona discharge at each conducting ring will stop and begin again with a characteristic time delay. This increases the time until an undesirable complete blocking by the electric discharge of the surface of the insulator while maintaining a small inductance of the circuit.
Диэлектрическая трубка выполнена из керамики. Керамика, например алюминооксидная керамика, является одним из лучших материалов, который применяется в генераторах коронного разряда, поскольку керамика химически устойчива к действию широкого диапазона лазерных газов, в том числе и к действию газов, содержащих галогены, и обладает необходимыми электроизоляционными свойствами. Это позволяет использовать предлагаемую конструкцию в эксимерных лазерах. The dielectric tube is made of ceramic. Ceramics, such as alumina ceramics, is one of the best materials used in corona discharge generators, since ceramics are chemically resistant to a wide range of laser gases, including the action of gases containing halogens, and have the necessary electrical insulating properties. This allows you to use the proposed design in excimer lasers.
Внешняя поверхность диэлектрических трубок генераторов коронного разряда имеет форму с малым аэродинамическим сопротивлением в направлении, поперечном продольной оси электродов. В случае применения прокачки газа, когда поток газа идет через разрядный промежуток, внешняя форма трубок с малым аэродинамическим сопротивлением уменьшает энергозатраты на прокачку газа. Это позволяет осуществить эффективную работу электродного устройства в лазерах TE типа с высокой частотой следования импульсов. The outer surface of the dielectric tubes of the corona discharge generators has a shape with low aerodynamic drag in the direction transverse to the longitudinal axis of the electrodes. In the case of applying gas pumping, when the gas flow goes through the discharge gap, the external shape of the tubes with low aerodynamic drag reduces the energy consumption for pumping gas. This allows efficient operation of the electrode device in TE type lasers with a high pulse repetition rate.
Техническим результатом изобретения является электродное устройство с предварительной ионизацией ультрафиолетовым излучением от коронного разряда в газовом лазере, обеспечивающее высокую эффективность предыонизации, обеспечивающее малоиндуктивный основной разрядный контур, обеспечивающее высокую эффективность работы электродного устройства на газовых смесях, требующих больших энерговкладов за короткие промежутки времени, обеспечивающее применение простой, надежной и дешевой конструкции изолятора герметичного токоввода к одному из основных электродов. The technical result of the invention is an electrode device with preliminary ionization by ultraviolet radiation from a corona discharge in a gas laser, which provides high pre-ionization efficiency, provides a low-inductance main discharge circuit, ensures high efficiency of the electrode device in gas mixtures, requiring large energy inputs for short periods of time, ensuring the use of simple , reliable and cheap design of the insulator of a sealed current lead to one th of the main electrodes.
На чертеже показано поперечное сечение электродного устройства с предварительной ионизацией ультрафиолетовым излучением от коронного разряда. The drawing shows a cross section of an electrode device with preliminary ionization by ultraviolet radiation from a corona discharge.
Основные электроды 1, 2 образуют разрядный промежуток, электрод 1 закреплен на проводящем элементе 3 (крышке) корпуса 4, генераторы коронного разряда, каждый из которых состоит из диэлектрической трубки 5 и внутреннего проводника 6, герметично установлены в элементе корпуса 3. Электрод 2 установлен на ступенчатой металлической пластине 7, соединенной с проводником 6. Проводник 6 и токопровод 3 электрода 1 соединены с источником питания 8. На внешней поверхности трубок 5 сформированы проводящие кольца 9, а также цилиндрические выступы и канавки, увеличивающие длину поверхности. The main electrodes 1, 2 form a discharge gap, the electrode 1 is mounted on the conductive element 3 (cover) of the housing 4, the corona discharge generators, each of which consists of a dielectric tube 5 and the inner conductor 6, are hermetically installed in the housing element 3. The electrode 2 is mounted on a stepped metal plate 7 connected to the conductor 6. The conductor 6 and the current lead 3 of the electrode 1 are connected to a power source 8. On the outer surface of the tubes 5, conductive rings 9 are formed, as well as cylindrical protrusions and grooves, lichivayuschie surface length.
При подаче импульса напряжения на выполняющий роль токопровода элемент корпуса 3 и проводники 6, на внешней стороне трубок 5, от точек контактов трубок 5 с элементом корпуса 3 (наиболее напряженных, так называемых тройных точек, в которых сопрягаются проводник, диэлектрик и газ), распространяется коронный разряд. Ультрафиолетовое излучение от коронного разряда ионизирует газ, находящийся в разрядном промежутке. Когда на электродах 1, 2 напряжение поднимется до пробивного значения, газовый разряд происходит в ионизированной межэлектродной области и поэтому имеет объемный характер. When a voltage pulse is applied to the casing element 3 and conductors 6, on the outside of the tubes 5, from the points of contact of the tubes 5 with the casing element 3 (the most stressed, the so-called triple points at which the conductor, dielectric and gas are interfaced), corona discharge. Ultraviolet radiation from a corona discharge ionizes a gas located in the discharge gap. When the voltage at the electrodes 1, 2 rises to a breakdown value, a gas discharge occurs in the ionized interelectrode region and therefore has a volume character.
Генераторы коронного разряда могут быть сформированы и установлены таким образом, что расстояние от внешней поверхности трубки 5 до электрода 1, имеющего потенциал, близкий потенциалу плазмы коронного разряда, будет меньшим, чем расстояние до электрода 2, потенциал которого сильно отличается от потенциала плазмы коронного разряда. В таком исполнении генераторы коронного разряда эффективнее освещают разрядный промежуток, без возникновения паразитного пробоя от генератора коронного разряда на электрод 2. При этом индуктивность основного разрядного контура минимальна. Corona discharge generators can be formed and installed in such a way that the distance from the outer surface of the tube 5 to the electrode 1 having a potential close to the potential of the corona discharge plasma is smaller than the distance to the electrode 2, the potential of which is very different from the potential of the corona discharge plasma. In this design, the corona discharge generators more efficiently illuminate the discharge gap without spurious breakdown from the corona discharge generator to the electrode 2. Moreover, the inductance of the main discharge circuit is minimal.
Герметизация трубок 5 на корпусе 3 и вводов 6 в трубках 5 осуществляется пайкой или любым другим известным способом. The sealing of the tubes 5 on the housing 3 and the inputs 6 in the tubes 5 is carried out by soldering or by any other known method.
Наряду с использованием предыонизации коронным разрядом по предлагаемому техническому решению в конструкции можно использовать традиционные методы предыонизации, например диэлектрические трубки с внутренним проводником, расположенные вдоль хотя бы одного из электродов. В этом случае интенсивность и однородность предыонизации выше, чем в прототипе, а конструкция изолятора герметичного токоввода к высоковольтному электроду проще, дешевле и надежнее. Along with the use of preionization by corona discharge according to the proposed technical solution, traditional preionization methods can be used in the design, for example, dielectric tubes with an internal conductor located along at least one of the electrodes. In this case, the intensity and uniformity of preionization is higher than in the prototype, and the design of the insulator of the sealed current lead to the high-voltage electrode is simpler, cheaper, and more reliable.
Claims (9)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU98123871/28A RU2155421C1 (en) | 1998-12-25 | 1998-12-25 | Electrode device with preliminary ionization by ultraviolet light produced by corona discharge |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU98123871/28A RU2155421C1 (en) | 1998-12-25 | 1998-12-25 | Electrode device with preliminary ionization by ultraviolet light produced by corona discharge |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2155421C1 true RU2155421C1 (en) | 2000-08-27 |
Family
ID=20214120
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU98123871/28A RU2155421C1 (en) | 1998-12-25 | 1998-12-25 | Electrode device with preliminary ionization by ultraviolet light produced by corona discharge |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2155421C1 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2507653C1 (en) * | 2012-07-23 | 2014-02-20 | Олег Борисович Христофоров | Gas discharge laser |
| RU2510110C1 (en) * | 2012-07-23 | 2014-03-20 | Олег Борисович Христофоров | Gas discharge laser |
-
1998
- 1998-12-25 RU RU98123871/28A patent/RU2155421C1/en not_active IP Right Cessation
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| БАЛОШИН Ю.А. и др. Применение ЭВМ при разработке лазеров. - Л.: Машиностроение, 1989, стр.54. ЗВЕЛТО О. Принципы лазеров. - М.: Мир, 1990, стр.374. * |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2507653C1 (en) * | 2012-07-23 | 2014-02-20 | Олег Борисович Христофоров | Gas discharge laser |
| RU2510110C1 (en) * | 2012-07-23 | 2014-03-20 | Олег Борисович Христофоров | Gas discharge laser |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100545484B1 (en) | Compact excimer laser insulator with integral pre-ionizer | |
| US4380079A (en) | Gas laser preionization device | |
| US5875207A (en) | Discharge arrangement for pulsed gas lasers | |
| US4691322A (en) | Gas laser device | |
| JP3359838B2 (en) | Corona generator | |
| CA1167151A (en) | Apparatus for producing laser radiation | |
| US4105952A (en) | High repetition rate pulsed laser discharge system | |
| US4556981A (en) | Laser of the TE type, especially a high-energy laser | |
| US4555787A (en) | Gas laser preionization device | |
| KR20010062136A (en) | Gas laser apparatus that emits UV light | |
| US3350602A (en) | Gaseous-discharge device having a trigger electrode and a light producing spark gap to facilitate breakdown between the trigger electrode and one of the principal electrodes | |
| RU2155421C1 (en) | Electrode device with preliminary ionization by ultraviolet light produced by corona discharge | |
| KR100834186B1 (en) | Dielectric barrier discharge lamp | |
| US4342114A (en) | TEA Laser configuration | |
| US4485334A (en) | Spark gap apparatus comprising a plurality of pairs of electrodes in parallel | |
| US3356888A (en) | Two-electrode spark gap with interposed insulator | |
| EP0020624A1 (en) | Pulsed discharge gas laser apparatus. | |
| US4035683A (en) | High voltage electric switch with trigger electrodes integral with main discharge electrodes | |
| RU2113749C1 (en) | Gas laser | |
| US4905251A (en) | Self-preionizing resistively ballasted semiconductor electrode | |
| JP2001177173A (en) | Gas laser oscillator | |
| US4930137A (en) | Inorganic triple point screen | |
| USH878H (en) | High voltage insulators for long, linear switches | |
| CA1095634A (en) | High voltage electric switch | |
| JP3281032B2 (en) | Discharge excitation type gas laser device |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| HK4A | Changes in a published invention | ||
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20091226 |