RU2065143C1 - Датчик температуры - Google Patents
Датчик температуры Download PDFInfo
- Publication number
- RU2065143C1 RU2065143C1 RU9393043116A RU93043116A RU2065143C1 RU 2065143 C1 RU2065143 C1 RU 2065143C1 RU 9393043116 A RU9393043116 A RU 9393043116A RU 93043116 A RU93043116 A RU 93043116A RU 2065143 C1 RU2065143 C1 RU 2065143C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- protective layer
- thermistor
- copper
- film
- temperature sensor
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K7/00—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
- G01K7/16—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements
- G01K7/18—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements the element being a linear resistance, e.g. platinum resistance thermometer
- G01K7/186—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements the element being a linear resistance, e.g. platinum resistance thermometer using microstructures
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Thermistors And Varistors (AREA)
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
Abstract
Сущность изобретения: тонкопленочный медный терморезистор с защитным слоем из тугоплавкого металла сформирован на изолирующей подложке. Медные контакты терморезистора в виде пленочных площадок расположены на адгезионном слое из хрома, нанесенном на подложку и защитный слой. 2 ил.
Description
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в приборостроении в технологии изготовления термопреобразователей сопротивления.
Известен датчик температуры, содержащий стеклянную подложку, нанесенный на ее поверхность тонкопленочный медный терморезистор в форме меандра и являющиеся контактами коваровые выводы, пропущенные через стекло /1/.
Толщина медной пленки tпл. > n•100 нм, где n целое число.
Датчик с термочувствительным элементом /ТЧЭ/ из меди имеет линейную характеристику в рабочем диапазоне температур /-50 +20oC/.
Недостатком известного датчика является невозможность реализации в полной мере преимуществ тонкопленочной технологии формирования ТЧЭ, что приводит к большим размерам последнего.
Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату является датчик температуры, содержащий тонкопленочный медный терморезистор с защитным слоем, снабженный контактами из меди в виде пленочных площадок и расположенный на поверхности изолирующей подложки /2/.
Недостатком известного датчика является изменение параметров терморезистора при длительной эксплуатации.
Технический результат, создаваемый изобретением, состоит в повышении стабильности параметров датчика на основе медного терморезисторa.
Указанный результат достигается тем, что контактные площадки расположены на адгезионном слое из хрома, нанесенном на подложку и защитный слой терморезистора, выполненный из тугоплавкого металла, при этом протяженность областей перекрытия контактных площадок и терморезистора составляет 0,1-0,3 мм, а толщина защитного слоя 0,03-0,05 мкм.
В качестве материала защитного слоя может быть использован тугоплавкий металл из группы Cr, W, Мо, Ti c поверхностным сопротивлением ρs = 50-200 Ом/□.
Для улучшения адгезии к подложке контакты формируются на тонком адгезионном подслое из хрома.
Для обеспечения надежного электрического контакта к резистивному слою контактные площадки сформированы с перекрытием относительно дорожек терморезистора. С этой целью адгезионный слой осаждают на поверхность подложки и часть защитного слоя так, что он образует на поверхности терморезистора "ступеньку".
Протяженность взаимного перекрытия контактных площадок и резистивных участков составляет 0,1-0,3 мм.
При меньшем размере перекрытия возможен разрыв электрической цепи, при размере перекрытия > 0,3 мм возрастают габаритные размеры датчика.
Изобретение поясняется фиг.1, 2, на которых показан датчик температуры, вид спереди и сверху, соответственно.
Датчик температуры содержит изолирующую подложку 1 из ситалла, на поверхности которой расположен выполненный в форме меандра термочувствительный медный резистор 2, снабженный подстроечными шунтирующими перемычками 3. Сверху терморезистор покрыт защитным слоем 4 хрома толщиной 0,03-0,05 мкм. Контактами к терморезистору 2 служат медные пленочные площадки 5, расположенные на адгезионном слое 6 из хрома. Протяженность Δ (фиг.2) перекрытия контактных площадок 5 и дорожек терморезистора 2 составляет 0,1-0,03 мм.
Контактные площадки 5 снабжены выводами (на фиг. не показаны) для подсоединения к электрической схеме термопреобразователя.
В процессе изготовления на подложку 1 методом термического испарения в вакууме через трафарет или маску наносят резистивный медный слой 2, толщину которого с целью обеспечения высокого и воспроизводимого уровня ТКС выбирают не менее 1,5 мкм. Затем на поверхность слоя 2 напыляют тонкую защитную пленку 4 хрома толщиной 0,03-0,05 мкм. После этого, используя другую маску или трафарет, на поверхности подложки 1 в соответствующих местах и на части защитного слоя 4 методом напыления формируют адгезионный слой 6 хрома. На поверхность подслоя 6 методом термического испарения в вакууме наносится медная пленка толщиной ≥ 1,5 мкм, являющаяся контактом к резистивному слою.
Следующий этап включает формирование методом фотолитографии топологии резистивного слоя /меандра с шунтирующими перемычками/, нанесение на резистивный слой неорганического диэлектрика, обслуживание контактных площадок и присоединение выводов, подгонку методом механического скрайбирования шунтирующих перемычек 3 и нанесение на датчик защитного органического покрытия.
Датчик температуры характеризуется высокой точностью изготовления и надежностью работы.
Claims (1)
- Датчик температуры, содержащий тонкопленочный медный терморезистор с защитным слоем, снабженный контактами из меди в виде площадок и расположенный на поверхности изолирующей подложки, отличающийся тем, что контактные площадки расположены на адгезионном слое из хрома, нанесенном на подложку и защитный слой терморезистора, выполненный из тугоплавкого металла, при этом протяженность областей перекрытия контактных площадок и терморезистора составляет 0,1 0,3 мм, а толщина защитного слоя 0,03 0,05 мкм.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU9393043116A RU2065143C1 (ru) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | Датчик температуры |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU9393043116A RU2065143C1 (ru) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | Датчик температуры |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU93043116A RU93043116A (ru) | 1996-06-10 |
RU2065143C1 true RU2065143C1 (ru) | 1996-08-10 |
Family
ID=20147022
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU9393043116A RU2065143C1 (ru) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | Датчик температуры |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2065143C1 (ru) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2513654C2 (ru) * | 2012-06-14 | 2014-04-20 | Открытое акционерное общество "Научно-производственное объединение измерительной техники" | Термометр сопротивления |
CN104807554A (zh) * | 2015-03-03 | 2015-07-29 | 江苏多维科技有限公司 | 一种铜热电阻薄膜温度传感器芯片及其制备方法 |
RU2756800C1 (ru) * | 2020-12-08 | 2021-10-05 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС" | Сверхпроводящий термометр сопротивления |
-
1993
- 1993-08-31 RU RU9393043116A patent/RU2065143C1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
1. Сусол П.И. и др. Физико-технологические проблемы изготовления тонкопленочных термопреобразователей сопротивления в микросхемном исполнении. Измерительная техника, 1990, N 1, с.39-40. 2. Патент США N 5199791, кл. G 01 K 7/18, 1993, фиг.1. * |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2513654C2 (ru) * | 2012-06-14 | 2014-04-20 | Открытое акционерное общество "Научно-производственное объединение измерительной техники" | Термометр сопротивления |
CN104807554A (zh) * | 2015-03-03 | 2015-07-29 | 江苏多维科技有限公司 | 一种铜热电阻薄膜温度传感器芯片及其制备方法 |
WO2016138840A1 (zh) * | 2015-03-03 | 2016-09-09 | 江苏多维科技有限公司 | 一种铜热电阻薄膜温度传感器芯片及其制备方法 |
EP3267165A4 (en) * | 2015-03-03 | 2018-11-07 | Multidimension Technology Co., Ltd. | Copper thermal resistance thin film temperature sensor chip, and preparation method therefor |
US10564049B2 (en) | 2015-03-03 | 2020-02-18 | MultiDimension Technology Co., Ltd. | Copper thermal resistance thin film temperature sensor chip, and preparation method therefor |
RU2756800C1 (ru) * | 2020-12-08 | 2021-10-05 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС" | Сверхпроводящий термометр сопротивления |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7106167B2 (en) | Stable high temperature sensor system with tungsten on AlN | |
JPH0221533B2 (ru) | ||
KR910006223B1 (ko) | 가스센서 및 그 제조방법 | |
US6159386A (en) | Electrical resistance with at least two contact fields on a ceramic substrate and process for manufacturing the same | |
GB2149922A (en) | Capacitive moisture sensor and process for producing same | |
JPS5952521B2 (ja) | 電気抵抗装置 | |
US20030029232A1 (en) | Coupon for measuring corrosion rates and system | |
US4160969A (en) | Transducer and method of making | |
WO1989003021A1 (en) | Heat-sensitive fuel quantity detector | |
US4920635A (en) | A method of manufacturing a thermo-sensitive resistor | |
RU2065143C1 (ru) | Датчик температуры | |
KR100525939B1 (ko) | 가열 소자와 이 가열 소자의 제조 방법 | |
RU2158419C1 (ru) | Датчик температуры | |
US7674038B2 (en) | Arrangement for temperature monitoring and regulation | |
JPH0212002B2 (ru) | ||
JPH11354302A (ja) | 薄膜抵抗素子 | |
JP2000146511A (ja) | 歪ゲージ | |
US9068913B2 (en) | Photolithographic structured thick layer sensor | |
JPH0213739B2 (ru) | ||
US5958606A (en) | Substrate structure with adhesive anchoring-seams for securely attaching and boding to a thin film supported thereon | |
RU2222790C2 (ru) | Датчик температуры | |
JP2661718B2 (ja) | 薄膜の抵抗温度係数測定用基板 | |
JP3313772B2 (ja) | セラミックヒータ | |
JPS5678148A (en) | Resistance temperature compensation circuit | |
US20020075128A1 (en) | Electrical resistor with at least two connection contact fields on a ceramic substrate |