RU2051342C1 - Method of measuring nonuniformity of temperature field - Google Patents

Method of measuring nonuniformity of temperature field Download PDF

Info

Publication number
RU2051342C1
RU2051342C1 SU5044044A RU2051342C1 RU 2051342 C1 RU2051342 C1 RU 2051342C1 SU 5044044 A SU5044044 A SU 5044044A RU 2051342 C1 RU2051342 C1 RU 2051342C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
temperature
diode
diodes
frequency
measuring
Prior art date
Application number
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Юрий Алексеевич Скрипник
Анна Ивановна Химичева
Вячеслав Тимофеевич Кондратов
Original Assignee
Институт кибернетики им.В.М.Глушкова АН Украины
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Институт кибернетики им.В.М.Глушкова АН Украины filed Critical Институт кибернетики им.В.М.Глушкова АН Украины
Priority to SU5044044 priority Critical patent/RU2051342C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2051342C1 publication Critical patent/RU2051342C1/en

Links

Images

Landscapes

  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

FIELD: measurement technology. SUBSTANCE: reference semiconductor diode is placed into basis point of the field. Measuring semiconductor diodes are placed into the first and sequent control points. Preset value permanent current is passed through open p-n junctions of the diodes. Voltage drop at diode is transformed into alternating voltage. Alternating voltage frequency is measured then, and diode temperature is judged from this frequency. After frequency is measured, which corresponds to temperature of reference diode, preset current is passed in turn through the first and subsequent diodes. Variable voltage frequencies are measured at specific points of temperature field. Then current is increased which flows through p-n junction of the last diode. The second value of variable voltage frequency is measured, and the same current is passed in back order through open p-n junctions of measuring and reference diodes, measuring the second value of variable voltage frequency. Difference in temperatures of points under check and temperature of basis point and relative temperature differences are determined from the relations, given in the description of the invention. EFFECT: reduced error of temperature difference. 1 dwg

Description

Изобретение относится к термометрии и может быть использовано для определения неравномерности температурных полей различных сред с помощью совокупности полупроводниковых датчиков, имеющих р-n-переход, без предварительного подбора и индивидуальной градуировки. The invention relates to thermometry and can be used to determine the unevenness of the temperature fields of various media using a combination of semiconductor sensors having a pn junction, without preliminary selection and individual calibration.

Неравномерность температурного поля оценивается по абсолютной или относительной разности температур контролируемых точек поля по отношению базисной точки, температура которой известна или принимается за условный ноль. Получение информации о профилях температуры поля в различных сечениях и оценка неравномерности распределения температур связаны с большими аппаратурными затратами, с необходимостью использования и размещения многих десятков и сотен термодатчиков, расположенных в различных точках поля и соответствующих измерительных схем, преобразующих значения температур поля в электрические сигналы, удобные для последующей обработки, передачи и хранения. Нестабильность и технологический разброс параметров термодатчиков из дешевых материалов не позволяют обнаруживать малые разности температур и, следовательно, исследовать тонкую структуру температурного поля. Вследствие этого приходится применять термодатчики из благородных металлов, обладающих высокой стабильностью и малым разбросом параметров. Однако стоимость таких систем резко возрастает. The unevenness of the temperature field is estimated by the absolute or relative temperature difference of the controlled field points with respect to the base point, the temperature of which is known or is taken as a conditional zero. Obtaining information on field temperature profiles in different sections and assessing the unevenness of temperature distribution is associated with high hardware costs, the need to use and place many tens and hundreds of temperature sensors located at different points of the field and corresponding measuring circuits that convert the field temperature values into electrical signals, convenient for subsequent processing, transfer and storage. The instability and technological variation in the parameters of temperature sensors made of cheap materials do not allow one to detect small temperature differences and, therefore, to investigate the fine structure of the temperature field. As a result, it is necessary to use temperature sensors made of noble metals, which have high stability and a small variation in parameters. However, the cost of such systems rises sharply.

Наиболее перспективно для определения неравномерности температурных полей использование полупроводниковых датчиков с p-n-переходом, обладающих высокой чувствительностью, малыми габаритами и высоким быстродействием, на основе серийных бескорпусных триодов и диодов. Эти приборы серийно выпускаются и относительно дешевы. The most promising for determining the non-uniformity of temperature fields is the use of semiconductor sensors with a p-n junction, which have high sensitivity, small dimensions and high speed, based on serial open-frame triodes and diodes. These devices are commercially available and relatively cheap.

Известно, что зависимость параметров вольт-амперной характеристики (ВАХ) p-n-перехода в режиме прямого тока в диоде или транзисторе от абсолютной температуры используют в термометрии [1] Полупроводниковые диодные термометры имеют высокую чувствительность и способы перекрывать широкий диапазон температур (от 1 до 400 К). It is known that the dependence of the parameters of the current-voltage characteristic (CVC) of the pn junction in the direct current mode in a diode or transistor on the absolute temperature is used in thermometry [1] Semiconductor diode thermometers have high sensitivity and methods to cover a wide temperature range (from 1 to 400 K )

Однако они мало пригодны для измерения разности температур, особенно малых температурных перепадов, из-за нестабильности тока через p-n-переход и большого технологического разброса параметров ВАХ. However, they are of little use for measuring the temperature difference, especially small temperature differences, due to the instability of the current through the pn junction and the large technological spread of the I – V characteristics.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является способ определения неравномерности темпера- турного поля [2] заключающийся в том, что в контролируемых точках температурного поля размещают термодатчики на основе полупроводниковых диодов, подключают термодатчики через коммутатор к измерительному преобразователю, пропускают через открытый p-n-переход диода заданное значение постоянного тока, не вызывающее его дополнительный контроль, преобразуют падение напряжения на диодах в переменное напряжение, по значению частоты которого определяют температуру диодов в контролируемых точках поля. The closest in technical essence to the proposed one is a method for determining the unevenness of the temperature field [2], which consists in placing temperature sensors based on semiconductor diodes at controlled points of the temperature field, connecting temperature sensors through a switch to a measuring transducer, and passing through an open pn junction of the diode the set value of the direct current, which does not cause its additional control, converts the voltage drop across the diodes into alternating voltage, according to the frequency value diodes which determine the temperature in the controlled points of the field.

Однако из-за большого разброса ВАХ и параметров полупроводниковых диодов точность измерения температуры в контролируемых точках получается низкой. Поэтому определение неравномерности поля, которое осуществляется посредством измерения разности температур между контролируемыми точками, происходит с большими погрешностями. However, due to the wide variation in the I – V characteristics and the parameters of semiconductor diodes, the accuracy of temperature measurement at controlled points is low. Therefore, the determination of field non-uniformity, which is carried out by measuring the temperature difference between the controlled points, occurs with large errors.

В основу изобретения положена задача повышения точности измерения разности температур контролируемых точек поля относительно базисной точки путем исключения влияния технологического разброса параметров полупроводниковых приборов и их зависимости от температуры на результат измерения разностных температур. The basis of the invention is the task of increasing the accuracy of measuring the temperature difference of the controlled field points relative to the base point by eliminating the influence of technological variation in the parameters of semiconductor devices and their dependence on temperature on the result of measuring differential temperatures.

Поставленная задача решается тем, что в способ определения неравномерности температурного поля, который заключается в том, что в базисной и контролируемых точках температурного поля размещают полупроводниковые диоды, один из которых опорный, остальные измерительные, через открытые p-n-переходы диодов пропускают заданное значение постоянного тока, преобразуют падение напряжения на диодах в переменные напряжения, измеряют частоты переменных напряжений, по значению которых судят о температуре диодов, согласно изобретению введены следующие операции: после измерения частоты Fo', соответствующей температуре опорного диода, размещенного в базисной точке поля, ток заданного значения пропускают поочередно через первый и m последующих измерительных диодов, измеряют частоты переменных напряжений F1', F2',Fm' в контролируемых точках температурного поля, увеличивают ток через p-n-переход последнего измерительного диода до значения, которое больше первоначального тока в 2-3 раза, измеряют второе значение частоты Fm'' переменного напряжения, пропускают этот ток через открытые переходы измерительных и опорных диодов в обратном порядке, измеряют вторые значения частоты переменных напряжений Fm-1'', F1'',Fo'', дополнительно измеряют температуру То опорного диода, определяют разность между температурами контролируемых точек Tm и температурой базисной точки То по формуле
ΔTm=

Figure 00000001
To, определяют относительные разности температур по формуле
δTm=
Figure 00000002
, по которым судят о неравномерности температурного поля.The problem is solved in that in a method for determining the non-uniformity of the temperature field, which consists in the fact that semiconductor diodes are placed in the base and controlled points of the temperature field, one of which is reference, the other measuring ones, through the open pn junctions of the diodes pass a predetermined constant current value, they convert the voltage drop across the diodes into alternating voltages, measure the frequencies of the alternating voltages, the value of which determines the temperature of the diodes, according to the invention Operation: after measuring the frequency F o 'corresponding to the temperature of the reference diode located at the base point of the field, the current of the set value is passed alternately through the first and m subsequent measuring diodes, the frequencies of the alternating voltages F 1 ', F 2 ', F m ' are measured controlled points of the temperature field, increase the current through the pn junction of the last measuring diode to a value that is 2-3 times greater than the initial current, measure the second value of the frequency F m '' of the alternating voltage, pass this current through the open junction s measuring and reference diodes in reverse order, measure the second frequency values of alternating voltages F m-1 '', F 1 '', F o '', additionally measure the temperature T o of the reference diode, determine the difference between the temperatures of the controlled points T m and the temperature base point T about by the formula
ΔT m =
Figure 00000001
T o determine the relative temperature differences by the formula
δT m =
Figure 00000002
by which they judge the unevenness of the temperature field.

Введенные операции обеспечивают уменьшение погрешности разности температур контролируемых точек поля относительной базисной. Это достигается путем исключения влияния на результат измерения индивидуальных параметров полупроводниковых диодов (В и I5), а также исключения влияния непостоянства чувствительностей масштабного и функционального измерительных преобразователей и возникающих из-за этого аддитивной и мультипликативной погрешностей измерения.The introduced operations provide a decrease in the error of the temperature difference of the controlled points of the field relative to the base. This is achieved by eliminating the influence on the measurement result of the individual parameters of semiconductor diodes (B and I 5 ), as well as eliminating the influence of the variability of the sensitivities of the scale and functional measuring transducers and the resulting additive and multiplicative measurement errors.

Дополнительные измерения осуществляются с помощью операций, связанных с изменением уровня пропускания через открытые p-n-переходы тока и последовательностью его пропускания, не описаны в патентной и технической литературе, что подтверждает изобретательский уровень предложенного решения. Additional measurements are carried out using operations associated with changing the level of transmission through open p-n-junction currents and the sequence of its transmission, not described in the patent and technical literature, which confirms the inventive step of the proposed solution.

На чертеже приведена структурная схема устройства, позволяющая осуществить способ определения неравномерности температурного поля. The drawing shows a structural diagram of a device that allows you to implement a method for determining the unevenness of the temperature field.

Устройство содержит источник 1 постоянного напряжения, к выходу которого через постоянные резисторы 2 и 3 и переключатель 4 подключен инверсным входом операционный усилитель 5. В цепь обратной связи усилителя 5 через многоточечный коммутатор 6 включается один из диодов 7, 8, 9, 10, расположенных в базисной и контролируемых точках температурного поля. К выходу усилителя 5 подключен частотный преобразователь 11, выход которого соединен с входом микропроцессорного частотомера 12 с пультом 13 управления. К кодовым выходам частотомера 12 подключено цифропечатающее устройство 14. The device contains a constant voltage source 1, to the output of which an operational amplifier 5 is connected by an inverse input through constant resistors 2 and 3 and a switch 4. One of the diodes 7, 8, 9, 10 located in reference and controlled points of the temperature field. The output of the amplifier 5 is connected to a frequency converter 11, the output of which is connected to the input of the microprocessor frequency meter 12 with the remote control 13. A digital printing device 14 is connected to the code outputs of the frequency counter 12.

Сущность предлагаемого способа заключается в следующем. The essence of the proposed method is as follows.

В базисную точку поля с температурой Fо помещают опорный полупроводниковый диод (ПДО), а в первую и последующие точки контроля с температурами Т1, Т2, Т3,Tm измерительные полупроводниковые диоды ПД1, ПД2,ПДm. Через открытый переход ПДО с известной температурой вначале пропускают ток I1, который в соответствии с ВАХ диода имеет вид
I1 Ise-В/To(eqU/KTo- 1) (1) где Is exp(-B/To) ток обратного насыщения перехода, зависящий от абсолютной температурой То; Is значение тока насыщения при То ->>∞; В коэффициент, зависящий от ширины зоны перехода и имеющий разность температуры; q заряд электрона; К постоянная Больцмана; U падение напряжения на переходе.
A reference semiconductor diode (PDO) is placed at the base point of the field with a temperature of F о , and PD1, PD2, and PD m measuring semiconductor diodes with temperatures T 1 , T 2 , T 3 , and T m are placed at the first and subsequent control points with temperatures. First, a current I 1 is passed through an open PDO junction with a known temperature, which, in accordance with the I – V characteristic of the diode, has the form
I 1 I s e -B / T o (e qU / KT o- 1) (1) where I s exp (-B / T o ) is the reverse saturation current of the junction, which depends on the absolute temperature T o ; I s the value of the saturation current at T about - >>∞; In a coefficient depending on the width of the transition zone and having a temperature difference; q electron charge; K Boltzmann constant; U voltage drop across the junction.

Ток I1 выбирают таким, чтобы его значение превышало ток насыщения Is exp(-B/To) при температуре То по крайней мере в 10 раз, но было относительно небольшим и не вызывало дополнительный нагрев диода. Поэтому ток выбирают из соотношения
I1 (10.100) Is exp (-B/To) (2)
Тогда, учитывая соотношение (2) и то, что при температуре То ≥ 300 К значение KTo/q ≥ 26 мВ, можно выражение (1) рассматривать в упрощенном виде:
I1 Is e-b/ToeqUo/KTo (3)
Падение напряжения на переходе опорного диода ПДО
U

Figure 00000003
Figure 00000004
(4) усиливают и преобразуют в частоту переменного напряжения. С учетом погрешностей измерительного преобразования частота опорных колебаний равна
F
Figure 00000005
S1S2(1+γ)
Figure 00000006
+ΔF, (5) где S1 и S2 крутизна масштабного (по напряжению) и функционального (по частоте) преобразований соответственно; γ суммарная относительная мультипликативная погрешность преобразования от непостоянства S1 и S2; Δ F суммарная абсолютная аддитивная погрешность преобразования от дрейфа нуля усилителя напряжения и частотного преобразователя.The current I 1 is chosen so that its value exceeds the saturation current I s exp (-B / T o ) at a temperature T o at least 10 times, but was relatively small and did not cause additional heating of the diode. Therefore, the current is selected from the ratio
I 1 (10.100) I s exp (-B / T o ) (2)
Then, given relation (2) and the fact that at a temperature T o ≥ 300 K the value of KT o / q ≥ 26 mV, expression (1) can be considered in a simplified form:
I 1 I s e -b / T oe qU o / KT o (3)
Voltage drop at the junction of the PDO reference diode
U
Figure 00000003
Figure 00000004
(4) amplify and convert to AC frequency. Taking into account the errors of the measurement conversion, the frequency of the reference oscillations is
F
Figure 00000005
S 1 S 2 (1 + γ)
Figure 00000006
+ ΔF, (5) where S 1 and S 2 are the steepnesses of the scale (voltage) and functional (frequency) transformations, respectively; γ total relative multiplicative error of the transformation from the variability S 1 and S 2 ; Δ F is the total absolute additive error of conversion from zero drift of the voltage amplifier and the frequency converter.

Измеряют первое значение частоты Fo', соответствующее току I1. Затем этот ток I1 пропускают через открытый переход первого измерительного диода ПД1 с температурой Т1 и получают соответствующее значение частоты переменного напряжения:
F

Figure 00000007
S1S2(1+γ)
Figure 00000008
+ΔF. (6)
Измеряют первое значение частоты F1', соответствующее первой точке.Measure the first value of the frequency F o 'corresponding to the current I 1 . Then this current I 1 is passed through the open junction of the first measuring diode PD1 with temperature T 1 and get the corresponding value of the frequency of the alternating voltage:
F
Figure 00000007
S 1 S 2 (1 + γ)
Figure 00000008
+ ΔF. (6)
The first frequency value F 1 ′ corresponding to the first point is measured.

Пропускают затем ток I1 через второй и последующие измерительные диоды (ПД2.ПДm), измеряя каждый раз частоту переменного напряжения:
F

Figure 00000009
S1S2(1+γ)
Figure 00000010
+ΔF; (7)
F
Figure 00000011
S1S2(1+γ)
Figure 00000012
+ΔF; (8)
F
Figure 00000013
S1S2(1+γ)
Figure 00000014
+ΔF; (9)
Значения частот переменного тока (6)-(9) пропорциональны температурам T1.Tm соответствующих точек поля.Then passed current I 1 through the second and subsequent measurement diodes (PD2.PD m), measuring each time the frequency of the AC voltage:
F
Figure 00000009
S 1 S 2 (1 + γ)
Figure 00000010
+ ΔF; (7)
F
Figure 00000011
S 1 S 2 (1 + γ)
Figure 00000012
+ ΔF; (8)
F
Figure 00000013
S 1 S 2 (1 + γ)
Figure 00000014
+ ΔF; (nine)
The values of the AC frequencies (6) - (9) are proportional to the temperatures T 1 .T m of the corresponding field points.

Далее увеличивают ток через p-n-переход последнего диода (ПДm) до значения I2, которое выбирают в 2-3 раза больше тока I1, т.е.Then, the current through the pn junction of the last diode (PD m ) is increased to a value of I 2 , which is chosen to be 2-3 times greater than the current I 1 , i.e.

I2 (2.3)I1 (10)
Измеряют второе значение частоты переменного напряжения
F

Figure 00000015
S1S2(1+γ)
Figure 00000016
+ΔF. (11)
Затем этот ток I2 пропускают в обратном порядке через открытые переходы диодов ПДm-1.ПДO и измеряют вторые значения частоты переменного напряжения:
F
Figure 00000017
S1S2(1+γ)
Figure 00000018
+ΔF; (12)
F
Figure 00000019
S1S2(1+γ)
Figure 00000020
+ΔF; (13)
F
Figure 00000021
S1S2(1+γ)
Figure 00000022
+ΔF. (14)
По результатам измерений (5)-(9) и (11)-(14) определяют разностные частоты:
F
Figure 00000023
F
Figure 00000024
S1S2(1+γ)
Figure 00000025
Tmln(I2/I1); (15)
F
Figure 00000026
F
Figure 00000027
S1S2(1+γ)
Figure 00000028
Tm-1ln(I2/I1); (16)
F
Figure 00000029
F
Figure 00000030
S1S2(1+γ)
Figure 00000031
T1ln(I2/I1); (17)
F
Figure 00000032
F
Figure 00000033
S1S2(1+γ)
Figure 00000034
Toln(I2/I1); (18)
Из выражений (15) и (18) значения температур в точках контроля имеют следующие значения:
Tm=
Figure 00000035
Figure 00000036
(19)
Tm-1=
Figure 00000037
Figure 00000038
(20)
T1=
Figure 00000039
Figure 00000040
(21)
To=
Figure 00000041
Figure 00000042
(22)
Разность температур между первой точкой поля и базисной точкой
ΔT1= T1-To=
Figure 00000043
Figure 00000044
(23)
Относительная разность температур
δT1=
Figure 00000045
Figure 00000046
. (24)
Аналогично определяются абсолютная и относительная разности температур последующих точек контроля поля, в которых расположены измерительные диоды ПД2, ПД3,ПДm, относительно базисной точки с опорным диодом:
δTm=
Figure 00000047
Figure 00000048
; (25)
ΔTm=
Figure 00000049
To. (26)
Из полученных выражений (25) и (26) видно, что относительная разность температур контролируемых точек поля не зависит как от индивидуальных параметров полупроводниковых диодов (В и Is), так и физических констант (q и К). Поэтому отпадает необходимость их подбора и стабилизации индивидуальных параметров. Кроме того, исключено влияние непостоянства чувствительностей масштабного и функционального измерительных преобразований (S1 и S2) и возникающих из-за этого аддитивной (Δ F) и мультипликативной (γ) составляющих погрешности измерения.I 2 (2.3) I 1 (10)
Measure the second value of the frequency of the alternating voltage
F
Figure 00000015
S 1 S 2 (1 + γ)
Figure 00000016
+ ΔF. (eleven)
Then this current I 2 is passed in reverse order through the open junctions of the PD diodes m-1. PDO and the second values of the frequency of the alternating voltage are measured:
F
Figure 00000017
S 1 S 2 (1 + γ)
Figure 00000018
+ ΔF; (12)
F
Figure 00000019
S 1 S 2 (1 + γ)
Figure 00000020
+ ΔF; (13)
F
Figure 00000021
S 1 S 2 (1 + γ)
Figure 00000022
+ ΔF. (fourteen)
According to the measurement results (5) - (9) and (11) - (14), the difference frequencies are determined:
F
Figure 00000023
F
Figure 00000024
S 1 S 2 (1 + γ)
Figure 00000025
T m ln (I 2 / I 1 ); (fifteen)
F
Figure 00000026
F
Figure 00000027
S 1 S 2 (1 + γ)
Figure 00000028
T m-1 ln (I 2 / I 1 ); (sixteen)
F
Figure 00000029
F
Figure 00000030
S 1 S 2 (1 + γ)
Figure 00000031
T 1 ln (I 2 / I 1 ); (17)
F
Figure 00000032
F
Figure 00000033
S 1 S 2 (1 + γ)
Figure 00000034
T o ln (I 2 / I 1 ); (eighteen)
From expressions (15) and (18), the temperature values at the control points have the following values:
T m =
Figure 00000035
Figure 00000036
(19)
T m-1 =
Figure 00000037
Figure 00000038
(twenty)
T 1 =
Figure 00000039
Figure 00000040
(21)
T o =
Figure 00000041
Figure 00000042
(22)
Temperature difference between the first point of the field and the reference point
ΔT 1 = T 1 -T o =
Figure 00000043
Figure 00000044
(23)
Relative temperature difference
δT 1 =
Figure 00000045
Figure 00000046
. (24)
Similarly, the absolute and relative temperature differences of the subsequent field control points are determined, in which the measuring diodes PD2, PD3, PD m are located , relative to the reference point with the reference diode:
δT m =
Figure 00000047
Figure 00000048
; (25)
ΔT m =
Figure 00000049
T o . (26)
From the obtained expressions (25) and (26), it can be seen that the relative temperature difference of the controlled field points does not depend on the individual parameters of semiconductor diodes (B and I s ), or physical constants (q and K). Therefore, there is no need for their selection and stabilization of individual parameters. In addition, the influence of inconstancy of sensitivities of large-scale and functional measurement transformations (S 1 and S 2 ) and the additive (Δ F) and multiplicative (γ) components of the measurement error arising from this is excluded.

Для определения абсолютных разностей температур контролируемого поля ΔТ1 Δ Тm достаточно знать температуру То базисной точки, которая может быть измерена с помощью одного высокостабильного термодатчика из благородных металлов.To determine the absolute temperature differences of the controlled field ΔТ 1 Δ Т m it is enough to know the temperature Т about the base point, which can be measured using one highly stable precious metal temperature sensor.

Устройство, реализующее способ определения неравномерности температурного поля, работает следующим образом. A device that implements a method for determining the unevenness of the temperature field works as follows.

Напряжение от источника 1 постоянного напряжения через резистор 2 с сопротивлением R1 и переключатель 4 поступает на инвертирующий вход операционного усилителя 5. Коммутатором 6 в цепь обратной связи усилителя 5 включается один из полупроводниковых диодов 7, 8, 9, 10 (ПД0, ПД1,ПДm), размещенных в базисной (ПД0) и контролируемых точках поля (ПД1,ПДm). Благодаря глубокой отрицательной обратной связи в усилителе 5 через p-n-переход включенного диода входное напряжение операционного усилителя близко к нулю, а выходное напряжение усилителя пропорционально падению напряжения на p-n-переходе включенного диода с обратным знаком. Поэтому через p-n-переход любого включенного диода протекает всегда неизменный ток, задаваемый значением сопротивления резистора R1, включенного переключателем 4. При этом значение тока не зависит от разброса сопротивлений p-n-переходов диодов 7, 8, 9, 10, а выходное напряжение усилителя 5 является функцией температуры точек расположения диодов в контролируемом поле.The voltage from a constant voltage source 1 through a resistor 2 with a resistance of R 1 and a switch 4 is supplied to the inverting input of the operational amplifier 5. By a switch 6, one of the semiconductor diodes 7, 8, 9, 10 (PD0, PD1, PD m ) located at the base (PD0) and controlled points of the field (PD1, PD m ). Due to the deep negative feedback in the amplifier 5, through the pn junction of the turned-on diode, the input voltage of the operational amplifier is close to zero, and the output voltage of the amplifier is proportional to the voltage drop at the pn-junction of the turned-on diode with the opposite sign. Therefore, through the pn junction of any diode turned on, an unchanged current flows always, which is set by the resistance value of the resistor R 1 turned on by the switch 4. Moreover, the current value does not depend on the spread of the resistance of the pn junctions of the diodes 7, 8, 9, 10, and the output voltage of the amplifier 5 is a function of the temperature of the location points of the diodes in a controlled field.

Выходное напряжение усилителя 5 преобразуется в частоту переменного напряжения с помощью частотного преобразователя 11. Частота переменного напряжения измеряется микропроцессорным частотомером 12. Температура опорного диода 7, расположенного в базисной точке темпеpатурного поля, измеряется отдельным высокоточным измерителем (не показан). The output voltage of the amplifier 5 is converted to the frequency of the alternating voltage using a frequency converter 11. The frequency of the alternating voltage is measured by a microprocessor frequency meter 12. The temperature of the reference diode 7, located at the base point of the temperature field, is measured by a separate high-precision meter (not shown).

Определение неравномерности температурного поля осуществляется в следующей последовательности. Вначале переключатель 4 включает резистор 2 с сопротивлением R1, обеспечивающий требуемое значение тока I1. Коммутатором 6 поочередно включаются полупроводниковые диоды ПД0, ПД1,ПДm. При этом происходит измерение и запоминание частот переменного напряжения Fo', F1',Fm'. Затем переключателем 4 вводится резистор 3 с сопротивлением R2, что обеспечивает изменение тока I1 до значения I2. Коммутатором 6 в обратном порядке включаются диоды ПДm, ПДm-1,ПД0. Соответствующие значения частот Fm'', Fm-1'',Fo'' измеряются и запоминаются в частотомере 12.Determining the unevenness of the temperature field is carried out in the following sequence. Initially, the switch 4 includes a resistor 2 with a resistance R 1 , providing the desired current value I 1 . The switch 6 alternately turns on the semiconductor diodes PD0, PD1, PD m . When this occurs, the measurement and storage of the frequencies of the alternating voltage F o ', F 1 ', F m '. Then, switch 4 introduces a resistor 3 with a resistance of R 2 , which provides a change in current I 1 to the value of I 2 . Switch 6 in the reverse order turns on the diodes PD m , PD m-1 , PD0. The corresponding frequency values F m ″, F m − 1 ″, F o ″ are measured and stored in the frequency meter 12.

В память микропроцессорного частотомера 12 с пульта 13 вводится значение температуры базисной точки То и задается алгоритм обработки запомненных частот. По набранной программе частотомер 12 вычисляет и индуцирует на табло относительные и абсолютные разности температур между контролируемыми и базисной точками. При необходимости результаты вычислений выводятся на цифропечатающее устройство 14.In the memory of the microprocessor frequency counter 12 from the remote control 13, the temperature value of the base point T o is entered and the algorithm for processing the stored frequencies is set. According to the dialed program, the frequency meter 12 calculates and induces on the scoreboard the relative and absolute temperature differences between the controlled and reference points. If necessary, the results of the calculations are displayed on the digital printing device 14.

При экспериментальном исследовании предложенного способа использовались полупроводниковые диоды типа Д9. Токи через p-n-переходы задавались на уровне 1 и 2 мА, что обеспечивало падение напряжений на их переходах 40 и 70 мВ соответственно. При частотном преобразовании температур поля, неравномерность которого находилась в пределах 30оС, частота изменялась в диапазоне 0-300 Гц, что при шести разрядах табло частотомера обеспечивало чувствительность к градиенту температурного поля не менее 0,01о. Абсолютная погрешность измерения разности температур не превышала 0,05-0,08оС, а относительная погрешность измерений находи- лась в пределах 0,1-0,2% Обработка результатов промежуточных измерений и вычисление параметров, характеризующих неравномерность температурного поля, осуществлялась с помощью микропроцессорного частотомера ЧЗ-65.In an experimental study of the proposed method, semiconductor diodes of the D9 type were used. The currents through the pn junctions were set at the level of 1 and 2 mA, which ensured a voltage drop at their junctions of 40 and 70 mV, respectively. When the field frequency transformation temperature unevenness that is within 30 ° C, the frequency was varied in the range of 0-300 Hz, while that six bits of the frequency score provided sensitivity to temperature field gradient of at least about 0.01. The absolute error of measuring the temperature difference did not exceed 0.05-0.08 о С, and the relative error of measurements was in the range 0.1-0.2%. The results of intermediate measurements were processed and the parameters characterizing the non-uniformity of the temperature field were calculated using microprocessor frequency meter ChZ-65.

Claims (1)

СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ НЕРАВНОМЕРНОСТИ ТЕМПЕРАТУРНОГО ПОЛЯ, заключающийся в том, что в контролируемых точках температурного поля размещают термодатчики на основе полупроводниковых диодов, подключают термодатчики через коммутатор к измерительному преобразователю, пропускают через открытый p-n-переход диода заданное значение постоянного тока, не вызывающее его дополнительный нагрев, преобразуют падение напряжения на диоде в переменное напряжение, по значению частоты которого определяют температуру диодов в контролируемых точках поля, отличающийся тем, что одну из контролируемых точек выбирают базисной и размещают в ней опорный диод, в остальных точках контроля измерительные диоды, после измерения частоты
Figure 00000050
соответствующей температуре опорного диода, ток заданного значения пропускают поочередно через первый и m последующих измерительных диодов, измеряют частоты переменных напряжений
Figure 00000051
увеличивают ток через p-n-переход последнего измерительного диода до значения, которое больше первоначального тока в 2 3 раза, не изменяя тепловое состояние диода, измеряют второе значение частоты
Figure 00000052
переменного напряжения, затем этот же ток пропускают через открытые переходы измерительных и опорного диодов в обратном порядке, измеряют вторые значения частоты переменных напряжений
Figure 00000053
дополнительно измеряют температуру Tо опорного диода и определяют разность между температурами контролируемых точек Tm и температурой Tо базисной точки поля по формуле
Figure 00000054

а относительные разности температур по формуле
Figure 00000055

по которым судят о неравномерности температурного поля.
THE METHOD FOR DETERMINING THE TEMPERATURE FIELD UNEQUISITY, which consists in placing temperature sensors based on semiconductor diodes at controlled points in the temperature field, connecting the temperature sensors through a switch to a measuring transducer, passing through the open pn junction of the diode a predetermined direct current value that does not cause additional heating, convert the voltage drop across the diode to alternating voltage, the frequency value of which determines the temperature of the diodes at controlled points in the field, from ichayuschiysya in that one of the monitored points selected basal and placed therein a reference diode in the remaining measuring points control diodes, after the frequency measurement
Figure 00000050
corresponding to the temperature of the reference diode, a current of a given value is passed alternately through the first and m subsequent measuring diodes, the frequencies of the alternating voltages are measured
Figure 00000051
increase the current through the pn junction of the last measuring diode to a value that is 2 3 times greater than the initial current, without changing the thermal state of the diode, measure the second frequency value
Figure 00000052
alternating voltage, then the same current is passed through the open transitions of the measuring and reference diodes in the reverse order, the second values of the frequency of the alternating voltages are measured
Figure 00000053
additionally measure the temperature T about the reference diode and determine the difference between the temperatures of the controlled points T m and the temperature T about the base point of the field according to the formula
Figure 00000054

and relative temperature differences according to the formula
Figure 00000055

by which they judge the unevenness of the temperature field.
SU5044044 1992-04-07 1992-04-07 Method of measuring nonuniformity of temperature field RU2051342C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU5044044 RU2051342C1 (en) 1992-04-07 1992-04-07 Method of measuring nonuniformity of temperature field

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU5044044 RU2051342C1 (en) 1992-04-07 1992-04-07 Method of measuring nonuniformity of temperature field

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2051342C1 true RU2051342C1 (en) 1995-12-27

Family

ID=21605159

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU5044044 RU2051342C1 (en) 1992-04-07 1992-04-07 Method of measuring nonuniformity of temperature field

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2051342C1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2538070C1 (en) * 2013-07-18 2015-01-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники" Method for contactless determination of temperature field non-uniformity in semiconductor light sources

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. Фогельсон И.Б. Транзисторные термодатчики. М.: Советское радио, 1972, с.31-33. *
2. Цапенко М.П. Измерительные информационные системы. М.: Энергоатомиздат, 1985, с.113-115. *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2538070C1 (en) * 2013-07-18 2015-01-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники" Method for contactless determination of temperature field non-uniformity in semiconductor light sources

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6554469B1 (en) Four current transistor temperature sensor and method
US3092998A (en) Thermometers
US3891391A (en) Fluid flow measuring system using improved temperature compensation apparatus and method
US4043195A (en) Digital thermodynamic flow-meter
US3754442A (en) Temperature measuring system producing linear output signal from non-linear sensing resistance
US6736540B1 (en) Method for synchronized delta-VBE measurement for calculating die temperature
US6808307B1 (en) Time-interleaved sampling of voltages for improving accuracy of temperature remote sensors
McNamara Semiconductor diodes and transistors as electrical thermometers
US20140314124A1 (en) Circuits and methods for determining the temperature of a transistor
GB2122347A (en) Improvements in or relating to methods of and apparatuses for determining heat transfer coefficients
JP3226715B2 (en) Measuring device
US20050220171A1 (en) Temperature measurement of an integrated circuit
US3430077A (en) Semiconductor temperature transducer
US8628240B2 (en) Temperature measurement using a diode with saturation current cancellation
US4011746A (en) Liquid density measurement system
US3604957A (en) Temperature measurement having sensor and reference diodes at inputs of regenerative differential amplifier
RU2051342C1 (en) Method of measuring nonuniformity of temperature field
Bernstein Measuring Electronics and Sensors
US3461380A (en) Thermocouple reference junction compensating circuits
Wolfendale A precise automatic ac potentiometer for low temperature resistance thermometry
US4090151A (en) Temperature sensing device for producing alternating electric signals whose period is a function of a temperature
CN111089609A (en) Sensor circuit with offset compensation
GB2109938A (en) Temperature measuring circuit using semi-conductor diode
RU2699931C1 (en) Device for measuring temperature fields
KR19980076201A (en) Temperature measuring device using RTD