RU2017126262A - ПОКРЫТИЕ НА ОСНОВЕ AlCrN, ОБЕСПЕЧИВАЮЩЕЕ ПОВЫШЕННУЮ УСТОЙЧИВОСТЬ К КРАТЕРНОМУ ИЗНОСУ - Google Patents

ПОКРЫТИЕ НА ОСНОВЕ AlCrN, ОБЕСПЕЧИВАЮЩЕЕ ПОВЫШЕННУЮ УСТОЙЧИВОСТЬ К КРАТЕРНОМУ ИЗНОСУ Download PDF

Info

Publication number
RU2017126262A
RU2017126262A RU2017126262A RU2017126262A RU2017126262A RU 2017126262 A RU2017126262 A RU 2017126262A RU 2017126262 A RU2017126262 A RU 2017126262A RU 2017126262 A RU2017126262 A RU 2017126262A RU 2017126262 A RU2017126262 A RU 2017126262A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
coating
layers
multilayer film
last part
coating according
Prior art date
Application number
RU2017126262A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2017126262A3 (ru
RU2712329C2 (ru
Inventor
Андерс Олоф ЭРИКССОН
Мирьям АРНДТ
Зебастиан ШТАЙН
Original Assignee
Ёрликон Серфис Сольюшнс Аг, Пфеффикон
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ёрликон Серфис Сольюшнс Аг, Пфеффикон filed Critical Ёрликон Серфис Сольюшнс Аг, Пфеффикон
Publication of RU2017126262A publication Critical patent/RU2017126262A/ru
Publication of RU2017126262A3 publication Critical patent/RU2017126262A3/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2712329C2 publication Critical patent/RU2712329C2/ru

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0641—Nitrides
    • C23C14/0647—Boron nitride
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/0021—Reactive sputtering or evaporation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/02—Pretreatment of the material to be coated
    • C23C14/024—Deposition of sublayers, e.g. to promote adhesion of the coating
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0641—Nitrides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/32—Vacuum evaporation by explosion; by evaporation and subsequent ionisation of the vapours, e.g. ion-plating
    • C23C14/325—Electric arc evaporation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • C23C14/46—Sputtering by ion beam produced by an external ion source
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/02—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings only including layers of metallic material
    • C23C28/021—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings only including layers of metallic material including at least one metal alloy layer
    • C23C28/022—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings only including layers of metallic material including at least one metal alloy layer with at least one MCrAlX layer
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C23C28/042—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material including a refractory ceramic layer, e.g. refractory metal oxides, ZrO2, rare earth oxides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C23C28/044—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material coatings specially adapted for cutting tools or wear applications
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/40—Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition
    • C23C28/42—Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition characterized by the composition of the alternating layers

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
  • Gear Processing (AREA)

Claims (17)

1. Покрытие (210), нанесенное на поверхность подложки (201), содержащее многослойную пленку (216), состоящую из группы слоев А и группы слоев В, нанесенных чередующимися друг на друга и образующих структуру А/В/А/В/А…, в которой слои А содержат нитрид алюминийхромбора, а слои В содержат нитрид алюминийхрома и не содержат бора, и отличающееся тем, что:
многослойная пленка (216) содержит по меньшей мере первую часть (216а) и последнюю часть (216с), причем среднее содержание бора в первой части (216а) покрытия выше, чем среднее содержание бора в последней части (216с) покрытия, и
как в первой части (216а), так и в последней части (216с) покрытия присутствуют собственные напряжения сжатия, причем собственное напряжение сжатия в первой части (216а) ниже, чем в последней части (216с) покрытия.
2. Покрытие по п. 1, отличающееся тем, что среднее содержание бора в его первой части (216а) по меньшей мере в 1,2 раза выше, чем в его последней части (216с).
3. Покрытие по п. 2, отличающееся тем, что среднее содержание бора в его первой части (216а) по меньшей мере в 1,4 раза выше, чем в его последней части (216с).
4. Покрытие по одному из пп. 1-3, отличающееся тем, что среднее содержание бора в его первой части (216а) максимум в 6 раз выше, чем в его последней части (216с).
5. Покрытие по одному из предыдущих пунктов, отличающееся тем, что собственное напряжение сжатия в первой части (216а) покрытия составляет около 2,5 ГПа или ниже.
6. Покрытие по одному из предыдущих пунктов, отличающееся тем, что собственное напряжение сжатия в последней части (216с) покрытия составляет около 3 ГПа или выше.
7. Покрытие по одному из предыдущих пунктов, отличающееся тем, что собственное напряжение сжатия в последней части (216с) покрытия не превышает 8 ГПа.
8. Покрытие по одному из предыдущих пунктов, отличающееся тем, что слои А в многослойной пленке (216) имеют состав элементов, который без учета примесей описывается формулой (AlxCryBz)N, где х>0, y>0 и z>0 представляют собой соответственно концентрацию в атомных процентах алюминия, хрома и бора, если при оценке состава элементов в соответствующих слоях А учитываются только алюминий, хром и бор.
9. Покрытие по одному из предыдущих пунктов, отличающееся тем, что слои В в многослойной пленке (216) имеют состав элементов, который без учета примесей описывается формулой (AlvCrw)N, где v>0 и w>0 представляют собой соответственно концентрацию в атомных процентах алюминия и хрома, если при оценке состава элементов в соответствующих слоях В учитываются только алюминий и хром.
10. Покрытие по п. 7 или 8, отличающееся тем, что коэффициенты x, y и z в слоях А удовлетворяют условиям 1≤x/y≤4,5 и/или 0,01≤z≤30.
11. Покрытие по одному из пп.7-9, отличающееся тем, что коэффициенты v и w в слоях В удовлетворяют условию 1≤v/w≤4,5.
12. Покрытие по одному из предыдущих пунктов, отличающееся тем, что оно содержит несущий слой (212), собственное напряжение сжатия в котором равно соответствующему напряжению в первой части (216а) многослойной пленки (216) или ниже этого напряжения.
13. Покрытие по одному из предыдущих пунктов, отличающееся тем, что оно содержит наружный слой (220), собственное напряжение сжатия в котором равно соответствующему напряжению в последней части (216с) многослойной пленки (216) или выше этого напряжения.
14. Способ изготовления покрытия по одному из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что по меньшей мере многослойную пленку (216) изготавливают с помощью методов физического осаждения из газовой фазы, предпочтительно с помощью метода электродугового ионного осаждения, а первую часть (216а) покрытия и последнюю часть (216с) покрытия в многослойной пленке (216) наносят, используя одну и ту же схему нанесения покрытия, включая одни и те же мишени и одни и те же параметры нанесения покрытия, за исключением потенциала смещения.
15. Способ по п. 14, отличающийся тем, что для нанесения первой части (216а) покрытия в многослойной пленке (216) используют отрицательный потенциал смещения, который по абсолютному значению ниже отрицательного потенциала смещения, используемого для нанесения последней части (216с) покрытия в многослойной пленке (216).
RU2017126262A 2014-12-22 2015-12-03 ПОКРЫТИЕ НА ОСНОВЕ AlCrN, ОБЕСПЕЧИВАЮЩЕЕ ПОВЫШЕННУЮ УСТОЙЧИВОСТЬ К КРАТЕРНОМУ ИЗНОСУ RU2712329C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102014018915.5 2014-12-22
DE102014018915.5A DE102014018915A1 (de) 2014-12-22 2014-12-22 AlCrN-basierte Beschichtung zur verbesserten Beständigkeit gegen Kolkverschleiß
PCT/EP2015/078553 WO2016102170A1 (en) 2014-12-22 2015-12-03 Alcrn-based coating providing enhanced crater wear resistance

Publications (3)

Publication Number Publication Date
RU2017126262A true RU2017126262A (ru) 2019-01-24
RU2017126262A3 RU2017126262A3 (ru) 2019-06-06
RU2712329C2 RU2712329C2 (ru) 2020-01-28

Family

ID=54884001

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2017126262A RU2712329C2 (ru) 2014-12-22 2015-12-03 ПОКРЫТИЕ НА ОСНОВЕ AlCrN, ОБЕСПЕЧИВАЮЩЕЕ ПОВЫШЕННУЮ УСТОЙЧИВОСТЬ К КРАТЕРНОМУ ИЗНОСУ

Country Status (18)

Country Link
US (1) US11035035B2 (ru)
EP (1) EP3134561B1 (ru)
JP (1) JP7080056B2 (ru)
KR (1) KR102464789B1 (ru)
CN (1) CN107002252B (ru)
AR (1) AR102991A1 (ru)
BR (1) BR112017013434B1 (ru)
CA (1) CA2971754A1 (ru)
DE (1) DE102014018915A1 (ru)
IL (1) IL253069B (ru)
MX (1) MX2017008350A (ru)
MY (1) MY182512A (ru)
PH (1) PH12017501170B1 (ru)
RU (1) RU2712329C2 (ru)
SG (1) SG11201705109RA (ru)
TW (1) TWI676713B (ru)
WO (1) WO2016102170A1 (ru)
ZA (1) ZA201704772B (ru)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106191772B (zh) * 2016-08-09 2018-07-31 上海理工大学 一种含有多相AlCrN纳米***层的高硬度CrAlN涂层及其制备方法
KR102205933B1 (ko) * 2017-01-16 2021-01-20 오에스지 가부시키가이샤 공구
CN108504998A (zh) * 2018-04-17 2018-09-07 广东正德材料表面科技有限公司 一种制备自分层复合结构铬铝氮超硬膜的镀膜处理方法
CN108531869B (zh) * 2018-04-17 2020-06-16 广东正德材料表面科技有限公司 一种制备超硬Cr-Al-N涂层的镀膜处理方法
EP3804891A4 (en) 2018-05-30 2022-02-23 Moldino Tool Engineering, Ltd. COATED CUTTING TOOL AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
KR102632073B1 (ko) * 2019-03-20 2024-02-01 가부시키가이샤 프로테리아루 피복 금형, 피복 금형의 제조 방법 및 경질 피막 형성용 타깃
CN111020475A (zh) * 2019-12-16 2020-04-17 苏州星蓝纳米技术有限公司 一种新型at涂层
WO2022129094A1 (en) 2020-12-14 2022-06-23 Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon Wear resistant coating produced from at least two different alcr-based targets
WO2022129644A1 (en) 2020-12-18 2022-06-23 Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon Hard alcr-based multilayer coating system, coated article and method for manufacturing the same
JP7312382B2 (ja) * 2021-03-18 2023-07-21 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
CN113667929B (zh) * 2021-07-02 2023-04-07 株洲钻石切削刀具股份有限公司 周期性多层涂层刀具及其制备方法
CN113817985B (zh) * 2021-11-24 2022-03-18 武汉中维创发工业研究院有限公司 纳米多层复合涂层及其制备方法和应用

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2090312C1 (ru) 1992-04-07 1997-09-20 Григорий Владимирович Болотников Способ получения покрытий на изделия из твердых сплавов
US5976716A (en) * 1996-04-04 1999-11-02 Kennametal Inc. Substrate with a superhard coating containing boron and nitrogen and method of making the same
JP3417907B2 (ja) 2000-07-13 2003-06-16 日立ツール株式会社 多層皮膜被覆工具
EP1245699B1 (en) 2001-03-30 2011-05-11 Hitachi Metals, Ltd. Coated tool for warm and/or hot working
RU2228387C2 (ru) * 2002-07-22 2004-05-10 Падеров Анатолий Николаевич Способ нанесения многослойного покрытия на металлические изделия
KR101035224B1 (ko) * 2004-07-08 2011-05-18 스미토모 덴키 고교 가부시키가이샤 압축 응력의 강도 분포를 갖는 피막을 구비한 표면 피복절삭공구
JP4634241B2 (ja) * 2004-07-08 2011-02-16 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具
JP4634245B2 (ja) * 2004-07-27 2011-02-16 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具
JP4380622B2 (ja) 2005-11-04 2009-12-09 日立ツール株式会社 多層皮膜被覆部材及びその製造方法
US7947363B2 (en) 2007-12-14 2011-05-24 Kennametal Inc. Coated article with nanolayered coating scheme
US8491989B2 (en) * 2008-07-09 2013-07-23 Oberlikon Trading AG, Truebbach Coating system, coated workpiece and method for manufacturing the same
EP2298954B1 (en) * 2009-09-18 2013-03-13 Sandvik Intellectual Property Ab A PVD method for depositing a coating onto a body and coated bodies made thereof
US8926722B2 (en) 2010-02-04 2015-01-06 Oerlikon Trading Ag, Truebbach Cutting tools with Al—Cr—B—N/Ti—Al—N multilayer coatings
MX347702B (es) * 2011-06-30 2017-05-09 Oerlikon Surface Solutions Ag Pfäffikon Recubrimiento de nanocapas para herramientas de alto rendimiento.
ES2702247T3 (es) 2012-04-16 2019-02-28 Oerlikon Surface Solutions Ag Pfaeffikon Herramientas de alto rendimiento que exhiben desgaste del cráter reducido en particular por las operaciones de maquinado en seco
KR101684412B1 (ko) * 2012-08-10 2016-12-08 가부시키가이샤 탕가로이 피복 공구

Also Published As

Publication number Publication date
MX2017008350A (es) 2018-03-01
SG11201705109RA (en) 2017-07-28
MY182512A (en) 2021-01-25
DE102014018915A1 (de) 2016-06-23
US20180044773A1 (en) 2018-02-15
JP7080056B2 (ja) 2022-06-03
JP2018505310A (ja) 2018-02-22
BR112017013434B1 (pt) 2022-06-28
BR112017013434A2 (pt) 2018-03-06
EP3134561B1 (en) 2020-02-19
CA2971754A1 (en) 2016-06-30
RU2017126262A3 (ru) 2019-06-06
PH12017501170A1 (en) 2017-12-11
TW201631214A (zh) 2016-09-01
PH12017501170B1 (en) 2017-12-11
IL253069B (en) 2020-10-29
RU2712329C2 (ru) 2020-01-28
IL253069A0 (en) 2017-08-31
TWI676713B (zh) 2019-11-11
US11035035B2 (en) 2021-06-15
KR20170097768A (ko) 2017-08-28
WO2016102170A1 (en) 2016-06-30
ZA201704772B (en) 2019-01-30
KR102464789B1 (ko) 2022-11-08
CN107002252A (zh) 2017-08-01
AR102991A1 (es) 2017-04-05
CN107002252B (zh) 2019-05-31
EP3134561A1 (en) 2017-03-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2017126262A (ru) ПОКРЫТИЕ НА ОСНОВЕ AlCrN, ОБЕСПЕЧИВАЮЩЕЕ ПОВЫШЕННУЮ УСТОЙЧИВОСТЬ К КРАТЕРНОМУ ИЗНОСУ
JP2019522113A5 (ru)
RU2010141746A (ru) Элемент, покрытый твердым материалом
RU2010141751A (ru) Элемент, покрытый твердым материалом
CN105143498B (zh) 铬基的氧化保护层
RU2585603C2 (ru) Элемент скольжения, в частности, поршневое кольцо с нанесенным покрытием
RU2007139636A (ru) Эрозионно стойкие покрытия и способы нанесения покрытий
RU2012148385A (ru) Твердое углеродное покрытие и способ его формирования
BR112012033085A2 (pt) estrutura supercondutora, e, método para produzir uma estrutura supercondutora
CN105765274A (zh) 活塞环及其制造方法
JP2013534972A5 (ru)
WO2009046476A8 (de) Verfahren zur herstellung eines gleitlagerelements mit einer bismuthaltigen gleitschicht
ATE502130T1 (de) Verfahren zur herstellung eines ultrabarriere- schichtsystems
MY188421A (en) Polymer coatings and methods for depositing polymer coatings
US20160115417A1 (en) Grey cast iron-doped diamond-like carbon coatings and methods for depositing same
JP2016030330A (ja) コーティングされた切削工具、及びコーティングされた切削工具の製造方法
EA202190745A1 (ru) Диспергируемые функционализированные по кромке графеновые пластинки
RU2017132486A (ru) Металлические полоса или лист с нанесенным покрытием на основе нитрида хрома, биполярная пластина и соответствующий способ их изготовления
JP2022088457A (ja) 窒化モリブデンベースの被覆を用いる摩耗及び／又は摩擦の低減
JP6523283B2 (ja) 優れた滑り特性と適切な硬度を有する窒化モリブデン
KR20150116523A (ko) 지르코늄 복합소재 코팅층 및 상기 코팅층의 형성 방법
RU2014139004A (ru) Режущий инструмент с износостойким покрытием
US20200255965A1 (en) Coating Laminated Body and Method for Producing the Same
EP3882370A4 (en) SUBSTRATE WITH WATER-REPELLENT OIL-REPELLENT COATING, EVAPORATION MATERIAL AND METHOD FOR MANUFACTURING SUBSTRATE WITH WATER-REPELLENT OIL-REPELLENT COATING
RU2015148306A (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента