RU2016328C1 - Valve unit - Google Patents

Abstract

FIELD: valve for physical and thermal equipment. SUBSTANCE: shutoff member with rod is installed in housing on diaphragm to overlap seat. Fitted on one end of rod coaxially with diaphragm is electret plate which is made to follow shape of diaphragm. Fitted on other end of rod is second diaphragm with second electret plate. Electret cylinder is installed between diaphragms coaxially with rod. Plates are installed at both sides of diaphragm. Their charges are unlike. Plates and cylinder are made of fluoroplastic. EFFECT: enlarged operating capabilities. 4 cl, 1 dwg

Description

Изобретение относится к трубопроводной арматуре для физико-термического оборудования и может быть использовано в эпитаксиальном, диффузионном, плазмохимическом и вакуумном оборудовании, а также в бытовой технике и других производствах. The invention relates to valves for physico-thermal equipment and can be used in epitaxial, diffusion, plasma-chemical and vacuum equipment, as well as in household appliances and other industries.

Известен клапанный узел, содержащий корпус с газовыми каналами и седлом, при этом соосно с седлом расположен стержень, соединенный с сильфоном [1]. Known valve assembly containing a housing with gas channels and a saddle, while coaxially with the saddle is a rod connected to a bellows [1].

Сильфонный клапанный узел обладает рядом серьезных недостатков при применении его в арматуре газов особой степени чистоты, так как развитая поверхность сильфона адсорбирует влагу, кислород и механические загрязнения. В результате этого процесс попадания химических и механических загрязнений в газовый поток совершенно неконтролируем, что резко снижает надежность сильфонного клапанного узла. The bellows valve assembly has a number of serious drawbacks when used in valves of high purity gases, since the developed surface of the bellows adsorbs moisture, oxygen and mechanical impurities. As a result of this, the process of chemical and mechanical contaminants entering the gas stream is completely uncontrollable, which drastically reduces the reliability of the bellows valve assembly.

Наиболее близким по технической сущности решением является клапанный узел, содержащий корпус, в полости которого установлен на диафрагме (мембране) с возможностью перекрытия седла корпуса запорный орган со стержнем [2]. The closest in technical essence solution is a valve assembly containing a housing, in the cavity of which is mounted on the diaphragm (membrane) with the possibility of overlapping the saddle of the housing shut-off body with a rod [2].

В известном клапанном узле загрязнение газа механическими частицами происходит в результате генерации этих частиц элементами системы подачи газов вследствие наличия сил трения, вибрации, выделения из сварных швов и т. д. При прохождении через мембранный клапанный узел газа последний контактирует с поверхностью мембраны, в результате чего происходит осаждение частиц на поверхности мембраны, что существенно снижает надежность клапанного узла. In the known valve assembly, gas pollution by mechanical particles occurs as a result of the generation of these particles by elements of the gas supply system due to the presence of friction, vibration, emission from the welds, etc. When passing through the membrane valve assembly, the gas contacts the membrane surface, as a result of which particles are deposited on the membrane surface, which significantly reduces the reliability of the valve assembly.

Цель изобретения - повышение надежности клапанного узла. The purpose of the invention is to increase the reliability of the valve assembly.

Для этого клапанный узел, содержащий корпус, в полости которого установлен на диафрагме с возможностью перекрытия седла корпуса запорный орган со стержнем, снабжен установленной на одном из концов стержня соосно с диафрагмой по крайней мере одной электретной пластиной, повторяющей форму диафрагмы. To this end, a valve assembly comprising a housing, in the cavity of which a locking member with a rod is mounted with a possibility of overlapping the housing seat with a diaphragm, is provided with at least one electret plate repeating the shape of the diaphragm mounted on one of the ends of the stem coaxially with the diaphragm.

Сущностью изобретения является также и то, что клапанный узел снабжен установленной на втором конце стержня второй диафрагмой с второй электретной пластиной и установленным между диафрагмами коаксиально стержню электретным цилиндром, при этом электретные пластины установлены с двух сторон диафрагмы и имеют разноименные заряды, а электронные пластины и цилиндр выполнены из фторопласта. The essence of the invention is also that the valve assembly is equipped with a second diaphragm mounted on the second end of the rod with a second electret plate and an electret cylinder mounted between the diaphragms coaxially with the rod, while the electret plates are mounted on both sides of the diaphragm and have opposite charges, and the electronic plates and cylinder made of ftoroplast.

На чертеже представлен общий вид клапанного узла. The drawing shows a General view of the valve assembly.

Клапанный узел содержит корпус 1 с газовым каналом 2, седло 3, расположенный соосно седлу 3 стержень 4 с закрепленными на нем первой 5 и второй 6 диафрагма. На каждом конце стержня 4 расположены на поверхности диафрагм 5 и 6 с обеих их сторон повторяющие их форму электретные пластины 7 - 10. Коаксиально стержню 4 между диафрагмами 5 и 6 установлен полый электретный цилиндр 11. The valve assembly comprises a housing 1 with a gas channel 2, a seat 3, a rod 4 located coaxially to the seat 3, with a first 5 and a second 6 diaphragm mounted on it. At each end of the rod 4 are located on the surface of the diaphragms 5 and 6 on both sides of them the electret plates 7 - 10 repeating their shape. Coaxially to the rod 4 between the diaphragms 5 and 6 a hollow electret cylinder 11 is installed.

Стержень 4 в данном узле является запорным органом и приводится в движение приводом, например электромагнитом. The rod 4 in this node is a locking member and is driven by a drive, such as an electromagnet.

Клапанный узел работает следующим образом. The valve assembly operates as follows.

При включении привода запорный орган - стержень 4 перемещается в вертикальной плоскости и открывает или закрывает седло 3. Поток газа, движущийся в газовом канале 2, контактирует с поверхностью электретных пластин 7 - 10, при этом загрязняющие газ частицы осаждаются на них. When the drive is turned on, the locking member - the rod 4 moves in a vertical plane and opens or closes the seat 3. The gas flow moving in the gas channel 2 is in contact with the surface of the electret plates 7 - 10, while gas-polluting particles are deposited on them.

Снабжение клапанного узла электретными пластинами, расположенными на концах стержня соосно с диафрагмами, и установленным между диафрагмами и коаксиально стержню полым электретным цилиндром, а также выполнение электретных пластин с разноименными зарядами из фторопласта (как и электретный цилиндр) позволяет создать постоянные условия для осаждения и удержания на их поверхностях загрязняющих газ частиц, что исключает возможность загрязнения элементов клапанного узла, а это значительно повышает его надежность. The supply of the valve assembly with electret plates located at the ends of the rod coaxially with the diaphragms and between the diaphragms and the coaxial rod of the hollow electret cylinder, as well as the implementation of electret plates with unlike charges from the fluoroplastic (like the electret cylinder) allows you to create constant conditions for deposition and retention on their surfaces polluting gas particles, which eliminates the possibility of contamination of the valve assembly elements, and this greatly increases its reliability.

Кроме этого, предлагаемый клапанный узел позволяет увеличить долговечность клапанного узла, повысить его функциональные возможности за счет его использования при работе с особо чистыми средами, а также его использования в физико-термическом оборудовании влияет на снижение привносимой дефектности. In addition, the proposed valve assembly allows to increase the durability of the valve assembly, to increase its functionality due to its use when working with very clean environments, as well as its use in physical and thermal equipment, which reduces the introduced defectiveness.

Claims (4)

1. КЛАПАННЫЙ УЗЕЛ, содержащий корпус, в полости которого установлен на диафрагме с возможностью перекрытия седла корпуса запорный орган со стержнем, отличающийся тем, что он снабжен установленной на одном из концов стержня соосно с диафрагмой по крайней мере одной электретной пластиной, повторяющей форму диафрагмы. 1. VALVE ASSEMBLY, comprising a body, in the cavity of which a shut-off body with a rod is installed with the possibility of overlapping the body seat with the possibility of overlapping the body saddle, characterized in that it is equipped with at least one electret plate repeating the shape of the diaphragm mounted at one end of the rod. 2. Узел по п. 1, отличающийся тем, что он снабжен установленной на другом конце стержня другой диафрагмой с второй электретной пластиной и установленным между диафрагмами коаксиально стержню электретным цилиндром. 2. The node according to claim 1, characterized in that it is equipped with a different diaphragm mounted on the other end of the rod with a second electret plate and an electret cylinder mounted between the diaphragms coaxially to the rod. 3. Узел по п.1, отличающийся тем, что электретные пластины установлены с двух сторон диафрагмы и имеют разноименные заряды. 3. The node according to claim 1, characterized in that the electret plate is installed on both sides of the diaphragm and have opposite charges. 4. Узел по п.2, отличающийся тем, что электретные пластины и цилиндр выполнены из фторопласта. 4. The node according to claim 2, characterized in that the electret plate and the cylinder are made of fluoroplastic.

Images