RU2016118830A - Способ измерения толщины тонкой пленки и картирования топографии ее поверхности с помощью интерферометра белого света - Google Patents
Способ измерения толщины тонкой пленки и картирования топографии ее поверхности с помощью интерферометра белого света Download PDFInfo
- Publication number
- RU2016118830A RU2016118830A RU2016118830A RU2016118830A RU2016118830A RU 2016118830 A RU2016118830 A RU 2016118830A RU 2016118830 A RU2016118830 A RU 2016118830A RU 2016118830 A RU2016118830 A RU 2016118830A RU 2016118830 A RU2016118830 A RU 2016118830A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- film
- correlograms
- measured
- substrate
- thickness
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Claims (4)
1. Способ измерения толщины тонкой пленки и картирования топографии ее поверхности с помощью интерферометра белого света, характеризующийся тем, что подвергают воздействию белого света подложку с нанесенной измеряемой пленкой и измеряют набор коррелограмм, отличающийся тем, что предварительно подвергают воздействию белого света с ограниченной когерентностью подложку, не содержащую измеряемую пленку, и измеряют коррелограммы, после чего выделяют опорную коррелограмму; кроме того, измерение набора коррелограмм осуществляют по каждому пикселю, которые аппроксимируют взвешенной суммой двух или более опорных коррелограмм, вычисляют набор толщин пленки и положений ее подложки, по результатам которого строятся карты топографии поверхности и толщины пленки.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что опорную коррелограмму определяют на основании измерения поверхности подложки, не содержащую измеряемую пленку, характеризуя ее отражающие свойства, либо измерением на зеркале или другом объекте; опорных коррелограмм может быть одна или несколько.
3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что аппроксимацию коррелограмм, полученных при измерении подложки с нанесенной пленкой, выполняют с помощью взвешенной суммы опорных коррелограмм; при этом толщина пленки и ее положение в направлении сканирования являются параметрами аппроксимации; значения этих параметров, при которых достигается наилучшая аппроксимация, принимаются как истинные значения толщины пленки и ее положения.
4. Способ по п. 1, отличающийся тем, что интерполяцию коррелограмм выполняют путем расширения спектра гармониками высоких частот с нулевой амплитудой.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2016118830A RU2641639C2 (ru) | 2016-05-16 | 2016-05-16 | Способ измерения толщины тонкой пленки и картирования топографии ее поверхности с помощью интерферометра белого света |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2016118830A RU2641639C2 (ru) | 2016-05-16 | 2016-05-16 | Способ измерения толщины тонкой пленки и картирования топографии ее поверхности с помощью интерферометра белого света |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2016118830A true RU2016118830A (ru) | 2017-11-21 |
RU2641639C2 RU2641639C2 (ru) | 2018-01-18 |
Family
ID=63852058
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2016118830A RU2641639C2 (ru) | 2016-05-16 | 2016-05-16 | Способ измерения толщины тонкой пленки и картирования топографии ее поверхности с помощью интерферометра белого света |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2641639C2 (ru) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2701783C2 (ru) * | 2018-01-26 | 2019-10-01 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Нижегородский государственный архитектурно-строительный университет" (ННГАСУ) | Информационно-измерительная система контроля толщины и массы диэлектрических плоских изделий |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4999014A (en) * | 1989-05-04 | 1991-03-12 | Therma-Wave, Inc. | Method and apparatus for measuring thickness of thin films |
US7612891B2 (en) * | 2005-12-15 | 2009-11-03 | Veeco Instruments, Inc. | Measurement of thin films using fourier amplitude |
CN102478395B (zh) * | 2010-11-26 | 2013-05-29 | 宝山钢铁股份有限公司 | 在线检测带钢表面无铬涂层厚度的方法 |
GB2506115A (en) * | 2012-09-19 | 2014-03-26 | Dupont Teijin Films Us Ltd | An Interferometric Method for Profiling the Topography of a Sample Surface |
-
2016
- 2016-05-16 RU RU2016118830A patent/RU2641639C2/ru active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU2641639C2 (ru) | 2018-01-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Guo et al. | Least-squares calibration method for fringe projection profilometry | |
JP2004514125A (ja) | 位相間隙分析を含む高さ走査干渉分析方法および装置 | |
US9103651B2 (en) | Method and apparatus for determining a property of a surface | |
GB2575575A (en) | Radius-of-curvature measurement by spectrally-controlled interferometry | |
US8780334B1 (en) | Topographical profiling with coherence scanning interferometry | |
WO2018213758A3 (en) | MEASURING THE DIFFERENCE OF HEIGHT IN PATTERNS ON SEMICONDUCTOR WAFERS | |
RU2016118830A (ru) | Способ измерения толщины тонкой пленки и картирования топографии ее поверхности с помощью интерферометра белого света | |
RU2611981C2 (ru) | Способ и устройство для определения топографии отражающих поверхностей с покрытием | |
Chen et al. | Real-time scanner error correction in white light interferometry | |
KR20170078200A (ko) | 높은 단차 측정을 위한 이중 가간섭 백색광 주사 간섭계 | |
Zhou et al. | Eliminating the influence of source spectrum of white light scanning interferometry through time-delay estimation algorithm | |
Deng et al. | Spatial modulation-assisted scanning white-light interferometry for noise suppression | |
You et al. | Minimization of spectral phase errors in spectrally resolved white light interferometry by the iterative least-squared phase-shifting method | |
Lyu et al. | Low-frequency vibration measurement based on camera-projector system | |
CN208026759U (zh) | 用于piv实验的环状辐射片光发生装置 | |
Kiselev et al. | White light interferometry: Correlogram correlation for surface height gauging | |
Debnath et al. | Analysis of spectrally resolved white light interferometry by Hilbert transform method | |
Sicardi-Segade et al. | Analysis of the fringes visibility generated by a lateral cyclic shear interferometer in the retrieval of the three-dimensional surface information of an object | |
Sysoev et al. | Correction of scanning steps to improve accuracy in interferometric profilometer | |
CN112212805B (zh) | 一种基于复合编码的高效立体相位展开方法 | |
Jankovska et al. | Analysis of surface deformation by carrier frequency interferometry | |
Tapilouw et al. | Reduction of batwing effect in white light interferometry for measurement of patterned sapphire substrates (PSS) wafer | |
Sun et al. | Advanced method of global phase shift estimation from two linear carrier interferograms | |
WO2016024117A1 (en) | Apparatus for and a method of determining a characteristic of a sample | |
CN110793466A (zh) | 基于指数条纹和三角波条纹投影的三维测量方法 |