RU2016118830A - Способ измерения толщины тонкой пленки и картирования топографии ее поверхности с помощью интерферометра белого света - Google Patents

Claims (4)

1. Способ измерения толщины тонкой пленки и картирования топографии ее поверхности с помощью интерферометра белого света, характеризующийся тем, что подвергают воздействию белого света подложку с нанесенной измеряемой пленкой и измеряют набор коррелограмм, отличающийся тем, что предварительно подвергают воздействию белого света с ограниченной когерентностью подложку, не содержащую измеряемую пленку, и измеряют коррелограммы, после чего выделяют опорную коррелограмму; кроме того, измерение набора коррелограмм осуществляют по каждому пикселю, которые аппроксимируют взвешенной суммой двух или более опорных коррелограмм, вычисляют набор толщин пленки и положений ее подложки, по результатам которого строятся карты топографии поверхности и толщины пленки.

2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что опорную коррелограмму определяют на основании измерения поверхности подложки, не содержащую измеряемую пленку, характеризуя ее отражающие свойства, либо измерением на зеркале или другом объекте; опорных коррелограмм может быть одна или несколько.

3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что аппроксимацию коррелограмм, полученных при измерении подложки с нанесенной пленкой, выполняют с помощью взвешенной суммы опорных коррелограмм; при этом толщина пленки и ее положение в направлении сканирования являются параметрами аппроксимации; значения этих параметров, при которых достигается наилучшая аппроксимация, принимаются как истинные значения толщины пленки и ее положения.

4. Способ по п. 1, отличающийся тем, что интерполяцию коррелограмм выполняют путем расширения спектра гармониками высоких частот с нулевой амплитудой.