RU2012108615A - Трибология в сочетании с коррозионной стойкостью: новое семейство pvd-и pacvd-покрытий - Google Patents

Трибология в сочетании с коррозионной стойкостью: новое семейство pvd-и pacvd-покрытий Download PDF

Info

Publication number
RU2012108615A
RU2012108615A RU2012108615/02A RU2012108615A RU2012108615A RU 2012108615 A RU2012108615 A RU 2012108615A RU 2012108615/02 A RU2012108615/02 A RU 2012108615/02A RU 2012108615 A RU2012108615 A RU 2012108615A RU 2012108615 A RU2012108615 A RU 2012108615A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
layer
dlc
substrate
substrate according
point defects
Prior art date
Application number
RU2012108615/02A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2553803C2 (ru
Inventor
Астрид ГИЗ
Original Assignee
Эрликон Трейдинг Аг, Трюббах
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Эрликон Трейдинг Аг, Трюббах filed Critical Эрликон Трейдинг Аг, Трюббах
Publication of RU2012108615A publication Critical patent/RU2012108615A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2553803C2 publication Critical patent/RU2553803C2/ru

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0605—Carbon
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/02—Pretreatment of the material to be coated
    • C23C14/024—Deposition of sublayers, e.g. to promote adhesion of the coating
    • C23C14/025—Metallic sublayers
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/58—After-treatment
    • C23C14/584—Non-reactive treatment
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/30—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer
    • C23C28/32—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one pure metallic layer
    • C23C28/322—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one pure metallic layer only coatings of metal elements only
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/30—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer
    • C23C28/34—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one inorganic non-metallic material layer, e.g. metal carbide, nitride, boride, silicide layer and their mixtures, enamels, phosphates and sulphates
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/30—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer
    • C23C28/34—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one inorganic non-metallic material layer, e.g. metal carbide, nitride, boride, silicide layer and their mixtures, enamels, phosphates and sulphates
    • C23C28/341—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one inorganic non-metallic material layer, e.g. metal carbide, nitride, boride, silicide layer and their mixtures, enamels, phosphates and sulphates with at least one carbide layer
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/30—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer
    • C23C28/34—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one inorganic non-metallic material layer, e.g. metal carbide, nitride, boride, silicide layer and their mixtures, enamels, phosphates and sulphates
    • C23C28/343—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one inorganic non-metallic material layer, e.g. metal carbide, nitride, boride, silicide layer and their mixtures, enamels, phosphates and sulphates with at least one DLC or an amorphous carbon based layer, the layer being doped or not
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/30—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer
    • C23C28/34—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one inorganic non-metallic material layer, e.g. metal carbide, nitride, boride, silicide layer and their mixtures, enamels, phosphates and sulphates
    • C23C28/347—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one inorganic non-metallic material layer, e.g. metal carbide, nitride, boride, silicide layer and their mixtures, enamels, phosphates and sulphates with layers adapted for cutting tools or wear applications
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/30—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer
    • C23C28/36—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including layers graded in composition or physical properties

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)

Abstract

1. Подложка, содержащая слой, включающий алмазоподобный углерод (DLC), закрывающий, по меньшей мере частично, поверхность подложки, отличающаяся тем, что по меньшей мере некоторые из точечных дефектов, предпочтительно большинство точечных дефектов DLC-содержащего слоя закрыты по меньшей мере одним материалом, отличным от DLC-содержащего слоя.2. Подложка по п.1, отличающаяся тем, что по меньшей мере один материал содержит Si, и тем, что, когда DLC-содержащий слой сам содержит Si, то есть в местах, не являющихся точечными дефектами, концентрация Si в по меньшей мере некоторых точечных дефектах DLC-содержащего слоя выше средней концентрации Si в DLC-содержащем слое.3. Подложка по п.1 или 2, отличающаяся тем, что по меньшей мере один материал покрывает слой, содержащий алмазоподобный углерод, тем самым закрывая точечные дефекты.4. Подложка по п.1 или 2, отличающаяся тем, что данный по меньшей мере один материал является одним из или комбинацией элементов из группы, состоящей из Si-C-H, Si-C-N, Si-C-H-N, однако предпочтительно Si-C-H.5. Подложка по п.3, отличающаяся тем, что этот, по меньшей мере один, материал является одним из или комбинацией элементов из группы, состоящей из Si-C-H, Si-C-N, Si-C-H-N, однако предпочтительно Si-C-H.6. Подложка по любому из пп.1, 2 или 5, отличающаяся тем, что между DLC-содержащим слоем и подложкой предусмотрен адгезионный слой, причем материал адгезионного слоя предпочтительно является материалом, выбранным из группы, состоящей из хрома, Cr-C, Si-C-H, Cr-Si и Cr-N или комбинации двух или более из них.7. Подложка по п.3, отличающаяся тем, что между DLC-содержащим слоем и подложкой предусмотрен адгезионный слой, причем материал адгезионного слоя предпочтите�

Claims (14)

1. Подложка, содержащая слой, включающий алмазоподобный углерод (DLC), закрывающий, по меньшей мере частично, поверхность подложки, отличающаяся тем, что по меньшей мере некоторые из точечных дефектов, предпочтительно большинство точечных дефектов DLC-содержащего слоя закрыты по меньшей мере одним материалом, отличным от DLC-содержащего слоя.
2. Подложка по п.1, отличающаяся тем, что по меньшей мере один материал содержит Si, и тем, что, когда DLC-содержащий слой сам содержит Si, то есть в местах, не являющихся точечными дефектами, концентрация Si в по меньшей мере некоторых точечных дефектах DLC-содержащего слоя выше средней концентрации Si в DLC-содержащем слое.
3. Подложка по п.1 или 2, отличающаяся тем, что по меньшей мере один материал покрывает слой, содержащий алмазоподобный углерод, тем самым закрывая точечные дефекты.
4. Подложка по п.1 или 2, отличающаяся тем, что данный по меньшей мере один материал является одним из или комбинацией элементов из группы, состоящей из Si-C-H, Si-C-N, Si-C-H-N, однако предпочтительно Si-C-H.
5. Подложка по п.3, отличающаяся тем, что этот, по меньшей мере один, материал является одним из или комбинацией элементов из группы, состоящей из Si-C-H, Si-C-N, Si-C-H-N, однако предпочтительно Si-C-H.
6. Подложка по любому из пп.1, 2 или 5, отличающаяся тем, что между DLC-содержащим слоем и подложкой предусмотрен адгезионный слой, причем материал адгезионного слоя предпочтительно является материалом, выбранным из группы, состоящей из хрома, Cr-C, Si-C-H, Cr-Si и Cr-N или комбинации двух или более из них.
7. Подложка по п.3, отличающаяся тем, что между DLC-содержащим слоем и подложкой предусмотрен адгезионный слой, причем материал адгезионного слоя предпочтительно является материалом, выбранным из группы, состоящей из хрома, Cr-C, Si-C-H, Cr-Si и Cr-N или комбинации двух или более из них.
8. Подложка по п.4, отличающаяся тем, что между DLC-содержащим слоем и подложкой предусмотрен адгезионный слой, причем материал адгезионного слоя предпочтительно является материалом, выбранным из группы, состоящей из хрома, Cr-C, Si-C-H, Cr-Si и Cr-N или комбинации двух или более из них.
9. Подложка по любому из пп.1, 2, 5, 7 или 8, отличающаяся тем, что между DLC-слоем и подложкой предусмотрен промежуточный слой, причем концентрация DLC-материала предпочтительно возрастает в форме градиентного слоя, наиболее предпочтительно непрерывно или ступенчато.
10. Подложка по п.3, отличающаяся тем, что между DLC-слоем и подложкой предусмотрен промежуточный слой, причем концентрация DLC-материала предпочтительно возрастает в форме градиентного слоя, наиболее предпочтительно непрерывно или ступенчато.
11. Подложка по п.4, отличающаяся тем, что между DLC-слоем и подложкой предусмотрен промежуточный слой, причем концентрация DLC-материала предпочтительно возрастает в форме градиентного слоя, наиболее предпочтительно непрерывно или ступенчато.
12. Подложка по п.6, отличающаяся тем, что между DLC-слоем и подложкой предусмотрен промежуточный слой, причем концентрация DLC-материала предпочтительно возрастает в форме градиентного слоя, наиболее предпочтительно непрерывно или ступенчато.
13. Способ получения износостойкой и коррозионностойкой поверхности на подложке, причем указанный способ содержит следующие этапы:
- подготовка подложки,
- покрытие указанной подложки слоем, содержащим алмазоподобный углерод (DLC), причем указанный DLC-содержащий слой имеет точечные дефекты,
- закрывание по меньшей мере некоторых, предпочтительно большинства, наиболее предпочтительно по существу всех точечных дефектов DLC-содержащего слоя кроющим слоем с материалом покрытия, отличающимся от материала, образующего DLC-содержащий слой.
14. Способ по п.13, отличающийся тем, что до нанесения DLC-содержащего слоя поверхность покрывают адгезионным слоем, причем указанный адгезионный слой предпочтительно является слоем хрома.
RU2012108615/02A 2009-08-07 2010-08-04 Трибология в сочетании с коррозионной стойкостью: новое семейство pvd- и pacvd-покрытий RU2553803C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US23213709P 2009-08-07 2009-08-07
US61/232,137 2009-08-07
PCT/CH2010/000192 WO2011014974A1 (en) 2009-08-07 2010-08-04 Tribology combined with corrosion resistance: a new family of pvd- and pacvd coatings

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2012108615A true RU2012108615A (ru) 2013-09-20
RU2553803C2 RU2553803C2 (ru) 2015-06-20

Family

ID=42692117

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2012108615/02A RU2553803C2 (ru) 2009-08-07 2010-08-04 Трибология в сочетании с коррозионной стойкостью: новое семейство pvd- и pacvd-покрытий

Country Status (9)

Country Link
US (1) US9121092B2 (ru)
EP (1) EP2462254A1 (ru)
JP (1) JP6040028B2 (ru)
KR (1) KR101707259B1 (ru)
CN (1) CN102498232B (ru)
BR (1) BR112012002820A2 (ru)
IN (1) IN2012DN00944A (ru)
RU (1) RU2553803C2 (ru)
WO (1) WO2011014974A1 (ru)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5898437B2 (ja) * 2011-09-16 2016-04-06 太陽誘電ケミカルテクノロジー株式会社 非晶質炭素膜積層部材及びその製造方法
EP2628817B1 (en) * 2012-02-15 2016-11-02 IHI Hauzer Techno Coating B.V. A coated article of martensitic steel and a method of forming a coated article of steel
JP5892814B2 (ja) * 2012-02-29 2016-03-23 住友化学株式会社 防眩フィルム作製のための金型およびその製造方法
US9139908B2 (en) * 2013-12-12 2015-09-22 The Boeing Company Gradient thin films
CN104831250A (zh) * 2015-05-29 2015-08-12 依波精品（深圳）有限公司 一种应用于手表部件的纳米电镀方法及手表部件
RU2743353C9 (ru) * 2016-12-19 2022-01-12 СМСи КОРПОРЕЙШН Коррозионностойкий элемент конструкции
FR3082527B1 (fr) * 2018-06-18 2020-09-18 Hydromecanique & Frottement Piece revetue par un revetement de carbone amorphe non-hydrogene sur une sous-couche comportant du chrome, du carbone et du silicium
CN110527971B (zh) * 2019-10-12 2021-10-26 浙江工业大学 一种以Cr/Cr-Si为过渡层在不锈钢表面制备金刚石薄膜的方法
CN112676128A (zh) * 2020-12-14 2021-04-20 东莞市普拉提纳米科技有限公司 一种带有抗腐蚀和耐高温性能的dlc涂层及制备工艺

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0580164B1 (en) 1992-07-24 1999-01-07 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Magnetic recording medium and its manufacturing method
RU2114210C1 (ru) * 1997-05-30 1998-06-27 Валерий Павлович Гончаренко Способ формирования углеродного алмазоподобного покрытия в вакууме
DE10018143C5 (de) * 2000-04-12 2012-09-06 Oerlikon Trading Ag, Trübbach DLC-Schichtsystem sowie Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines derartigen Schichtsystems
DE10130308B4 (de) * 2001-06-22 2005-05-12 Thyssenkrupp Electrical Steel Ebg Gmbh Kornorientiertes Elektroblech mit einer elektrisch isolierenden Beschichtung
US20070042154A1 (en) * 2003-04-08 2007-02-22 Seagate Technology Llc Self-assembled monolayer enhanced DLC coatings
US7327535B2 (en) * 2003-05-08 2008-02-05 Sae Magnetics (H.K.) Ltd. Hybrid coating for magnetic heads
WO2005054539A1 (en) * 2003-12-02 2005-06-16 N.V. Bekaert S.A. A layered structure
US7244521B2 (en) * 2003-12-19 2007-07-17 Seagate Technology Llc System and method for improving corrosion resistance of magnetic media
US8033550B2 (en) * 2005-05-26 2011-10-11 Sulzer Metaplas Gmbh Piston ring having hard multi-layer coating
CN101743338B (zh) 2007-05-25 2013-10-16 奥尔利康贸易股份公司（特吕巴赫） 真空处理设备和真空处理方法
JP4728306B2 (ja) * 2007-09-18 2011-07-20 トーカロ株式会社 静電チャック部材およびその製造方法
GB2455993B (en) 2007-12-28 2012-09-05 Hauzer Techno Coating Bv A corrosion resistant coated article

Also Published As

Publication number Publication date
WO2011014974A1 (en) 2011-02-10
JP2013501143A (ja) 2013-01-10
KR20120038471A (ko) 2012-04-23
US20120161156A1 (en) 2012-06-28
CN102498232B (zh) 2014-04-16
US9121092B2 (en) 2015-09-01
CN102498232A (zh) 2012-06-13
JP6040028B2 (ja) 2016-12-07
IN2012DN00944A (ru) 2015-04-10
KR101707259B1 (ko) 2017-02-15
RU2553803C2 (ru) 2015-06-20
EP2462254A1 (en) 2012-06-13
BR112012002820A2 (pt) 2016-08-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2012108615A (ru) Трибология в сочетании с коррозионной стойкостью: новое семейство pvd-и pacvd-покрытий
RU2012142813A (ru) Скользящий элемент, в частности, поршневое кольцо, и способ покрытия скользящего элемента
WO2010004396A3 (en) Friction- and wear-reducing coating
KR102093530B1 (ko) 저항성 코팅을 가지는 슬라이딩 요소, 특히 피스톤 링
ATE531071T1 (de) Vorrichtung zur veränderung von oberflächen
RU2013129841A (ru) Элемент скольжения, в частности поршневое кольцо с нанесенным покрытием
WO2008014987A3 (en) Method for deposition of chromium layers as hard- chrome plating, electroplating bath and hard- chrome surfaces
DE502006005651D1 (de) Verschleißfeste Beschichtung und Verfahren zur Herstellung derselben
MY139973A (en) Coated substrate with a curved surface, and a method for production of a coated substrate such as this
RU2011151547A (ru) Скользящий элемент
ATE555067T1 (de) Kratzfeste silikonbeschichtung für kochflächen aus glas oder glaskeramik
EP3495533A3 (en) Cylinder liners with adhesive metallic layers and methods of forming the cylinder liners
EP2233602A3 (en) DLC film and coated member
RU2015135363A (ru) Скользящий элемент, в частности поршневое кольцо, с покрытием
ATE502137T1 (de) Gemeinsames gestell für galvanisierungs- und pvd- beschichtungsoperationen
JP2009517016A5 (ru)
GB201216405D0 (en) Multilayer coated wear-resistant member and method for making the same
JP2010193836A (ja) Ｄｌｃコーティングルアー
TW200609380A (en) Method of making a corrosion-resistant non-stick coating
IN2015DN02108A (ru)
JP2014530772A5 (ru)
EA201001020A1 (ru) Стеклянное изделие и способ изготовления стеклянного изделия
EA201190323A1 (ru) Защитное покрытие, способ защиты подложки и применение этого способа
ATE528023T1 (de) Konstruierte oberflächen zur verwendung in medizinischen implantaten oder instrumenten
MY149534A (en) Appliance with coated transparency

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20190805