Claims (2)
1. Способ задания давления в контролируемом объеме, заключающийся в том, что с помощью схемы регулирования давления и трубопроводной магистрали задают «грубо» установленное значение давления в контролируемом объеме, затем периодически измеряют в нем давление и, при отклонении его величины от заданной, вычисляют количество сжатого газа, которое необходимо ввести в контролируемом объеме или удалить из него, и подавая или удаляя необходимое количество газа с помощью схемы регулирования до достижения в контролируемом объеме давления, которое затем «прецизионно» поддерживают для того, чтобы обеспечить его в контролируемом объеме, отличающийся тем, что «прецизионное» регулирование величины давления в контролируемом объеме производят, меняя сопротивление трубопроводной магистрали в схеме регулирования при задании избыточного давления от минимального значения, обеспечиваемого включением впускного клапана и всех клапанов элементов регулирования расхода схемы регулирования, и до максимального значения, соответствующего сумме сопротивлений всех дросселей, достигаемого выключением поэтапно всех клапанов элементов регулирования расхода и затем впускного клапана при приближении задаваемого избыточного давления к заданному значению, прекращая поступление газа, с последующим поддержанием заданного давления в контролируемом объеме с требуемой дискретностью изменения давления путем кратковременного открытия впускного клапана для подачи газа или выпускного клапана для отвода газа из рабочей емкости, а при задании разрежения - от минимального сопротивления включением выпускного клапана и всех клапанов элементов регулирования расхода схемы регулирования и до максимального значения сопротивления выключением всех клапанов элементов регулирования расхода и затем выпускного клапана при приближении разрежения к заданному значению, прекращая отвод газа из рабочей емкости, при этом дальнейшее поддержание заданного разрежения в контролируемом объеме с требуемой дискретностью производят путем кратковременного открытия впускного клапана для подачи газа или выпускного клапана для отвода газа из рабочей емкости.1. The method of setting the pressure in a controlled volume, which consists in the fact that using the pressure control circuit and the pipeline set a “roughly” set pressure value in the controlled volume, then periodically measure the pressure in it and, if its value deviates from the set value, calculate the amount compressed gas, which must be introduced into the controlled volume or removed from it, and supplying or removing the necessary amount of gas using the control circuit until the pressure in the controlled volume reaches The second one is then “precision” supported in order to provide it in a controlled volume, characterized in that the “precision” regulation of the pressure in the controlled volume is carried out by changing the resistance of the pipeline in the control circuit when setting the overpressure from the minimum value provided by turning on the intake valve and all valves of the flow control elements of the control circuit, and up to the maximum value corresponding to the sum of the resistances of all chokes achieved turning off all the valves of the flow control elements and then the inlet valve in stages when the set overpressure approaches the set value, stopping the gas supply, and then maintaining the set pressure in the controlled volume with the required pressure change discretion by briefly opening the gas inlet valve or exhaust valve for exhaust gas from the working tank, and when setting the vacuum - from the minimum resistance by turning on the exhaust valve and all valves flow control elements of the control circuit and to the maximum resistance value by turning off all valves of the flow control elements and then the exhaust valve when the vacuum approaches the set value, stopping gas removal from the working tank, while further maintaining the specified vacuum in a controlled volume with the required resolution is carried out by briefly opening an inlet valve for supplying gas or an exhaust valve for discharging gas from the working tank.
2. Установка для задания давления в контролируемом объеме, содержащая источники высокого и низкого давления, связанные параллельно через входные вентили и входную группу соответственно из впускного и выпускного клапанов со схемой регулирования, включающей в себя входную группу клапанов, трубопроводную магистраль для прохождения газа и последовательно соединенные между собой элементы регулирования расхода, а также рабочую емкость, снабженную датчиком давления и связанную через выходной вентиль с контролируемым объемом и системой управления, связанной также со схемой регулирования, отличающаяся тем, что входная группа клапанов состоит из параллельно соединенных впускного и выпускного клапанов, подключенных в одной точке непосредственно к первому из n элементов регулирования расхода, где n≥3, каждый из которых состоит из параллельно соединенных между собой клапана и дросселя, при этом источники давления связаны с входными вентилями через фильтры защиты системы регулирования от возможных загрязнений.
2. Installation for setting pressure in a controlled volume, containing sources of high and low pressure, connected in parallel through inlet valves and an inlet group, respectively, from the inlet and outlet valves with a control circuit including an inlet group of valves, a pipeline for gas passage and connected in series interconnected flow control elements, as well as a working tank equipped with a pressure sensor and connected through an outlet valve with a controlled volume and control system a phenomenon associated with the control circuit, characterized in that the inlet group of valves consists of parallel inlet and outlet valves connected at one point directly to the first of n flow control elements, where n≥3, each of which consists of parallel connected between a valve and a throttle, while the pressure sources are connected to the inlet valves through the protection filters of the control system from possible pollution.