RU2011143362A - Формирование ахроматического фазоконтрастного изображения - Google Patents
Формирование ахроматического фазоконтрастного изображения Download PDFInfo
- Publication number
- RU2011143362A RU2011143362A RU2011143362/07A RU2011143362A RU2011143362A RU 2011143362 A RU2011143362 A RU 2011143362A RU 2011143362/07 A RU2011143362/07 A RU 2011143362/07A RU 2011143362 A RU2011143362 A RU 2011143362A RU 2011143362 A RU2011143362 A RU 2011143362A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- diffraction grating
- phase
- forming apparatus
- image forming
- detector
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
- G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
- G21K1/00—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating
- G21K1/06—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diffraction, refraction or reflection, e.g. monochromators
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/50—Optics for phase object visualisation
- G02B27/52—Phase contrast optics
-
- G—PHYSICS
- G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
- G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
- G21K2207/00—Particular details of imaging devices or methods using ionizing electromagnetic radiation such as X-rays or gamma rays
- G21K2207/005—Methods and devices obtaining contrast from non-absorbing interaction of the radiation with matter, e.g. phase contrast
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
1. Устройство формирования фазоконтрастного изображения для исследования представляющего интерес объекта, причем устройство (100) содержит:источник (101) для генерации пучка излучения;детектор (102) для детектирования излучения после прохождения им представляющего интерес объекта (103);первую фазовую дифракционную решетку (104), расположенную между источником (101) и детектором (102) и имеющую первый шаг;вторую фазовую дифракционную решетку (105), расположенную между источником (101) и детектором (102) и имеющую второй шаг;при этом первый шаг отличается от второго шага.2. Устройство формирования изображения по п.1,в котором вторая фазовая дифракционная решетка (105) располагается поблизости от первой фазовой дифракционной решетки (104).3. Устройство формирования изображения по п.1,в котором вторая фазовая дифракционная решетка (105) располагается на предварительно определенном расстоянии от первой фазовой дифракционной решетки (104).4. Устройство формирования изображения по п.1,в котором первый шаг соответствует первой энергии излучения;в котором второй шаг соответствует второй энергии излучения; ив котором первая фазовая дифракционная решетка (104) имеет расстояние Тальбота для первой энергии; ивторая фазовая дифракционная решетка (105) имеет то же самое расстояние Тальбота для второй энергии.5. Устройство формирования изображения по п.4, в котором первая энергия в два раза больше второй энергии.6. Устройство формирования изображения по п.1, дополнительно содержащее:третью дифракционную решетку (106);где третья дифракционная решетка (106) представляет собой поглощательную дифракционную решетку, которая расположена перед детектором (102); �
Claims (15)
1. Устройство формирования фазоконтрастного изображения для исследования представляющего интерес объекта, причем устройство (100) содержит:
источник (101) для генерации пучка излучения;
детектор (102) для детектирования излучения после прохождения им представляющего интерес объекта (103);
первую фазовую дифракционную решетку (104), расположенную между источником (101) и детектором (102) и имеющую первый шаг;
вторую фазовую дифракционную решетку (105), расположенную между источником (101) и детектором (102) и имеющую второй шаг;
при этом первый шаг отличается от второго шага.
2. Устройство формирования изображения по п.1,
в котором вторая фазовая дифракционная решетка (105) располагается поблизости от первой фазовой дифракционной решетки (104).
3. Устройство формирования изображения по п.1,
в котором вторая фазовая дифракционная решетка (105) располагается на предварительно определенном расстоянии от первой фазовой дифракционной решетки (104).
4. Устройство формирования изображения по п.1,
в котором первый шаг соответствует первой энергии излучения;
в котором второй шаг соответствует второй энергии излучения; и
в котором первая фазовая дифракционная решетка (104) имеет расстояние Тальбота для первой энергии; и
вторая фазовая дифракционная решетка (105) имеет то же самое расстояние Тальбота для второй энергии.
5. Устройство формирования изображения по п.4, в котором первая энергия в два раза больше второй энергии.
6. Устройство формирования изображения по п.1, дополнительно содержащее:
третью дифракционную решетку (106);
где третья дифракционная решетка (106) представляет собой поглощательную дифракционную решетку, которая расположена перед детектором (102); и
где третья дифракционная решетка (106) имеет третий шаг, который отличается от первого шага и второго шага.
7. Устройство формирования изображения по п.6, в котором
поглощательная дифракционная решетка (106) имеет третий шаг, равный среднему гармоническому шагов указанных двух дифракционных решеток в виде
2 × (первый шаг × второй шаг)/(первый шаг + второй шаг).
8. Устройство по п.1, дополнительно содержащее:
четвертую дифракционную решетку (107), расположенную между источником (101) и представляющим интерес объектом (103);
при этом четвертая дифракционная решетка (107) имеет четвертый шаг, который отличается от первого шага и второго шага.
9. Устройство формирования изображения по п.1, дополнительно содержащее:
пятую дифракционную решетку (108);
где пятая дифракционная решетка (108) представляет собой фазовую дифракционную решетку, имеющую пятый шаг, отличающийся от первого шага и второго шага.
10. Устройство формирования изображения по п.1,
в котором источник (101) представляет собой источник рентгеновского излучения; и
в котором устройство приспособлено для использования в качестве устройства формирования дифференциального фазоконтрастного изображения на основе рентгеновского излучения.
11. Устройство формирования изображения по п.1,
которое приспособлено для использования в качестве устройства для формирования оптического изображения.
12. Модуль с фазовыми дифракционными решетками (104, 105) для устройства формирования фазоконтрастного изображения (300) для исследования представляющего интерес объекта, причем модуль (104, 105) содержит:
первую фазовую дифракционную решетку (104), размещаемую между источником (101) устройства формирования изображения и детектором (102) устройства формирования изображения, где первая фазовая дифракционная решетка имеет первый шаг;
вторую фазовую дифракционную решетку (105), размещаемую между источником (101) и детектором (102), где вторая фазовая решетка имеет второй шаг;
при этом первый шаг отличается от второго шага.
13. Способ формирования фазоконтрастного изображения для исследования представляющего интерес объекта, причем способ содержит этапы, при которых:
генерируют пучок излучения источником;
используют первую фазовую решетку (104), имеющую первый шаг и размещаемую между источником (101) и детектором (102) для создания первого изображения Тальбота, соответствующего первой энергии излучения, на расстоянии Тальбота от первой фазовой дифракционной решетки;
используют вторую фазовую дифракционную решетку (105), имеющую второй шаг и размещаемую между источником (101) и детектором (102) для создания второго изображения Тальбота, соответствующего второй энергии излучения, на том же самом расстоянии Тальбота от первой фазовой дифракционной решетки;
детектируют, с помощью детектора, пучок излучения после его прохождения через представляющий интерес объект (103) и первую и вторую фазовые дифракционные решетки;
при этом первый шаг отличается от второго шага.
14. Способ по п.13, дополнительно содержащий этап, на котором:
используют третью фазовую дифракционную решетку (108), имеющую третий шаг, и размещаемую между источником (101) и детектором (102) для создания третьего изображения Тальбота, соответствующего третьей энергии излучения, на том же расстоянии Тальбота от первой фазовой дифракционной решетки;
при этом третий шаг отличается от первого шага и второго шага.
15. Способ по п.13, кроме того, содержащий этап, на котором:
используют поглощательную дифракционную решетку, имеющую шаг, равный среднему гармоническому шагов указанных двух дифракционных решеток, выраженному как
2 × (первый шаг × второй шаг)/(первый шаг + второй шаг);
где поглощательная дифракционная решетка расположена перед детектором.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP09156457.5 | 2009-03-27 | ||
EP09156457 | 2009-03-27 | ||
PCT/IB2010/051198 WO2010109390A1 (en) | 2009-03-27 | 2010-03-19 | Achromatic phase-contrast imaging |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2011143362A true RU2011143362A (ru) | 2013-05-10 |
RU2543994C2 RU2543994C2 (ru) | 2015-03-10 |
Family
ID=42224769
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2011143362/07A RU2543994C2 (ru) | 2009-03-27 | 2010-03-19 | Формирование ахроматического фазоконтрастного изображения |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9881710B2 (ru) |
EP (1) | EP2411985B1 (ru) |
JP (1) | JP5631967B2 (ru) |
CN (1) | CN102365687B (ru) |
RU (1) | RU2543994C2 (ru) |
WO (1) | WO2010109390A1 (ru) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2631183C2 (ru) * | 2012-08-20 | 2017-09-19 | Конинклейке Филипс Н.В. | Юстировка расстояния от решетки источника до фазовой решетки для фазовой настройки в несколько порядков при дифференциальной фазово-контрастной визуализации |
RU2663176C2 (ru) * | 2013-09-30 | 2018-08-01 | Конинклейке Филипс Н.В. | Устройство получения дифференциального фазоконтрастного изображения с подвижной решеткой(ами) |
Families Citing this family (39)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012000694A1 (en) * | 2010-06-28 | 2012-01-05 | Paul Scherrer Institut | A method for x-ray phase contrast and dark-field imaging using an arrangement of gratings in planar geometry |
JP2012135612A (ja) * | 2010-12-07 | 2012-07-19 | Fujifilm Corp | 放射線位相画像撮影方法および装置 |
JP2012148068A (ja) * | 2010-12-27 | 2012-08-09 | Fujifilm Corp | 放射線画像取得方法および放射線画像撮影装置 |
JP5792961B2 (ja) * | 2011-01-25 | 2015-10-14 | キヤノン株式会社 | トールボット干渉計及び撮像方法 |
US20150117599A1 (en) * | 2013-10-31 | 2015-04-30 | Sigray, Inc. | X-ray interferometric imaging system |
US9360439B2 (en) | 2012-12-19 | 2016-06-07 | Industrial Technology Research Institute | Imaging system |
US8989347B2 (en) | 2012-12-19 | 2015-03-24 | General Electric Company | Image reconstruction method for differential phase contrast X-ray imaging |
US9724063B2 (en) | 2012-12-21 | 2017-08-08 | Carestream Health, Inc. | Surrogate phantom for differential phase contrast imaging |
US10096098B2 (en) | 2013-12-30 | 2018-10-09 | Carestream Health, Inc. | Phase retrieval from differential phase contrast imaging |
US9700267B2 (en) | 2012-12-21 | 2017-07-11 | Carestream Health, Inc. | Method and apparatus for fabrication and tuning of grating-based differential phase contrast imaging system |
US9494534B2 (en) | 2012-12-21 | 2016-11-15 | Carestream Health, Inc. | Material differentiation with phase contrast imaging |
US9907524B2 (en) | 2012-12-21 | 2018-03-06 | Carestream Health, Inc. | Material decomposition technique using x-ray phase contrast imaging system |
US9357975B2 (en) | 2013-12-30 | 2016-06-07 | Carestream Health, Inc. | Large FOV phase contrast imaging based on detuned configuration including acquisition and reconstruction techniques |
US10578563B2 (en) | 2012-12-21 | 2020-03-03 | Carestream Health, Inc. | Phase contrast imaging computed tomography scanner |
US9001967B2 (en) * | 2012-12-28 | 2015-04-07 | Carestream Health, Inc. | Spectral grating-based differential phase contrast system for medical radiographic imaging |
US20150055745A1 (en) * | 2013-08-23 | 2015-02-26 | Carl Zeiss X-ray Microscopy, Inc. | Phase Contrast Imaging Using Patterned Illumination/Detector and Phase Mask |
US10295485B2 (en) | 2013-12-05 | 2019-05-21 | Sigray, Inc. | X-ray transmission spectrometer system |
USRE48612E1 (en) | 2013-10-31 | 2021-06-29 | Sigray, Inc. | X-ray interferometric imaging system |
US10401309B2 (en) | 2014-05-15 | 2019-09-03 | Sigray, Inc. | X-ray techniques using structured illumination |
EP3169239B1 (en) * | 2014-07-17 | 2018-10-31 | Koninklijke Philips N.V. | Phase contrast imaging x-ray device provided with at least one movable grating |
EP3310259B1 (en) * | 2015-08-26 | 2018-11-14 | Koninklijke Philips N.V. | Dual energy differential phase contrast imaging |
US10247683B2 (en) | 2016-12-03 | 2019-04-02 | Sigray, Inc. | Material measurement techniques using multiple X-ray micro-beams |
JP6937380B2 (ja) | 2017-03-22 | 2021-09-22 | シグレイ、インコーポレイテッド | X線分光を実施するための方法およびx線吸収分光システム |
US10578566B2 (en) | 2018-04-03 | 2020-03-03 | Sigray, Inc. | X-ray emission spectrometer system |
JP7195341B2 (ja) | 2018-06-04 | 2022-12-23 | シグレイ、インコーポレイテッド | 波長分散型x線分光計 |
US11422292B1 (en) * | 2018-06-10 | 2022-08-23 | Apple Inc. | Super-blazed diffractive optical elements with sub-wavelength structures |
US10658145B2 (en) | 2018-07-26 | 2020-05-19 | Sigray, Inc. | High brightness x-ray reflection source |
US10656105B2 (en) | 2018-08-06 | 2020-05-19 | Sigray, Inc. | Talbot-lau x-ray source and interferometric system |
US10962491B2 (en) | 2018-09-04 | 2021-03-30 | Sigray, Inc. | System and method for x-ray fluorescence with filtering |
WO2020051221A2 (en) | 2018-09-07 | 2020-03-12 | Sigray, Inc. | System and method for depth-selectable x-ray analysis |
DE112020004169T5 (de) | 2019-09-03 | 2022-05-25 | Sigray, Inc. | System und verfahren zur computergestützten laminografieröntgenfluoreszenz-bildgebung |
US11175243B1 (en) | 2020-02-06 | 2021-11-16 | Sigray, Inc. | X-ray dark-field in-line inspection for semiconductor samples |
US11754767B1 (en) | 2020-03-05 | 2023-09-12 | Apple Inc. | Display with overlaid waveguide |
DE112021002841T5 (de) | 2020-05-18 | 2023-03-23 | Sigray, Inc. | System und Verfahren für Röntgenabsorptionsspektroskopie unter Verwendung eines Kristallanalysators und mehrerer Detektorelemente |
WO2022061347A1 (en) | 2020-09-17 | 2022-03-24 | Sigray, Inc. | System and method using x-rays for depth-resolving metrology and analysis |
KR20230109735A (ko) | 2020-12-07 | 2023-07-20 | 시그레이, 아이엔씨. | 투과 x-선 소스를 이용한 고처리량 3D x-선 이미징 시스템 |
US11813102B2 (en) * | 2021-10-06 | 2023-11-14 | Houxun Miao | Interferometer for x-ray phase contrast imaging |
WO2023177981A1 (en) | 2022-03-15 | 2023-09-21 | Sigray, Inc. | System and method for compact laminography utilizing microfocus transmission x-ray source and variable magnification x-ray detector |
US11885755B2 (en) | 2022-05-02 | 2024-01-30 | Sigray, Inc. | X-ray sequential array wavelength dispersive spectrometer |
Family Cites Families (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02263341A (ja) * | 1988-08-02 | 1990-10-26 | Minolta Camera Co Ltd | 光ピックアップ装置の格子 |
US5812629A (en) * | 1997-04-30 | 1998-09-22 | Clauser; John F. | Ultrahigh resolution interferometric x-ray imaging |
DE19954664B4 (de) * | 1999-11-13 | 2006-06-08 | Smiths Heimann Gmbh | Vorrichtung zur Bestimmung von kristallinen und polykristallinen Materialien eines Gegenstandes |
EP1446989B1 (en) * | 2001-10-30 | 2007-03-21 | Loma Linda University Medical Center | Device for aligning a patient for delivering radiotherapy |
JP4445397B2 (ja) * | 2002-12-26 | 2010-04-07 | 敦 百生 | X線撮像装置および撮像方法 |
EP1447046A1 (en) * | 2003-02-14 | 2004-08-18 | Paul Scherrer Institut | Apparatus and method to obtain phase contrast x-ray images |
DE102006046034A1 (de) * | 2006-02-01 | 2007-08-16 | Siemens Ag | Röntgen-CT-System zur Erzeugung projektiver und tomographischer Phasenkontrastaufnahmen |
DE102006015356B4 (de) * | 2006-02-01 | 2016-09-22 | Siemens Healthcare Gmbh | Verfahren zur Erzeugung projektiver und tomographischer Phasenkontrastaufnahmen mit einem Röntgen-System |
DE102006037281A1 (de) * | 2006-02-01 | 2007-08-09 | Siemens Ag | Röntgenoptisches Durchstrahlungsgitter einer Fokus-Detektor-Anordnung einer Röntgenapparatur zur Erzeugung projektiver oder tomographischer Phasenkontrastaufnahmen von einem Untersuchungsobjekt |
DE102006063048B3 (de) | 2006-02-01 | 2018-03-29 | Siemens Healthcare Gmbh | Fokus/Detektor-System einer Röntgenapparatur zur Erzeugung von Phasenkontrastaufnahmen |
DE102006037254B4 (de) * | 2006-02-01 | 2017-08-03 | Paul Scherer Institut | Fokus-Detektor-Anordnung zur Erzeugung projektiver oder tomographischer Phasenkontrastaufnahmen mit röntgenoptischen Gittern, sowie Röntgen-System, Röntgen-C-Bogen-System und Röntgen-Computer-Tomographie-System |
WO2007125833A1 (ja) * | 2006-04-24 | 2007-11-08 | The University Of Tokyo | X線撮像装置及びx線撮像方法 |
EP1879020A1 (en) * | 2006-07-12 | 2008-01-16 | Paul Scherrer Institut | X-ray interferometer for phase contrast imaging |
US7683300B2 (en) | 2006-10-17 | 2010-03-23 | Asml Netherlands B.V. | Using an interferometer as a high speed variable attenuator |
US20100080436A1 (en) * | 2007-02-21 | 2010-04-01 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | Radiographic imaging device and radiographic imaging system |
DE102007029730B4 (de) * | 2007-06-27 | 2017-06-08 | Paul Scherer Institut | Mess-System mit einem Phasenkontrast-Kontrastmittel und dessen Verwendung zur nicht-invasiven Bestimmung von Eigenschaften eines Untersuchungsobjektes |
WO2009058976A1 (en) * | 2007-10-30 | 2009-05-07 | Massachusetts Institute Of Technology | Phase-contrast x-ray imaging |
CN201191275Y (zh) * | 2007-11-23 | 2009-02-04 | 同方威视技术股份有限公司 | 一种x射线光栅相衬成像*** |
WO2009076700A1 (en) | 2007-12-14 | 2009-06-25 | Commonwealth Scientific And Industrial Research Organisation | Phase-contrast imaging method and apparatus |
WO2010146503A1 (en) | 2009-06-16 | 2010-12-23 | Koninklijke Philips Electronics N. V. | Correction method for differential phase contrast imaging |
JP5624253B2 (ja) | 2011-07-29 | 2014-11-12 | ザ・ジョンズ・ホプキンス・ユニバーシティ | 微分位相コントラストx線イメージングシステム及びそのためのコンポーネント |
US20140177789A1 (en) | 2012-12-21 | 2014-06-26 | Pavlo Baturin | Grating-based differential phase contrast imaging system with adjustable capture technique for medical radiographic imaging |
US9445775B2 (en) | 2013-08-19 | 2016-09-20 | University Of Houston System | Single step differential phase contrast x-ray imaging |
US9515113B2 (en) | 2013-08-27 | 2016-12-06 | Rambus Inc. | Optical sensing of nearby scenes with tessellated phase anti-symmetric gratings |
EP3042383A1 (de) | 2013-10-07 | 2016-07-13 | Siemens Healthcare GmbH | Phasenkontrast-röntgenbildgebungsvorrichtung und phasengitter für eine solche |
US9746405B2 (en) | 2014-05-09 | 2017-08-29 | General Electric Company | Method for elementally detecting variations in density |
US10170274B2 (en) | 2015-03-18 | 2019-01-01 | Battelle Memorial Institute | TEM phase contrast imaging with image plane phase grating |
-
2010
- 2010-03-19 RU RU2011143362/07A patent/RU2543994C2/ru active
- 2010-03-19 JP JP2012501447A patent/JP5631967B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2010-03-19 US US13/260,424 patent/US9881710B2/en active Active
- 2010-03-19 WO PCT/IB2010/051198 patent/WO2010109390A1/en active Application Filing
- 2010-03-19 CN CN201080014910.5A patent/CN102365687B/zh active Active
- 2010-03-19 EP EP10712556.9A patent/EP2411985B1/en active Active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2631183C2 (ru) * | 2012-08-20 | 2017-09-19 | Конинклейке Филипс Н.В. | Юстировка расстояния от решетки источника до фазовой решетки для фазовой настройки в несколько порядков при дифференциальной фазово-контрастной визуализации |
RU2663176C2 (ru) * | 2013-09-30 | 2018-08-01 | Конинклейке Филипс Н.В. | Устройство получения дифференциального фазоконтрастного изображения с подвижной решеткой(ами) |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102365687B (zh) | 2015-08-19 |
EP2411985B1 (en) | 2017-01-04 |
EP2411985A1 (en) | 2012-02-01 |
US20120020461A1 (en) | 2012-01-26 |
JP5631967B2 (ja) | 2014-11-26 |
JP2012521793A (ja) | 2012-09-20 |
CN102365687A (zh) | 2012-02-29 |
US9881710B2 (en) | 2018-01-30 |
RU2543994C2 (ru) | 2015-03-10 |
WO2010109390A1 (en) | 2010-09-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2011143362A (ru) | Формирование ахроматического фазоконтрастного изображения | |
JP2013113623A5 (ja) | 誘導ラマン散乱計測装置および誘導ラマン散乱計測方法 | |
WO2011122007A3 (en) | Imaging apparatus and imaging method | |
JP2019518547A5 (ru) | ||
WO2011146758A3 (en) | Hybrid x-ray optic apparatus and methods | |
WO2008142446A3 (en) | Energy dispersive x-ray absorption spectroscopy in scanning transmission mode involving the calculation of the intensity ratios between successive frequency bands | |
WO2008119969A3 (en) | Imaging of materials | |
WO2014169197A8 (en) | Systems and methods for structured illumination super-resolution phase microscopy | |
JP2012037352A5 (ru) | ||
ATE503198T1 (de) | Verbesserte gamma-bilderzeugungsvorrichtung | |
WO2011093523A3 (en) | X-ray imaging apparatus and x-ray imaging method | |
WO2014075792A3 (en) | Apparatus and method for inspecting seals of items | |
JP2011041795A5 (ru) | ||
WO2008126009A3 (en) | Reducing trap effects in a scintillator by application of secondary radiation | |
SG152162A1 (en) | An optical focus sensor, an inspection apparatus and a lithographic apparatus | |
JP2016114523A5 (ru) | ||
JP2013220218A5 (ru) | ||
WO2012032132A3 (de) | Dentale röntgeneinrichtung mit bilderfassungseinheit zur oberflächenerfassung und verfahren zur erzeugung einer röntgenaufnahme eines patienten | |
WO2011100222A3 (en) | Sample module with sample stream supported and spaced from window, for x-ray analysis system | |
JP2009520184A5 (ru) | ||
ATE468591T1 (de) | Erzeugung von röntgenbildern mit einem verringerten anteil an streustrahlung | |
JP2013031784A5 (ja) | X線撮像装置 | |
JP2012195545A5 (ja) | テラヘルツ波発生装置、カメラ、イメージング装置、計測装置および光源装置 | |
WO2014012641A3 (en) | Projection exposure apparatus for microlithography comprising an optical distance measurement system | |
ZA202000316B (en) | Convergent x-ray imaging device and method |