RU2008652C1 - Method of determining ellipsometric parameters of an object - Google Patents
Method of determining ellipsometric parameters of an object Download PDFInfo
- Publication number
- RU2008652C1 RU2008652C1 SU4934497A RU2008652C1 RU 2008652 C1 RU2008652 C1 RU 2008652C1 SU 4934497 A SU4934497 A SU 4934497A RU 2008652 C1 RU2008652 C1 RU 2008652C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- radiation
- information
- beams
- polarization
- parameters
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к оптико-физическим измерениям, а точнее - к эллипсометрии, и может найти применение в научных исследованиях, технологии и технике. The invention relates to optical-physical measurements, and more specifically to ellipsometry, and may find application in scientific research, technology and engineering.
Эллипсометрия известна как область оптико-физических измерений параметров тонких и сверхтонких слоев и пленок на поверхности жидких и твердых тел на основе изменений в состоянии поляризации электромагнитного излучения в результате его взаимодействия с изучаемым объектом. Эти измерения по сути своей являются бесконтактными и неразрушающими, а при некоторых условиях и невозмущающими изучаемый объект. Другая особенно ценная черта эллипсометрии состоит в возможности вести измерения и контроль параметров поверхностных слоев и процессов в режиме in situ, т. е. в процессе роста пленок, в ходе технологического процесса, при изучении быстротекущих процессов, а также и при использовании, в частности, импульсного излучения. Главные условия для осуществления таких измерений в режиме in situ состоят в соблюдении быстродействия, соответствующего характерным временам изучаемого или контролируемого процесса, и одновременности определения эллипсометрических параметров, характеризующих изучаемый объект. В качестве таких параметров выбирают поддающиеся экспериментальному определению эллипсометрические параметры ρ и Δ объекта, где ρ - отношение модулей ρр и ρs и Δ - разность фаз комплексных амплитудных коэффициентов отражения объектом компонент излучения с главными ортогональными линейными р- и s - поляризациями соответственно. Упомянутые параметры ρ и Δ определяются не только параметрами объекта, но и внешними условиями проведения эксперимента, такими как оптические характеристики окружающей среды, длина волны излучения и угол падения его на объект. Конкретный эксперимент по определению эллипсометрических параметров объекта, особенно в режиме in situ, проводят при известных и поддерживаемых неизменными в ходе эксперимента упомянутых выше внешних условиях. Однако возможность экспериментального определения только двух эллипсометрических параметров ρ и Δ объекта ограничивает информативность эллипсометрии в целом и снижает ее практическую ценность в частности, особенно в экспериментах in situ и при использовании импульсного излучения. Так, даже наиболее простой случай объекта, например непоглощающая пленка на непоглощающей подложке, требует для своего описания как минимум три параметра: показатели преломления n1 пленки и n2 подложки и толщину d пленки. Другой практически важный случай объекта, например поглощающая пленка на поглощающей подложке, требует для своего описания уже пять параметров: действительные n1, n2 и мнимые κ1, κ2 части комплексного показателя преломления соответственно пленки и подложки и толщину d пленки. При этом параметры n2 и κ2 для подложки обычно находят на основе предварительных измерений, но и в такой ситуации число независимых параметров, необходимых для описания объекта, остается равным как минимум трем, что больше числа экспериментально определяемых параметров ρ и Δ объекта. По этой причине связь измеряемых непосредственно и необходимых для описания объекта параметров зависит от выбираемой модели изучаемого объекта, что делает эллипсометрические измерения параметров объекта не прямыми, а косвенными, зависящими от модели объекта. Поэтому расширение информативности способа определения in situ эллипсометрических параметров объекта за счет увеличения числа непосредственно определяемых в эксперименте параметров является актуальной задачей эллипсометрии в целом и имеет большую ценность для многообразной практики контрольно-измерительной техники и современных технологий.Ellipsometry is known as the field of optical-physical measurements of the parameters of thin and ultrathin layers and films on the surface of liquid and solid bodies based on changes in the polarization state of electromagnetic radiation as a result of its interaction with the studied object. These measurements are inherently non-contact and non-destructive, and under certain conditions non-disturbing to the object under study. Another especially valuable feature of ellipsometry is the ability to measure and control the parameters of surface layers and processes in situ, i.e., during the growth of films, during the process, when studying fast processes, and also when using, in particular, pulsed radiation. The main conditions for performing such in situ measurements are observing the speed corresponding to the characteristic times of the process being studied or controlled, and the simultaneous determination of ellipsometric parameters characterizing the object under study. As such parameters, experimentally determinable ellipsometric parameters ρ and Δ of the object are chosen, where ρ is the ratio of the modules ρ p and ρ s and Δ is the phase difference of the complex amplitude reflection coefficients of the radiation components with the main orthogonal linear p and s polarizations, respectively. The mentioned parameters ρ and Δ are determined not only by the parameters of the object, but also by the external conditions of the experiment, such as the optical characteristics of the environment, the wavelength of the radiation, and the angle of incidence on the object. A specific experiment to determine the ellipsometric parameters of an object, especially in an in situ mode, is carried out under known and maintained unchanged during the experiment conditions mentioned above. However, the possibility of experimental determination of only two ellipsometric parameters ρ and Δ of an object limits the information content of ellipsometry as a whole and reduces its practical value in particular, especially in experiments in situ and when using pulsed radiation. So, even the simplest case of an object, for example, a non-absorbing film on a non-absorbing substrate, requires at least three parameters for its description: the refractive indices n 1 of the film and n 2 of the substrate and the thickness d of the film. Another practically important case of an object, for example, an absorbing film on an absorbing substrate, already requires five parameters for its description: the real n 1 , n 2 and imaginary κ 1 , κ 2 parts of the complex refractive index of the film and substrate, respectively, and the film thickness d. In this case, the parameters n 2 and κ 2 for the substrate are usually found on the basis of preliminary measurements, but even in this situation, the number of independent parameters needed to describe the object remains at least three, which is more than the number of experimentally determined parameters ρ and Δ of the object. For this reason, the relationship of the parameters measured directly and necessary for describing the object depends on the chosen model of the object being studied, which makes ellipsometric measurements of the parameters of the object not direct, but indirect, depending on the model of the object. Therefore, expanding the information content of the method for determining in situ ellipsometric parameters of an object by increasing the number of parameters directly determined in the experiment is an urgent task of ellipsometry as a whole and is of great value for the diverse practice of instrumentation and modern technologies.
Известны способы определения эллипсометрических параметров объекта [1] , заключающиеся в том, что пучок поляризационного электромагнитного излучения направляют на объект и после взаимодействия с ним посылают в измерительный канал, измеряют интенсивности пучка для ряда последовательных операций и в результате определяют два эллипсометрических параметра объекта. Known methods for determining the ellipsometric parameters of an object [1], namely, that a beam of polarized electromagnetic radiation is directed to the object and, after interacting with it, is sent to the measuring channel, the beam intensities are measured for a series of sequential operations, and as a result, two ellipsometric parameters of the object are determined.
Известен другой способ определения эллипсометрических параметров объекта, заключающийся в том, что пучок поляризованного излучения модулируют по амплитуде и по фазе с различными частотами, расщепляют светоделителем на два одинаковых пучка и направляют на объект и соответственно эталон, после взаимодействия с ними посылают упомянутые пучки попеременно в измерительный канал, измеряют интенсивности пучков на разных частотах модуляции и в результате определяют два эллипсометрических параметра объекта. Принципиальным недостатком известных способов, приведенных в [1] , и другого известного способа определения эллипсометрических параметров объекта является разновременность выполнения операций в измерительном канале с целью определения параметров ρ и Δ, что, во-первых, ограничивает быстродействие характерными временами на самих изучаемых процессов, а временами выполнения смены операций и, во-вторых, делает такие известные способы малопригодными для измерений в режиме in situ параметров слоев и процессов на поверхности различных тел. There is another method for determining the ellipsometric parameters of an object, namely, that a beam of polarized radiation is modulated in amplitude and phase with different frequencies, split by a beam splitter into two identical beams and sent to the object and, accordingly, a standard, after interacting with them, the mentioned beams are alternately sent to the measuring channel, measure the intensity of the beams at different modulation frequencies and as a result determine two ellipsometric parameters of the object. The fundamental disadvantage of the known methods described in [1] and another known method for determining the ellipsometric parameters of an object is the simultaneous execution of operations in the measuring channel in order to determine the parameters ρ and Δ, which, firstly, limits the performance by characteristic times on the studied processes themselves, and at times of performing the change of operations and, secondly, makes such known methods of little use for in situ measurements of the parameters of layers and processes on the surfaces of various bodies.
По этой причине в качестве ближайшего прототипа выбираем известный способ определения in situ эллипсометрических параметров объекта [2] , заключающийся в том, что пучок поляризованного электромагнитного излучения направляют на объект и после взаимодействия его с объектом разделяют на четыре информационных пучка с различными типами поляризации, измеряют интенсивности информационных пучков и определяют по их соотношениям эллипсометрические параметры объекта. Однако серьезным недостатком этого способа определения in situ эллипсометрических параметpов объекта остается упомянутая выше возможность определения одновременно только двух параметров ρ и Δ объекта, что ограничивает информативность способа. Другой серьезный недостаток этого способа заключается в том, что полученные параметры ρ и Δ несут в себе информацию не только об изучаемом объекте, но и об изменении поляризации излучения по всему его пути прохождения, которые вносят заметную аппаратную погрешность. For this reason, as the closest prototype, we select the well-known method for determining in situ ellipsometric parameters of an object [2], which consists in the fact that a beam of polarized electromagnetic radiation is directed to the object and, after interacting with the object, it is divided into four information beams with different types of polarization, and the intensities are measured information beams and determine by their relations the ellipsometric parameters of the object. However, a serious drawback of this method for determining the in situ ellipsometric parameters of an object remains the above-mentioned possibility of determining only two parameters ρ and Δ of an object at a time, which limits the information content of the method. Another serious drawback of this method is that the obtained parameters ρ and Δ carry information not only about the studied object, but also about the change in the polarization of radiation along its entire transmission path, which introduce a noticeable hardware error.
Цель изобретения - расширение информативности способа определения in situ эллипсометрических параметров объекта путем определения одновременно трех эллипсометрических параметров объекта. The purpose of the invention is the expansion of the information content of the method for determining in situ ellipsometric parameters of an object by determining simultaneously three ellipsometric parameters of an object.
Дополнительная цель изобретения - повышение точности измерений путем исключения аппаратурной погрешности. An additional objective of the invention is to improve the accuracy of measurements by eliminating hardware errors.
Цель достигается тем, что отщепляют одну - опорную часть от пучка излучения до взаимодействия его с объектом, направляют на объект другую - информационную часть пучка излучения, а отщепленную опорную часть пучка разделяют на четыре опорных пучка с различными типами поляризации, идентичными типам поляризации соответствующих информационных пучков, измеряют интенсивности опорных пучков одновременно с измерениями интенсивностей информационных пучков и определяют по их совместным соотношениям три эллипсометрических параметра объекта. При этом информационные пучки формируют из отраженной, а для частично пропускающего объекта - из пропущенной объектом доли информационной части пучка излучения. The goal is achieved by splitting one - the supporting part from the radiation beam before it interacts with the object, sending the other - the information part of the radiation beam to the object, and the split-off supporting part of the beam is divided into four reference beams with different types of polarization identical to the polarization types of the corresponding information beams , measure the intensities of the reference beams simultaneously with the measurements of the intensities of the information beams and determine by their joint relationships three ellipsometric parameters of the object. In this case, information beams are formed from the reflected, and for a partially transmitting object, from the portion of the information part of the radiation beam that is missed by the object.
С целью дальнейшего расширения информативности способа для частично пропускающего объекта и путем определения одновременно шести параметров объекта интенсивности информационных пучков от отраженной и пропущенной объектом доли информационной части пучка измеряют одновременно. In order to further expand the information content of the method for a partially transmitting object and by simultaneously determining six object parameters, the intensities of information beams from the reflected and missed object share of the information part of the beam is measured simultaneously.
Отщепляют опорную часть от пучка излучения до взаимодействия его с объектом любым известным способом с обеспечением в течение всего изучаемого или контролируемого процесса in situ постоянства характерных (для используемого известного способа отщепления опорной части от пучка излучения соотношений) между амплитудами и соответственно фазами компонент поляризованного излучения с главными ортогональными поляризациями в отщепленной опорной и оставшейся информационной частях пучка излучения. The reference part is split off from the radiation beam before it interacts with the object in any known manner, ensuring that throughout the entire studied or controlled process in situ the characteristics are constant (for the known known method of splitting the reference part from the radiation beam) between the amplitudes and, accordingly, the phases of the components of polarized radiation with the main orthogonal polarizations in the split reference and remaining information parts of the radiation beam.
П р и м е р 1. Отщепляют опорную часть от пучка излучения до взаимодействия его с объектом одинаковой по интенсивности и типу поляризации с оставшейся информационной частью пучка излучения, при этом обеспечивают повышение точности и упрощение процедуры определения эллипсометрических параметров объекта. Example 1. The reference part is split off from the radiation beam until it interacts with the object of the same intensity and type of polarization with the remaining information part of the radiation beam, while increasing accuracy and simplifying the procedure for determining the ellipsometric parameters of the object.
П р и м е р 2. Отщепляют опорную часть от пучка до взаимодействия его с объектом поляризованной по кругу, при этом повышают чувствительность способа к малым значениям фазового эллипсометрического параметра Δ объекта. PRI me
Разделяют отщепленную опорную часть непосредственно и оставшуюся информационную часть пучка излучения после взаимодействия ее с объектом на четыре опорных и соответственно информационных пучка с различными идентичными для соответственных опорных и информационных пучков типами поляризации по-разному и способы упомянутой операции разделения известны. The split-off reference part is separated directly and the remaining information part of the radiation beam after its interaction with the object into four reference and, accordingly, information beams with different polarization types that are identical for the respective reference and information beams, and the methods of the aforementioned separation operation are known.
П р и м е р 3. В принятом нами в качестве прототипа известном способе определения in situ эллипсометрических параметров объекта [2] пучок поляризованного электромагнитного излучения после взаимодействия его с объектом расщепляют светоделителем, расщепленные светоделителем пучки излучения разделяют линейными поляризационными призмами на четыре информационных пучка с различными типами поляризации, при этом одну из упомянутых призм устанавливают на отбор компонент пучка излучения с главными ортогональными линейными р- и s-поляризациями, а другую призму поворотом вокруг оси падающего на нее пучка излучения устанавливают так, что направление s-поляризации для упомянутой призмы составляет 45о с таковым направлением для падающего на нее излучения в системе координат главных линейных поляризаций излучения на объекте.Example 3. In the well-known method of determining the in situ ellipsometric parameters of an object [2], which we adopted as a prototype, a beam of polarized electromagnetic radiation after its interaction with an object is split by a beam splitter, beam splits split by a beam splitter are divided by linear polarization prisms into four information beams with different types of polarization, while one of the mentioned prisms is installed to select the components of the radiation beam with the main orthogonal linear p and s polarizations, and d by turning the other prism around the axis of the incident radiation beam so that the s-polarization direction for said prism is 45 ° with that direction for the radiation incident on it in the coordinate system of the main linear polarizations of the radiation at the object.
П р и м е р 4. Отщепленную опорную часть непосредственно и оставшуюся информационную часть пучка излучения после взаимодействия ее с объектом разделяют на четыре опорных и соответственно информационных пучка с различными идентичными для соответственных опорных и информационных пучков типами поляризации с обеспечением замены упомянутой выше установленной под углом 45о другой линейной поляризационной призмы круговой поляризационной призмой.Example 4. The split-off reference part directly and the remaining information part of the radiation beam after interacting with the object are divided into four reference and, respectively, information beams with different types of polarization identical for the respective reference and information beams, ensuring the replacement of the above 45 about another linear polarizing prism with a circular polarizing prism.
Одновременность измерений интенсивности опорных пучков с измерениями интенсивности информационных пучков обеспечивают тем, что при осуществлении предлагаемого способа не предусматривают и не используют какие-либо разновременные операции измерений интенсивностей опорных и информационных пучков излучения или операции переключения режимов работы, а также устанавливают равными в пределах точности измерений оптические пути для любого из опорных и информационных пучков излучения и не обнаруживают в пределах точности измерений временного сдвига в моментах отсчета результатов измерений интенсивности для любого из упомянутых опорных и информационных пучков излучения. The simultaneity of the measurements of the intensity of the reference beams with the measurements of the intensity of the information beams is ensured by the fact that during the implementation of the proposed method they do not provide for and do not use any multi-time operations for measuring the intensities of the reference and information beams of radiation or the operation of switching operating modes, and also set the optical paths for any of the reference and information radiation beams and do not detect within the accuracy of time measurements th shift points of reference intensity measurements for each of said reference and information light beams.
П р и м е р 5. Минимальную величину Δtмин временного сдвига в моментах отсчета результатов измерений интенсивности опорных и информационных пучков в видимой области спектра оценивают точностью установления равенства оптических путей для различных упомянутых пучков, при этом минимальную предельную точность (погрешность) измерения разницы Δl оптических путей оценивают примерно одной восьмой длины волны излучения и потому минимальную величину Δtмин оценивают около 0,2 фс.Example 5. The minimum value Δt min of the time shift at the moments of counting the results of measurements of the intensity of the reference and information beams in the visible region of the spectrum is estimated by the accuracy of establishing the equality of optical paths for the various mentioned beams, while the minimum limiting accuracy (error) of measuring the difference Δl optical paths estimate approximately one-eighth of the radiation wavelength and therefore the minimum value Δt min is estimated at about 0.2 fs.
П р и м е р 6. Минимальный временной сдвиг Δtмин в отсчетах результатов измерений интенсивностей опорных и информационных пучков излучения, отличного от видимого света, оценивают также точностью установления равенства оптических путей для каждого пучка.Example 6. The minimum time shift Δt min in the samples of the measurement results of the intensities of the reference and information beams of radiation other than visible light is also evaluated by the accuracy of establishing the equality of optical paths for each beam.
Необходимое для осуществления способа определения in situ эллипсометрических параметров объекта быстродействие измерений интенсивностей опорных и информационных пучков обеспечивают подбором характерных времен детектирования электромагнитного излучения, регистрации интенсивности упомянутых пучков и обработки результатов измерений существенно меньшими характерных времен изучаемых процессов. The speed of measuring the intensities of the reference and information beams necessary for implementing the method for determining the in situ ellipsometric parameters of an object is ensured by selecting characteristic times for detecting electromagnetic radiation, recording the intensities of the mentioned beams, and processing the measurement results substantially less than the characteristic times of the processes under study.
П р и м е р 7. Достигнутым быстродействием известных способов детектирования электромагнитного излучения, регистрации интенсивности пучков излучения, обработки результатов измерений обеспечивают изучение быстротекущих процессов in situ с характерными временами до единиц наносек - пикосек. Example 7. Achieved speed of the known methods for detecting electromagnetic radiation, recording the intensity of radiation beams, processing the measurement results provide the study of fast-moving processes in situ with characteristic times of up to several nanoseconds - picosecs.
Измерения интенсивностей опорных и информационных пучков осуществляют фотоприемниками электромагнитного излучения, при этом отбирают обычно фотоприемники для опорных и информационных пучков идентичными и оптически изотропными по динамической вольт-ваттной чувствительности, а также и пороговой чувствительности. The intensities of the reference and information beams are measured by photodetectors of electromagnetic radiation, while photodetectors for the reference and information beams are usually identical and optically isotropic in terms of dynamic volt-watt sensitivity and threshold sensitivity.
П р и м е р 8. Возможную погрешность при определении эллипсометрических параметров объекта из-за поляризационной зависимости динамической чувствительности фотоприемников линейно поляризованного излучения исключают преобразованием до измерения интенсивности такого пучка линейно поляризованного излучения линейной поляризации его в круговую поляризацию. EXAMPLE 8. A possible error in determining the ellipsometric parameters of an object due to the polarization dependence of the dynamic sensitivity of photodetectors of linearly polarized radiation is excluded by conversion to measuring the intensity of such a beam of linearly polarized linearly polarized radiation into circular polarization.
На чертеже представлена блок-схема устройства для осуществления предлагаемого способа, где показаны источник 1 излучения, блок 2 питания и пуска источника 1 излучения; линейный поляризатор 3, оптический столик 4 для установки линейного поляризатора 3 в пучок излучения, отщепитель 5, оптический столик 6, для установки отщепителя 5 в пучок излучения, объект 7, оптический столик 8 для установки объекта 7 в пучок излучения; 9о и 9и (9т) - каналы опорный и соответственно информационный для отражаемой (пропускаемой) объектом 7 доли информационной части пучка излучения, светоделители 10о и 10и в опорном и соответственно информационном каналах, оптические столики 11о и 11и для установки упомянутых светоделителей в пучок излучения. Линейные поляризационные призмы 12о и 12и в опорном и соответственно информационном каналах, оптические столики 13о и 13и для установки упомянутых поляризационных призм 12о и 12и в пучок излучения, круговые поляризационные призмы 14о и 14и в опорном и соответственно информационном каналах, оптические столики 15о и 15и для установки упомянутых круговых поляризационных призм в пучок излучения, фотоприемники 16о (1, 2, 3, 4) и 16и (1, 2, 3, 4) электромагнитного излучения в опорном и соответственно информационном каналах, система 17 регистрации, система 18 обработки, система 19 отображения, дополнительный источники 20 излучения; дополнительный линейный поляризатор 21. оптический столик 22 для установки дополнительного линейного поляризатора 21 в пучок излучения, плоскопараллельная стеклянная пластина 23, оптический столик 24 для установки пластины 23 в пучок излучения, анализирующие поляризаторы 25ои 25и для опорного и соответственно информационного каналов, оптические столики 26о и 26и для установки упомянутых анализаторов в пучок излучения, плоские отражатели 27о (1, 2) и 27и (1, 2) с отверстиями в опорном и соответственно информационном каналах, вспомогательные фотоприемники 28о (1, 2) и 28и (1, 2) в опорном и соответственно информационном каналах, при этом система 17 регистрации соединена с выходами фотоприемников 16о (1, 2, 3, 4) и 16и (1, 2, 3, 4), система 18 обработки соединена с системой 17 регистрации и блоком 2 питания и пуска источника излучения, система 19 отображения соединена с системой 18 обработки.The drawing shows a block diagram of a device for implementing the proposed method, which shows the
Предлагаемый способ осуществляется следующим образом (фиг. 1). The proposed method is as follows (Fig. 1).
Электромагнитное излучение от источника 1 излучения после пуска упомянутого источника блоком 2 питания и пуска направляют через линейный поляризатор 3, установленный на оптическом столике 4, на отщепитель 5 пучка излучения, установленный на оптическом столике 6, отделяют отщепителем 5 опорную часть 0 пучка излучения и направляют ее непосредственно в опорный канал 9о, в то же время оставшуюся информационную часть И пучка излучения направляют на объект 7 на оптическом столике 8 и после взаимодействия ее с объектом 7 направляют в информационный канал 9и, при этом отщепленная опорная 0 и оставшаяся информационная И части пучка излучения непосредственно на выходе из отщепителя 5 имеют одинаковую интенсивность и круговую поляризацию, далее отщепленную опорную часть 0 непосредственно и оставшуюся информационную часть И после ее взаимодействия с объектом разделяют на четыре опорных и соответственно информационных пучка с различными идентичными для соответственных опорных и информационных пучков типами поляризации, при этом опорную и информационную части пучка излучения расщепляют соответственно одинаковыми светоделителями 10о и 10и, установленными на оптических столиках 11о и соответственно 11и, на два пучка излучения 
Возможность определения одновременно трех эллипсометрических параметров ρр, ρs и Δ объекта, а в случае частично пропускающего излучения объекта и шести эллипсометрических параметров ρр, ρs, Δ и τр, τs, Δ 
В случае частично пропускающего излучения объекта на основе измерений интенсивности информационных пучков Iт1, Iт2, Iт3, Iт4 для пропускаемой объектом доли информационной части пучка излучения с выходов фотоприемников в информационном канале 9т для пропускаемой объектом доли информационной части пучка излучения формируют дополнительно четыре независимых относительных величины вида:
Одновременно достигают и дополнительную цель, поскольку исключают аппаратную погрешность, вносимую аппаратными диаметрами Ар, Аsи ΔА из-за изменений состояния поляризации пучка излучения на всем его пути прохождения.The ability to simultaneously determine three ellipsometric parameters ρ p , ρ s and Δ of the object, and in the case of partially transmitting radiation from the object and six ellipsometric parameters ρ p , ρ s , Δ and τ p , τ s , Δ
In the case of partially transmitting radiation from an object based on measurements of the intensity of information beams I t1 , I t2 , I t3 , I t4 , an additional four are formed for the transmitted part of the information part of the radiation beam from the outputs of the photodetectors in the 9 t channel for the transmitted part of the information part of the radiation beam independent relative values of the form:
At the same time, an additional goal is achieved, since they exclude the hardware error introduced by the hardware diameters A p , A s and Δ A due to changes in the polarization state of the radiation beam along its entire transmission path.
П р и м е р 9. На чертеже: 1 - непрерывно накачиваемый твердотельный лазер на АИГ: Nd3+ в режиме "обрывания импульса" с внутритрезонаторной генерерацией гармоник (основая мода λ= 1064 нм, длительность импульса τи ≅ 35 нс, пиковая мощность Рпик ≃ 500 Вт; вторая гармоника λ= 532 нм, τ< 25 нс, Рпик ≃ 10 Вт; частота повторения импульсов f ≃ 295 кГц, в режиме "обрывания импульса". f до 1 МГц); 2 - блок питания и пуска лазера 1; 3 - призма Глана-Фуко (коэффициент гашения ~ 10-7); 4 - оптический столик для установки призмы 3 в пучок излучения; 5 - составная круговая поляризационная призма Френеля (угол расхождения пучков круговой поляризации с левым и правым вращениями Δ θ= 12', отношение интенсивностей упомянутых пучков с левым и правым вращениями α= 1,000+0,001); 6 - оптический столик для установки упомянутой призмы 5 в пучок излучения; 7 - объект (эпитаксиальные слои структуры nSi - n+Si толщиты до 0,6 мкм, удельное сопротивление ~ 20 мкОм·м); 8 - оптический столик для установки объекта 7 в пучок излучения; 9о и 9и - опорный и соответственно информационный каналы; 10о и 10и - светоделительные кубики в опорном и соответственно информационном каналах; 11о и 11и - оптические столики для установки упомянутых светоделителей 10о и 10и соответственно в пучок излучения; 12о и 12и - призмы Глана-Фуко; 13о и 13и - оптические столики для установки призм 12о и 12и соответственно в пучок излучения; 14о и 14и - составные круговые поляризационные призмы Френеля; 15о и 15и - оптические столики для установки упомянутых круговых призм 14о и 14исоответственно в пучок излучения; 16о (1, 2, 3, 4) и 16и (1, 2, 3, 4) - фотодиоды из германия, легированного золотом (азотное охлаждение, пороговая чувствительность Рпор ≃100 фВт/Гц1/2, полоса пропускания частот Δf ≃ 10 ГГц, минимальная мощность Рмин ≃0,2 нВт, вольт-амперная динамическая чувствительность D ≃ 1 В/Вт); 17 - система регистрации (электрооптическая камера "Агат-"СФВ") [4] ; 18 - система обработки и 19 - система отображения с автоматическим управлением от вычислительного комплекса на основе IBM РС/АТ; 20 - дополнительный гелий-неоновый лазер непрерывного излучения типа ЛГ-36А, мощность Ро = 20 мВт; 21 - дополнительная призма Глана-Фуко; 22 - оптический столик для установки призмы 21 в пучок излучения от вспомогательного источника излучения; 23 - плоскопараллельная стеклянная пластина; 24 - оптический столик для установки пластины 23 в пучок излучения; 25о и 25и - призмы Глана-Фуко; 26о и 26и - оптические столики для установки призм 25о и 25исоответственно в пучок излучения; 27о и 27и - плоские отражатели с диафрагмами в опорном и соответственно информационном каналах; 28о и 28и- дополнительные фотоприемники в опорном и соответственно информационном каналах (ФЭУ-68, ширина частот Δf≃600 кГц, частота модуляции fм = 12 МГц, усиление К ≃ 40 дБ).PRI me R 9. In the drawing: 1 - continuously pumped solid-state laser on the AIH: Nd 3+ in the mode of "cutting off the pulse" with intracavity generation of harmonics (main mode λ = 1064 nm, pulse duration τ and ≅ 35 ns, peak power P peak ≃ 500 W; second harmonic λ = 532 nm, τ <25 ns, P peak ≃ 10 W; pulse repetition frequency f ≃ 295 kHz, in the "pulse cut-off" mode. f up to 1 MHz); 2 - power supply and
П р и м е р 10. На чертеже: 1 - инфракрасный СО2-лазер типа ЛГ-74 (длина волны λ= 10,6 мкм, мощноть Ро = 100 кВт); 2 - блок питания и пуска лазера 1; 3 - брюстеровский отражательный линейный поляризатор; 5 - дифракционная поляризационная решетка (число штрихов 1200 на 1 мм, направления штрихов под 45о к направлению поляризации падающего пучка излучения, плоскость решетки ориентирована под 45о к оси упомянутого пучка излучения, угол расхождения пучков с ортогональными линейными поляризациями Δ θ= 90о, отношение интенсивностей упомянутых пучков с ортогональными линейными поляризациями α = 1,000±0,001); 6 - оптический столик для установки поляризационной призмы 5 в пучок излучения; 7 - объект (эпитаксиальная пленка антимонида индия n-типа, толщина d до 0,6 мкм, концентрация носителей N ≃ 1015 см-3, температура Т = 77 К, на подложке из высокоомного антимонида индия р-типа); 8 - оптический столик для установки объекта в пучок излучения; 9о и 9и - опорный и информационный каналы; 10о и 10и - светоделительные кубики их хлористого натрия в опорном и соответственно информационном каналах; 11о и 11и - столики оптические для установки светоделителей 10ои соответственно 11и и пучок излучения; 12о и 12и - дифракционные решеточные поляризаторы (типа поляризатора 5) в опорном и соответственно информационном каналах; 13о и 13и - оптические столики для установки поляризаторов 12о и соответственнео 12и в пучок излучения; 14о и 14и - дифракционные решеточные поляризаторы (число штрихов 1200 на 1 мм, направление штрихов под 45о к направлению поляризации излучения, падающего на дифракционный решеточный поляризатор 5, плоскость решетки ориентирована под углом 45о к оси падающего на нее пучка излучения, угол расхождения пучков с ортогональными линейными поляризаторами Δ θ = 90о) в опорном и соответственно информационном каналах; 15о и 15и - оптические столики для установки дифракционных поляризаторов 14о и соответственно 14и в пучок излучения; 16о (1, 2, 3, 4) и 16и (1, 2, 3, 4) - германиевые легированные золотом фотодиоды в опорном и соответственно информационном каналах; 17 - многоканальная система регистрации (широкополосные усилители типа УЗ-7А, цифровые вольтметры, аналого-цифровые преобразователи АЦП); 18 - система обработки и 19 - система отображения на основе вычислительного комплекса I ВМ РС/АТ; 25ои 25и - дифракционные поляризаторы; в опорном и соответственно информационном каналах; 26о и 26и - оптические столики для установки поляризаторов 25о и соответственно 25и в пучок излучения.PRI me R 10. In the drawing: 1 - infrared CO 2 laser type LG-74 (wavelength λ = 10.6 μm, power Po = 100 kW); 2 - power supply and laser start 1; 3 - Brewster reflective linear polarizer; 5 - diffraction polarization grating (number of strokes 1200 per 1 mm, stroke directions at 45 ° to the direction of polarization of the incident radiation beam, the plane of the grating is oriented at 45 ° to the axis of the mentioned radiation beam, the angle of divergence of the beams with orthogonal linear polarizations Δ θ = 90 ° , the ratio of the intensities of the mentioned beams with orthogonal linear polarizations α = 1,000 ± 0,001); 6 - optical table for installing the polarizing prism 5 in the radiation beam; 7 - object (n-type indium antimonide epitaxial film, thickness d up to 0.6 μm, carrier concentration N ≃ 10 15 cm -3 , temperature T = 77 K, on the p-type high-resistance indium antimonide substrate); 8 - optical table for installing the object in the radiation beam; 9 about and 9 and - reference and information channels; 10 about and 10 and - beam-splitting cubes of their sodium chloride in the reference and, accordingly, information channels; 11 and about 11 and - optical tables for installation of the beam splitters 10 and 11, respectively, and and the radiation beam; 12 about and 12 and - diffraction grating polarizers (type of polarizer 5) in the reference and, accordingly, information channels; 13 about and 13 and - optical tables for installing polarizers 12 about and, respectively, 12 and into the radiation beam; 14 a and 14, and - the diffraction lattice polarizers (the number of strokes 1200 on 1 mm, the direction of strokes under 45 ° to the direction of polarization of the radiation incident on the diffraction grating polarizer 5, the lattice plane is oriented at an angle of 45 ° to the axis of the incident beam, the angle discrepancies between beams with orthogonal linear polarizers Δ θ = 90 ° ) in the reference and, accordingly, information channels; 15 about and 15 and - optical tables for installing diffraction polarizers 14o and, accordingly, 14i in the radiation beam; 16 about (1, 2, 3, 4) and 16 and (1, 2, 3, 4) are germanium gold-doped photodiodes in the reference and, respectively, information channels; 17 - multi-channel recording system (broadband amplifiers of the type UZ-7A, digital voltmeters, analog-to-digital converters of the ADC); 18 - processing system and 19 - display system based on the computing complex I VM RS / AT; 25 about and 25 and - diffraction polarizers; in the reference and, accordingly, information channels; 26 about and 26 and - optical tables for installing polarizers 25 about and 25, respectively, and in the radiation beam.
П р и м е р 11. Подготовка работы в режиме in situ. Осуществляют подготовку работы в режиме in situ в описанном выше примере 9 следующим образом: включают вспомогательный источнике излучения 20 (Не-Ne лазер ЛГ-36А, длина волны λ = 630 нм); пучок электромагнитного излучения от источника 20 излучения направляют на линейную поляризационную призму 21 (призму Глана-Фуко), установленную в оправе на оптическом столике 22; устанавливают ось поляризационной призмы 21 вдоль направления оси пучка излучения от источника 20 излучения; поворотом поляризационной призмы 21 вокруг оси пучка излучения устанавливают направление колебаний электрического вектора 
П р и м е р 12. Подготовка работы в режиме in situ. PRI me R 12. Preparation of work in situ.
Осуществляют также подготовку работы в режиме in situ в описанном выше примере 10 следующим образом. Включают блок 2 питания и запуска ИК-лазера на СО2; запускают ИК СО2-лазер типа ЛГ-74 (длина волны λ = 10,6 мкм); устанавливают дифракционный решеточный поляризатор 5 на оптический столик 6; устанавливают плоскость поляризатора 5 под углом 45о к оси падающего на него линейно поляризованного излучения от источника 1 излучения так, что штрихи решеточного поляризатора 5 перпендикулярны направлению поляризации падающего на него пучка излучения (направлению колебаний электрического вектора 
П р и м е р 13 Достижение положительного эффекта. PRI me R 13 Achieving a positive effect.
Пусть при осуществлении предлагаемого способа описанным выше в примере 9 устройством имеют:
ρр - модуль комплексного амплитудного коэффициента отражения объектом компоненты излучения с р-поляризацией;
ρs - модуль комплексного амплитудного коэффициента отражения объектом компоненты излучения с S-поляризацией;
Δ - разность фаз комплексных амплитудных коэффициентов отражения объектом компонент излучения с ортогональными р- и s-поляризациями соответственно;
Ар - модуль комплексной амплитудной аппаратной функции оптического тракта осуществляющего предлагаемый способ устройства для компоненты излучения с р-поляризацией;
Аs - модуль комплексной амплитудной аппаратной функции оптического тракта осуществляющего предлагаемый способ устройства для компоненты излучения с S-поляризацией;
ΔА - разность фаз комплексных амплитудных аппаратных функций оптического тракта осуществляющего предлагаемый способ устройства для компонент излучения с ортогональными р- и s-поляризациями;
Ао - начальная амплитуда пучка поляризованного излучения до его взаимодействия с отщепителем 5 круговой поляризационной призмой Френеля);
α - отношение интенсивностей отщепляемой опорной и оставшейся информационной частей непосредственно на выходе из отщепителя (в нашем случае отношение интенсивностей пучков круговой поляризации с левым и соответственно правым вращениями α = 1,000±0,001);
ρрD - модуль комплексного амплитудного коэффициента отражения светоделителем в опорном и соответственно информационном каналах компоненты излучения р-поляризации;
ρsD - модуль комплексного амплитудного коэффициента отражения светоделителем в опорном и соответственно информационном каналах компоненты излучения s-поляризации;
τрD - модуль комплексного амплитудного коэффициента пропускания светоделителем в опорном и соответственно информационном каналах компоненты излучения р-поляризации;
τsD - модуль комплексного амплитудного коэффициента пропускания светоделителем в опорном и соответственно информационном каналах компоненты излучения s-поляризации;
Δ τ - разность фаз комплексных амплитудных коэффициентов пропускания светоделителем в опорном и соответственно информационном каналах компонент излучения с ортогональными р- и соответственно s-поляризациями;
D - динамический вольт-ваттная чувствительность фотоприемников излучения в опорном и информационном каналах.Let the implementation of the proposed method described above in example 9, the device have:
ρ p is the modulus of the complex amplitude reflection coefficient of the object of the radiation component with p-polarization;
ρ s is the modulus of the complex amplitude reflection coefficient of the radiation component with S-polarization by the object;
Δ is the phase difference of the complex amplitude reflection coefficients of the object radiation components with orthogonal p and s polarizations, respectively;
And p is the module of the complex amplitude hardware function of the optical path carrying out the proposed device method for the radiation component with p-polarization;
And s is the module of the complex amplitude hardware function of the optical path carrying out the proposed method of the device for the radiation component with S-polarization;
Δ A is the phase difference of the complex amplitude hardware functions of the optical path carrying out the proposed method of the device for radiation components with orthogonal p and s polarizations;
And about - the initial amplitude of the beam of polarized radiation before it interacts with the
α is the ratio of the intensities of the detachable support and the remaining information parts directly at the exit of the splitter (in our case, the ratio of the intensities of the circularly polarized beams with the left and right rotations α = 1,000 ± 0,001);
ρ рD is the module of the complex amplitude reflection coefficient by a beam splitter in the reference and, accordingly, information channels of the p-polarized radiation component;
ρ sD is the modulus of the complex amplitude reflection coefficient by the beam splitter in the reference and, accordingly, information channels of the s-polarization radiation component;
τ рD is the module of the complex amplitude transmittance of the beam splitter in the reference and, respectively, information channels of the p-polarized radiation component;
τ sD is the module of the complex amplitude transmittance of the beam splitter in the reference and, accordingly, information channels of the radiation component of s-polarization;
Δ τ is the phase difference of the complex amplitude transmission coefficients of the beam splitter in the reference and, respectively, information channels of the radiation components with orthogonal p- and, accordingly, s-polarizations;
D is the dynamic volt-watt sensitivity of the radiation photodetectors in the reference and information channels.
Тогда получают интенсивность Iи1 сигнала для информационного пучка излучения р-поляризации:
Iи1 = D ρp 2Ap 2 ρpD 2Ao 2 (3) интенсивность Iо1 сигнала для опорного пучка излучения р-поляризации:
Iо1 = αDAp 2 ρpD 2Ao 2 (4) интенсивность Iи2 сигнала для информационного пучка излучения s-поляризации:
Iи2 = D ρs 2As 2 ρsD 2Ao 2 (5) интенсивность Iо2 сигнала для опорного пучка излучения s-поляризации:
Iо2 = αDAs 2 ρsD 2Ao 2 (6)
Берут отношение (3) к (4) и (5) к (6), получают при известном отношении α интенсивностей отщепляемой опорной и оставшейся информационной частей пучка излучения квадраты модулей ρр и ρsкоэффициентов отражения объектом компонент с ортогональными линейными р- и s-поляризациями соответственно:
ρp 2 = α (Iи1/Iо1) (7) и
ρs 2 = α (Iи2/Iо2) (8) извлекают корни из соотношений (7) и (8) и определяют пару эллипсометрических параметров ρр и ρs объекта:
ρp = (α Iи1/Iо1)1/2 (9) и
ρs = (α Iи2/Iо2)1/2 (10)
Одновременно с измерениями интенсивностей Iи1, Iи2информационных и Iо1, Iо2 опорных пучков получают интенсивности Iи3 и Iи4 сигналов для информационных пучков излучения с левой и соответственно правой круговой поляризацией:
Iиз = αDAo 2[ρs 2As 2 τsD 2 +ρp 2Ap 2 τpD 2 +
+ 2ρs ρpAsAp τsD τpD sin (Δ+ΔA+Δ 
Iи4 = DAo 2[ρs 2As 2 τsD 2 + ρp 2Ap 2 τpD 2 -
- 2ρs ρpAsAp τsD τpD sin ( Δ+ΔA +Δ 
Iо3 = α2DAo 2 [As 2 τsD 2 + Ap 2 τpD 2 +
+2 AsAp τsD τpD sin (ΔA + Δ 
Iо4 = αDAo 2 [As 2 τsD 2 + Ap 2 τpD 2 -
-2 AsAp τsD τpD sin (ΔA +Δ 
q= 
P = 
v = 
ρ= ρp/ ρs (18) относительный параметр α для модулей аппаратных функций для компонент излучения с ортогональными линейными р- и s-поляризациями:
α= 
Δs = ΔA + Δτ (20)
Для определения фазового эллипсометрического параметра Δ объекта осуществляют следующие расчетные операции:
- при известном α и найденных эллипсометрических параметрах ρр и ρs объекта с использованием формул (3) - (10) находят по формуле (18) относительный параметр ρ;
- при известном α и найденных параметрах ρ и ρs из формулы (17) по величине v находят аппаратный параметр α в виде (19);
- при найденном параметре α по величине р из формулы (16) находят значение sin Δs и далее фазовый параметр Δs аппаратных функций;
- при найденных параметрах ρ и α по величине q из формулы (15) находят значение sin ( Δ+ Δs) и далее фазовый параметр Δ+Δs;
- по найденным фазовым параметрам Δs и Δ+ Δs находят фазовый эллипсометрический параметр Δ объекта.Then, the intensity I and 1 of the signal is obtained for the information beam of p-polarized radiation:
I and 1 = D ρ p 2 A p 2 ρ pD 2 A o 2 (3) signal intensity I o1 for the reference beam of p-polarized radiation:
I o1 = αDA p 2 ρ pD 2 A o 2 (4) signal intensity I and 2 for an information beam of s-polarization radiation:
I and 2 = D ρ s 2 A s 2 ρ sD 2 A o 2 (5) signal intensity Io2 for the reference beam of s-polarized radiation:
I o2 = αDA s 2 ρ sD 2 A o 2 (6)
We take the ratio of (3) to (4) and (5) to (6), and for a known ratio of the intensities α of the detachable reference and remaining information parts of the radiation beam, the squared moduli ρ p and ρ s of the reflection coefficients of the object components with orthogonal linear p and s -polarizations, respectively:
ρ p 2 = α (I and 1 / I о1 ) (7) and
ρ s 2 = α (I and 2 / I о2 ) (8) extract roots from relations (7) and (8) and determine a pair of ellipsometric parameters ρ p and ρ s of the object:
ρ p = (α I and 1 / I о1 ) 1/2 (9) and
ρ s = (α I and 2 / I о2 ) 1/2 (10)
Simultaneously with measurements of the intensities I and 1 , I and 2 of the information and I o1 , I o2 reference beams, the intensities I and 3 and I and 4 of the signals for information beams of radiation with left and right circular polarization are obtained:
I of = αDA o 2 [ρ s 2 A s 2 τ sD 2 + ρ p 2 A p 2 τ pD 2 +
+ 2ρ s ρ p A s A p τ sD τ pD sin (Δ + Δ A + Δ
I and 4 = DA o 2 [ρ s 2 A s 2 τ sD 2 + ρ p 2 A p 2 τ pD 2 -
- 2ρ s ρ p A s A p τ sD τ pD sin (Δ + Δ A + Δ
I o3 = α 2 DA o 2 [A s 2 τ sD 2 + A p 2 τ pD 2 +
+2 A s A p τ sD τ pD sin (Δ A + Δ
I o4 = αDA o 2 [A s 2 τ sD 2 + A p 2 τ pD 2 -
-2 A s A p τ sD τ pD sin (Δ A + Δ
q =
P =
v =
ρ = ρ p / ρ s (18) the relative parameter α for the moduli of hardware functions for the radiation components with orthogonal linear p and s polarizations:
α =
Δ s = Δ A + Δ τ (20)
To determine the phase ellipsometric parameter Δ of the object, the following calculation operations are performed:
- with known α and the ellipsometric parameters ρ p and ρ s of the object found, using formulas (3) - (10), the relative parameter ρ is found by formula (18);
- with known α and the found parameters ρ and ρ s from formula (17), the apparatus parameter α is found from the value of v in the form (19);
- when the parameter α is found from the value of p from the formula (16), the value sin Δ s and then the phase parameter Δ s of the hardware functions are found;
- when the parameters ρ and α are found by the value of q from the formula (15), the value sin (Δ + Δ s ) is found and then the phase parameter Δ + Δ s ;
- from the found phase parameters Δ s and Δ + Δ s find the phase ellipsometric parameter Δ of the object.
П р и м е р 14. Достижение положительного эффекта. PRI me R 14. Achieving a positive effect.
При осуществлении предлагаемого способа описанным выше в примере 10 устройством в отличие от примера 9 имеют:
ΔA 1 = 
α= 1,000±0,001 - интенсивности отщепляемой опорной и оставшейся информационной частей пучка одинаковы на выходе из используемого здесь отщепителя.When implementing the proposed method described above in example 10, the device, in contrast to example 9, have:
Δ A 1 =
α = 1,000 ± 0,001 - the intensities of the detachable support and the remaining information parts of the beam are the same at the exit from the splitter used here.
Тогда для определения фазового эллипсометрического параметра Δ объекта используют формулы (9) и 10), (15), (16) и (17), (18), (19) и (20) с заменой α единицей и ΔА величиной ΔА 1 и осуществляют следующие расчетные операции:
- из формулы (9) и (10) по найденным значениям интенсивностей пучков Iи1, Iи2 и Iо1, Iо2 находят эллипсометрические параметры ρр и ρs объекта;
- при найденных параметрах ρs и ρр по формуле (18) находят относительный параметр ρ;
- при найденных параметрах ρs и ρ из формулы (17) по величине v находят аппаратный параметр α;
- при найденном α по величине р из формулы (16) находят значение cos Δs и далее фазовый параметр Δs;
- при найденных параметрах ρ и α по величине q из формулы (15) находят значение cos ( Δ+ Δs) и далее фазовый параметр Δ+ Δs;
- по найденным параметрам Δs и Δ+Δs находят фазовый эллипсометрический параметр Δ объекта.Then, to determine the phase ellipsometric parameter Δ of the object, formulas (9) and 10), (15), (16) and (17), (18), (19) and (20) are used with α replaced by a unit and Δ A by Δ A 1 and carry out the following settlement operations:
- from the formulas (9) and (10) from the found values of the intensities of the beams I and 1, I and 2 and I o1 , I o2 find the ellipsometric parameters ρ p and ρ s of the object;
- with the found parameters ρ s and ρ p , the relative parameter ρ is found by formula (18);
- with the found parameters ρ s and ρ from the formula (17), the apparatus parameter α is found from the value of v;
- when α is found by the value of p from the formula (16), the value cos Δ s is found and then the phase parameter Δ s ;
- with the parameters ρ and α found, the q value from formula (15) determines the value of cos (Δ + Δ s ) and then the phase parameter Δ + Δ s ;
- the found parameters Δ s and Δ + Δ s find the phase ellipsometric parameter Δ of the object.
Расчеты показывают, что предлагаемый способ позволяет обеспечить при использовании соответственно осуществляющих способ устройств - эллипсометров получение высоких, на уровне мировых стандартов, точностных характеристик: длина волны электромагнитного излучения может быть любой, длительность импульсов излучения до 0,01 - 1,0 наносек, а в специальных случаях и короче, точность измерения инт енсивности фотосигналов не хуже 0,1 - 0,01% ; чувствительность при измерении модулей ρр и ρs коэффициентов отражения ~ 10-7, при измерении фазового эллипсометрического параметра Δ не хуже 10-6 рад. (56) 1. Аззам Р. , Башара Н. Эллипсометрия и поляризационный свет. М. : Мир, 1981. с. 584 (с. 195-199, 295-303, 467-473).Calculations show that the proposed method makes it possible to use high accuracy, world-class standards, accuracy characteristics when using devices that are appropriately carrying out the method — ellipsometers: the wavelength of electromagnetic radiation can be any, the duration of radiation pulses is up to 0.01 - 1.0 nanoseconds, and in in special cases and in short, the accuracy of measuring the intensity of photosignals is not worse than 0.1 - 0.01%; the sensitivity when measuring the moduli ρ p and ρ s of reflection coefficients is ~ 10 -7 , when measuring the phase ellipsometric parameter Δ is not worse than 10 -6 rad. (56) 1. Azzam R., Bashar N. Ellipsometry and polarizing light. M.: Mir, 1981. 584 (p. 195-199, 295-303, 467-473).
2. Авторское свидетельство СССР N 1252677, кл. G 01 N 21/21, 1986. 2. USSR author's certificate N 1252677, cl. G 01
3. Авторское свидетельство СССР N 1130777, кл. G 01 N 21/21, 1984. 3. Copyright certificate of the USSR N 1130777, cl. G 01
4. Богданов С. С. , Краев Е. П. , Птицын В. В. , Фомичев А. А. //Сб. Оптика анизотропных сред. М. : Изд. МФТИ, з 1988, с. 159. 4. Bogdanov S. S., Kraev E. P., Ptitsyn V. V., Fomichev A. A. // Sat. Optics of anisotropic media. M.: Publ. MIPT, s 1988, p. 159.
Claims (4)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU4934497 RU2008652C1 (en) | 1991-05-08 | 1991-05-08 | Method of determining ellipsometric parameters of an object |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU4934497 RU2008652C1 (en) | 1991-05-08 | 1991-05-08 | Method of determining ellipsometric parameters of an object |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2008652C1 true RU2008652C1 (en) | 1994-02-28 |
Family
ID=21573586
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU4934497 RU2008652C1 (en) | 1991-05-08 | 1991-05-08 | Method of determining ellipsometric parameters of an object |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2008652C1 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2539828C1 (en) * | 2013-11-08 | 2015-01-27 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС" | Spectral ellipsometer with device of magnetodynamic measurements |
| RU2805281C1 (en) * | 2022-11-07 | 2023-10-13 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук (ИФП СО РАН) | Device for controlling the direction of optical radiation in ellipsometry for in situ diagnostics of the formation of layered structures |
-
1991
- 1991-05-08 RU SU4934497 patent/RU2008652C1/en active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2539828C1 (en) * | 2013-11-08 | 2015-01-27 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС" | Spectral ellipsometer with device of magnetodynamic measurements |
| RU2805281C1 (en) * | 2022-11-07 | 2023-10-13 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук (ИФП СО РАН) | Device for controlling the direction of optical radiation in ellipsometry for in situ diagnostics of the formation of layered structures |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5548404A (en) | Multiple wavelength polarization-modulated ellipsometer with phase-generated carrier | |
| Garcia-Caurel et al. | Advanced Mueller ellipsometry instrumentation and data analysis | |
| US10895477B2 (en) | Sine-cosine optical frequency encoder devices based on optical polarization properties | |
| US4158506A (en) | Automatic determination of the polarization state of nanosecond laser pulses | |
| US6175412B1 (en) | Optical component for polarization modulation, a mueller polarimeter and ellipsometer containing such an optical component, a process for the calibration of this ellipsometer, and an ellipsometric measurement process | |
| US10983048B2 (en) | Terahertz full-polarization-state detection spectrograph | |
| JP4455024B2 (en) | Birefringence measuring device | |
| US4762414A (en) | Static interferometric ellipsometer | |
| FR2809814A1 (en) | DEVICE AND METHOD FOR MEASURING POLARIZATION MODE DISPERSION, AND RECORDING MEDIA | |
| US4176951A (en) | Rotating birefringent ellipsometer and its application to photoelasticimetry | |
| KR20080068036A (en) | Self referencing heterodyne reflectometer and method for implementing | |
| CN109115690A (en) | Real-time polarization sensitive terahertz time-domain ellipsometer and optical constant measuring method | |
| JP2017207446A (en) | Total reflection spectroscopic measurement apparatus and total reflection spectroscopic measurement method | |
| US7064828B1 (en) | Pulsed spectroscopy with spatially variable polarization modulation element | |
| US7286239B2 (en) | Laser scanner with amplitude and phase detection | |
| TW200813411A (en) | Combination ellipsometry and optical stress generation and detection | |
| CN108088801B (en) | Laser nondestructive testing device based on 90-degree optical mixer | |
| CN115597503B (en) | Pulsed laser-based ellipsometry device and related optical operation method | |
| RU2008652C1 (en) | Method of determining ellipsometric parameters of an object | |
| US4346999A (en) | Digital heterodyne wavefront analyzer | |
| RU2005130289A (en) | ELLIPSOMETER | |
| WO1994016310A1 (en) | Zeeman ellipsometer | |
| JP2022042290A (en) | Measurement device of laser linewidth | |
| JPH08278202A (en) | Optical device for polarization analysis and polarization analyzer using the device | |
| JP2713190B2 (en) | Optical property measuring device |