RU2006116434A - Способ выделения тетрафторида кремния из газовой смеси и установка для его осуществления - Google Patents
Способ выделения тетрафторида кремния из газовой смеси и установка для его осуществления Download PDFInfo
- Publication number
- RU2006116434A RU2006116434A RU2006116434/15A RU2006116434A RU2006116434A RU 2006116434 A RU2006116434 A RU 2006116434A RU 2006116434/15 A RU2006116434/15 A RU 2006116434/15A RU 2006116434 A RU2006116434 A RU 2006116434A RU 2006116434 A RU2006116434 A RU 2006116434A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- silicon tetrafluoride
- gas
- heat exchanger
- mixture
- installation
- Prior art date
Links
Landscapes
- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
- Separation By Low-Temperature Treatments (AREA)
Claims (16)
1. Способ выделения тетрафторида кремния из газовой смеси методом конденсации, отличающийся тем, что в качестве исходной газовой смеси используют кислородсодержащую смесь, которую сжимают, а затем охлаждают до температуры, выбранной из интервала температур от критической до температуры тройной точки тетрафторида кремния, причем сжимают смесь до давления, соответствующего жидкому состоянию тетрафторида кремния при выбранной температуре охлаждения, выводят сжиженный тетрафторид кремния в сборную емкость, при этом оборудование для осуществления процессов сжатия, охлаждения и сбора размещают в герметичных боксах.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что охлаждение осуществляют в рекуперативном теплообменнике, используя в качестве хладагента промышленную оборотную воду с температурой от +4 до +24°С, при этом смесь сжимают до давления, рассчитываемого по формуле Log Р=10.469-1352.8/Т,
где Р - давление в мм рт.ст., а Т - температура смеси в Кельвинах.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что охлаждение осуществляют, по меньшей мере, в две ступени с выводом сжиженного тетрафторида кремния на каждой из них и отводом несконденсированных газовых примесей только с последней.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве кислородсодержащей смеси используют смесь, полученную путем сжигания кварцевого песка в элементном фторе.
5. Способ по п.1, отличающийся тем, что объем каждого герметичного бокса выбирают, исходя из условия, что в случае разгерметизации размещенного в нем оборудования, избыточное давление тетрафторида кремния или его газовой смеси в боксе не превысит 0,1 атм.
6. Способ по п.5, отличающийся тем, что в случае разгерметизации оборудования тетрафторид кремния из бокса направляют на поглощение в сорбционную колонну с гранулами фтористого натрия NaF.
7. Способ по п.1 или 3, отличающийся тем, что несконденсированные газовые примеси пропускают через газовый редуктор и направляют на санитарную очистку.
8. Способ по п.7, отличающийся тем, что санитарную очистку осуществляют в колонне с твердым поглощающим кислые газы сорбентом.
9. Способ по п.7, отличающийся тем, что санитарную очистку осуществляют в скруббере с жидким поглощающим раствором.
10. Установка для выделения тетрафторида кремния из газовой смеси, содержащая теплообменник и связанную с ним емкость для тетрафторида кремния, отличающаяся тем, что она снабжена компрессором, размещенным на входе теплообменника и связанным с ним газопроводом высокого давления, и средствами сбора и вывода несконденсированных газообразных продуктов, связанными с выходом теплообменника через газовый редуктор, емкость для тетрафторида кремния выполнена в виде, по меньшей мере, одного баллона для сжиженного газа, соединенного с теплообменником посредством вентильного соединения и трубопровода для жидкого тетрафторида кремния, при этом и компрессор, и теплообменник с баллоном размещены в герметичных боксах.
11. Установка по п.10, отличающаяся тем, что она дополнительно снабжена вторым теплообменником, вход которого соединен газопроводом высокого давления с выходом первого упомянутого теплообменника, а выход сообщен через газовый редуктор со средствами сбора и вывода несконденсированных газообразных продуктов, при этом второй теплообменник снабжен, по меньшей мере, одним баллоном для сжиженного тетрафторида кремния и размещен вместе с последним в отдельном герметичном боксе.
12. Установка по п.10 или 11, отличающаяся тем, что герметичные боксы выполнены из металла и обеспечивают сохранение герметичности при избыточном давлении в боксе до 0,1 атм.
13. Установка по п.10 или 11, отличающаяся тем, что каждый бокс снабжен автоматизированной системой обслуживания, при этом установка снабжена системой автоматического управления последними.
14. Установка по п.10 или 11, отличающаяся тем, что баллоны для сжиженного тетрафторида кремния выполнены с возможностью подключения через газовый редуктор к линии отвода тетрафторида кремния.
15. Установка по п.10 или 11, отличающаяся тем, что теплообменники выполнены в виде трубчатых конденсаторов с единой системой водяного охлаждения.
16. Установка по п.10 или 11, отличающаяся тем, что в качестве компрессора применяют мембранный компрессор с полностью профторированной смазочной жидкостью.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2006116434/15A RU2348581C2 (ru) | 2006-05-12 | 2006-05-12 | Способ выделения тетрафторида кремния из газовой смеси и установка для его осуществления |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2006116434/15A RU2348581C2 (ru) | 2006-05-12 | 2006-05-12 | Способ выделения тетрафторида кремния из газовой смеси и установка для его осуществления |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2006116434A true RU2006116434A (ru) | 2007-12-10 |
RU2348581C2 RU2348581C2 (ru) | 2009-03-10 |
Family
ID=38903198
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2006116434/15A RU2348581C2 (ru) | 2006-05-12 | 2006-05-12 | Способ выделения тетрафторида кремния из газовой смеси и установка для его осуществления |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2348581C2 (ru) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8529860B2 (en) * | 2009-12-30 | 2013-09-10 | Memc Electronics Materials, Inc. | Methods for producing silicon tetrafluoride |
-
2006
- 2006-05-12 RU RU2006116434/15A patent/RU2348581C2/ru not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU2348581C2 (ru) | 2009-03-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8814981B2 (en) | Compression of carbon dioxide containing fluid | |
AU2012245083B2 (en) | A plant and method for recovering sulphur hexafluoride for reuse | |
CN204051368U (zh) | 碳五尾气回收处理装置 | |
CN107445138B (zh) | 多晶硅还原尾气回收方法及回收*** | |
CN203569054U (zh) | 转炉煤气脱湿装置 | |
CN203507783U (zh) | 撬装式二氧化碳膜分离装置 | |
US20180028935A1 (en) | Solid-liquid separation device | |
CN210952405U (zh) | 一种深冷冷凝器 | |
RU2006116434A (ru) | Способ выделения тетрафторида кремния из газовой смеси и установка для его осуществления | |
CN201855641U (zh) | 含氯化氢尾气的处理装置 | |
RU2296793C2 (ru) | Установка подготовки углеводородного газа к транспорту | |
CN209386683U (zh) | 气体冷却*** | |
CN215900965U (zh) | 一种减压蒸馏尾气冷凝装置 | |
CN213040809U (zh) | 一种制冷剂循环净化*** | |
CN213160077U (zh) | 储罐VOCs循环无排放处理装置 | |
CN114130054A (zh) | 一种冷凝液冷量充分利用的尾气回收冷凝方法 | |
CN211078478U (zh) | 一种氩气的回收纯化机构 | |
CN106839650A (zh) | 天然气油气回收***及工艺 | |
KR101320794B1 (ko) | 삼불화질소 가스의 제조 시 양극/음극에서 발생된 불화수소의 회수장치 및 회수방법 | |
CN205235449U (zh) | 一种抽真空管路气体精油回收装置 | |
US9625192B1 (en) | Heat exchanger with integrated liquid knockout drum for a system and method of cooling hot gas using a compressed refrigerant | |
RU2244205C1 (ru) | Газонаполнительная станция наумейко | |
CN218358310U (zh) | 一种制氧气体净化干燥装置 | |
CN208865215U (zh) | 一种用于蒸汽冷凝回收VOCs的*** | |
CN220818241U (zh) | 一种压缩分离无水氟化氢和氯化氢的装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20160513 |