Claims (14)
1. Установка для непрерывной обработки, в особенности для покрытия, движущихся гибких подложек (17S) в виде лент, пленок или аналогичных материалов, содержащая по одной мотальной станции (10, 10') для разматывания и намотки гибкой подложки, по меньшей мере одну станцию обработки (В), расположенную в проходе для подложки между указанными двумя мотальными станциями, и клапаны (18) для обеспечения различных уровней давления в мотальных станциях и по меньшей мере в одной станции обработки, каждый из которых расположен между мотальной станцией (10, 10') и по меньшей мере одной станцией обработки, причем мотальные станции установлены на подвижном основании (11) с возможностью выкатывания из установки, например, для замены подложки, отличающаяся тем, что мотальные станции (10, 10') и станция обработки (В) расположены на различных или в различных основаниях, перемещаемых друг относительно друга, причем основание станции обработки выполнено в виде неотделяемой части кожуха (1), заключающего в себе станцию обработки (В), а в рабочем состоянии также мотальные станции (10, 10'), причем указанный кожух содержит клапаны (18), при этом мотальные станции (10, 10') расположены в каркасе (12), содержащем их основание (11) и имеющем отверстия, запираемые клапанами (18), который в рабочем состоянии расположен внутри кожуха (1) станции обработки, причем при открытых клапанах (18) станция обработки (В) и мотальные станции (10, 10') вакуумируются одновременно, а при закрытых клапанах (18) мотальные станции разгерметизируются независимо от станции обработки.1. Installation for continuous processing, especially for coating, moving flexible substrates (17S) in the form of tapes, films or similar materials, containing one winding station (10, 10 ') for unwinding and winding a flexible substrate, at least one station processing (B) located in the passage for the substrate between the two winding stations, and valves (18) to provide different pressure levels in the winding stations and at least one processing station, each of which is located between the winding station (10, 10 ' ) and p at least one processing station, and the winding stations are mounted on a movable base (11) with the possibility of rolling out of the installation, for example, to replace the substrate, characterized in that the winding stations (10, 10 ') and the processing station (B) are located on different or in various bases, moving relative to each other, and the base of the processing station is made in the form of an inseparable part of the casing (1), comprising a processing station (B), and in working condition also winding stations (10, 10 '), and the specified casing containing t valves (18), while the winding stations (10, 10 ') are located in the frame (12) containing their base (11) and having openings locked by valves (18), which is in working condition located inside the casing (1) of the station processing, and with open valves (18), the processing station (B) and winding stations (10, 10 ') are evacuated simultaneously, and with closed valves (18) the winding stations are depressurized regardless of the processing station.
2. Установка по п.1, отличающаяся тем, что основание (11) мотальных станций образует стенку каркаса (12) и содержит по меньшей мере одну опору (16) для носителя (17) подложки.2. Installation according to claim 1, characterized in that the base (11) of the winding stations forms a wall of the frame (12) and contains at least one support (16) for the substrate carrier (17).
3. Установка по п.1 или 2, отличающаяся тем, что основание (11) мотальных станций в рабочем состоянии установки образует по меньшей мере участок стенки кожуха (1).3. Installation according to claim 1 or 2, characterized in that the base (11) of the winding stations in the operational state of the installation forms at least a portion of the wall of the casing (1).
4. Установка по п.1, отличающаяся тем, что каркас (12) мотальных станций образует камеру, ограниченную общим основанием (11) и опорной плитой (15), а также стенкой с отверстием, обращенным к шлюзовому клапану (18), и боковыми стенками.4. Installation according to claim 1, characterized in that the frame (12) of the winding stations forms a chamber bounded by a common base (11) and a base plate (15), as well as a wall with an opening facing the lock valve (18), and side the walls.
5. Установка по п.1 или 4, отличающаяся тем, что кожух (1) имеет по меньшей мере одно закрываемое крышкой (8) отверстие (7) для загрузки и/или разгрузки мотальной станции.5. Installation according to claim 1 or 4, characterized in that the casing (1) has at least one opening (7) closed by a cover (8) for loading and / or unloading the winding station.
6. Установка по п.5, отличающаяся тем, что отверстие (13) каркаса (12) камеры, когда каркас (12) находится в кожухе (1), обращено к закрытому крышкой (8) отверстию (7) и совмещено с ним для обеспечения возможности замены носителя (17) подложки после открытия крышки (8).6. Installation according to claim 5, characterized in that the hole (13) of the frame (12) of the chamber, when the frame (12) is in the casing (1), faces the hole (7) closed by the cover (8) and is aligned with it for providing the ability to replace the substrate carrier (17) after opening the cover (8).
7. Установка по п.6, отличающаяся тем, что отверстие (13) окружено уплотнением (14), которое в рабочем состоянии установки размещено между внутренней стенкой (6) кожуха (1) и кромкой отверстия (13), причем уплотнение (14) расположено внутри каркаса (12) или кожуха (1).7. Installation according to claim 6, characterized in that the hole (13) is surrounded by a seal (14), which in the operating state of the installation is placed between the inner wall (6) of the casing (1) and the edge of the hole (13), the seal (14) located inside the frame (12) or the casing (1).
8. Установка по п.7, отличающаяся тем, что уплотнение (14) выполнено с возможностью прижатия к гладкой внутренней стенке (6) кожуха.8. Installation according to claim 7, characterized in that the seal (14) is made with the possibility of pressing against the smooth inner wall (6) of the casing.
9. Установка по п.7 или 8, отличающаяся тем, что уплотнение (14) выполнено с возможностью перевода посредством давления текучей среды в положение уплотнения, при подаче давления, и в положение возврата, при снятии давления или при разрежении.9. Installation according to claim 7 or 8, characterized in that the seal (14) is configured to translate by means of fluid pressure into the seal position, when pressure is applied, and to the return position, when relieving pressure or when under pressure.
10. Установка по п.7 или 8, отличающаяся тем, что для откачки установки предусмотрен штуцер, который расположен в области, окруженной уплотнением (14).10. Installation according to claim 7 or 8, characterized in that a nozzle is provided for pumping out the installation, which is located in the area surrounded by the seal (14).
11. Установка по п.1, отличающаяся тем, что внутри каркаса (12) мотальных станций (10) установлен по меньшей мере один шлюзовой клапан (18).11. Installation according to claim 1, characterized in that at least one lock valve (18) is installed inside the frame (12) of the winding stations (10).
12. Установка по п.11, отличающаяся тем, что шлюзовой клапан (18) содержит уплотнительную поверхность (5), которая наподобие рамки окружает отверстие (19), предназначенное для пропускания подложки, и стержень (21) для запирания отверстия (19), который прижимается к уплотнительной поверхности и/или подложке, проходящей через отверстие (19), таким образом, что он посредством по меньшей мере опосредованного прижатия к краям уплотнительной поверхности запирает отверстие (19).12. Installation according to claim 11, characterized in that the lock valve (18) comprises a sealing surface (5), which, like a frame, surrounds an opening (19) for transmitting a substrate, and a rod (21) for locking the opening (19), which is pressed against the sealing surface and / or the substrate passing through the hole (19), so that by at least indirectly pressing against the edges of the sealing surface it closes the hole (19).
13. Установка по п.12, отличающаяся тем, что подложка в виде ленты плотно зажимается стержнем (21) в отверстии (19) для обеспечения возможности заправки новой подложки с помощью зажатого в шлюзовом клапане (18) остатка ленты.13. Installation according to claim 12, characterized in that the substrate in the form of a tape is tightly clamped by a rod (21) in the hole (19) to enable filling of a new substrate with the remainder of the tape clamped in the lock valve (18).
14. Установка по одному из пп.1, 2, 4, 6-8, 11-13, отличающаяся тем, что шлюзовые клапаны (18) установлены по отдельности или совместно в отдельном кожухе или каркасе и закреплены в каркасе (12).14. Installation according to one of claims 1, 2, 4, 6-8, 11-13, characterized in that the lock valves (18) are installed individually or together in a separate casing or frame and are fixed in the frame (12).