RU2005129930A - Устройство и способ управления тепловой реакцией в модуляторе - Google Patents
Устройство и способ управления тепловой реакцией в модуляторе Download PDFInfo
- Publication number
- RU2005129930A RU2005129930A RU2005129930/28A RU2005129930A RU2005129930A RU 2005129930 A RU2005129930 A RU 2005129930A RU 2005129930/28 A RU2005129930/28 A RU 2005129930/28A RU 2005129930 A RU2005129930 A RU 2005129930A RU 2005129930 A RU2005129930 A RU 2005129930A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- heat
- light modulation
- modulation device
- interferometric light
- interferometric
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims 15
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 10
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 10
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims 4
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims 3
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 claims 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000000788 chromium alloy Substances 0.000 claims 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims 2
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910000599 Cr alloy Inorganic materials 0.000 claims 1
- NPXOKRUENSOPAO-UHFFFAOYSA-N Raney nickel Chemical compound [Al].[Ni] NPXOKRUENSOPAO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 claims 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims 1
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 claims 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 239000000615 nonconductor Substances 0.000 claims 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 claims 1
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/26—Generating the spectrum; Monochromators using multiple reflection, e.g. Fabry-Perot interferometer, variable interference filters
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/001—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements based on interference in an adjustable optical cavity
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
- G02B26/0866—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting means being moved or deformed by thermal means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Electrochromic Elements, Electrophoresis, Or Variable Reflection Or Absorption Elements (AREA)
- Control Of Indicators Other Than Cathode Ray Tubes (AREA)
Claims (46)
1. Устройство интерферометрической модуляции света, содержащее частично отражающую часть, термочувствительную подвижную часть, которая перемещается относительно частично отражающей части в ответ на изменение температуры, и тепловой источник, выполненный с возможностью нагревания подвижной части для изменения расстояния между частично отражающей частью и подвижной частью.
2. Устройство интерферометрической модуляции света по п.1, в котором тепловой источник находится в контакте с подвижной частью.
3. Устройство интерферометрической модуляции света по п.2, в котором тепловой источник является резистивным нагревателем.
4. Устройство интерферометрической модуляции света по п.3, в котором резистивный нагреватель содержит металлический проводник.
5. Устройство интерферометрической модуляции света по п.4, в котором тепловой источник содержит диэлектрический материал, расположенный между металлическим проводником и подвижной частью и электрически изолирующий металлический проводник от подвижной части.
6. Устройство интерферометрической модуляции света по п.5, в котором диэлектрический материал представляет собой оксид.
7. Устройство интерферометрической модуляции света по п.5, в котором металл выбирают из группы, состоящей из никеля, хрома, сплавов никеля, сплавов хрома и хром-никелевых сплавов.
8. Устройство интерферометрической модуляции света по п.1, в котором подвижная часть содержит термочувствительный материал, выбранный из группы, состоящей из никеля, алюминия, сплавов никеля, сплавов алюминия, никель-алюминиевых сплавов, золота, платины, родия, меди, серебра.
9. Устройство интерферометрической модуляции света по п.8, в котором подвижная часть содержит слой термочувствительного материала.
10. Устройство интерферометрической модуляции света по п.1, в котором подвижная часть содержит, по меньшей мере, два слоя материала, причем слои материала имеют различные коэффициенты теплового расширения.
11. Устройство интерферометрической модуляции света по п.10, в котором подвижная часть содержит биметаллический сэндвич.
12. Устройство интерферометрической модуляции света по п.11, в котором биметаллический сэндвич содержит слой, содержащий никель или медь, и другой слой, содержащий железо или титан.
13. Устройство интерферометрической модуляции света по п.1, в котором подвижная часть представляет собой зеркало, прикрепленное к опоре и отделенное некоторым расстоянием от опоры, содержащей термочувствительный материал.
14. Устройство интерферометрической модуляции света по п.1, в котором частично отражающая часть имеет фиксированное положение.
15. Устройство интерферометрической модуляции света по п.1, дополнительно содержащее процессор, электрически соединенный с тепловым источником, причем процессор выполнен с возможностью обработки данных изображения, и устройство памяти, электрически соединенное с процессором.
16. Устройство интерферометрической модуляции света по п.15, дополнительно содержащее первый контроллер, выполненный с возможностью передачи, по меньшей мере, одного сигнала тепловому источнику, и второй контроллер, выполненный с возможностью передачи, по меньшей мере, части данных изображения в первый контроллер.
17. Устройство интерферометрической модуляции света по п.15, дополнительно содержащее модуль источника изображения, выполненный с возможностью передачи указанных данных изображения в процессор.
18. Устройство интерферометрической модуляции света по п.15, в котором модуль источника изображения содержит, по меньшей мере, либо приемник, либо приемопередатчик, либо передатчик.
19. Устройство интерферометрической модуляции света по п.15, дополнительно содержащее устройство ввода, выполненное с возможностью приема входных данных и передачи входных данных процессору.
20. Устройство отображения, содержащее множество микромеханических элементов отображения, причем каждый элемент отображения содержит пропускающий слой, отражающий слой параллельный пропускающему слою, поддерживаемый термочувствительным материалом и отделенный термочувствительным материалом от пропускающего слоя, и нагревающий элемент, термически связанный с термочувствительным материалом.
21. Устройство отображения по п.20, в котором нагревающий элемент представляет собой резистивный нагреватель.
22. Устройство отображения по п.21, в котором каждый элемент отображения дополнительно содержит переключатель, электрически соединенный с нагревателем, причем указанный переключатель регулирует ток, текущий через нагреватель, регулируя, таким образом, температуру нагревателя.
23. Устройство отображения по п.22, в котором переключатель представляет собой транзистор.
24. Устройство отображения по п.22, в котором переключатель для каждого элемента отображения является независимо управляемым.
25. Устройство отображения по п.21, в котором элементы отображения организованы в группы, причем переключатель, электрически соединенный с нагревателями каждой группы, выполнен с возможностью регулировки тока, текущего через нагреватели, регулируя, таким образом, температуру нагревателей.
26. Устройство отображения по п.25, в котором группы содержат строки и столбцы элементов отображения.
27. Устройство отображения по п.20, дополнительно содержащее тепловой источник для предоставления тепловой энергии в нагревающий элемент, причем нагревающий элемент содержит материал, поглощающий тепло.
28. Способ модуляции электромагнитного излучения, содержащий предоставление микромеханического устройства, содержащего термочувствительную часть, которая перемещается в ответ на изменение температуры, тепломодулятор, первую частично отражающую поверхность, вторую поверхность, отделенную и по существу параллельную первой поверхности, причем перемещение термочувствительной части изменяет расстояние между первой и второй поверхностями, и управление тепломодулятором для изменения температуры термочувствительной части, для изменения таким образом, расстояния между первой и второй поверхностями.
29. Способ по п.28, в котором изменение расстояния изменяет интерференцию электромагнитных волн, падающих на первую и вторую поверхности.
30. Способ по п.29, в котором электромагнитные волны представляют собой видимые световые волны.
31. Способ по п.30, в котором изменение расстояния создает конструктивную интерференцию, по существу на требуемой световой частоте.
32. Способ по п.30, в котором изменение расстояния содержит позиционирование первой поверхности на множестве расстояний от второй поверхности для создания конструктивной интерференции, по существу на множестве требуемых световых частот.
33. Способ по п.28, в котором изменение температуры содержит передачу тепла от тепломодулятора в термочувствительную часть.
34. Способ по п.33, в котором передача тепла содержит нагревание термочувствительной части с использованием теплопроводности, причем тепломодулятор представляет собой резистивный нагреватель.
35. Способ по п.34, в котором управление тепломодулятора содержит изменение силы тока, текущего к резистивному нагревателю между тремя или более уровнями силы тока.
36. Способ изготовления микромеханического устройства, содержащий этапы, на которых формируют первый отражающий слой, формируют второй отражающий слой, отделенный от первого отражающего слоя, и формируют нагревающий элемент, термически связанный со вторым отражающим слоем.
37. Способ по п.36, в котором второй отражающий слой содержит теплорасширяемый материал.
38. Способ по п.37, дополнительно содержащий электрический изолятор между нагревающим элементом и теплорасширяемым металлом.
39. Способ по п.36, в котором формирование нагревающего элемента содержит формирование металлического проводника.
40. Способ по п.36, в котором, по меньшей мере, один из первого отражающего слоя и второго отражающего слоя является частично прозрачными.
41. Интерферометрический модулятор, сформированный способом по п.36.
42. Интерферометрический модулятор, содержащий пропускающий слой, отражающий слой и средство для активации перемещения отражающего слоя с использованием тепловой энергии.
43. Устройство интерферометрической модуляции света, содержащее первое средство для частичного отражения света, второе средство для отражения света, выполненное с возможностью перемещения относительно указанного первого частично отражающего средства в ответ на изменение температуры, и устройство для нагревания указанного второго отражающего средства для изменения расстояния между первым частично отражающим средством и вторым частично отражающим средством.
44. Устройство по п.43, в котором указанное первое частично отражающее средство содержит частично отражающую поверхность.
45. Устройство с интерферометрической модуляцией света по п.43, в котором указанное второе отражающее средство содержит отражающую поверхность.
46. Устройство с интерферометрической модуляцией света по п.43, в котором указанное нагревающее средство содержит тепловой источник.
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US61355204P | 2004-09-27 | 2004-09-27 | |
US60/613,552 | 2004-09-27 | ||
US11/149,920 | 2005-06-10 | ||
US11/149,920 US7554714B2 (en) | 2004-09-27 | 2005-06-10 | Device and method for manipulation of thermal response in a modulator |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2005129930A true RU2005129930A (ru) | 2007-04-10 |
Family
ID=35507742
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2005129930/28A RU2005129930A (ru) | 2004-09-27 | 2005-09-26 | Устройство и способ управления тепловой реакцией в модуляторе |
Country Status (11)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7554714B2 (ru) |
EP (1) | EP1640771A1 (ru) |
JP (1) | JP2006099083A (ru) |
KR (1) | KR20060092923A (ru) |
AU (1) | AU2005203555A1 (ru) |
BR (1) | BRPI0503942A (ru) |
CA (1) | CA2518337A1 (ru) |
MX (1) | MXPA05009416A (ru) |
RU (1) | RU2005129930A (ru) |
SG (1) | SG121076A1 (ru) |
TW (1) | TW200626938A (ru) |
Families Citing this family (73)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8928967B2 (en) | 1998-04-08 | 2015-01-06 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method and device for modulating light |
US7532377B2 (en) * | 1998-04-08 | 2009-05-12 | Idc, Llc | Movable micro-electromechanical device |
KR100703140B1 (ko) | 1998-04-08 | 2007-04-05 | 이리다임 디스플레이 코포레이션 | 간섭 변조기 및 그 제조 방법 |
WO2003007049A1 (en) | 1999-10-05 | 2003-01-23 | Iridigm Display Corporation | Photonic mems and structures |
US6574033B1 (en) | 2002-02-27 | 2003-06-03 | Iridigm Display Corporation | Microelectromechanical systems device and method for fabricating same |
US7327510B2 (en) * | 2004-09-27 | 2008-02-05 | Idc, Llc | Process for modifying offset voltage characteristics of an interferometric modulator |
US7936497B2 (en) | 2004-09-27 | 2011-05-03 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | MEMS device having deformable membrane characterized by mechanical persistence |
US7372613B2 (en) | 2004-09-27 | 2008-05-13 | Idc, Llc | Method and device for multistate interferometric light modulation |
US7944599B2 (en) | 2004-09-27 | 2011-05-17 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Electromechanical device with optical function separated from mechanical and electrical function |
US7583429B2 (en) | 2004-09-27 | 2009-09-01 | Idc, Llc | Ornamental display device |
US7884989B2 (en) * | 2005-05-27 | 2011-02-08 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | White interferometric modulators and methods for forming the same |
US7460292B2 (en) | 2005-06-03 | 2008-12-02 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Interferometric modulator with internal polarization and drive method |
US7795061B2 (en) | 2005-12-29 | 2010-09-14 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method of creating MEMS device cavities by a non-etching process |
US7916980B2 (en) | 2006-01-13 | 2011-03-29 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Interconnect structure for MEMS device |
US20070268201A1 (en) * | 2006-05-22 | 2007-11-22 | Sampsell Jeffrey B | Back-to-back displays |
US7649671B2 (en) | 2006-06-01 | 2010-01-19 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Analog interferometric modulator device with electrostatic actuation and release |
US7471442B2 (en) | 2006-06-15 | 2008-12-30 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method and apparatus for low range bit depth enhancements for MEMS display architectures |
US7835061B2 (en) | 2006-06-28 | 2010-11-16 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Support structures for free-standing electromechanical devices |
US7527998B2 (en) | 2006-06-30 | 2009-05-05 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method of manufacturing MEMS devices providing air gap control |
KR100860303B1 (ko) | 2006-10-02 | 2008-09-25 | 삼성전기주식회사 | 히터를 이용한 온도 적응형 광변조기 소자 |
KR100860302B1 (ko) | 2006-10-02 | 2008-09-25 | 삼성전기주식회사 | 온도 적응형 광변조기 소자 |
US7629197B2 (en) * | 2006-10-18 | 2009-12-08 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Spatial light modulator |
US20080111834A1 (en) * | 2006-11-09 | 2008-05-15 | Mignard Marc M | Two primary color display |
US8115987B2 (en) | 2007-02-01 | 2012-02-14 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Modulating the intensity of light from an interferometric reflector |
US7742220B2 (en) * | 2007-03-28 | 2010-06-22 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Microelectromechanical device and method utilizing conducting layers separated by stops |
US7643202B2 (en) | 2007-05-09 | 2010-01-05 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Microelectromechanical system having a dielectric movable membrane and a mirror |
US7715085B2 (en) * | 2007-05-09 | 2010-05-11 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Electromechanical system having a dielectric movable membrane and a mirror |
US8111262B2 (en) * | 2007-05-18 | 2012-02-07 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Interferometric modulator displays with reduced color sensitivity |
US7643199B2 (en) * | 2007-06-19 | 2010-01-05 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | High aperture-ratio top-reflective AM-iMod displays |
US7782517B2 (en) * | 2007-06-21 | 2010-08-24 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Infrared and dual mode displays |
US7630121B2 (en) | 2007-07-02 | 2009-12-08 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Electromechanical device with optical function separated from mechanical and electrical function |
KR20100066452A (ko) | 2007-07-31 | 2010-06-17 | 퀄컴 엠이엠스 테크놀로지스, 인크. | 간섭계 변조기의 색 변이를 증강시키는 장치 |
US8072402B2 (en) * | 2007-08-29 | 2011-12-06 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Interferometric optical modulator with broadband reflection characteristics |
US7773286B2 (en) * | 2007-09-14 | 2010-08-10 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Periodic dimple array |
US7847999B2 (en) * | 2007-09-14 | 2010-12-07 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Interferometric modulator display devices |
EP2210280A2 (en) | 2007-10-19 | 2010-07-28 | QUALCOMM MEMS Technologies, Inc. | Display with integrated photovoltaic device |
US8058549B2 (en) | 2007-10-19 | 2011-11-15 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Photovoltaic devices with integrated color interferometric film stacks |
CN101836137A (zh) | 2007-10-23 | 2010-09-15 | 高通Mems科技公司 | 基于微机电***的可调整透射装置 |
US8941631B2 (en) | 2007-11-16 | 2015-01-27 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Simultaneous light collection and illumination on an active display |
US7715079B2 (en) | 2007-12-07 | 2010-05-11 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | MEMS devices requiring no mechanical support |
US8164821B2 (en) | 2008-02-22 | 2012-04-24 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Microelectromechanical device with thermal expansion balancing layer or stiffening layer |
US7944604B2 (en) | 2008-03-07 | 2011-05-17 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Interferometric modulator in transmission mode |
US7612933B2 (en) | 2008-03-27 | 2009-11-03 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Microelectromechanical device with spacing layer |
US7898723B2 (en) * | 2008-04-02 | 2011-03-01 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Microelectromechanical systems display element with photovoltaic structure |
US7969638B2 (en) | 2008-04-10 | 2011-06-28 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Device having thin black mask and method of fabricating the same |
US7746539B2 (en) * | 2008-06-25 | 2010-06-29 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method for packing a display device and the device obtained thereof |
US7768690B2 (en) | 2008-06-25 | 2010-08-03 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Backlight displays |
US8023167B2 (en) | 2008-06-25 | 2011-09-20 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Backlight displays |
US7859740B2 (en) | 2008-07-11 | 2010-12-28 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Stiction mitigation with integrated mech micro-cantilevers through vertical stress gradient control |
US7855826B2 (en) | 2008-08-12 | 2010-12-21 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method and apparatus to reduce or eliminate stiction and image retention in interferometric modulator devices |
US8358266B2 (en) | 2008-09-02 | 2013-01-22 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Light turning device with prismatic light turning features |
US8270056B2 (en) | 2009-03-23 | 2012-09-18 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Display device with openings between sub-pixels and method of making same |
JP5442113B2 (ja) | 2009-05-29 | 2014-03-12 | クォルコム・メムズ・テクノロジーズ・インコーポレーテッド | 照明デバイスおよび該照明デバイスの製造方法 |
US8270062B2 (en) | 2009-09-17 | 2012-09-18 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Display device with at least one movable stop element |
US8488228B2 (en) | 2009-09-28 | 2013-07-16 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Interferometric display with interferometric reflector |
KR20130100232A (ko) | 2010-04-09 | 2013-09-10 | 퀄컴 엠이엠에스 테크놀로지스, 인크. | 전기 기계 디바이스의 기계층 및 그 형성 방법 |
US9110200B2 (en) | 2010-04-16 | 2015-08-18 | Flex Lighting Ii, Llc | Illumination device comprising a film-based lightguide |
EP2558776B1 (en) | 2010-04-16 | 2022-09-14 | Azumo, Inc. | Front illumination device comprising a film-based lightguide |
US8390916B2 (en) | 2010-06-29 | 2013-03-05 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | System and method for false-color sensing and display |
EP2606485A1 (en) | 2010-08-17 | 2013-06-26 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Actuation and calibration of a charge neutral electrode in an interferometric display device |
US9057872B2 (en) | 2010-08-31 | 2015-06-16 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Dielectric enhanced mirror for IMOD display |
JP5720200B2 (ja) * | 2010-11-25 | 2015-05-20 | セイコーエプソン株式会社 | 光モジュール、および光測定装置 |
US8963159B2 (en) | 2011-04-04 | 2015-02-24 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Pixel via and methods of forming the same |
US9134527B2 (en) | 2011-04-04 | 2015-09-15 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Pixel via and methods of forming the same |
US8659816B2 (en) | 2011-04-25 | 2014-02-25 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Mechanical layer and methods of making the same |
US8736939B2 (en) | 2011-11-04 | 2014-05-27 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Matching layer thin-films for an electromechanical systems reflective display device |
US9181086B1 (en) | 2012-10-01 | 2015-11-10 | The Research Foundation For The State University Of New York | Hinged MEMS diaphragm and method of manufacture therof |
JP2015230989A (ja) * | 2014-06-05 | 2015-12-21 | 株式会社リコー | 撮像モジュール及び撮像装置 |
US10347814B2 (en) | 2016-04-01 | 2019-07-09 | Infineon Technologies Ag | MEMS heater or emitter structure for fast heating and cooling cycles |
US10681777B2 (en) | 2016-04-01 | 2020-06-09 | Infineon Technologies Ag | Light emitter devices, optical filter structures and methods for forming light emitter devices and optical filter structures |
US10955599B2 (en) | 2016-04-01 | 2021-03-23 | Infineon Technologies Ag | Light emitter devices, photoacoustic gas sensors and methods for forming light emitter devices |
US11853634B2 (en) * | 2017-02-21 | 2023-12-26 | Jeffrey E. Koziol | Detachable display system |
EP3593206A4 (en) * | 2017-03-06 | 2020-11-25 | Shenzhen Genorivision Technology Co., Ltd. | LIDAR LIGHT SOURCE |
Family Cites Families (174)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2534846A (en) | 1946-06-20 | 1950-12-19 | Emi Ltd | Color filter |
DE1288651B (de) | 1963-06-28 | 1969-02-06 | Siemens Ag | Anordnung elektrischer Dipole fuer Wellenlaengen unterhalb 1 mm und Verfahren zur Herstellung einer derartigen Anordnung |
FR1603131A (ru) | 1968-07-05 | 1971-03-22 | ||
US3653741A (en) | 1970-02-16 | 1972-04-04 | Alvin M Marks | Electro-optical dipolar material |
US3813265A (en) | 1970-02-16 | 1974-05-28 | A Marks | Electro-optical dipolar material |
US3728030A (en) | 1970-06-22 | 1973-04-17 | Cary Instruments | Polarization interferometer |
US3725868A (en) | 1970-10-19 | 1973-04-03 | Burroughs Corp | Small reconfigurable processor for a variety of data processing applications |
JPS4946974A (ru) | 1972-09-11 | 1974-05-07 | ||
DE2336930A1 (de) | 1973-07-20 | 1975-02-06 | Battelle Institut E V | Infrarot-modulator (ii.) |
US4099854A (en) | 1976-10-12 | 1978-07-11 | The Unites States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Optical notch filter utilizing electric dipole resonance absorption |
US4196396A (en) | 1976-10-15 | 1980-04-01 | Bell Telephone Laboratories, Incorporated | Interferometer apparatus using electro-optic material with feedback |
US4389096A (en) | 1977-12-27 | 1983-06-21 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Image display apparatus of liquid crystal valve projection type |
US4663083A (en) | 1978-05-26 | 1987-05-05 | Marks Alvin M | Electro-optical dipole suspension with reflective-absorptive-transmissive characteristics |
US4445050A (en) | 1981-12-15 | 1984-04-24 | Marks Alvin M | Device for conversion of light power to electric power |
US4228437A (en) | 1979-06-26 | 1980-10-14 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Wideband polarization-transforming electromagnetic mirror |
NL8001281A (nl) | 1980-03-04 | 1981-10-01 | Philips Nv | Weergeefinrichting. |
DE3012253A1 (de) | 1980-03-28 | 1981-10-15 | Hoechst Ag, 6000 Frankfurt | Verfahren zum sichtbarmaschen von ladungsbildern und eine hierfuer geeignete vorichtung |
US4377324A (en) * | 1980-08-04 | 1983-03-22 | Honeywell Inc. | Graded index Fabry-Perot optical filter device |
US4441791A (en) | 1980-09-02 | 1984-04-10 | Texas Instruments Incorporated | Deformable mirror light modulator |
FR2506026A1 (fr) | 1981-05-18 | 1982-11-19 | Radant Etudes | Procede et dispositif pour l'analyse d'un faisceau de rayonnement d'ondes electromagnetiques hyperfrequence |
NL8103377A (nl) | 1981-07-16 | 1983-02-16 | Philips Nv | Weergeefinrichting. |
US4571603A (en) * | 1981-11-03 | 1986-02-18 | Texas Instruments Incorporated | Deformable mirror electrostatic printer |
NL8200354A (nl) | 1982-02-01 | 1983-09-01 | Philips Nv | Passieve weergeefinrichting. |
US4500171A (en) * | 1982-06-02 | 1985-02-19 | Texas Instruments Incorporated | Process for plastic LCD fill hole sealing |
US4482213A (en) | 1982-11-23 | 1984-11-13 | Texas Instruments Incorporated | Perimeter seal reinforcement holes for plastic LCDs |
JPS60159731A (ja) | 1984-01-30 | 1985-08-21 | Sharp Corp | 液晶表示体 |
US4566935A (en) * | 1984-07-31 | 1986-01-28 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator and method |
US4710732A (en) | 1984-07-31 | 1987-12-01 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator and method |
US4596992A (en) | 1984-08-31 | 1986-06-24 | Texas Instruments Incorporated | Linear spatial light modulator and printer |
US4662746A (en) | 1985-10-30 | 1987-05-05 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator and method |
US5061049A (en) | 1984-08-31 | 1991-10-29 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator and method |
US5096279A (en) * | 1984-08-31 | 1992-03-17 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator and method |
US4615595A (en) | 1984-10-10 | 1986-10-07 | Texas Instruments Incorporated | Frame addressed spatial light modulator |
US5172262A (en) | 1985-10-30 | 1992-12-15 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator and method |
US4859060A (en) | 1985-11-26 | 1989-08-22 | 501 Sharp Kabushiki Kaisha | Variable interferometric device and a process for the production of the same |
GB8610129D0 (en) | 1986-04-25 | 1986-05-29 | Secr Defence | Electro-optical device |
US4748366A (en) | 1986-09-02 | 1988-05-31 | Taylor George W | Novel uses of piezoelectric materials for creating optical effects |
US4786128A (en) | 1986-12-02 | 1988-11-22 | Quantum Diagnostics, Ltd. | Device for modulating and reflecting electromagnetic radiation employing electro-optic layer having a variable index of refraction |
NL8701138A (nl) | 1987-05-13 | 1988-12-01 | Philips Nv | Electroscopische beeldweergeefinrichting. |
DE3716485C1 (de) | 1987-05-16 | 1988-11-24 | Heraeus Gmbh W C | Xenon-Kurzbogen-Entladungslampe |
EP0394219B1 (de) | 1987-06-04 | 1992-01-15 | LUKOSZ, Walter | Optisches modulations- und mess-verfahren |
US4857978A (en) | 1987-08-11 | 1989-08-15 | North American Philips Corporation | Solid state light modulator incorporating metallized gel and method of metallization |
US4900136A (en) * | 1987-08-11 | 1990-02-13 | North American Philips Corporation | Method of metallizing silica-containing gel and solid state light modulator incorporating the metallized gel |
US4956619A (en) | 1988-02-19 | 1990-09-11 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator |
US4856863A (en) | 1988-06-22 | 1989-08-15 | Texas Instruments Incorporated | Optical fiber interconnection network including spatial light modulator |
US5028939A (en) | 1988-08-23 | 1991-07-02 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator system |
JP2700903B2 (ja) * | 1988-09-30 | 1998-01-21 | シャープ株式会社 | 液晶表示装置 |
US4982184A (en) * | 1989-01-03 | 1991-01-01 | General Electric Company | Electrocrystallochromic display and element |
US5214420A (en) | 1989-02-27 | 1993-05-25 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator projection system with random polarity light |
US5214419A (en) | 1989-02-27 | 1993-05-25 | Texas Instruments Incorporated | Planarized true three dimensional display |
US5192946A (en) * | 1989-02-27 | 1993-03-09 | Texas Instruments Incorporated | Digitized color video display system |
US5079544A (en) * | 1989-02-27 | 1992-01-07 | Texas Instruments Incorporated | Standard independent digitized video system |
US5272473A (en) | 1989-02-27 | 1993-12-21 | Texas Instruments Incorporated | Reduced-speckle display system |
US5206629A (en) | 1989-02-27 | 1993-04-27 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator and memory for digitized video display |
US5287096A (en) * | 1989-02-27 | 1994-02-15 | Texas Instruments Incorporated | Variable luminosity display system |
US5162787A (en) | 1989-02-27 | 1992-11-10 | Texas Instruments Incorporated | Apparatus and method for digitized video system utilizing a moving display surface |
US5170156A (en) | 1989-02-27 | 1992-12-08 | Texas Instruments Incorporated | Multi-frequency two dimensional display system |
US4900395A (en) * | 1989-04-07 | 1990-02-13 | Fsi International, Inc. | HF gas etching of wafers in an acid processor |
US5022745A (en) | 1989-09-07 | 1991-06-11 | Massachusetts Institute Of Technology | Electrostatically deformable single crystal dielectrically coated mirror |
US4954789A (en) | 1989-09-28 | 1990-09-04 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator |
US5381253A (en) * | 1991-11-14 | 1995-01-10 | Board Of Regents Of University Of Colorado | Chiral smectic liquid crystal optical modulators having variable retardation |
US5124834A (en) | 1989-11-16 | 1992-06-23 | General Electric Company | Transferrable, self-supporting pellicle for elastomer light valve displays and method for making the same |
US5037173A (en) | 1989-11-22 | 1991-08-06 | Texas Instruments Incorporated | Optical interconnection network |
US5500635A (en) * | 1990-02-20 | 1996-03-19 | Mott; Jonathan C. | Products incorporating piezoelectric material |
US5258821A (en) * | 1990-04-20 | 1993-11-02 | Photon, Inc. | Laser beam profiler having a multimode laser diode interferometer |
CH682523A5 (fr) * | 1990-04-20 | 1993-09-30 | Suisse Electronique Microtech | Dispositif de modulation de lumière à adressage matriciel. |
GB9012099D0 (en) | 1990-05-31 | 1990-07-18 | Kodak Ltd | Optical article for multicolour imaging |
US5083857A (en) * | 1990-06-29 | 1992-01-28 | Texas Instruments Incorporated | Multi-level deformable mirror device |
DE69113150T2 (de) * | 1990-06-29 | 1996-04-04 | Texas Instruments Inc | Deformierbare Spiegelvorrichtung mit aktualisiertem Raster. |
US5142405A (en) | 1990-06-29 | 1992-08-25 | Texas Instruments Incorporated | Bistable dmd addressing circuit and method |
US5216537A (en) | 1990-06-29 | 1993-06-01 | Texas Instruments Incorporated | Architecture and process for integrating DMD with control circuit substrates |
US5099353A (en) * | 1990-06-29 | 1992-03-24 | Texas Instruments Incorporated | Architecture and process for integrating DMD with control circuit substrates |
US5018256A (en) | 1990-06-29 | 1991-05-28 | Texas Instruments Incorporated | Architecture and process for integrating DMD with control circuit substrates |
US5153771A (en) | 1990-07-18 | 1992-10-06 | Northrop Corporation | Coherent light modulation and detector |
US5192395A (en) * | 1990-10-12 | 1993-03-09 | Texas Instruments Incorporated | Method of making a digital flexure beam accelerometer |
US5044736A (en) | 1990-11-06 | 1991-09-03 | Motorola, Inc. | Configurable optical filter or display |
US5602671A (en) * | 1990-11-13 | 1997-02-11 | Texas Instruments Incorporated | Low surface energy passivation layer for micromechanical devices |
US5331454A (en) | 1990-11-13 | 1994-07-19 | Texas Instruments Incorporated | Low reset voltage process for DMD |
US5233459A (en) | 1991-03-06 | 1993-08-03 | Massachusetts Institute Of Technology | Electric display device |
US5136669A (en) | 1991-03-15 | 1992-08-04 | Sperry Marine Inc. | Variable ratio fiber optic coupler optical signal processing element |
CA2063744C (en) * | 1991-04-01 | 2002-10-08 | Paul M. Urbanus | Digital micromirror device architecture and timing for use in a pulse-width modulated display system |
US5142414A (en) | 1991-04-22 | 1992-08-25 | Koehler Dale R | Electrically actuatable temporal tristimulus-color device |
US5226099A (en) | 1991-04-26 | 1993-07-06 | Texas Instruments Incorporated | Digital micromirror shutter device |
US5179274A (en) * | 1991-07-12 | 1993-01-12 | Texas Instruments Incorporated | Method for controlling operation of optical systems and devices |
US5168406A (en) | 1991-07-31 | 1992-12-01 | Texas Instruments Incorporated | Color deformable mirror device and method for manufacture |
US5254980A (en) | 1991-09-06 | 1993-10-19 | Texas Instruments Incorporated | DMD display system controller |
US5315370A (en) | 1991-10-23 | 1994-05-24 | Bulow Jeffrey A | Interferometric modulator for optical signal processing |
US5233385A (en) | 1991-12-18 | 1993-08-03 | Texas Instruments Incorporated | White light enhanced color field sequential projection |
US5233456A (en) | 1991-12-20 | 1993-08-03 | Texas Instruments Incorporated | Resonant mirror and method of manufacture |
US5228013A (en) | 1992-01-10 | 1993-07-13 | Bik Russell J | Clock-painting device and method for indicating the time-of-day with a non-traditional, now analog artistic panel of digital electronic visual displays |
US5296950A (en) * | 1992-01-31 | 1994-03-22 | Texas Instruments Incorporated | Optical signal free-space conversion board |
US5231532A (en) | 1992-02-05 | 1993-07-27 | Texas Instruments Incorporated | Switchable resonant filter for optical radiation |
US5212582A (en) | 1992-03-04 | 1993-05-18 | Texas Instruments Incorporated | Electrostatically controlled beam steering device and method |
DE69310974T2 (de) | 1992-03-25 | 1997-11-06 | Texas Instruments Inc | Eingebautes optisches Eichsystem |
US5312513A (en) * | 1992-04-03 | 1994-05-17 | Texas Instruments Incorporated | Methods of forming multiple phase light modulators |
JPH07508856A (ja) * | 1992-04-08 | 1995-09-28 | ジョージア テック リサーチ コーポレイション | 成長基板から薄膜材料をリフトオフするためのプロセス |
US5311360A (en) | 1992-04-28 | 1994-05-10 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford, Junior University | Method and apparatus for modulating a light beam |
TW245772B (ru) * | 1992-05-19 | 1995-04-21 | Akzo Nv | |
JPH0651250A (ja) * | 1992-05-20 | 1994-02-25 | Texas Instr Inc <Ti> | モノリシックな空間的光変調器およびメモリのパッケージ |
US5818095A (en) * | 1992-08-11 | 1998-10-06 | Texas Instruments Incorporated | High-yield spatial light modulator with light blocking layer |
US5293272A (en) * | 1992-08-24 | 1994-03-08 | Physical Optics Corporation | High finesse holographic fabry-perot etalon and method of fabricating |
US5327286A (en) | 1992-08-31 | 1994-07-05 | Texas Instruments Incorporated | Real time optical correlation system |
US5325116A (en) | 1992-09-18 | 1994-06-28 | Texas Instruments Incorporated | Device for writing to and reading from optical storage media |
US5296775A (en) | 1992-09-24 | 1994-03-22 | International Business Machines Corporation | Cooling microfan arrangements and process |
US6674562B1 (en) * | 1994-05-05 | 2004-01-06 | Iridigm Display Corporation | Interferometric modulation of radiation |
US5324683A (en) | 1993-06-02 | 1994-06-28 | Motorola, Inc. | Method of forming a semiconductor structure having an air region |
US5489952A (en) * | 1993-07-14 | 1996-02-06 | Texas Instruments Incorporated | Method and device for multi-format television |
US5510824A (en) * | 1993-07-26 | 1996-04-23 | Texas Instruments, Inc. | Spatial light modulator array |
US5497197A (en) * | 1993-11-04 | 1996-03-05 | Texas Instruments Incorporated | System and method for packaging data into video processor |
US5500761A (en) * | 1994-01-27 | 1996-03-19 | At&T Corp. | Micromechanical modulator |
US7550794B2 (en) * | 2002-09-20 | 2009-06-23 | Idc, Llc | Micromechanical systems device comprising a displaceable electrode and a charge-trapping layer |
US6040937A (en) * | 1994-05-05 | 2000-03-21 | Etalon, Inc. | Interferometric modulation |
US7460291B2 (en) * | 1994-05-05 | 2008-12-02 | Idc, Llc | Separable modulator |
US6710908B2 (en) * | 1994-05-05 | 2004-03-23 | Iridigm Display Corporation | Controlling micro-electro-mechanical cavities |
US6680792B2 (en) * | 1994-05-05 | 2004-01-20 | Iridigm Display Corporation | Interferometric modulation of radiation |
US5497172A (en) * | 1994-06-13 | 1996-03-05 | Texas Instruments Incorporated | Pulse width modulation for spatial light modulator with split reset addressing |
US5499062A (en) * | 1994-06-23 | 1996-03-12 | Texas Instruments Incorporated | Multiplexed memory timing with block reset and secondary memory |
US5610624A (en) * | 1994-11-30 | 1997-03-11 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator with reduced possibility of an on state defect |
US5726480A (en) * | 1995-01-27 | 1998-03-10 | The Regents Of The University Of California | Etchants for use in micromachining of CMOS Microaccelerometers and microelectromechanical devices and method of making the same |
US5610438A (en) * | 1995-03-08 | 1997-03-11 | Texas Instruments Incorporated | Micro-mechanical device with non-evaporable getter |
US6046840A (en) * | 1995-06-19 | 2000-04-04 | Reflectivity, Inc. | Double substrate reflective spatial light modulator with self-limiting micro-mechanical elements |
US5710656A (en) * | 1996-07-30 | 1998-01-20 | Lucent Technologies Inc. | Micromechanical optical modulator having a reduced-mass composite membrane |
DE69806846T2 (de) * | 1997-05-08 | 2002-12-12 | Texas Instruments Inc., Dallas | Verbesserungen für räumliche Lichtmodulatoren |
US5867302A (en) * | 1997-08-07 | 1999-02-02 | Sandia Corporation | Bistable microelectromechanical actuator |
US6028690A (en) * | 1997-11-26 | 2000-02-22 | Texas Instruments Incorporated | Reduced micromirror mirror gaps for improved contrast ratio |
US6180428B1 (en) * | 1997-12-12 | 2001-01-30 | Xerox Corporation | Monolithic scanning light emitting devices using micromachining |
US6195196B1 (en) * | 1998-03-13 | 2001-02-27 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Array-type exposing device and flat type display incorporating light modulator and driving method thereof |
JP4074714B2 (ja) * | 1998-09-25 | 2008-04-09 | 富士フイルム株式会社 | アレイ型光変調素子及び平面ディスプレイの駆動方法 |
US6171945B1 (en) * | 1998-10-22 | 2001-01-09 | Applied Materials, Inc. | CVD nanoporous silica low dielectric constant films |
US6335831B2 (en) * | 1998-12-18 | 2002-01-01 | Eastman Kodak Company | Multilevel mechanical grating device |
US6358021B1 (en) * | 1998-12-29 | 2002-03-19 | Honeywell International Inc. | Electrostatic actuators for active surfaces |
US6201633B1 (en) * | 1999-06-07 | 2001-03-13 | Xerox Corporation | Micro-electromechanical based bistable color display sheets |
US6862029B1 (en) * | 1999-07-27 | 2005-03-01 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Color display system |
US6525310B2 (en) * | 1999-08-05 | 2003-02-25 | Microvision, Inc. | Frequency tunable resonant scanner |
WO2003007049A1 (en) * | 1999-10-05 | 2003-01-23 | Iridigm Display Corporation | Photonic mems and structures |
US6674090B1 (en) * | 1999-12-27 | 2004-01-06 | Xerox Corporation | Structure and method for planar lateral oxidation in active |
CA2352729A1 (en) * | 2000-07-13 | 2002-01-13 | Creoscitex Corporation Ltd. | Blazed micro-mechanical light modulator and array thereof |
US6853129B1 (en) * | 2000-07-28 | 2005-02-08 | Candescent Technologies Corporation | Protected substrate structure for a field emission display device |
JP4304852B2 (ja) * | 2000-09-04 | 2009-07-29 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 非平面液晶表示素子及びその製造方法 |
US6859218B1 (en) * | 2000-11-07 | 2005-02-22 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Electronic display devices and methods |
EP1344309A1 (en) * | 2000-12-11 | 2003-09-17 | Rad H. Dabbaj | Electrostatic device |
US6911891B2 (en) * | 2001-01-19 | 2005-06-28 | Massachusetts Institute Of Technology | Bistable actuation techniques, mechanisms, and applications |
US20020149850A1 (en) * | 2001-04-17 | 2002-10-17 | E-Tek Dynamics, Inc. | Tunable optical filter |
GB2375184A (en) * | 2001-05-02 | 2002-11-06 | Marconi Caswell Ltd | Wavelength selectable optical filter |
JP3740444B2 (ja) * | 2001-07-11 | 2006-02-01 | キヤノン株式会社 | 光偏向器、それを用いた光学機器、ねじれ揺動体 |
JP4032216B2 (ja) * | 2001-07-12 | 2008-01-16 | ソニー株式会社 | 光学多層構造体およびその製造方法、並びに光スイッチング素子および画像表示装置 |
KR100452112B1 (ko) * | 2001-07-18 | 2004-10-12 | 한국과학기술원 | 정전 구동기 |
US6862022B2 (en) * | 2001-07-20 | 2005-03-01 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Method and system for automatically selecting a vertical refresh rate for a video display monitor |
US20030053078A1 (en) * | 2001-09-17 | 2003-03-20 | Mark Missey | Microelectromechanical tunable fabry-perot wavelength monitor with thermal actuators |
US6791735B2 (en) * | 2002-01-09 | 2004-09-14 | The Regents Of The University Of California | Differentially-driven MEMS spatial light modulator |
JP3801099B2 (ja) * | 2002-06-04 | 2006-07-26 | 株式会社デンソー | チューナブルフィルタ、その製造方法、及びそれを使用した光スイッチング装置 |
US6822798B2 (en) * | 2002-08-09 | 2004-11-23 | Optron Systems, Inc. | Tunable optical filter |
US6674033B1 (en) * | 2002-08-21 | 2004-01-06 | Ming-Shan Wang | Press button type safety switch |
TW544787B (en) * | 2002-09-18 | 2003-08-01 | Promos Technologies Inc | Method of forming self-aligned contact structure with locally etched gate conductive layer |
TWI289708B (en) * | 2002-12-25 | 2007-11-11 | Qualcomm Mems Technologies Inc | Optical interference type color display |
US6808953B2 (en) * | 2002-12-31 | 2004-10-26 | Robert Bosch Gmbh | Gap tuning for surface micromachined structures in an epitaxial reactor |
US6870591B2 (en) * | 2003-01-21 | 2005-03-22 | Chunghwa Picture Tubes, Ltd. | Liquid crystal display with separating wall |
US7068372B1 (en) * | 2003-01-28 | 2006-06-27 | Silicon Light Machines Corporation | MEMS interferometer-based reconfigurable optical add-and-drop multiplexor |
US6829132B2 (en) * | 2003-04-30 | 2004-12-07 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Charge control of micro-electromechanical device |
US6940630B2 (en) * | 2003-05-01 | 2005-09-06 | University Of Florida Research Foundation, Inc. | Vertical displacement device |
TW570896B (en) * | 2003-05-26 | 2004-01-11 | Prime View Int Co Ltd | A method for fabricating an interference display cell |
US7190380B2 (en) * | 2003-09-26 | 2007-03-13 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Generating and displaying spatially offset sub-frames |
US7173314B2 (en) * | 2003-08-13 | 2007-02-06 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Storage device having a probe and a storage cell with moveable parts |
TWI251712B (en) * | 2003-08-15 | 2006-03-21 | Prime View Int Corp Ltd | Interference display plate |
TW200506479A (en) * | 2003-08-15 | 2005-02-16 | Prime View Int Co Ltd | Color changeable pixel for an interference display |
TWI305599B (en) * | 2003-08-15 | 2009-01-21 | Qualcomm Mems Technologies Inc | Interference display panel and method thereof |
TW593127B (en) * | 2003-08-18 | 2004-06-21 | Prime View Int Co Ltd | Interference display plate and manufacturing method thereof |
TWI231865B (en) * | 2003-08-26 | 2005-05-01 | Prime View Int Co Ltd | An interference display cell and fabrication method thereof |
US20050057442A1 (en) * | 2003-08-28 | 2005-03-17 | Olan Way | Adjacent display of sequential sub-images |
TWI232333B (en) * | 2003-09-03 | 2005-05-11 | Prime View Int Co Ltd | Display unit using interferometric modulation and manufacturing method thereof |
US6982820B2 (en) * | 2003-09-26 | 2006-01-03 | Prime View International Co., Ltd. | Color changeable pixel |
US20050068583A1 (en) * | 2003-09-30 | 2005-03-31 | Gutkowski Lawrence J. | Organizing a digital image |
US6861277B1 (en) * | 2003-10-02 | 2005-03-01 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Method of forming MEMS device |
US6958817B1 (en) * | 2004-08-13 | 2005-10-25 | Nanyang Technological University | Method of interferometry with modulated optical path-length difference and interferometer |
-
2005
- 2005-06-10 US US11/149,920 patent/US7554714B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2005-08-10 AU AU2005203555A patent/AU2005203555A1/en not_active Abandoned
- 2005-08-17 TW TW094127978A patent/TW200626938A/zh unknown
- 2005-08-25 SG SG200505427A patent/SG121076A1/en unknown
- 2005-08-26 JP JP2005245297A patent/JP2006099083A/ja not_active Withdrawn
- 2005-09-02 MX MXPA05009416A patent/MXPA05009416A/es not_active Application Discontinuation
- 2005-09-02 CA CA002518337A patent/CA2518337A1/en not_active Abandoned
- 2005-09-14 EP EP05255673A patent/EP1640771A1/en not_active Withdrawn
- 2005-09-26 BR BRPI0503942-8A patent/BRPI0503942A/pt not_active Application Discontinuation
- 2005-09-26 RU RU2005129930/28A patent/RU2005129930A/ru not_active Application Discontinuation
- 2005-09-27 KR KR1020050089956A patent/KR20060092923A/ko not_active Application Discontinuation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
AU2005203555A1 (en) | 2006-04-13 |
US7554714B2 (en) | 2009-06-30 |
TW200626938A (en) | 2006-08-01 |
KR20060092923A (ko) | 2006-08-23 |
US20060077152A1 (en) | 2006-04-13 |
EP1640771A1 (en) | 2006-03-29 |
CA2518337A1 (en) | 2006-03-27 |
JP2006099083A (ja) | 2006-04-13 |
SG121076A1 (en) | 2006-04-26 |
BRPI0503942A (pt) | 2006-05-09 |
MXPA05009416A (es) | 2006-03-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2005129930A (ru) | Устройство и способ управления тепловой реакцией в модуляторе | |
JP2006099083A5 (ru) | ||
RU2005129962A (ru) | Система и способ обеспечения восстановления защитного покрытия в устройстве мэмс | |
US5911896A (en) | Substrate heating apparatus with glass-ceramic panels and thin film ribbon heater element | |
TW200700583A (en) | Apparatus for spatial and temporal control of temperature on a substrate | |
US4045654A (en) | Electric hotplate with thermostat | |
US11133588B1 (en) | Phase change material based reconfigurable intelligent reflective surfaces | |
EP0474700B1 (en) | Pulsating infrared radiation source | |
US7676120B2 (en) | Optical phase shift device and antenna system utilizing same | |
GB2372421A8 (en) | Variable temperature control for a liquid heating vessel | |
CN106170719B (zh) | 包括具有减少响应时间的可变形膜的光学设备 | |
EP3236708B1 (en) | Heat pipe with printed heater and associated methods for manufacturing | |
US1912921A (en) | Thermostatic heater | |
CN108963061A (zh) | 热放射构造体 | |
CN117075366A (zh) | 一种基于相变微阵列的电控相变控制模块及控制方法 | |
US5921083A (en) | Tri-clad thermoelectric actuator | |
JP4115943B2 (ja) | 熱伝導経路を有する熱弾性インクジェットアクチュエータ | |
US4545641A (en) | High speed erasing and rebiasing of thermoptic thin films in the medium and long-wave infrared | |
US10263609B2 (en) | Oven controlled crystal oscillator device cover | |
JP2002098845A (ja) | 温度調整装置および温度調整装置付き光導波路デバイス | |
JPS5876911A (ja) | 放熱量制御装置 | |
US20200041758A1 (en) | Thermoelectrically controlled optical mirror mount | |
JP2005326857A (ja) | 光学型リアルタイム遅延装置及びその製造方法 | |
JP2003031341A (ja) | プレートヒータ | |
KR100521088B1 (ko) | 이동유닛을 구비한 복합 유도가열 조리기 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FA93 | Acknowledgement of application withdrawn (no request for examination) |
Effective date: 20080927 |
|
FA93 | Acknowledgement of application withdrawn (no request for examination) |
Effective date: 20080927 |