RU180256U1 - Chamber for dynamic chemical etching of sintered metal foams in the form of a pipe and determining their permeability to liquids - Google Patents

Chamber for dynamic chemical etching of sintered metal foams in the form of a pipe and determining their permeability to liquids Download PDF

Info

Publication number
RU180256U1
RU180256U1 RU2017146339U RU2017146339U RU180256U1 RU 180256 U1 RU180256 U1 RU 180256U1 RU 2017146339 U RU2017146339 U RU 2017146339U RU 2017146339 U RU2017146339 U RU 2017146339U RU 180256 U1 RU180256 U1 RU 180256U1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
permeability
metal foams
controlled
chemical etching
porosity
Prior art date
Application number
RU2017146339U
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Вадим Алексеевич Шереметьев
Сергей Дмитриевич Прокошкин
Владимир Иосифович БРАИЛОВСКИЙ
Юлия Сергеевна Жукова
Сергей Михайлович Дубинский
Original Assignee
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС" filed Critical Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС"
Priority to RU2017146339U priority Critical patent/RU180256U1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU180256U1 publication Critical patent/RU180256U1/en

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23FNON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
    • C23F1/00Etching metallic material by chemical means
    • C23F1/08Apparatus, e.g. for photomechanical printing surfaces

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • ing And Chemical Polishing (AREA)

Abstract

Область техники. Полезная модель относится к порошковой металлургии, а именно к созданию устройства, позволяющего осуществлять контролируемое изменение пористой структуры металлических пеноматериалов путем динамического химического протравливания (ДХП) с одновременным измерением проницаемости. Материалы после обработки с использованием предлагаемого устройства могут быть использованы в медицине, в качестве костных имплантатов, и в других отраслях техники, в качестве фильтровальных элементов.Раскрытие изобретения. Техническим результатом является создание полезной модели в виде камеры для устройства для осуществления двух процессов: контролируемого увеличения размеров пор, пористости и проницаемости спеченных металлических пеноматериалов трубчатой формы с использованием ДХП; и измерения проницаемости жидкостями. Путем пропускания активных растворов на основе кислот можно управлять параметрами пористой структуры (размеров пор, пористость и проницаемость) пеноматериалов. Контролируемое применение метода ДХП позволит получать спеченные металлические пеноматериалы с высокой пористостью (более 50%), размером пор от 100 до 800 мкм, высоким пределом прочности на сжатие (не менее 100 МПа) и низкими значениями модуля Юнга (2-15 ГПа), близкими к таковым у трабекулярной костной ткани человека.Камера может быть использована в любой отрасли промышленности и медицины, где применяются спеченные проницаемые металлические пеноматериалы.The field of technology. The utility model relates to powder metallurgy, namely to the creation of a device that allows for a controlled change in the porous structure of metal foams by dynamic chemical etching (DCP) with simultaneous measurement of permeability. Materials after processing using the proposed device can be used in medicine, as bone implants, and in other industries, as filter elements. Disclosure of the invention. The technical result is the creation of a utility model in the form of a camera for a device for the implementation of two processes: a controlled increase in pore size, porosity and permeability of sintered tubular metal foams using DC; and liquid permeability measurements. By passing active acid-based solutions, the parameters of the porous structure (pore size, porosity and permeability) of the foams can be controlled. The controlled application of the DC method will allow sintered metal foams with high porosity (more than 50%), pore sizes from 100 to 800 μm, high compressive strength (not less than 100 MPa) and low Young's modulus (2-15 GPa) close to to those of human trabecular bone tissue. The camera can be used in any industry and medicine where sintered permeable metal foams are used.

Description

Полезная модель относится к порошковой металлургии, а именно к созданию полезной модели для устройства для динамического химического протравливания спеченных металлических пеноматериалов трубчатой формы и определения их проницаемости жидкостями. Материалы трубчатой формы после обработки с использованием предлагаемой полезной модели могут быть использованы в медицине, в качестве костных имплантатов, и в других отраслях техники, в качестве фильтровальных элементов.The utility model relates to powder metallurgy, namely, to the creation of a utility model for a device for dynamic chemical etching of sintered tubular metal foams and determining their liquid permeability. Tubular materials after processing using the proposed utility model can be used in medicine, as bone implants, and in other branches of technology, as filter elements.

Известно устройство для травления мало- и крупногабаритных изделий со сложными поверхностями (RU 148141 U1, опублик. 27.11.2014), которое содержит реакционную камеру, соединенную с емкостями для обрабатывающих растворов, и низкочастотную систему пульсации. Основными отличиями в сравнении с предлагаемым изобретением являются отсутствие измерительных приборов (датчики давления и скорости потока) и закрепление образца в реакционной камере, в которой не осуществляется контролируемое сквозное протекание жидкостей через образец.A device for etching small and large-sized products with complex surfaces (RU 148141 U1, published. 11.27.2014), which contains a reaction chamber connected to containers for processing solutions, and a low-frequency pulsation system. The main differences in comparison with the invention are the absence of measuring instruments (pressure and flow rate sensors) and the fixing of the sample in the reaction chamber, in which the controlled through flow of liquids through the sample is not carried out.

Недостатками этого устройства являются отсутствие возможности осуществлять контролируемое сквозное пропускание травителя под давлением через образец в форме трубы и измерять его проницаемость жидкостями.The disadvantages of this device are the inability to carry out a controlled through passage of the etchant under pressure through a sample in the form of a pipe and to measure its permeability to liquids.

Известно устройство травления поверхности для металлографического анализа (RU 2537488 С2, опублик. 10.01.2015), которое содержит ячейку для протравливания и средства, изолирующие протравливаемую зону от окружающих областей поверхности. В ячейку включены средства для крепления к протравливаемому объекту, указанные изолирующие средства выполнены в виде эластичной прокладки, а также к ячейке присоединен резервуар с протравливающим раствором, резервуар с промывочным раствором и выпускной шланг для сбора отработанных растворов. Основными отличиями в сравнении с предлагаемым изобретением являются отсутствие измерительных приборов (датчики давления и скорости потока) и невозможность травления пористых материалов путем контролируемого сквозного протекания жидкостей через образец.A device for etching the surface for metallographic analysis (RU 2537488 C2, published. 01/10/2015), which contains a cell for etching and means isolating the etched area from the surrounding surface areas. The cell includes means for attaching to the pickled object, these insulating means are made in the form of an elastic gasket, and a tank with the pickling solution, a tank with washing solution and an outlet hose for collecting spent solutions are attached to the cell. The main differences compared with the invention are the absence of measuring instruments (pressure and flow rate sensors) and the inability to etch porous materials by controlled through flow of liquids through the sample.

Недостатками этого устройства являются отсутствие возможности осуществлять контролируемое сквозное пропускание травителя под давлением через образец в форме трубы и измерять его проницаемость жидкостями.The disadvantages of this device are the inability to carry out a controlled through passage of the etchant under pressure through a sample in the form of a pipe and to measure its permeability to liquids.

В качестве наиболее близкого аналога выбрано устройство для осуществления динамического химического протравливания спеченных металлических пеноматериалов и определения их проницаемости жидкостями (RU 2631782 С1, опублик. 26.09.2017), в котором описано устройство для динамического химического протравливания и определения проницаемости спеченных металлических пеноматериалов, содержащее емкости для воды и травителя, параллельно подключенные к переключающему крану первым и вторым трубчатыми каналами, последовательно соединенными третьим трубчатым каналом с насосом, датчиком измерения скорости потока, камерой для закрепления образца, состоящей из последовательно герметично закрепленных и формирующих продолжение третьего трубчатого канала входной крышки с отверстием, в котором установлен входной датчик давления, корпуса, в котором установлены два держателя и прижимная гайка для закрепления образца, выходной крышки с отверстием, в котором установлен выходной датчик давления, и выходного канала.As the closest analogue, a device was selected for performing dynamic chemical etching of sintered metal foams and determining their liquid permeability (RU 2631782 C1, published September 26, 2017), which describes a device for dynamic chemical etching and determination of permeability of sintered metal foam containing containers for water and etchant, parallel connected to the switching tap by the first and second tubular channels connected in series to the third pipe a channel with a pump, a sensor for measuring the flow velocity, a chamber for fixing a sample, consisting of successively hermetically fixed and forming a continuation of the third tubular channel of the inlet cover with an opening in which the inlet pressure sensor is installed, a housing in which two holders and a clamping nut are installed for fixing sample, outlet cover with a hole in which the output pressure sensor is installed, and the output channel.

Предлагаемое устройство отличается от прототипа тем, что состоит из последовательно герметично закрепленных и формирующих сплошной цилиндрический канал, имеющий искривление на 90°, входной крышки с отверстием, в котором установлен датчик давления, корпуса, в котором установлены два держателя и прижимная гайка для закрепления образца, выходной крышки с отверстием, в котором установлен датчик давления и боковой крышки без отверстий.The proposed device differs from the prototype in that it consists of sequentially hermetically fixed and forming a continuous cylindrical channel having a 90 ° curvature, an inlet cover with an opening in which a pressure sensor is installed, a housing in which two holders and a clamping nut are mounted to fix the sample, outlet cover with a hole in which a pressure sensor and a side cover without holes are installed.

Основным недостатком аналога является то, что он предназначен для осуществления динамического химического протравливания и измерение проницаемости жидкостями пористых образцов только в форме цилиндра, конструкция устройства не позволяет осуществлять динамическое химическое протравливание и измерение проницаемости жидкостями образцов в форме трубы.The main disadvantage of the analogue is that it is designed for dynamic chemical etching and measurement of liquid permeability of porous samples in the form of a cylinder only, the design of the device does not allow dynamic chemical etching and measurement of liquid permeability of samples in the form of a pipe.

Техническим результатом является создание полезной модели в виде камеры для устройства для осуществления двух процессов: контролируемого увеличения размеров пор, пористости и проницаемости спеченных металлических пеноматериалов трубчатой формы с использованием ДХП; и измерения проницаемости жидкостями. Путем пропускания активных растворов на основе кислот можно управлять параметрами пористой структуры (размеров пор, пористость и проницаемость) пеноматериалов. Контролируемое применение метода ДХП позволит получать спеченные металлические пеноматериалы с высокой пористостью (более 50%), размером пор от 100 до 800 мкм, высоким пределом прочности на сжатие (не менее 100 МПа) и низкими значениями модуля Юнга (2-15 ГПа), близкими к таковым у трабекулярной костной ткани человека.The technical result is the creation of a utility model in the form of a camera for a device for the implementation of two processes: a controlled increase in pore size, porosity and permeability of sintered tubular metal foams using DC; and liquid permeability measurements. By passing active acid-based solutions, the parameters of the porous structure (pore size, porosity and permeability) of the foams can be controlled. The controlled application of the DC method will allow sintered metal foams with high porosity (more than 50%), pore sizes from 100 to 800 μm, high compressive strength (not less than 100 MPa) and low Young's modulus (2-15 GPa) close to to those of human trabecular bone tissue.

Технический результат достигается следующим образом. Камера для динамического химического протравливания и определения проницаемости металлических пеноматериалов в форме трубы, которая состоит из последовательно герметично закрепленных и формирующих сплошной цилиндрический канал, имеющий искривление на 90°, входной крышки с отверстием, в котором установлен датчик давления, корпуса, в котором установлены два держателя и прижимная гайка для закрепления образца, выходной крышки с отверстием, в котором установлен датчик давления и боковой крышки без отверстий. Камера обеспечивает протекание процесса динамического химического протравливания путем сквозного контролируемого попеременного пропускания растворов на основе кислот и воды через образцы в форме трубы из пористых структур и процесса измерения проницаемости.The technical result is achieved as follows. A chamber for dynamic chemical etching and determination of the permeability of metal foams in the form of a pipe, which consists of successively hermetically fixed and forming a continuous cylindrical channel having a 90 ° curvature, an inlet cover with an opening in which a pressure sensor is installed, of a housing in which two holders are installed and a clamping nut for securing the sample, an outlet cover with an opening in which a pressure sensor and a side cover without holes are installed. The chamber provides a dynamic chemical etching process by passing through controlled alternating passing of solutions based on acids and water through samples in the form of pipes from porous structures and the process of measuring permeability.

На фиг. 1 представлен продольный разрез камеры для крепления образца по каналу течения жидкостей. Полезная модель состоит из камеры 1 для закрепления образца, образующей сплошной цилиндрический канал, имеющий искривление на 90°; из герметично закрепленных: входной крышки 2 с отверстием, в котором фиксируется датчик давления; корпуса 3; выходной крышки 4 с отверстием, в котором фиксируется датчик давления и боковой крышки 5 без отверстий. В корпусе 3 камеры 1 образец в форме трубы 6 герметично закреплен между держателем 7 образца на входе и блокирующем движение потока жидкости держателем 8 образца, которые прижимается фиксирующей гайкой 9. Герметичность системы обеспечена наличием резиновых прокладок 10. Все элементы устройства изготовлены из химически стойких материалов.In FIG. 1 is a longitudinal section through a chamber for attaching a sample to a fluid flow channel. The utility model consists of a chamber 1 for fixing a sample forming a continuous cylindrical channel having a 90 ° curvature; from hermetically fixed: inlet cover 2 with a hole in which the pressure sensor is fixed; case 3; output cover 4 with a hole in which the pressure sensor and side cover 5 are fixed without holes. In the housing 3 of the chamber 1, a sample in the form of a pipe 6 is hermetically fixed between the sample holder 7 at the inlet and the sample holder 8 blocking the flow of fluid, which are pressed by the fixing nut 9. The tightness of the system is ensured by the presence of rubber gaskets 10. All elements of the device are made of chemically resistant materials.

В камере с плотно закрепленным образцом спеченного металлического пеноматериала в форме трубы из сверхупругого сплава Ti-Nb-Zr при помощи перистальтического насоса устанавливется стабильное течение дистиллированной воды со скоростью 150 мл/мин. Затем на определенное режимом время (5, 15 и 25 мин) в поток путем переключения крана добавляют травитель. В качестве травителя используют раствор на основе кислоты HCl. В результате химической реакции меду внутренней поверхностью пеноматериала и травителя происходит растворение элементов сплава. Таким образом достигается увеличение размеров пор и их соединений в объеме пеноматериала. После истечения установленного времени травитель в потоке заменяют на воду путем переключения крана. Это способствует удалению продуктов реакции из пористого образца. Для исследований и испытаний можно выбирать образцы, пористость которых составляет ≥30%.In a chamber with a densely fixed sample of sintered metal foam in the form of a tube made of a Ti-Nb-Zr superelastic alloy, a stable flow of distilled water is established with a peristaltic pump at a rate of 150 ml / min. Then, for a certain time (5, 15 and 25 minutes), an etchant is added to the stream by switching the tap. As an etching agent, a solution based on acid HCl is used. As a result of a chemical reaction to honey, the inner surface of the foam and the etchant dissolves the alloy elements. Thus, an increase in the size of pores and their compounds in the volume of the foam is achieved. After the set time has elapsed, the etchant in the stream is replaced with water by switching the tap. This helps to remove reaction products from the porous sample. For research and testing, samples with a porosity of ≥30% can be selected.

Измерения проницаемости пеноматериала до и после ДХП проводятся по стандарту ISO4022, не вынимая образец из камеры, оснащенной датчиками измерения давления (на входе (p1) и на выходе (р2)) и объемной скорости течения (Q). Проницаемость характеризуется коэффициентами вязкостной (ψν) и инерционной (ψi) проницаемости, которые являются параметрами формулы (1), описывающей соотношение между падением давления (ΔР), объемной скоростью течения, динамической вязкостью (η) и плотностью (ρ) жидкости для испытания и размерами (площадь (А) и толщина (е)) пористого металлического испытуемого образца.The foam permeability measurements before and after DHP are carried out according to the ISO4022 standard without taking a sample from a chamber equipped with pressure measuring sensors (at the inlet (p 1 ) and at the outlet (p 2 )) and the volumetric flow rate (Q). Permeability is characterized by the coefficients of viscosity (ψ ν ) and inertial (ψ i ) permeability, which are parameters of formula (1), which describes the relationship between pressure drop (ΔР), volumetric flow rate, dynamic viscosity (η) and density (ρ) of the test fluid and dimensions (area (A) and thickness (e)) of the porous metal test sample.

Figure 00000001
Figure 00000001

где

Figure 00000002
.Where
Figure 00000002
.

Это уравнение переписывали в виде у=ах+b, гдеThis equation was rewritten in the form y = ax + b, where

Figure 00000003
;
Figure 00000003
;

Figure 00000004
.
Figure 00000004
.

Значения x и у вычисляют для каждого уровня перепада давления и скорости течения. Полученные значения наносят на график и методом наименьших квадратов проводят среднюю линию. По пересечению этой линии с осью у определяли обратную вязкостную проницаемость (1/ψν). Тангенс угла наклона этой линии дает величину, обратную инерционной проницаемости (1/ψi).The x and y values are calculated for each level of pressure drop and flow rate. The obtained values are plotted and the center line is drawn using the least squares method. The inverse viscosity permeability (1 / ψ ν ) was determined from the intersection of this line with the y axis. The slope of this line gives the reciprocal of the inertial permeability (1 / ψ i ).

Показания датчиков поступают на компьютер в программу на платформе LabVIEW (National Instruments), в которой проводится расчет на основе описанного в ISO4022 алгоритма.The sensor readings are sent to a computer in a program on the LabVIEW platform (National Instruments), in which the calculation is based on the algorithm described in ISO4022.

В исходном состоянии структура пеноматериала из сплава Ti-Nb-Zr представляет собой смесь большого количества мелких пор и соединений, и малого количества крупных пор ≥100 мкм. ДХП в течение 15 мин приводит к заметному увеличению размера мелких пор и соединений. При повышении времени ДХП до 25 мин наряду с увеличением размера мелких пор и их соединений, наблюдается и значительное (примерно в 2 раза) увеличение размеров крупных пор. Эти изменения согласуются с закономерным увеличением пористости пеноматериала до 60-70%.In the initial state, the structure of the foam material from the Ti-Nb-Zr alloy is a mixture of a large number of small pores and compounds, and a small number of large pores ≥100 μm. DCP for 15 min leads to a noticeable increase in the size of small pores and compounds. With an increase in the time of DCP to 25 min, along with an increase in the size of small pores and their compounds, a significant (approximately 2-fold) increase in the size of large pores is also observed. These changes are consistent with a regular increase in the porosity of the foam up to 60-70%.

Образцы в исходном состоянии обладают низкой проницаемостью (ψν=1.24×1-11m2). Динамическое химическое протравливание приводит к существенному увеличению проницаемости (ψν=19.2×10-11m2) до уровня современных пористых биоматериалов.Samples in the initial state have low permeability (ψ ν = 1.24 × 1 -11 m 2 ). Dynamic chemical etching leads to a significant increase in permeability (ψ ν = 19.2 × 10 -11 m 2 ) to the level of modern porous biomaterials.

Таким образом, в результате применения камеры для осуществления динамического химического протравливания спеченных металлических пеноматериалов и определения их проницаемости жидкостями к пеноматериалам на основе сплава Ti-Nb-Zr определена проницаемость образцов и они подвергнуты их ДХП по разным режимам. В результате применения ДХП достигается повышение пористости с 45-50% до 60-70% и проницаемости (с ψν=1.24×10-11m2 до ψν=19.2×10-11m2), а также общего увеличение размеров пор и их соединений.Thus, as a result of using the chamber for dynamic chemical etching of sintered metal foams and determining their liquid permeability to foams based on the Ti-Nb-Zr alloy, the permeability of the samples was determined and they were subjected to their DCL in different modes. As a result of the use of DHP, an increase in porosity from 45-50% to 60-70% and permeability (from ψ ν = 1.24 × 10 -11 m 2 to ψ ν = 19.2 × 10 -11 m 2 ), as well as a general increase in pore size are achieved and their compounds.

Claims (1)

Камера для динамического химического протравливания и определения проницаемости металлических пеноматериалов в форме трубы, отличающаяся тем, что она состоит из последовательно герметично закрепленных и формирующих сплошной цилиндрический канал, имеющий искривление на 90°, входной крышки с отверстием, в котором установлен датчик давления, корпуса, в котором установлены два держателя и прижимная гайка для закрепления образца пеноматериала, выходной крышки с отверстием, в котором установлен датчик давления, и боковой крышки без отверстий.A chamber for dynamic chemical etching and determination of the permeability of metal foams in the form of a pipe, characterized in that it consists of sequentially hermetically fixed and forming a continuous cylindrical channel having a 90 ° bend, an inlet cover with an opening in which a pressure sensor is installed, the housing which has two holders and a clamping nut for fixing a sample of foam, an outlet cover with an opening in which a pressure sensor is installed, and a side cover without an opening oi.
RU2017146339U 2017-12-27 2017-12-27 Chamber for dynamic chemical etching of sintered metal foams in the form of a pipe and determining their permeability to liquids RU180256U1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017146339U RU180256U1 (en) 2017-12-27 2017-12-27 Chamber for dynamic chemical etching of sintered metal foams in the form of a pipe and determining their permeability to liquids

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017146339U RU180256U1 (en) 2017-12-27 2017-12-27 Chamber for dynamic chemical etching of sintered metal foams in the form of a pipe and determining their permeability to liquids

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU180256U1 true RU180256U1 (en) 2018-06-07

Family

ID=62560879

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2017146339U RU180256U1 (en) 2017-12-27 2017-12-27 Chamber for dynamic chemical etching of sintered metal foams in the form of a pipe and determining their permeability to liquids

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU180256U1 (en)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20130327480A1 (en) * 2008-01-10 2013-12-12 Applied Materials, Inc. Showerhead insulator and etch chamber liner
RU148141U1 (en) * 2014-05-14 2014-11-27 Открытое акционерное общество "Высокотехнологический научно-исследовательский институт неорганических материалов имени академика А.А. Бочвара" DEVICE FOR ETCHING SMALL AND LARGE-SIZED PRODUCTS WITH COMPLEX SURFACES
RU2537488C2 (en) * 2012-08-22 2015-01-10 Закрытое акционерное общество "Инструменты нанотехнологии" Device for surface etching for metallographic analysis
RU2631782C1 (en) * 2016-12-23 2017-09-26 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС" Device for implementation of dynamic chemical etching of sintered metallic foams and determination of their permeability by liquids

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20130327480A1 (en) * 2008-01-10 2013-12-12 Applied Materials, Inc. Showerhead insulator and etch chamber liner
RU2537488C2 (en) * 2012-08-22 2015-01-10 Закрытое акционерное общество "Инструменты нанотехнологии" Device for surface etching for metallographic analysis
RU148141U1 (en) * 2014-05-14 2014-11-27 Открытое акционерное общество "Высокотехнологический научно-исследовательский институт неорганических материалов имени академика А.А. Бочвара" DEVICE FOR ETCHING SMALL AND LARGE-SIZED PRODUCTS WITH COMPLEX SURFACES
RU2631782C1 (en) * 2016-12-23 2017-09-26 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС" Device for implementation of dynamic chemical etching of sintered metallic foams and determination of their permeability by liquids

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NO315822B1 (en) Method and apparatus for measuring physical parameters of porous liquid wet samples
EP3088862A3 (en) Apparatus and method for determining an amount of non-condensable gas
RU180256U1 (en) Chamber for dynamic chemical etching of sintered metal foams in the form of a pipe and determining their permeability to liquids
RU2631782C1 (en) Device for implementation of dynamic chemical etching of sintered metallic foams and determination of their permeability by liquids
RU2446388C1 (en) Probe for collecting water samples from bottom sediments
Leiknes et al. Vacuum degassing using microporous hollow fiber membranes
Ayob et al. Detection of small gas bubble using ultrasonic transmission-mode tomography system
TW201934999A (en) Measurement system and measurement method for hydrogen peroxide concentration
CN201594065U (en) Experimental device for measuring diffusion coefficient of ions in soil
JP2007225439A (en) Concentration measuring instrument of dissolved gas and concentration measuring method of dissolved gas
RU131306U1 (en) DEVICE FOR TESTING FILTERING ELEMENTS INTENDED FOR OPERATION WITH ELECTRICAL SOLUTIONS
RU102112U1 (en) PROBE FOR SAMPLING WATER FROM BOTTOM SEDIMENTS
Yang et al. Threshold chloride levels for localized carbon steel corrosion in simulated concrete pore solutions using coupled multielectrode array sensors
RU2348030C1 (en) Device for electrochemical measurements
CN112051197A (en) Simple testing device and method for porosity of fracture-cave type carbonate rock
KR101800793B1 (en) Sodium hypochlorite concentration measurement apparatus
CN110160490B (en) Soft foundation settlement monitoring device and method
RU2439537C1 (en) Test method of thin-wall specimens under stress
AU2009206170A1 (en) Sampling apparatus and method
Clark Jr et al. A large water sampler, rupture-disc triggered, for studies of dissolved organic compounds
CA2632905C (en) Device for measuring the streaming potential of fibers and particles in suspensions
Hwang et al. Transport of dissolved carbon dioxide through silicone rubber membranes
CN205138849U (en) Solution gas sampling device
RU195670U1 (en) DEVICE FOR TAKING OUT OF CONDENSED GAS FROM GEYSER CHANNELS
JP6548185B2 (en) Chemical sensor calibration device

Legal Events

Date Code Title Description
QB9K Licence granted or registered (utility model)

Free format text: LICENCE FORMERLY AGREED ON 20190408

Effective date: 20190408