RU1787685C - Method of manufacturing targets for vacuum spraying units - Google Patents

Abstract

Сущность способа: смешивают порошки керамических материалов и алюмини , прессование и спекание заготовки при температуре 680 ± 20°С в кислородсодержащей среде.The essence of the method: powders of ceramic materials and aluminum are mixed, pressing and sintering the workpiece at a temperature of 680 ± 20 ° C in an oxygen-containing medium.

Description

Изобретение относитс  к порошковой металлургии, в частности к способам изготовлени  мишеней, преимущественно керамических , дл  установок вакуумного распылени .The invention relates to powder metallurgy, in particular to methods for the manufacture of targets, mainly ceramic, for vacuum spraying plants.

Известны способы изготовлени  керамических мишеней, согласно которым измельченный материал мишени перемешивают, прессуют в пресс-формах и обжигают с различным чередованием этих операций. .Known methods for the manufacture of ceramic targets, according to which the crushed target material is mixed, pressed into molds and fired with various alternations of these operations. .

Недостатком этих способов  вл етс  то, что в изготовленных мишен х возникают термические напр жени  в процессе распылени , что приводит к растрескиванию мишени . Эффективное охлаждение мишени по всей толщине невозможно из-за глохой теп- лопроводности, обусловленной пористостью мишени..A disadvantage of these methods is that thermal stresses occur in the fabricated targets during the sputtering process, which leads to cracking of the target. Effective cooling of the target over its entire thickness is impossible due to the stagnant thermal conductivity due to the porosity of the target ..

Целью изобретени   вл етс  повышение термостойкости мишени путем добавки в шихту порошка алюмини  и проведени  спекани  при температуре 680 ± 20°С.The aim of the invention is to increase the heat resistance of the target by adding aluminum powder to the charge and sintering at a temperature of 680 ± 20 ° C.

Пример. Порошок чистого алюмини  смешивают с исходным инертным наполнителем (AIM, SlsN4, BN, АЬОз и др.) Процесс спекани  заготовки осуществл ют в атмосфере кислорода или смеси кислорода с инертным газом при температуре 680 ± 20°С.Example. Pure aluminum powder is mixed with the initial inert filler (AIM, SlsN4, BN, ABO3, etc.). The sintering process of the preform is carried out in an atmosphere of oxygen or a mixture of oxygen with an inert gas at a temperature of 680 ± 20 ° C.

Таким образом предложенный способ обеспечивает получение керамических мишеней малой пористости, что повышает тепл-опроводность и уменьшает чувствительность мишени к термическим нагрузкам , возникающим в процессе неравномерного прогрева при распылении. Это увеличивает срок службы мишеней и повышает надежность процесса распылени . Фор мула изобретени  Способ изготовлени  керамических мишеней дл  установок вакуумного распылени , включающий смешивание порошков, прессование и спекание, отличающий- с   тем, что, с целью повышени  термостойкости мишени, при смешивании в шихту добавл ют порошок алюмини , а спекание ведут в кислородсодержащей среде при 680 ± 20°С..Thus, the proposed method provides ceramic targets of low porosity, which increases the thermal conductivity and reduces the sensitivity of the target to thermal loads that occur during uneven heating during sputtering. This increases the life of the targets and increases the reliability of the spray process. SUMMARY OF THE INVENTION A method of manufacturing ceramic targets for vacuum spraying plants, comprising mixing powders, pressing and sintering, characterized in that, in order to increase the thermal stability of the target, aluminum powder is added to the mixture and sintering is carried out in an oxygen-containing medium at 680 ± 20 ° C ..

1Л1L

0000

о about

0000

елate