RU1781574C - Датчик разности давлений - Google Patents

Датчик разности давлений

Info

Publication number
RU1781574C
RU1781574C SU904834779A SU4834779A RU1781574C RU 1781574 C RU1781574 C RU 1781574C SU 904834779 A SU904834779 A SU 904834779A SU 4834779 A SU4834779 A SU 4834779A RU 1781574 C RU1781574 C RU 1781574C
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
console
cantilever
rigid partition
transducer
sensor
Prior art date
Application number
SU904834779A
Other languages
English (en)
Inventor
Анатолий Владимирович Сударев
Игорь Константинович Шитов
Борис Осипович Ирашин
Юрий Павлович Тихомиров
Виктор Николаевич Уваров
Original Assignee
Всесоюзный научно-исследовательский технологический институт энергетического машиностроения
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Всесоюзный научно-исследовательский технологический институт энергетического машиностроения filed Critical Всесоюзный научно-исследовательский технологический институт энергетического машиностроения
Priority to SU904834779A priority Critical patent/RU1781574C/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU1781574C publication Critical patent/RU1781574C/ru

Links

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

Использование: в приборостроении и может быть использовано дл  измерени  перепада давлени  или расхода жидкости и газа Сущность изобретени : в корпусе датчика размещена жестка  перегородка, на двух сторонах которой расположены мембраны , выполненные из эластичного материала Под действием перепада давлени  консоль, выполненна  в жесткой перегород- ке,отклон етс , а на преобразователе перемещени  в электрический сигнал, размещенном в пазе жесткой перегородки у свободного, конца консоли, по вл етс  сигнал рассогласовани , величина которого  вл етс  мерой величины давлени . Преобразователь перемещени  в электрический сигнал выполнен в виде вихретокового датчика . 3 ил.

Description

Изобретение относитс  к приборостроению и может быть использовано при разработке высокочувствительных преоб- разоваТ&лей разности давлений, расходомеров жидкости и газа и т.п. приборов.
При диагностировании современных газотурбинных двигателей (ГТД) требуетс  измер ть весьма малые перепады давлени  10-5С 0 Па в диапазоне частот 0-1000 Гц в услови х действи  высокого статического давлени  10 МПа и более.
Известны преобразователи разности давлений, содержащие приемные мембраны и тензомодуль рычажно-мембранного типа. Разность давлений вызывает прогиб мембран, который посредством рычага деформирует чувствительные элементы гензо- модул . Электрический сигнал с тензомодул  подаетс  на электронный нормирующий усилитель.
Несмотр  на то, что известные тензоп- реобразоеатели по точности и удовлетвор ют поставленным требовани м, им присущи следующие недостатки: смещение нул  выходного сигнала, а иногда и изменение характеристики во времени; вли ние температуры на показани  преобразовател , хот  он и содержит элементы дл  температурной компенсации,
Кроме того, они имеют большие габариты и вес, низкую надежность и высокую стоимость. Поставка отечественной промышленностью тензопреобразователей лимитируетс  из-за дефицита полупроводниковых тензомодулей,
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату  вл етс  датчик разности давлений параметрического типа, содержащий корпус с двум  подвод щими штуцерами, между которыми установлены преобразователь перемещени  в электрический сигнал и жестка  пере-- городка, по обеим сторонам которой разме- щены две мембраны, а также схема обработки сигналов.
Датчик представл ет собой преобразователь емкостного типа, на жесткой перегородке которого сформирован центральный электрод, а мембраны выполн ют функцию подвижных электродов. Благодар  жесткой евлзи, соедин ющей центры мембраной их профилированию достигнуты высокие метрологические характеристики преобразовав тел .
Однако, к недостаткам датчика следует отнести узкий диапазон рабочих давлений, верхний предел которых составл ет не более 0,15 МПа. Расширение рабочего диапазона датчика требует увеличени  толщины мембран, что св зано с потерей его чувствительности . Кроме того, известный датчик имеет дополнительные погрешности за счет нелинейности (0,3%). гистерезиса (0.5%) и
температуры (0,05% %
°С
Целью изобретени   вл етс  повышение чувствительности датчика к перепаду высоких статических давлений.
Цель достигаетс  тем, что в датчике разности давлений, содержащем преобразователь перемещени  в электрический сигнал, жесткую перегородку и мембраны, в нем преобразователь перемещени  выполнен в виде вихретокового датчика, а в жесткой перегородке выполнен П-образный сквозной паз с образованием консоли, при этом вихретоковой датчик размещен в паз жесткой перегородки в зоне свободного торца консоли, а мембраны выполнены из эластичного материала и расположены на поверхност х жесткой перегородки, выполненной из металла, причем длина I консоли выбрана из соотношени 
ъг
I
тк
где Е - модуль упругости материала жесткой перегородки;
b - ширина консоли;
h - толщина консоли;
mk - масса консоли;
Тг, - врем  перепада давлени .
В известном датчике, в отличие от прототипа , в жесткой перегородке образована упруга  консоль и паз, в котором установлен вмхретоковый преобразователь перемещени . Это позволило одной стороны повысить чувствитель преобразовател  за счет использовани  консольного эффекта , а с другой - расширить его рабочий диапазон благодар  высокой механической прочности датчика,
- В полном объеме признаков приведенна  совокупность не обнаружена в научно- технической и патентной литературе. Отдельные признаки изобретени  известны в других совокупност х, где они про вл ют
различные свойства.
Известно консоль с линейным перемещением свободного конца, который нагружают сосредоточенной силой F. В предлагаемом устройстве консоль выполнена за одно целое с жесткой перегородкой и нагружаете. равномерно распределенным по ее площади давлением. Поскольку прогиб консоли пропорционален силе F - PS, где Р - измер емое давление, S - площадь
консоли, то чувствительность преобразовател  можно существенно увеличить за счет использовани  пл ощади S консоли. Отклонение свободного хоНца консоли из- мер етс  с помощью вихретокового преобразовател  перемещени м Такое решение позволило выполнить вихретоковый преобразователь плоским и установить его у конца консоли.в пазу жесткой перегородки. В насто щем устройстве помимо известных свойств, присущих рассматриваемым признакам, имеет место создание совокупности таких условий, которые привод т к возникновению у этих признаков новых свойств.
Так,-система, состо ща  из консоли и вихретокового преобразовател  перемещени , в отличие от прототипа свободна от таких недостатков,как вли ние гистерезиса, нелинейности и температуры Консоль имеет перемещение от долей микрона до одного миллиметра и выполн етс  из высококачественных температуростойких материалов Перемещение конца консоли измер етс  вихретоковым преобразователем , имеющим рабочий диапазон, превышающий диапазон перемещени  консоли
В за вл емом преобразователе воспринимающие давление мембраны выполнены из эластичного материала. Основные
назначени  мембран - изол ци  приемных камер друг от друга. Поскольку измер етс  разность давлений одного пор дка, то требовани  к механической прочности мембран незначительны. Они воспринимают
лишь перепад давлений, а противодействующа  сила, в отличие от известных устройств , создаетс  самой консолью. Дл  исключени  возможности отхода мембран от консоли при измерении давлений ниже
атмосферного полость между ними может быть вакуумировзнэ
По сравнению с металлическими мембранами , воспринимающа  поверхность которых лимитирована нелинейностью преобразовател , рабоча  поверхность консоли может быть выбрана достаточно большой. Можно показать, что отклонение Д(5 конца консоли под действием измер емого перепада А Р давлени  имеет вид:
Лв
Et3
(1)
где
- длина консоли,
t - толщина консоли;
Е - модуль упругости материала консоли .
Как видно из выражени  (1), перемещение свободного конца консоли зависит от длины консоли в четвертой степени. Варьиру  в небольших пределах длину консоли , можно в широких пределах регулировать перемещение ее свободного конца и получить соответственно высокую разрешающую способность преобразовател , Име  набор одинаковых пластин, с выполненными в них консол ми разной длины, можно легко компоновать преобразователи на лю- ,бой р д измер емого давлени .
Следует отметить, что выбор длины консоли не беспределен. Максимально допустима  длина консоли лимитируетс  временем перепада давлени . При конструировании преобразовател  необходимо вы- бмрать длину консоли, исход  из выражени .
з
0,3
Е bh3rЈ
ГГ1к
где Е - модуль упругости материала жесткой перегородки;
b,h - ширина и толщина консоли;
mk - масса консоли;
тп врем  перепада давлени .
На фиг. 1 изображена жестка  перегородка с консолью, преобразователем перемещени  и нормирующим усилителем; на фиг. 2 - поперечный разрез датчика, вид сбоку; на фиг. 3 - осциллограмма, иллюстрирующа  работу преобразовател .
Датчик разности давлений содержит жесткую перегородку 1. в которой электроэрозионным или лазерным методом выреза- нз консоль 2. Зазор между консолью и перегородкой не более 400 микрон. В перегородке выполнен паз 3 в котором установлен вихрегоковый преобразователь 4 пере мещени  Зазор между торц ми преобразовател  перемещени  и консоли составл ет 400 микрон Выход датчика соединен с блоком 5 фильтрации и нормирующим усилителем 6 На поверхность перегородки с двух сторон нанесены эластичные мембраны 7 и 8, выполненные из тонкой резины Перегородки 1, преобразователь Л перемещени  и
мембраны 7.8 установлены между двух приемных камер 9 и 10 давлени . Приемные камеры снабжены выступами 11 и 12 дл  ограничени  хода консоли. Датчик в сборе крепитс  винтами, проход щими через
сквозные отверсти  13 и 14.
Датчик работает следующим образом. При равенстве давлений PI и Р2 консоль находитс  в нейтральном положении и на выходе нормирующего усилител  сигнал
равен нулю. При перепаде давлени , когда , консоль отклон етс  от положени  равновеси  пропорционально измер емому давлению Р. Отклонение консоли измер етс  с помощью вихретокового
преобразовател , сигнал с которого после фильтрации поступает на вход нормирующего усилител  6. Благодар  конструктивной разв зке торцов консоли и вихретокового преобразовател , датчик малочувствителен к изменению температуры. Вли ние последействи  и гистерезиса в нем сведено к минимуму за счет выполнени  перегородки из прецизионного сплава 70НХБМЮ, у которого физико-механические свойства стабильны до температуры 500°С. Разрешающа  способность датчика составл ет 10 Па (см. фиг. 3).
Использование предлагаемого технического решени  в народном хоз йстве страны позволит повысить точность и надежность средств диагностировани  газотурбинных двигателей, энергетических установок, газонефтепроводов и т.п. оборудовани .

Claims (1)

  1. Формула изобретени 
    Датчик разности давлений, содержащий корпус с двум  подвод щими штуцерами , между которыми установлены преобразователь перемещени  в электрический сигнал и жестка  перегородка, по обеим сторонам которой размещены две мембраны, отличающийс  тем, что, с целью повышени  чувствительности, в нем преобразователь перемещени  в электрический сигнал выполнен в виде вихретокового датчика, а в жесткой перегородке выполнен П-образный сквозной паз с образованием консоли, при этом вихретоковый датчик размещен в пазе жесткой перегород и в зоне свободного торца консоли, а мемб-где Е - модуль упругости материала жесткой
    рачы выполнены из эластичного материала иперегородки:
    расположены на поверхност х жесткой перегородки выполненной из металла, причем длина I консоли выбрана из соотношени  5
    b ширина консоли, h - толщина консоли: mk масса консоли: гп врем  перепада давлени .
    ,/
    I
    V Е b h3 Ј
    ГПк
    b ширина консоли, h - толщина консоли: mk масса консоли: гп врем  перепада давлени .
    ... 2Ы Фиг .1
    ш ЙР т
    л«Т t: i,
    ,чГ2 Ч-i- J { - -Л
    ,jR$ f ,%}Ј
    ; ; r&/;Ј .,. Лза x1 u.J Jfvjl S ,
    таГ Г л У
    v(
    ViUj-w. П i л « .
    K w iJ «i t r с i j «r Ј v д i f-f v tvwt w:
    Г1, «. v  з«- ч « TI TA v.gp ;i{I г S
    S ч j J&cW
    в- -ч.г - - ГртТО W- f
    bWldL; 4 $ rCfcf i jJiW + W MS r / - .it. V
    ,, . -. -, ,т s-jj да, r
    .JlL.i jk
    SES SKsJS
    г J
SU904834779A 1990-06-05 1990-06-05 Датчик разности давлений RU1781574C (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU904834779A RU1781574C (ru) 1990-06-05 1990-06-05 Датчик разности давлений

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU904834779A RU1781574C (ru) 1990-06-05 1990-06-05 Датчик разности давлений

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU1781574C true RU1781574C (ru) 1992-12-15

Family

ID=21518450

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU904834779A RU1781574C (ru) 1990-06-05 1990-06-05 Датчик разности давлений

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU1781574C (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Приборы и средства автоматизации. Каталог. Часть 1, 1.2, М.. Информприбор, 1988, с. 50-57. Контрольно-измерительна техника Экспресс-информаци 1989, №43, с. 12-19. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4381680A (en) Mass flow meter
US8656785B1 (en) Multi-diaphragm pressure sensors
US3289134A (en) Gaged diaphragm pressure transducer
US3444736A (en) Square root responsive pressure transducers
US3910106A (en) Transducer
US4017819A (en) Pressure transducer
RU1781574C (ru) Датчик разности давлений
US3363456A (en) Cantilever beam transducers
US2979955A (en) Pressure responsive systems
Kalinkina et al. Analysis and design of pressure sensors for micromechanical integrated pressure sensors
Jindal et al. Novel MEMS piezoresistive sensor with hair-pin structure to enhance tensile and compressive sensitivity and correct non-linearity
KR900000657B1 (ko) 원통형 비임의 힘 변환기
US3427884A (en) Differential pressure transducer
RU2014579C1 (ru) Датчик силы
US3277720A (en) Pressure sensor
US10775247B1 (en) Capacitive shift-force sensor
SU777516A2 (ru) Тензорезисторный преобразователь разности давлений
SU1352265A1 (ru) Датчик давлени
SU534657A1 (ru) Тензорезисторный датчик силы
SU459699A1 (ru) Тензорезистивный преобразователь разности давлений
RU1796934C (ru) Емкостный дифманометр
SU667838A1 (ru) Датчик давлени
Mikhailov Research and analysis of structures and technologies used in elastic elements of metal-film sensors of rocket and space technology
SU1425482A1 (ru) Тензорезисторный датчик силы
SU1002855A1 (ru) Механотронный динамометр