RU169114U1 - MULTI-THREAD MOLECULAR VISCOSITY VACUUM PUMP OF PARALLEL ACTION - Google Patents

MULTI-THREAD MOLECULAR VISCOSITY VACUUM PUMP OF PARALLEL ACTION Download PDF

Info

Publication number
RU169114U1
RU169114U1 RU2016149256U RU2016149256U RU169114U1 RU 169114 U1 RU169114 U1 RU 169114U1 RU 2016149256 U RU2016149256 U RU 2016149256U RU 2016149256 U RU2016149256 U RU 2016149256U RU 169114 U1 RU169114 U1 RU 169114U1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
pump
stator
stators
housing
suction
Prior art date
Application number
RU2016149256U
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Николай Константинович Никулин
Елена Владимировна Свичкарь
Илья Владимирович Соловьев
Original Assignee
Николай Константинович Никулин
Илья Владимирович Соловьев
Елена Владимировна Свичкарь
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Николай Константинович Никулин, Илья Владимирович Соловьев, Елена Владимировна Свичкарь filed Critical Николай Константинович Никулин
Priority to RU2016149256U priority Critical patent/RU169114U1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU169114U1 publication Critical patent/RU169114U1/en

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps

Landscapes

  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Abstract

Полезная модель относится к вакуумной технике, в частности к многопоточным молекулярно-вязкостным вакуумным насосам (МВВН), которые предназначены для работы в широкой области давлений всасывания: от 10до 10Па с быстродействием от нескольких л/с до сотен л/с. многопоточный молекулярно-вязкостный вакуумный насос параллельного действия содержит корпус с всасывающим и нагнетательным патрубками, в котором между внешним статором и внутренним ротором, соединенным с валом, расположены коаксиально промежуточные ступени, причем на смежных поверхностях статоров и роторов выполнены винтовые каналы молекулярно-вязкостной проточной части насоса с одинаковой формой профиля, при этом в корпусе вокруг внешнего статора образована кольцевая полость, сообщенная со всасывающим патрубком, статоры промежуточных ступеней выполнены из двух частей, каждая из которых закреплена одним концом в корпусе, а через зазор между ними пропущены перемычки, соединяющие смежные роторы между собой, во всех роторах и статорах, кроме статора последней ступени, выполнены периферийные окна, во внешнем статоре выполнена внутренняя центральная кольцевая проточка, в каждой части статоров промежуточных ступеней и внешнем статоре с стороны кольцевой проточки выполнен по меньшей мере один сквозной канал, причем в корпусе с обеих торцевых сторон закреплены коллекторы и в них через отверстия в корпусе выведены примыкающие к ним каналы в статорах. Полезная модель позволяет увеличить быстродействие насоса кратно количеству проточных частей первой ступени, в которую попадает газ при всасывании, без изменения габаритных размеров насоса, по сравнению с аналогичнойThe utility model relates to vacuum technology, in particular to multi-threaded molecular viscous vacuum pumps (MVVN), which are designed to operate in a wide range of suction pressures: from 10 to 10Pa with a speed from several l / s to hundreds of l / s. a parallel-acting multi-threaded molecular viscosity-viscosity vacuum pump contains a housing with suction and discharge nozzles, in which coaxially intermediate steps are located between the external stator and the internal rotor connected to the shaft, and screw channels of the molecular-viscosity flow part of the pump are made on adjacent surfaces of stators and rotors with the same profile shape, while in the case around the external stator an annular cavity is formed, communicated with the suction pipe, the stators of the gap full-time steps are made of two parts, each of which is fixed at one end in the housing, and jumpers connecting the adjacent rotors to each other are passed through the gap between them, peripheral windows are made in all rotors and stators, except for the last-stage stator, an internal stator is made a central annular groove, in each part of the stators of the intermediate stages and the external stator, at least one through channel is made on the side of the annular groove, and a collector is fixed on the both end sides of the housing ry and in them through the holes in the hull removed channels adjacent thereto in the stator. The utility model allows to increase the speed of the pump by a multiple of the number of flowing parts of the first stage, into which the gas enters during suction, without changing the overall dimensions of the pump, compared to the same

Description

Полезная модель относится к вакуумной технике, в частности к многопоточным молекулярно-вязкостным вакуумным насосам (МВВН), которые предназначены для работы в широкой области давлений всасывания: от 105 до 10-7 Па с быстродействием от нескольких л/с до сотен л/с.The utility model relates to vacuum technology, in particular to multi-flow molecular-viscosity vacuum pumps (MVVN), which are designed to operate in a wide range of suction pressures: from 10 5 to 10 -7 Pa with a speed from several l / s to hundreds of l / s .

Известен вакуумный насос (патент US 2009/0035123 А1, опубл. 05.02.2009) представляющий собой многоступенчатый молекулярный вакуумный насос, каждая ступень которого образована каналами на статоре и гладким ротором.A known vacuum pump (patent US 2009/0035123 A1, publ. 02/05/2009) is a multi-stage molecular vacuum pump, each stage of which is formed by channels on the stator and a smooth rotor.

Недостатком данной конструкции является то, что быстрота действия насоса определяется быстротой действия первой ступени насоса. Остальные ступени необходимы для увеличения давления и не влияют на быстроту действия насоса.The disadvantage of this design is that the speed of the pump is determined by the speed of the first stage of the pump. The remaining steps are necessary to increase the pressure and do not affect the speed of the pump.

Из предшествующего уровня техники известен вакуумный насос (патент US 6375413 В1, опубл. 23.04.2002), представляющий собой многоступенчатый молекулярный вакуумный насос с добавлением вихревой ступени.A vacuum pump is known from the prior art (patent US 6,375,413 B1, published April 23, 2002), which is a multi-stage molecular vacuum pump with the addition of a vortex stage.

И в этом насосе быстродействие определяется только быстродействием первой ступени насоса.And in this pump the speed is determined only by the speed of the first stage of the pump.

Известен двухпоточный молекулярный вакуумный насос (патент RU 2107840 С1, кл. F04D 19/04, опубл. 27.03.1998), представляющий собой конструкцию, в которой газ, попадая во всасывающий патрубок насоса, делится на два равных потока газа. Каждый поток газа откачивается двумя молекулярными проточными частями с одинаковыми геометрическими размерами, расположенными на одном валу. Быстрота действия насоса, определяемая данными потоками газа при давлении всасывания, зависит от размеров каналов проточной части насоса.Known dual-flow molecular vacuum pump (patent RU 2107840 C1, class F04D 19/04, publ. 03/27/1998), which is a structure in which gas falling into the suction pipe of the pump is divided into two equal gas flows. Each gas stream is pumped out by two molecular flowing parts with the same geometric dimensions, located on one shaft. The speed of the pump, determined by these gas flows at the suction pressure, depends on the size of the channels of the flow part of the pump.

Недостатком данной конструкции является то, что каналы выполнены только на роторе, поэтому расстояние между каналами необходимо увеличивать для снижения потока газа перетекающего из канала в канал, что снижает быстродействие насоса.The disadvantage of this design is that the channels are made only on the rotor, so the distance between the channels must be increased to reduce the flow of gas flowing from the channel into the channel, which reduces the speed of the pump.

Известен молекулярный вакуумный насос, выбранный в качестве прототипа (патент RU 2168070 С2, кл. F04D 19/04, опубл. 27.05.2001), представляющий собой конструкцию, состоящую из корпуса и ротора, на поверхностях которых имеются две проточные части насоса, образованные винтовыми канавками. Внутренний диаметр канавок увеличивается со стороны всасывания к стороне нагнетания. Всасывающий патрубок расположен в центральной части корпуса насоса. Выполнение двух проточных частей насоса позволяет увеличить быстроту действия насоса в два раза по сравнению с конструкцией насоса с одной проточной частью.Known molecular vacuum pump, selected as a prototype (patent RU 2168070 C2, class F04D 19/04, publ. 05.27.2001), which is a structure consisting of a housing and a rotor, on the surfaces of which there are two flow parts of the pump formed by screw grooves. The inner diameter of the grooves increases from the suction side to the discharge side. The suction pipe is located in the central part of the pump housing. The execution of two flow parts of the pump allows you to increase the speed of the pump twice as compared with the design of the pump with one flow part.

Недостатком данной конструкции является то, что общая площадь каналов зависит от их числа. Число каналов ограничено шириной межканального расстояния, размер которого обеспечивает сокращение потока газа перетекающего из канала в канал через зазор между корпусом и ротором. В результате быстродействие насоса определяется площадью поперечного сечения каналов каждой из проточных частей насоса.The disadvantage of this design is that the total area of the channels depends on their number. The number of channels is limited by the width of the inter-channel distance, the size of which provides a reduction in the flow of gas flowing from the channel to the channel through the gap between the housing and the rotor. As a result, the speed of the pump is determined by the cross-sectional area of the channels of each of the flow parts of the pump.

Фактором, ограничивающим увеличение быстродействия насоса, является площадь каналов насоса, в которые попадает газ со стороны всасывания. Число каналов проточных частей молекулярных насосов ограничено шириной межканального расстояния, размер которого обеспечивает сокращение потока газа перетекающего из канала в канал через зазор между корпусом и ротором. Увеличение высоты канала приводит к увеличению быстродействия насоса за счет увеличения площади канала. Высота каналов ограничивается влиянием подвижной поверхности на течение газа в канале, так как при значительном увеличении высоты канала снижается импульс количества движения, передаваемый потоку газа от подвижной поверхности. При этом возможно образование застойной зоны в канале (ближе к его верхней границе) и как следствие увеличение обратного потока газа, что в итоге снижает быстроту действия насоса. Ширина каналов ограничена диаметром ротора, на котором они выполнены. Увеличение ширины канала повышает быстроту действия насоса за счет изменения площади канала. При этом снижается влияния боковых поверхностей газа на течение газа в канале, что может привести к уменьшению направленного потока газа и увеличению обратного потока газа, что в итоге снижает быстродействие насоса.A factor limiting the increase in pump speed is the area of the pump channels into which gas enters from the suction side. The number of channels of the flowing parts of molecular pumps is limited by the width of the interchannel distance, the size of which provides a reduction in the flow of gas flowing from the channel to the channel through the gap between the housing and the rotor. Increasing the height of the channel leads to an increase in the speed of the pump by increasing the area of the channel. The height of the channels is limited by the influence of the moving surface on the gas flow in the channel, since with a significant increase in the height of the channel, the momentum impulse transmitted to the gas flow from the moving surface decreases. In this case, the formation of a stagnant zone in the channel (closer to its upper boundary) is possible and, as a result, an increase in the reverse gas flow, which ultimately reduces the speed of the pump. The width of the channels is limited by the diameter of the rotor on which they are made. Increasing the channel width increases the speed of the pump by changing the channel area. This reduces the influence of the side surfaces of the gas on the gas flow in the channel, which can lead to a decrease in the directional gas flow and an increase in the reverse gas flow, which ultimately reduces the speed of the pump.

Ступени многопоточного МВВН параллельного действия образованы проточными частями с различными откачными параметрами. Первая ступень располагается в зоне всасывания. Номера остальных считаются по порядку, начиная с первой и заканчивая ступенью расположенной максимально близко к зоне нагнетания.The stages of multi-threaded MVVN of parallel action are formed by flowing parts with various pumping parameters. The first stage is located in the suction zone. The numbers of the rest are considered in order, starting from the first and ending with the stage located as close as possible to the discharge zone.

Существенным признаком насоса является то, что всасывание газа осуществляется по многопоточной схеме. Поток газа, попадая во всасывающий патрубок, делится на два потока. Затем каждый поток газа, попадая на первую ступень насоса, еще раз делится на два потока газа. При этом первая ступень насоса состоит из проточных частей, что позволяет увеличить быстродействие насоса кратно числу проточных частей.An essential feature of the pump is that gas is sucked in according to a multi-threaded scheme. The gas flow falling into the suction pipe is divided into two flows. Then each gas stream, getting to the first stage of the pump, is once again divided into two gas flows. The first stage of the pump consists of flowing parts, which allows to increase the speed of the pump by a multiple of the number of flowing parts.

В качестве проточной части многопоточного МВВН параллельного действия используется молекулярно-вязкостная проточная часть, которая образована винтовыми каналами, расположенными на смежных поверхностях ротора и статора. Формы профиля каналов на роторе и статоре выполняются одинаковыми, с равными габаритными размерами. Направление каналов на роторе и статоре выполнено под одним углом к торцевой поверхности, но с противоположным направлением. Откачные характеристики проточных частей насоса зависят от их геометрических размеров и скоростных параметров. В проточных частях МВВН могут существовать все известные режимы течения газа, начиная с вязкостного и заканчивая молекулярным, границы которых оцениваются числом Кнудсена.As the flow part of the multi-threaded MVVN of parallel action, the molecular-viscous flow part is used, which is formed by screw channels located on adjacent surfaces of the rotor and stator. The shape of the channel profile on the rotor and stator are the same, with equal overall dimensions. The direction of the channels on the rotor and stator is made at the same angle to the end surface, but with the opposite direction. The pumping characteristics of the flow parts of the pump depend on their geometric dimensions and speed parameters. In the flowing parts of the MVVN, all known regimes of gas flow can exist, from viscous to molecular, whose boundaries are estimated by the Knudsen number.

Технической проблемой полезной модели является устранение отмеченных недостатков. Техническим результатом конструкции многопоточного МВВН параллельного действия является увеличение быстродействия насоса кратно количеству проточных частей первой ступени, в которую попадает газ при всасывании, без изменения габаритных размеров насоса, по сравнению с аналогичной двухпоточной конструкцией.The technical problem of the utility model is the elimination of the noted drawbacks. The technical result of the design of a multi-threaded MVVN of parallel operation is to increase the pump speed by a multiple of the number of flow parts of the first stage, into which gas enters during suction, without changing the overall dimensions of the pump, in comparison with a similar dual-flow design.

Техническая проблема решается, а технический результат достигается тем, что многопоточный молекулярно-вязкостный вакуумный насос параллельного действия содержит корпус с всасывающим и нагнетательным патрубками, в котором между внешним статором и внутренним ротором, соединенным с валом, расположены коаксиально промежуточные ступени, причем на смежных поверхностях статоров и роторов выполнены винтовые каналы молекулярно-вязкостной проточной части насоса с одинаковой формой профиля, при этом в корпусе вокруг внешнего статора образована кольцевая полость, сообщенная со всасывающим патрубком, статоры промежуточных ступеней выполнены из двух частей, каждая из которых закреплена одним концом в корпусе, а через зазор между ними пропущены перемычки, соединяющие смежные роторы между собой, во всех роторах и статорах, кроме статора последней ступени, выполнены периферийные окна, во внешнем статоре выполнена внутренняя центральная кольцевая проточка, в каждой части статоров промежуточных ступеней и внешнем статоре с стороны кольцевой проточки выполнен по меньшей мере один сквозной канал, причем в корпусе с обеих торцевых сторон закреплены коллекторы и в них через отверстия в корпусе выведены примыкающие к ним каналы в статорах.The technical problem is solved, and the technical result is achieved by the fact that the multi-threaded molecular-viscosity parallel-acting vacuum pump contains a housing with suction and discharge nozzles, in which intermediate stages are located coaxially between the external stator and the internal rotor connected to the shaft, and on the adjacent surfaces of the stators and rotors are made helical channels of the molecular-viscous flow part of the pump with the same profile shape, while in the case around the external stator images on the annular cavity in communication with the suction nozzle, the intermediate stage stators are made of two parts, each of which is fixed at one end in the housing, and jumpers connecting the adjacent rotors to each other are passed through the gap between them, in all rotors and stators, except for the last stage stator , peripheral windows are made, an inner central annular groove is made in the external stator, at least one of the stator of the intermediate steps and the external stator on the side of the annular groove is made a through channel, moreover, collectors are fixed in the housing on both end sides and adjacent channels in the stators are brought out through openings in the housing in them.

Полезная модель поясняется следующими чертежами:The utility model is illustrated by the following drawings:

на фиг. 1 представлен схематично многопоточный молекулярно-вязкостный вакуумный насос;in FIG. 1 is a schematic illustration of a multi-threaded molecular viscosity viscosity vacuum pump;

на фиг. 2 показана схема движения газа на фиг. 1.in FIG. 2 shows a gas flow diagram in FIG. one.

Многопоточный молекулярно-вязкостный вакуумный насос параллельного действия содержит корпус 1 со всасывающим 2 и нагнетательным 3 патрубками. Между внешним статором 4 и внутренним ротором 5, соединенным с валом 6, расположены коаксиально промежуточные ступени. На смежных поверхностях статоров и роторов выполнены винтовые каналы молекулярно-вязкостной проточной части насоса с одинаковой формой профиля. В корпусе 1 вокруг внешнего статора 4 образована кольцевая полость 7, сообщенная со всасывающим патрубком 2. Статоры 8 и 9 промежуточных ступеней выполнены из двух частей, каждая из которых закреплена одним концом в корпусе. Через зазор между ними пропущены перемычки 10, соединяющие смежные роторы 11 и 12 между собой. В роторах и статорах выполнены периферийные окна 13. Во внешнем статоре 4 выполнена внутренняя центральная кольцевая проточка 14. В каждой части статоров 8 и 9 промежуточных ступеней и внешнем статоре 4 со стороны кольцевой проточки 14 выполнены сквозные каналы 15, 16 и 17. В корпусе с обеих торцевых сторон закреплены коллекторы 18 и 19, куда через отверстия 20 в корпусе выведены примыкающие к ним каналы в статорах.A multi-threaded molecular-viscosity parallel-acting vacuum pump comprises a housing 1 with a suction 2 and a discharge 3 nozzles. Between the outer stator 4 and the inner rotor 5 connected to the shaft 6, coaxially intermediate steps are arranged. On adjacent surfaces of the stators and rotors, helical channels of the molecular-viscous flow part of the pump with the same profile shape are made. In the housing 1, an annular cavity 7 is formed around the external stator 4, which is in communication with the suction pipe 2. The stators 8 and 9 of the intermediate stages are made of two parts, each of which is fixed at one end in the housing. Jumpers 10 are passed through the gap between them, connecting adjacent rotors 11 and 12 with each other. Peripheral windows 13 are made in the rotors and stators 13. In the external stator 4 there is an inner central annular groove 14. In each part of the stators 8 and 9 of the intermediate steps and the external stator 4 on the side of the annular groove 14, through channels 15, 16 and 17 are made. In the housing with collectors 18 and 19 are fixed on both end sides, where adjacent channels in the stators are brought out through openings 20 in the housing.

Поток газа 21, попадая во всасывающий патрубок 2, разделяется на два равных потока 22 и 23. Схема движения потоков газа показана стрелками на фиг. 2. Поток газа 22 разделяется на равные потоки 24, 25, 26 и 27, количество которых определяется количеством проточных частей насоса, одновременно откачивающих газ из всасывающей полости насоса. Поток газа 23 разделяется на равные потоки 28, 29, 30, 31, количество которых определяется количеством проточных частей насоса, одновременно откачивающих газ из всасывающей полости насоса. На фиг. 1, 2 показано по четыре проточные части в левой и правой частях насоса. Количество проточных частей, соединенных с всасывающим патрубком, определяется быстродействием насоса, которую необходимо обеспечить, но ограничено прочностными свойствами материала ротора и размером всасывающего патрубка.The gas stream 21, falling into the suction pipe 2, is divided into two equal flows 22 and 23. The gas flow pattern is shown by arrows in FIG. 2. The gas stream 22 is divided into equal flows 24, 25, 26 and 27, the amount of which is determined by the number of flowing parts of the pump, simultaneously pumping gas from the suction cavity of the pump. The gas stream 23 is divided into equal flows 28, 29, 30, 31, the amount of which is determined by the number of flow parts of the pump, simultaneously pumping gas from the suction cavity of the pump. In FIG. 1, 2, four flow parts are shown in the left and right parts of the pump. The number of flow parts connected to the suction nozzle is determined by the speed of the pump, which must be ensured, but is limited by the strength properties of the rotor material and the size of the suction nozzle.

Поток газа 28 с периферии ротора 11 движется по каналам проточной части насоса в центр ротора, а затем через каналы 17 в статоре 4 в коллектор 19. Потоки газа 29 и 30 с периферии ротора движутся по каналам проточной части насоса в центр ротора, а затем через каналы 15 в статоре 8 в коллектор 19, где объединяются с потоком 28 в поток 32. Из коллектора 19 поток газа 32 поступает через каналы 16 в статоре 9 в центральную часть ротора на всасывание последней ступени насоса. Также на всасывание последней ступени по каналам проточной части насоса поступает поток газа 31. Потоки газа 31 и 32 объединяются перед входом в последнюю ступень насоса в поток 33 и движутся по ее каналам к нагнетательному патрубку 3 насоса.The gas stream 28 from the periphery of the rotor 11 moves along the channels of the pump flow part to the center of the rotor, and then through the channels 17 in the stator 4 to the manifold 19. The gas flows 29 and 30 from the periphery of the rotor move along the channels of the pump flow to the center of the rotor, and then through channels 15 in the stator 8 to the collector 19, where they are combined with the stream 28 into the stream 32. From the collector 19, the gas stream 32 enters through the channels 16 in the stator 9 into the central part of the rotor to suction the last stage of the pump. Also, the suction of the last stage through the channels of the flow part of the pump receives a gas stream 31. The gas flows 31 and 32 are combined before entering the last stage of the pump into the stream 33 and move through its channels to the discharge pipe 3 of the pump.

Поток газа 24 с периферии ротора 11 движется по каналам проточной части насоса в центр ротора, а затем через каналы 17 в статоре 4 в коллектор 18. Потоки газа 25 и 26 с периферии ротора движутся по каналам проточной части насоса в центр ротора, а затем через каналы 15 в статоре 8 в коллектор 18, где объединяются с потоком 24 в поток 34. Из коллектора 18 поток газа 34 поступает через каналы 16 в статоре 9 в центральную часть ротора на всасывание последней ступени насоса. Также на всасывание последней ступени по каналам проточной части насоса поступает поток газа 27. Потоки газа 27 и 34 объединяются перед входом в последнюю ступень насоса в поток 35 и движутся по ее каналам к нагнетательному патрубку 3 насоса.The gas flow 24 from the periphery of the rotor 11 moves along the channels of the pump flow part to the center of the rotor, and then through the channels 17 in the stator 4 to the manifold 18. The gas flows 25 and 26 from the periphery of the rotor move along the channels of the pump flow to the center of the rotor, and then through channels 15 in the stator 8 to the collector 18, where they are combined with the stream 24 into the stream 34. From the collector 18, the gas stream 34 enters through the channels 16 in the stator 9 to the central part of the rotor to suction the last stage of the pump. Also, the gas stream 27 enters the suction of the last stage through the channels of the pump flow part. The gas flows 27 and 34 are combined before entering the last stage of the pump into stream 35 and move along its channels to the discharge pipe 3 of the pump.

Потоки 35 и 33 откачиваются из нагнетательных патрубков 3 дополнительным форвакуумным насосом, если это необходимо, или попадают в окружающую атмосферу или специальный ресивер. 6 для уменьшения энергозатрат после каждой из ступеней сжатия в процессе откачки объекта при повешенном давлении (близкого к атмосферному), что предотвращает увеличение давления газа выше атмосферного.Streams 35 and 33 are pumped out of the discharge pipes 3 by an additional foreline pump, if necessary, or into the surrounding atmosphere or a special receiver. 6 to reduce energy consumption after each of the compression stages in the process of pumping the object at a suspended pressure (close to atmospheric), which prevents an increase in gas pressure above atmospheric.

Быстродействие многопоточного молекулярно-вязкостного вакуумного насоса определяется количеством проточных частей, одновременно откачивающих газ из всасывающей полости насоса.The speed of a multi-threaded molecular-viscous vacuum pump is determined by the number of flowing parts that simultaneously pump gas from the suction cavity of the pump.

Claims (1)

Многопоточный молекулярно-вязкостный вакуумный насос параллельного действия, содержащий корпус с всасывающим и нагнетательным патрубками, в котором между внешним статором и внутренним ротором, соединенным с валом, расположены коаксиально промежуточные ступени, причем на смежных поверхностях статоров и роторов выполнены винтовые каналы молекулярно-вязкостной проточной части насоса с одинаковой формой профиля, отличающийся тем, что в корпусе вокруг внешнего статора образована кольцевая полость, сообщенная со всасывающим патрубком, статоры промежуточных ступеней выполнены из двух частей, каждая из которых закреплена одним концом в корпусе, а через зазор между ними пропущены перемычки, соединяющие смежные роторы между собой, во всех роторах и статорах, кроме статора последней ступени, выполнены периферийные окна, во внешнем статоре выполнена внутренняя центральная кольцевая проточка, в каждой части статоров промежуточных ступеней и внешнем статоре с стороны кольцевой проточки выполнен, по меньшей мере, один сквозной канал, причем в корпусе с обеих торцевых сторон закреплены коллекторы и в них через отверстия в корпусе выведены примыкающие к ним каналы в статорах.A multi-threaded molecular viscosity-viscosity parallel-acting vacuum pump containing a housing with suction and discharge nozzles, in which coaxially intermediate steps are located between the external stator and the internal rotor connected to the shaft, and on the adjacent surfaces of the stators and rotors there are made helical channels of the molecular-viscosity flow part a pump with the same profile shape, characterized in that in the housing around the external stator an annular cavity is formed, communicated with the suction pipe, with the intermediate stage tators are made of two parts, each of which is fixed at one end in the housing, and jumpers connecting the adjacent rotors to each other are passed through the gap between them, peripheral windows are made in all the rotors and stators, except the last stage stator, in the external stator the inner central annular groove, in each part of the stators of the intermediate steps and the external stator, at least one through channel is made on the side of the annular groove, moreover, in the housing on both end sides collectors and replays them through the holes in the hull removed channels adjacent thereto in the stator.
RU2016149256U 2016-12-15 2016-12-15 MULTI-THREAD MOLECULAR VISCOSITY VACUUM PUMP OF PARALLEL ACTION RU169114U1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2016149256U RU169114U1 (en) 2016-12-15 2016-12-15 MULTI-THREAD MOLECULAR VISCOSITY VACUUM PUMP OF PARALLEL ACTION

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2016149256U RU169114U1 (en) 2016-12-15 2016-12-15 MULTI-THREAD MOLECULAR VISCOSITY VACUUM PUMP OF PARALLEL ACTION

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU169114U1 true RU169114U1 (en) 2017-03-03

Family

ID=58450177

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2016149256U RU169114U1 (en) 2016-12-15 2016-12-15 MULTI-THREAD MOLECULAR VISCOSITY VACUUM PUMP OF PARALLEL ACTION

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU169114U1 (en)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2107840C1 (en) * 1995-07-05 1998-03-27 Центральный научно-исследовательский институт "Дельфин" Two-flow molecular vacuum pump
RU2168070C2 (en) * 1998-12-17 2001-05-27 Научно-технический промышленно-производственный кооператив "Плазвак" Molecular vacuum pump
US6375413B1 (en) * 1999-11-19 2002-04-23 The Boc Group Plc Vacuum pumps
US20090035123A1 (en) * 2004-11-01 2009-02-05 Ian David Stones Vacuum pump

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2107840C1 (en) * 1995-07-05 1998-03-27 Центральный научно-исследовательский институт "Дельфин" Two-flow molecular vacuum pump
RU2168070C2 (en) * 1998-12-17 2001-05-27 Научно-технический промышленно-производственный кооператив "Плазвак" Molecular vacuum pump
US6375413B1 (en) * 1999-11-19 2002-04-23 The Boc Group Plc Vacuum pumps
US20090035123A1 (en) * 2004-11-01 2009-02-05 Ian David Stones Vacuum pump

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107503978B (en) A kind of high lift higher specific speed mixed-flow pump
CN103122776B (en) For the diffuser of axial-flow machine
CN106021831B (en) Adaptive connection reverse backflow slot Design of Inlet method
CN106064122A (en) Sawtooth injecting type evacuation
JP2017106365A (en) Connection type screw groove spacer and vacuum pump
CN107092763A (en) The three-dimensional design method of turbomachinery impeller with Castability
US9702374B2 (en) Spiral pumping stage and vacuum pump incorporating such pumping stage
RU169114U1 (en) MULTI-THREAD MOLECULAR VISCOSITY VACUUM PUMP OF PARALLEL ACTION
KR20160021229A (en) Centrifugal rotor
CN103244456A (en) Centrifugal pump impeller
RU169121U1 (en) MULTI-FLOW MOLECULAR VISCOSITY VACUUM PUMP
CN101608619B (en) Spiral anti-clawed vacuum pump
CN110360155A (en) A kind of more flow-guiding channel centrifugal pumps or radial fan shell
CN109113870A (en) A kind of diffuser, compressor and combustion gas turbine
CN106837879B (en) Compressor casing with arc-shaped slits and backflow guiding method thereof
CN204371783U (en) There is the guide ring of two-sided centrifugal pinch roller miniature turbine jet engines
RU164736U1 (en) POWER ROTARY TURBINE
CN203584821U (en) Scroll compressor
RU158483U1 (en) TWO-STAGE CENTRIFUGAL FAN
CN208380864U (en) A kind of two-chamber sliding vane vacuum pump cylinder body
CN208749451U (en) A kind of diffuser, compressor and combustion gas turbine
CN106246605A (en) A kind of rotary-jet pump header using double split flow blade
CN2893245Y (en) Double-suction centrifugal pump seal ring
JP2018502254A (en) Oil injection vacuum pump element
CN104481927A (en) Flow guiding ring with double-faced centrifugal pressure wheel for micro turbine jet engine

Legal Events

Date Code Title Description
MM9K Utility model has become invalid (non-payment of fees)

Effective date: 20181216