NO854948L

NO854948L - SLIDE PARTS COVERED WITH CERAMIC COMPONENTS AND USE THEREOF

Info

Publication number: NO854948L
Application number: NO854948A
Authority: NO
Inventors: Ulf Dworak; Dieter Fingerle; Hans Olapinski; Kilian Friedrich
Original assignee: Feldmuehle Ag
Priority date: 1985-03-16
Filing date: 1985-12-09
Publication date: 1986-09-17
Also published as: EP0195205B1; DK164101B; FI80671C; DE3663800D1; DK555985D0; FI854855A; FI854855A0; JPS61215279A; EP0195205A3; FI80671B; EP0195205A2; DK555985A; ES549034A0; ES8704143A1; DK164101C; DE3509572C1

Description

Foreliggende oppfinnelse angår et glideelement som på sin eller sine funksjonsflater er belagt med en eller flere keramiske materialkomponenter og som står i friksjonsinngrep med minst ett ytterligere glideelement. The present invention relates to a sliding element which is coated on its functional surfaces with one or more ceramic material components and which is in frictional engagement with at least one further sliding element.

Glideelementer av den innledningsvis beskrevne type er kjente. Hertil hører f. eks. glideringer i glideringpakninger som er beskrevet i form av med keramikmaterialer belagte metalliske bærere, f. eks. i DE-GM 17 77 610 og 77 18 782. Påføringen av besjiktningen skjer derved ved plasma-sprøytemetoden, i det minste i en tykkelse på ca. 100 pm. Denne påførte belegning blir derved i den for keramikkmaterialer vanlige måte under-kastet en etterbehandling i form av sliping og gnidning. Slik sett adskiller overflaten av disse besjiktninger seg ikke fra de likeledes kjente, enhetlig av en eller en blanding av flere keramiske komponenter bestående ubelagte fullkeramikk legemer som likeledes anvendes som glidering eller som pakningsskive for blandingsbatterier. Tilsvarende publikasjoner finnes i Sliding elements of the initially described type are known. This includes e.g. slip rings in slip ring gaskets which are described in the form of metallic carriers coated with ceramic materials, e.g. in DE-GM 17 77 610 and 77 18 782. The coating is then applied by the plasma spray method, at least to a thickness of approx. 100 p.m. This applied coating is thereby subjected to a finishing treatment in the form of grinding and rubbing in the usual way for ceramic materials. In this sense, the surface of these coatings does not differ from the similarly known, uniform one or a mixture of several ceramic components consisting of uncoated all-ceramic bodies which are also used as a sliding ring or as a sealing disc for mixed batteries. Corresponding publications can be found in

DE-B- 12 82 377 DE-B-12 82 377

FR-A- 14 54 755 FR-A-14 54 755

DE-B- 12 91 957 DE-B-12 91 957

DE-A- 28 34 146 DE-A- 28 34 146

EP-B- 43 456 EP-B-43 456

Ytterligere forslag finnes i DE-A- 27 11 500 som tar sikte på en metallisk del utstyrt med et polytetrafluoretylen belegg for anvendelse i en blande ventil. Further proposals are found in DE-A-27 11 500 which aims at a metallic part provided with a polytetrafluoroethylene coating for use in a mixing valve.

Alle disse forslag oppviser fremdeles visse mangler, spesielt ligger disse mangler i at de eldre, ubelagte fullkeramikkforslag oppviser mangelen med en for høy gnidningsmotstand, derfor har foreliggende søker i det tidligere nevnte EP-B- 43 45 6 også allerede foreslått en spesiell blanding av keramiske materialkomponenter for å oppnå en spesielt lav profil bæreandel. Forslaget overvinner riktignok i første omgang den dom som til nu har ligget i at en tilstrekkelig tettevirkning kun kan oppnås emd en høy profilbærer andel, dog inneholder dette forslag også visse produk- sjonstekniske mangler som oppstår derigjennom at p.g.a. den ekstra høye finhet for det keramiske utgangspulver det hyppig kan komme til produksjonskostnader som overskrider det økonomisk godtagbare mål p.g.a. det høye energiforbruk. All these proposals still show certain shortcomings, in particular these shortcomings lie in the fact that the older, uncoated all-ceramic proposals show the shortcoming of too high rubbing resistance, therefore the present applicant in the previously mentioned EP-B-43 45 6 has also already proposed a special mixture of ceramic material components to achieve a particularly low profile load-carrying proportion. Admittedly, the proposal initially overcomes the judgment that until now has been that a sufficient sealing effect can only be achieved with a high profile carrier proportion, however, this proposal also contains certain production technical deficiencies that arise as a result of the extra high fineness of the ceramic starting powder can often lead to production costs that exceed the economically acceptable target due to the high energy consumption.

I den italienske søknad 67 746 A/82 er det også foreslått glideelemeter av hårdmaterialer med forskjellige egenskqper hvorved minst et skal bestå av plater av silisiumkarbid. Derved skal det kunne oppnås en friksjonsre-duksjon p.g.a. at friksjonselementene med større hårdhet kombineres med glideelementer med lavere hjårdhet h.h.v. en mindre glatt overflate, hvorigjennom berøringsflaten mellom de to sammenvirkende glideelementer reduseres og det derved oppnås en redusert friksjon. Mangelen ved dette forslag ligger i de relativt høye omkostninger ved silisium karbid og i at, p.g.a. de forskjellige hårdhetsgrader for glideelementene, det hårdere av de to kvasi virker som overflatebearbeidende verktøy for det minde hårde andre glideelement og derved fører til en uønsket overflate-endring av det mindre hårde glideelement. In the Italian application 67 746 A/82, sliding elements of hard materials with different properties are also proposed, whereby at least one must consist of plates of silicon carbide. Thereby, it should be possible to achieve a friction reduction due to that the friction elements with greater hardness are combined with sliding elements with lower hardness or a less smooth surface, through which the contact surface between the two cooperating sliding elements is reduced and a reduced friction is thereby achieved. The shortcoming of this proposal lies in the relatively high costs of silicon carbide and in the fact that, due to the different degrees of hardness for the sliding elements, the harder of the two quasi acts as a surface processing tool for the slightly hard second sliding element and thereby leads to an unwanted surface change of the less hard sliding element.

I sammenligning med disse tidligere nevnte forslag ligger manglene ved de med keramiske materialer belagte metalliske formlegemer i at det ikke opptrer noen uoverensstemmelse i den termiske utvidelseskoeffisient for metallisk bærerlegeme og belegg, og at dette glideelement derfor ikke kan anvendes i bestemte termisk sterkt påkjente anvendelsesområder slik tilfellet kan være når det gjelder termosjokk, nemlig at belegget sprekker fra bæreren. Allerede mikrobrudd fører til en drastisk reduksjon av tetningsvirkningen. En ytterligere mangel består i korrosjon mellom metall og keramikk. I tillegg er overflatebeskaf f enheten for keramikkbe-lagte metalliske glideelementer ikke bedre enn kvaliteten til såkalte fullkeramikkk glideelementer og disse oppviser derfor også relativt høye friksjonsverdier. In comparison with these previously mentioned proposals, the shortcomings of the metallic shaped bodies coated with ceramic materials lie in the fact that there is no inconsistency in the thermal expansion coefficient for the metallic carrier body and coating, and that this sliding element cannot therefore be used in certain thermally highly stressed areas of application as in the case can be when it comes to thermal shock, namely that the coating cracks from the carrier. Even micro-breaks lead to a drastic reduction of the sealing effect. A further shortcoming consists in corrosion between metal and ceramic. In addition, the surface quality of the unit for ceramic-coated metallic sliding elements is no better than the quality of so-called all-ceramic sliding elements, and these therefore also exhibit relatively high friction values.

Oppfinnelsen har som oppgave å utvikle et glideelement som, når det står i friksjonsinngrep med et i form tilpasset ytterligere glideelement, oppviser en lav friksjonskoeffisient, spesielt en lav vedheftings friksjons koeffisient. Samtidig må glideelementet hvis det tilsiktede anvendelsesområde krever dette, også oppvise en utmerket tetningsvirkning, det bør også oppvise en forbedret termosjokk bestandighet og korrosjonsbestan-dighet. The invention has the task of developing a sliding element which, when it is in frictional engagement with a further sliding element adapted in shape, exhibits a low coefficient of friction, in particular a low adhesion coefficient of friction. At the same time, if the intended application area requires this, the sliding element must also exhibit an excellent sealing effect, it should also exhibit an improved thermal shock resistance and corrosion resistance.

For å løse denne oppgave angår oppfinnelsen et glideelement av den innledningsvis nevnte art som oppviser de i hovedkravets karakteristikk kjennetegnende trekk. In order to solve this task, the invention relates to a sliding element of the type mentioned at the outset, which exhibits the characteristic features of the main claim.

De i kravene og beskrivelsen gitte utsagn når det gjelder kornstørrelse av belegget gjelder de parallelt med beleggsplanet anordnede slipeprepa-rater. The statements given in the requirements and description regarding the grain size of the coating apply to abrasive preparations arranged parallel to the coating plane.

Oppfinnelsen baserer seg på den erkjennelse at det kan oppnås sterkt reduserte friksjonskoeffisienter ved hjelp av glideelementer hvis et finkornet og meget tynt, ikke etterbearbeidet, belegg påføres på et glattbearbeidet bærerlegeme, også under den forutsetning at bærerlegemet p.g.a. den foretatte overflatebehandling har en høy profil bæreandel. The invention is based on the realization that greatly reduced coefficients of friction can be achieved by means of sliding elements if a fine-grained and very thin, non-post-processed, coating is applied to a smooth machined carrier body, also under the assumption that the carrier body due to the surface treatment carried out has a high profile bearing share.

For realisering griper oppfinnelsen derved tilbake til de i og for seg kjente kjemiske og fysikalske pådampingsteknikker som i og for seg ikke utgjør noen gjenstand av oppfinnelsen, enmlig der man anvender belegning av skjærplater av minst av hårdlegering i bestående formlegemer. En slik fremgangsmåte er f. eks. kjent fra DE-C 31 44 192. For realization, the invention thereby reverts to the per se known chemical and physical vapor deposition techniques which per se do not constitute any object of the invention, except where coating of shear plates of at least hard alloy is used in existing molded bodies. Such a procedure is, for example, known from DE-C 31 44 192.

Ved den forholdsregel at man før belegningen sliper og/eller gnir formlegemet oppviser glideelementet, også etter belegning, en utmerket jevnhet, slik det f. eks. forlanges ved pakningsskiver i form av glideelementer. With the precaution that before the coating the molded body is sanded and/or rubbed, the sliding element, even after coating, exhibits an excellent evenness, as e.g. required for sealing washers in the form of sliding elements.

Glideelementer med krummet forløpende virkeflater oppnår ved denne Sliding elements with curved continuous working surfaces achieve this

forbehandling av formlegemet den for anvendelsen krevede toleranse. Som følge av jevnheten h.h.v. toleransen virker de oppfinnelsesmessige glideelementer tettende i stor grad, også når de anvendes som maskin-byggedel f. eks. på steder der det kreves en høy avtetning. Eksempler på slike anvendelsesområder er f. eks. glideringer for glideringpakninger og pakningsskiver for blandingsbatterier. pre-treatment of the shaped body the tolerance required for the application. As a result of the evenness of tolerance, the sliding elements according to the invention act as sealing to a large extent, also when they are used as a machine component, e.g. in places where a high degree of sealing is required. Examples of such areas of application are e.g. slip rings for slip ring seals and sealing washers for mixed batteries.

Selv om det ikke helt ut er forklart til hva man kan føre tilbake den overraskende lave friksjonskoeffisient for oppfinnelsens glideelementer, kan årsaken formodes å ligge i tildanningen av overflaten som muligens kan forklares som følger: P.g.a. den spesielt lave tykkelse til belegningen og p.g.a. kornfinheten som fortrinnsvis ikke overskrider området 0,5 pm, gir det seg en meget lav profilbærandel slik at den meget jevnt påførte belegning ikke krever noen etterbearbeideing, slik som f. eks. sliping eller glidning. I produk-sjonsteknisk henseende gir det seg i forhold til de kjente og ved plasmapåsprøyting belagte glideelementer dithen en forskjell at det ble foretatt en overflatebearbeiding av belegget ved sliping og gnidning, hvorved først da den nødvendige jevnhet ble oppnådd, riktignok kjøpt med en gnidningsøkende høy profilbæreandel. Med de i dag kjente undersøkelsesmetoder hvortil også den i EP-B- 43 456 beskrevne fremgangsmåte for bedømmelse av i pålys fremstilte mikro fotografier tilhører, kan den ytterst fine overflatestruktur av belegget på oppfinnelsens glideelementer ikke fastholdes måleteknisk fordi oppløsningen til de vanlige mikroskoper ikke lenger er tilstrekkelig. For oppnåelse av en lav profilbæreandel taler imidlertid de meget lave friksjonsverdier til oppfinnelsens glideelementer slik de er fastholdt i tabellene nedenfor. Den følgende tabell gir gjennomsnittsverdier av fire enkeltmålinger som ble gjennomført med henblikk på tørrglide- og tørrvedheftningsfriksjon på oppfinnelsesmessige og kjente glideelementer som ble fremstilt ved belegning av et i og for seg kjent av høyren aluminiumoksyd keramikk bestående bærelegeme med forskjellige keramiske materialer. Oppfinnelsens glideelementer sto der i friksjonsinngrep med et i og for seg kjent, ubelagt glideelement av høyren aluminiumoksyd keramikk. Although it is not fully explained to what the surprisingly low coefficient of friction for the sliding elements of the invention can be attributed, the reason can be presumed to lie in the formation of the surface which can possibly be explained as follows: the particularly low thickness of the coating and due to the grain fineness, which preferably does not exceed the range of 0.5 pm, results in a very low profile carrier proportion so that the very evenly applied coating does not require any post-processing, such as e.g. grinding or sliding. In terms of production technology, there is a difference in relation to the known sliding elements that are coated by plasma spraying, that a surface treatment of the coating was carried out by grinding and rubbing, whereby only when the required smoothness was achieved, admittedly bought with a high profile bearing proportion that increases friction . With the examination methods known today, to which also the method described in EP-B-43 456 for the evaluation of photomicrographs produced in bright light belongs, the extremely fine surface structure of the coating on the sliding elements of the invention cannot be maintained in terms of measurement technology because the resolution of the usual microscopes is no longer sufficient. However, the very low friction values of the sliding elements of the invention, as they are maintained in the tables below, speak for achieving a low profile bearing proportion. The following table gives average values of four individual measurements that were carried out with a view to dry sliding and dry adhesion friction on inventive and known sliding elements that were produced by coating a carrier body known in and of itself consisting of high-purity aluminum oxide ceramics with different ceramic materials. The sliding elements of the invention were there in frictional engagement with a per se known, uncoated sliding element made of pure aluminum oxide ceramics.

For fremstilling av belegningene kunne man anvende klorider av de egnede metaller, f. eks. titantetraklorid for titannitrid- eller titankarbid belegg, hvorved som egnet gass ammoniakk ble tilsatt og når det gjaldt titankarbid, metangass også ble benyttet. For fremstilling av titankarbo-nitridbelegg anvendte man gassblandinger av ammoniakk og metan. For fremstilling av et aluminiumoksydsjikt ble det anvendt aluminiumklorid som utgangsmateriale og derved ble vanndamp anvendt som oksygenbærer. For the production of the coatings, chlorides of the suitable metals could be used, e.g. titanium tetrachloride for titanium nitride or titanium carbide coatings, whereby ammonia was added as a suitable gas and, in the case of titanium carbide, methane gas was also used. Gas mixtures of ammonia and methane were used for the production of titanium carbonitride coatings. For the production of an aluminum oxide layer, aluminum chloride was used as the starting material and thereby water vapor was used as an oxygen carrier.

Som spesielt foretrukket utførelsesform oppviser glideelementet et belegg med en tykkelse på 0,8 til 3 pm. Et belegg med denne meget lave tykkelse er spesielt i de tilfeller av fordel når glideelementet ikke bare oppviser en meget lav friksjon men også skal virke tettende, fordi en så liten tykkelse av belegget gjenspeiler konturen til det slepne og polerte bærerlegemet på så og si uforandret måte og det derved oppstår et glideelement av så og si uforandret glatthet. As a particularly preferred embodiment, the sliding element has a coating with a thickness of 0.8 to 3 µm. A coating with this very low thickness is particularly advantageous in those cases when the sliding element not only exhibits a very low friction but also has to act sealingly, because such a small thickness of the coating reflects the contour of the ground and polished carrier body in a more or less unchanged way and thereby a sliding element of unchanged smoothness, so to speak, arises.

I h.h.t. ytterligere foretrukne utførelsesformer består bærerlegemet av keramiske materialer på basis av aluminiumoksyd, mullit, zirkonsilikat, zirkonoksyd, hafniumoksyd, aluminiummagnesiumspinell, silisiumkarbid, silisiumnitrid eller en blanding av disse komponenter. Muligheten å kunne velge blant disse materialer gjør det mulig å avstemme glidemater-ialet til det ønskede anvendelsesområde. Således foretrekker man som biokompatibelt materiale spesielt aluminiumoksyd eller, når man ønsker spesielle korrosjonsbestandige materialer, velger man et bærerlegeme av aluminiumoksyd, zirkonoksyd, silisiumkarbid eller silisiumnitrid. In terms of in further preferred embodiments, the carrier body consists of ceramic materials based on aluminum oxide, mullite, zirconium silicate, zirconium oxide, hafnium oxide, aluminum magnesium spinel, silicon carbide, silicon nitride or a mixture of these components. The possibility of being able to choose between these materials makes it possible to match the sliding material to the desired area of application. Thus, aluminum oxide is particularly preferred as a biocompatible material or, when special corrosion-resistant materials are desired, a support body of aluminum oxide, zirconium oxide, silicon carbide or silicon nitride is chosen.

I h.h.t. ytterligere foretrukne utførelsesformer av oppfinnelsen består belegningene av oksydene, nitridene, karbidene eller boridene av aluminium, zirkon, titan, hafnium, vanadium, niob, silisium, tantal, krom, molybden og wolfram samt kombinasjoner derav. For å oppnå spesielt korrosjonssterke belegg benytter man fortrinnsvis oksydene av aluminium og zirkon samt silisiumkarbid og silisiumnitrid mens spesielt hårde belegg benytter titannitrid, titankarbid og titankarbonitrid. In terms of further preferred embodiments of the invention consist of the coatings of the oxides, nitrides, carbides or borides of aluminium, zirconium, titanium, hafnium, vanadium, niobium, silicon, tantalum, chromium, molybdenum and tungsten and combinations thereof. In order to obtain particularly corrosion-resistant coatings, the oxides of aluminum and zircon as well as silicon carbide and silicon nitride are preferably used, while particularly hard coatings use titanium nitride, titanium carbide and titanium carbonitride.

For sikker forbindelse mellom belegg og bærer kan det være nødvendig å tilveiebringe et mellomsjikt for å gi vedhefting av belegget. Ved forskjellige bærer-legemskombinasjoner og keramiske materialkomponenter for belegningen kan det også anvendes flere mellomsjikt i h.h.t. en foretrukket utførelsesform, hvorved hver gang et mellomlegg forbedrer vedheftingen i forhold til det neste mellomlegg. For forskjellige anvendelsesområder viser seg imidlertid et oppfinnelsesmessig glideelement uten mellomsjikt som absolutt tilstrekkelig. For glideelementer med et belegg av aluminiumoksyd har et spesielt hensiktsmessig mellomsjikt vært at titankarbonitrid. Også her har en opprettholdelse av konturene til bærerlegemet og dermed toleransen h.h.v. jevnheten vist seg hensiktsmessig når mellomsjiktet fremstilles i en tykkelse opptil 2 pm. For a secure connection between coating and carrier, it may be necessary to provide an intermediate layer to provide adhesion of the coating. With different carrier-body combinations and ceramic material components for the coating, several intermediate layers can also be used in terms of a preferred embodiment, whereby each time an interlayer improves the adhesion in relation to the next interlayer. For various areas of application, however, an inventive sliding element without an intermediate layer proves to be absolutely sufficient. For sliding elements with a coating of aluminum oxide, a particularly suitable intermediate layer has been titanium carbonitride. Here too, maintaining the contours of the carrier body and thus the tolerance or the uniformity proved appropriate when the intermediate layer is produced in a thickness of up to 2 pm.

Valget av belegningsmetode (PVD eller CVD) er i og for seg ikke vesentlig, dog hr det for kompliserte konstruksjonsformer og et allsidig belegg vist seg gunstig å benytte CVD metoden mens PVD metoden p.g.a. den relativt lave arbeidstemperatur på 200 - 400"C sammenlignet med 1000"C ved CVD, rent økonomisk sett byr på visse fordeler. The choice of coating method (PVD or CVD) is in and of itself not significant, however, for complicated construction forms and a versatile coating it has proven beneficial to use the CVD method, while the PVD method due to the relatively low working temperature of 200 - 400"C compared to 1000"C with CVD, from a purely economic point of view offers certain advantages.

I h.h.t. ytterligere foretrukne utførelsesformer består bærerlegemet av aluminiumoksyd som er utstyrt med et belegg eventuelt av aluminiumoksyd eller av silisimnitrid, silisiumkarbid, titannitrid, titankarbid eller titankarbonitrid. For fremstilling av bærerlegemet foretrekkes spesielt blandinger som består av minst 90 vekt-% aluminiumoksyd og resten av en eller flere oksyder av magnesium, silisium, titan og zirkon, og som også er å forstå under begrepet aluminiumoksyd. Med aluminiumoksyd belagte bærerlegemer av aluminiumoksyd er spesielt biokompatible og disse glideelementer kan derfor fortrinnsvis benyttes for fremstilling av kunstige leddproteser. Belegg av titankarbid og titankarbonitrid foretrekkes fordi de allerede uten mellombelegg oppviser en utmerket vedheftingsfasthet til bærerlegemene av aluminiumoksyd. In terms of in further preferred embodiments, the carrier body consists of aluminum oxide which is provided with a coating optionally of aluminum oxide or of silicon nitride, silicon carbide, titanium nitride, titanium carbide or titanium carbonitride. For the production of the carrier body, mixtures consisting of at least 90% by weight of aluminum oxide and the remainder of one or more oxides of magnesium, silicon, titanium and zirconium, and which are also to be understood under the term aluminum oxide, are particularly preferred. Carrier bodies made of aluminum oxide coated with aluminum oxide are particularly biocompatible and these sliding elements can therefore preferably be used for the production of artificial joint prostheses. Coatings of titanium carbide and titanium carbonitride are preferred because even without an intermediate coating they exhibit an excellent adhesion strength to the support bodies of aluminum oxide.

Glideelementer ifølge oppfinnelsen kan anvendes i mange tekniske områder. Spesielt foretrukket er anvendelsen av et oppfinnelsesmessig glideelement som oppviser et bærerlegeme av aluminiumoksyd som er utstyrt med et belegg av aluminiumoksyd, idet anvendelsen er en pkaningsskive i en blandingsventil som også er kjent under betegnelsen enhåndsblander eller sanitærblandebatteri. En annen fortrukket anvendel-sesform er anvendelsen av oppfinnelsens glideelementer som oppviser et bærerlegeme av aluminiumoksyd og belegg av titannitrid, titankarbonitrid eller titankarbid som glidering ved en glideringspaking. Sliding elements according to the invention can be used in many technical areas. Particularly preferred is the use of an inventive sliding element which has a support body of aluminum oxide which is equipped with a coating of aluminum oxide, the use being a pkaning disk in a mixing valve which is also known under the term single-hand mixer or sanitary mixer tap. Another preferred form of application is the use of the sliding elements of the invention, which have a support body of aluminum oxide and a coating of titanium nitride, titanium carbonitride or titanium carbide as sliding in a sliding gasket.

De etterfølgende eksempler og beskrivelsen av figuren skal tjene til en nærmere forklaring av oppfinnelsen uten at dennes beskyttelsesomfang skal innskrenkes. The following examples and the description of the figure shall serve for a more detailed explanation of the invention without its scope of protection being restricted.

Eksempel 1Example 1

For fremstilling av en for sanitærblandingsbatterier ment pakningsskive som er ment for inngrep med en ytterligere, ikke oppfinnelsesmessig vanlig pakningsskive av aluminiumoksyd, fremstilles et bærerlegeme av en pulverblanding bestående av 99,2 vekt-% aluminiumoksyd, 0,5 vekt-% magnesiumoksyd og 0,3 vekt-% silisiumoksyd, idet pulverblandingen på i og for seg kjent måte blandes til en finhet på d5Q= 0,8 pm og det deretter fra pulverblandingen formes og sintres en pakningsskive. Etter avkjøling blir denne ved sliping og polering bearbeidet til en jevnhet på 2 heliumlysbånd. Det beskrives en profilbæreandel på 80%, tilsvarende en målemetode som er beskrevet i EP-B- 43 456. For the production of a gasket intended for sanitary mix batteries which is intended for engagement with a further, non-inventionally common aluminum oxide gasket, a carrier body is produced from a powder mixture consisting of 99.2% by weight of aluminum oxide, 0.5% by weight of magnesium oxide and 0. 3% by weight of silicon oxide, the powder mixture being mixed in a manner known per se to a fineness of d5Q=0.8 pm and then a packing disc is formed and sintered from the powder mixture. After cooling, this is processed by grinding and polishing to an evenness of 2 helium light bands. A profile bearing proportion of 80% is described, corresponding to a measurement method described in EP-B-43 456.

På den for tildannelse av funksjonsflaten mente side av pakningsskiven påførs det et mellombelegg av titankarbonitrid med en tykkelse på 0,5 pm ved CVD-metoden. Umiddelbart deretter påføres et belegg av ren AI2O3med en tykkelse på 2 pm som utgjør funksjonsflaten. Den midlere kornstørrelse for belegget utgjør 0,5 pm. Friksjonen for oppfinnelsens fremstilte pakningsskive mot en standardpakningsskive av ren aluminiumoksyd keramikk ble fastslått til: On the side of the gasket intended to form the functional surface, an intermediate coating of titanium carbonitride with a thickness of 0.5 pm is applied by the CVD method. Immediately afterwards, a coating of pure AI2O3 with a thickness of 2 pm is applied, which forms the functional surface. The average grain size for the coating is 0.5 pm. The friction for the manufactured gasket of the invention against a standard gasket of pure alumina ceramic was determined to be:

En sammenligningsmåling av de i dette eksempel beskrevne bærerlegemer i form av en pakningsskive før belegning med CVD-sjiktet av titankarbonitrid ga: A comparative measurement of the support bodies described in this example in the form of a gasket disc before coating with the CVD layer of titanium carbonitride gave:

Målingen av friksjonsverdiene vise at det kan oppnås en vesentlig lavere friksjon ved belegningen. The measurement of the friction values show that a significantly lower friction can be achieved with the coating.

På de i eksempel 1 beskrevne bærerlegemer ble det uten mellomlegg påført et sjikt av titankarbonitrid med en tykkelse på 2 pm. Kornstørrelsen for belegget utgjorde 0,3 pm. Det ble fastslått en glidningsfriksjons koeffisient på 0,1 og en vedheftningsfriksjonskoeffisient på 0,17 mot de i Eksempel 1 beskrevne standardpakningsskiver av aluminiumoksyd. On the carrier bodies described in example 1, a layer of titanium carbonitride with a thickness of 2 pm was applied without an intermediate layer. The grain size of the coating was 0.3 pm. A sliding friction coefficient of 0.1 and an adhesion friction coefficient of 0.17 were determined against the standard packing discs of aluminum oxide described in Example 1.

Eksempel 3Example 3

En glidering i en glideringspakning ble fremstilt idet det ble fremstilt et bærerlegeme av 98 vekt-% aluminiumoksyd, 0,8 vekt-% magnesiuwmoksyd og 1,2 vek-% silisiumoksyd i h.h.t. Eksempel 1 hvoretter, etter sliping og polering til en jevnhet på 2 heliumlysbånd, bærerlegemet ble belagt med et belegg av titankarbonitrid med en tykkelse på 5 pm i h.h.t. CVD-metoden. De fastslåtte friksjonsverdier tilsvarer verdiene i Eksempel 1. A slip ring in a slip pack was prepared by preparing a carrier body of 98 wt.% alumina, 0.8 wt.% magnesium oxide and 1.2 wt.% silicon oxide by weight. Example 1 after which, after grinding and polishing to a smoothness of 2 helium light bands, the support body was coated with a coating of titanium carbonitride with a thickness of 5 µm in the h.h.t. The CVD method. The determined friction values correspond to the values in Example 1.

I figurene viser:The figures show:

Fig. 1 skjematisk og i tverrsnitt, et utsnitt av et bærerlegeme slik det Fig. 1 schematically and in cross-section, a section of a carrier body as it is

anvendes ifølge foreliggende oppfinnelse,is used according to the present invention,

Fig. 2 skjematisk i tverrsnitt, det i Fig. 1 viste bærerlegeme etter Fig. 2 schematically in cross-section, the carrier body shown in Fig. 1 after

gjennomført belegning,completed coating,

Fig. 3 skjematisk og i tverrsnitt, en ytterligere utførelsesform av et Fig. 3 schematically and in cross-section, a further embodiment of a

glideelement ifølge oppfinnelsen med et mellomsjikt.sliding element according to the invention with an intermediate layer.

Ved det i Fig. 1 viste bærerlegeme 2 dreier det seg om et kjent glideelement som på sin overflate 6 er slipt og utglattet. Et kornutbruddspunkt 7 som oppsto ved slipingen oppviser en dybde X og er vist sterkt forstørret. The carrier body 2 shown in Fig. 1 is a known sliding element whose surface 6 is ground and smoothed. A grain breakout point 7 which occurred during the grinding has a depth X and is shown greatly enlarged.

Det i Fig. 2 viste glideelement 1 er oppnådd ved påføring av et belegg 3 i h.h.t. CVD-metoden på overflaten 6 i det i Fig. 1 viste bærerlegeme. Belegningen 3 oppviser en tykkelse på 1,8 pm og følger i konturen konturen av overflaten 6 til bærerelementet 2 slik dette sees i området for punktet 7. Overflaten av belegget 3 danner funksjonsflaten 4 til glideelementet 1. Den i kornutbruddspunkområdet 7 opptredende fordypning T har en dybde på X'. The sliding element 1 shown in Fig. 2 has been obtained by applying a coating 3 in respect of The CVD method on the surface 6 in the carrier body shown in Fig. 1. The coating 3 has a thickness of 1.8 pm and in contour follows the contour of the surface 6 of the carrier element 2 as seen in the area of the point 7. The surface of the coating 3 forms the functional surface 4 of the sliding element 1. The indentation T appearing in the grain eruption point area 7 has a depth of X'.

For fremstilling av det i Fig. 3 viste glideelement 1 ble det i Fig. 1 beskrevne bærerelement 2 benyttet. Et mellomsjikt 5 med en tykkelse på 0,5 pm ble påført ved CVD prosessen og et belegg 3 som utgjorde funksjonsflaten 4 ble påført over mellomsjiktet 5 i en tykkelse på 1,6 pm. Også her se man at mellomsjiktet 5 h.h.v. belegget 3 følger konturen til overflaten 6 av bærerlegemet 2. En fordypning 7" i området for kornut-bruddspunktet 7 h.h.v. fordypningen 7' har en dybde X". For the production of the sliding element 1 shown in Fig. 3, the carrier element 2 described in Fig. 1 was used. An intermediate layer 5 with a thickness of 0.5 pm was applied by the CVD process and a coating 3 which constituted the functional surface 4 was applied over the intermediate layer 5 in a thickness of 1.6 pm. Here, too, one can see that the middle layer 5 h.h.v. the coating 3 follows the contour of the surface 6 of the carrier body 2. A recess 7" in the area of the grain-out breakpoint 7, respectively the recess 7' has a depth X".

Det skal uttrykkelig henvises til at belegningen 3 følger konturene til bærerlegemet 2 også på slike steder som er finere enn det viste kornutbruddspunkt 7. P.g.a. forenklet tegning er dette imidlertid ikke vist. It must be expressly referred to that the coating 3 follows the contours of the carrier body 2 also in places that are finer than the shown grain breaking point 7. Because simplified drawing, however, this is not shown.

Claims

1. Med et eller flere keramiske materialkomponenter på en eller flere funk sjons flate r belagt første glideelement som består i friksjonsinngrep med ytterligere glideelement, karakterisert ved at minst et av glideelementene (1) oppviser en ved forming og sintring av keramiske materialer fremstilt, slipt og/eller polert bærerlegeme (2), som minst på sin funksjonsplate (4) oppviser en i h.h.t. de kjemiske eller fysikalske pådampingsmetoder (CVD eller PVD) oppnådd belegg (3) av en eller flere keramiske komponenter i en tykkelse av 0,2 til 10 pm og en kornstørrelse som ikke overskrider 1 pm.1. With one or more ceramic material components on one or more functional surfaces, the first sliding element is coated which consists in frictional engagement with an additional sliding element, characterized in that at least one of the sliding elements (1) exhibits a by shaping and sintering of ceramic materials produced, ground and/or polished carrier body (2), which at least on its functional plate (4) exhibits a the chemical or physical vapor deposition methods (CVD or PVD) obtained coating (3) of one or more ceramic components with a thickness of 0.2 to 10 pm and a grain size not exceeding 1 pm.

2. Glideelement ifølge krav 1, karakterisert ved at bærerlegemet (2) består av keramiske materialer på basis av aluminiumoksyd, mullitt, zirkonsilikat, zirkonoksyd, hafniumoksyd, aluminiummagnesiumspinell, silisiumkarbid, silsisiumnitrid eller en blanding av disse komponenter.2. Sliding element according to claim 1, characterized in that the carrier body (2) consists of ceramic materials based on aluminum oxide, mullite, zirconium silicate, zirconium oxide, hafnium oxide, aluminum magnesium spinel, silicon carbide, silicon nitride or a mixture of these components.

3. Glideelement ifølge kravene 1 og 2, karakterisert ved at belegningen (3) består av oksyder, nitrider, karbider eller borider av aluminium, zirkonium, titan, hafnium, vanadium, niop, tantal, krom, molybden, wolfram og silisium eller kombinasjoner derav.3. Sliding element according to claims 1 and 2, characterized in that the coating (3) consists of oxides, nitrides, carbides or borides of aluminium, zirconium, titanium, hafnium, vanadium, niobium, tantalum, chromium, molybdenum, tungsten and silicon or combinations thereof.

4. Glideelement ifølge kravene 1-3, karakterisert ved at glideelementet (1) i tillegg oppviser et eller flere mellomsjikt (5) mellom bærerlegemet (2) og belegningen (3).4. Sliding element according to claims 1-3, characterized in that the sliding element (1) additionally exhibits one or more intermediate layers (5) between the carrier body (2) and the coating (3).

5. Glideelement ifølge krav 4, karakterisert ved at det oppviser et mellomsjikt (5) av titankarbonitrid.5. Sliding element according to claim 4, characterized in that it exhibits an intermediate layer (5) of titanium carbonitride.

6. Glideelement ifølge kravene 4 og 5, karakterisert ved at mellomsjiktet (5) har en tykkelse på opptil 2 pm.6. Sliding element according to claims 4 and 5, characterized in that the intermediate layer (5) has a thickness of up to 2 pm.

7. Glideelement ifølge kravene 1-6, karakterisert ved at bærerlegemet (2) og belegningen (3) består av aluminiumoksyd.7. Sliding element according to claims 1-6, characterized in that the carrier body (2) and the coating (3) consist of aluminum oxide.

8. Glideelement ifølge kravene 1-3, karakterisert ved at bærerlegemet (2) består av aluminiumoksyd og belegningen (3) av silisiumnitrid.8. Sliding element according to claims 1-3, characterized in that the carrier body (2) consists of aluminum oxide and the coating (3) of silicon nitride.

9. Glideelement ifølge kravene 1-6, karakterisert ved at bærerlegemet (2) består av aluminiumoksyd og belegningen (3) av silisiumkarbid.9. Sliding element according to claims 1-6, characterized in that the carrier body (2) consists of aluminum oxide and the coating (3) of silicon carbide.

10. Glideelementi ifølge kravene 1 -6, karakterisert ved at bærerlegemet (2) består av silisiumnitrid og belegningen (3) av aluminiumok syd.10. Sliding element according to claims 1-6, characterized in that the carrier body (2) consists of silicon nitride and the coating (3) of aluminum oxide.

11. Glideelement ifølge kravene 1-6, karakterisert ved at bærerlegemet (2) består av aluminiumoksyd og belegningen (3) av titannitrid, titankarbid eller titankarbonitrid.11. Sliding element according to claims 1-6, characterized in that the carrier body (2) consists of aluminum oxide and the coating (3) of titanium nitride, titanium carbide or titanium carbonitride.

12. Anvendelse av et glideelement ifølge krav 7 som pakningsskive i et blandingsbatteri.12. Use of a sliding element according to claim 7 as a sealing disc in a mixed battery.

13. Anvendelse av et glideelement ifølge krav 11, som glidering i en glideringspakning.13. Use of a sliding element according to claim 11, as a sliding ring in a sliding seal.