NO301252B1 - Lavkostnads vått-til-vått trykkavfölerpakke - Google Patents
Lavkostnads vått-til-vått trykkavfölerpakke Download PDFInfo
- Publication number
- NO301252B1 NO301252B1 NO901002A NO901002A NO301252B1 NO 301252 B1 NO301252 B1 NO 301252B1 NO 901002 A NO901002 A NO 901002A NO 901002 A NO901002 A NO 901002A NO 301252 B1 NO301252 B1 NO 301252B1
- Authority
- NO
- Norway
- Prior art keywords
- pressure
- housing
- sensor package
- pressure sensor
- end wall
- Prior art date
Links
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 14
- 239000011324 bead Substances 0.000 claims description 13
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 13
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 12
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 11
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 11
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 3
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 3
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 claims description 2
- 239000000725 suspension Substances 0.000 claims description 2
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 claims description 2
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 claims description 2
- 229920005560 fluorosilicone rubber Polymers 0.000 claims 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 claims 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 3
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000011253 protective coating Substances 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 230000008707 rearrangement Effects 0.000 description 1
- 229920002631 room-temperature vulcanizate silicone Polymers 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/145—Housings with stress relieving means
- G01L19/146—Housings with stress relieving means using flexible element between the transducer and the support
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0007—Fluidic connecting means
- G01L19/0038—Fluidic connecting means being part of the housing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0061—Electrical connection means
- G01L19/0084—Electrical connection means to the outside of the housing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/142—Multiple part housings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/147—Details about the mounting of the sensor to support or covering means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Child & Adolescent Psychology (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Switches Operated By Changes In Physical Conditions (AREA)
Description
Den foreliggende oppfinnelse vedrører en trykkavfølerpakke som omfatter et hus som definerer et kammer som er avgrenset delvis av motstående, atskilte øvre og nedre endevegger; og en trykkfølsom trykkdel som er anbragt i huset; idet trykkdelen innbefatter en perifer kant, en redusert sentral del, og en øvre overflate med en krets i den sentrale delen.
Et utvalg av trykktransdusere er "blitt utviklet tidligere for forskjellige applikasjoner. Mange slike transdusere in-korporerer en trykkfølsom silisiumtrykkdel som har piezo-følsomme elementer på en side derav og som genererer tilsvarende elektriske signaler ved bøyning av trykkdelen som reaksjon på trykk. Riktig montering av den trykkfølsomme silisiumtrykkdelen er vesentlig for transduserens ytelse.
En slik transdusertype er den såkalte "vått-til-vått"-trykktransduseren der trykkdelen tjener som en membran mellom to fluidtrykkmedia i direkte kontakt med disse. Slike transdusere anvendes i forskjellige medisinske og selv-bevegende applikasjoner, salgsautornater, etc. I trykktransdusere av denne type, må trykkdelen monteres på en måte som ikke bare gir den nødvendige mekaniske støtte, men som også gir fluidtett tetning i henhold til den bestemte applikasjon. Ettersom trykkdelen er i direkte kontakt med fluidmedia, blir et beskyttende belegg ofte tilveiebrakt, hvilket belegg kan påvirke følsomhet og gjentakelsesmulighet. Følgelig, for den beste ytelse, er det særlig ønskelig å montere trykkdelen på en måte som minimaliserer fremmede påkjenninger på denne, samtidig som den tilfredsstiller nødvendige mekaniske støtte- og fluidtetningskrav.
Trykktransdusere med elastomere monteringsmidler har også vært tidligere tilgjengelige. Eksempelvis viser US-patent nr.
4 656 454 en vått-til-vått-trykkavføler der trykkdelen er fastspent mellom forutstøpte, elastomere ringtetninger som er anbrakt i motstående deler av et hus. Selv om denne trykk-transduser oppfører seg ganske bra, er der visse ulemper med hensyn til den bestemte type av montering som anvendes der. Silisiumtrykkdelen er under kontinuerlig påkjenning som forstyrrer følsomhet. Små fremstillingsvariasjoner i de forutstøpte, elastomere tetninger og/eller variasjoner i sammenstilling av pakken, kan medføre ytterligere påkjenninger som kan påvirke riktig fluidtetning og ytterligere forstyrre følsomheten. Dessuten krever monteringskonfigura-sjonen praktisk talt bruken av et beskyttende belegg på de frilagte kretselementer av trykkdelen, hvilket i sin tur øker hysteresevirkningene, og dermed reduserer repeterbarhet og ytelse. US-patentene nr. 4 665 754, 4 658 651 og 4 373 397 er også representative for den kjente teknikk i dette henseende.
Et behov har således oppstått for en forbedret vått-til-vått-trykkavføler som har en bedre elastomer montering som tilfredsstiller de nødvendige fluid-tetningskrav, mens der samtidig unngås unødvendige påkjenninger på trykkdelen og de frilagte kretselementer beskyttes mot korrosjon pga. de kontaktdannende fluidmedia i den hensikt å oppnå bedre følsomhet og ytelse.
Trykkavfølerpakken kjennetegnes, ifølge den foreliggende oppfinnelse ved at trykkdelen er anbragt i en fordypning i den nedre endeveggen av huset, at kretsen er en piezoresistiv krets som er forbundet med et flertall av frilagte kretselementer, innbefattende kontaktputer på den perifere kanten, og en nedre overflate; at en lederramme er festet til den nedre endeveggen av huset i atskilt forhold til trykkdelen, idet lederrammen innbefatter et flertall av innvendige og utvendige endepartier; at et flertall av trådbindinger sammenkobler kontaktputene på trykkdelen og de innvendige endepartier av lederrammen; og at vulstmidler bevirker opphenging av trykkdelen i fordypningen i den nedre endeveggen av huset og mellom de innvendige endepartier av lederrammen, og på beskyttende måte dekker de frilagte kretselementer og kontaktputer på trykkdelen og trådbindingene deri, uten å overlappe den reduserte, sentrale del av trykkdelen.
Ytterligere utførelsesformer av trykkavfølerpakken vil fremgå av de vedlagte patentkrav, samt av den etterfølgende beskrivelse, med henvisning til de vedlagte tegningsfigurer. Fig. 1 er et perspektivriss over vått-til-vått-trykkavføler-pakken ifølge oppfinnelsen. Fig. 2 er et forstørret vertikalt tverrsnittsriss av vått-til-vått-trykkavfølerpakken heri. Fig. 3 er en forstørret tverrsnittsillustrasjon av den elastomere monteringsinnretning for den trykkfølsomme trykkdelen heri.
Idet der nå vises til tegningen, der like henvisningstall betegner like eller tilsvarende elementer overalt i figur-rissene, er der vist den forbedrede vått-til-vått-trykk-avfølerpakken 10, ifølge oppfinnelsen. Som det vil bli forklart mer fullstendig nedenfor, innbefatter avfølerpakken 10 et trykkfølsomt element som er montert mellom perifere vulster av elastomert klebemateriale for å isolere påkjenning, gi fluidtetning og beskytte de frilagte kretselementer derav.
Trykkavfølerpakken 10 omfatter et hus 12 som, i den viste form, innbefatter motstående deksler 14 og 16 som er sammen-koblet i et atskilt forhold ved hjelp av en omgivende sidevegg 18. Huset 12 definerer et lite kammer deri. Toppdekslet 14 innbefatter en aksiell port eller boring 20 som strekker seg derigjennom fra den ytre enden til en fordypning 22 i den indre enden. Et flertall av langsgående ribber 24 er tilveiebrakt om utsideoverflaten av toppdekslet 14 for mottakelse og festing av en rør- eller slangelengde som strekker seg til fluidkilden hvis trykk skal overvåkes. I den foretrukne utførelsesform, slik som vist, er bunndekslet 16 av identisk konstruksjon, innbefattende en aksiell port eller boring 28, fordypning 30 og utvendige langsgående ribber 32. En annen rør- eller slangelengde (ikke vist) fra en annen fluidkilde er forbundet med bunndekslet 16.
I den foretrukne utførelsesform er dekslene 14 og 16 i huset 12 identiske. Hvert deksel 14 og 16 innbefatter en avsmalnet ytre ende og en utvidet indre ende, idet utsideoverflaten av disse er forsynt med hakk til å definere en skulder for mottakelse av sideveggen 18. Dekslene 14 og 16 og sideveggen 18 er fortrinnsvis støpt av passende termoplast og festet sammen ved hjelp av ultralydsveising, klebemiddel eller annen passende teknikk.
Idet der vises særlig til fig. 2 og 3, blir en påkjennings-følsom brikke eller trykkdel 34 understøttet fullstendig på innsiden av det nedre dekslet 16. I særdeleshet omfatter trykkdelen 34 en generelt rektangulær eller kvadratisk brikke av halvledermateriale, slik som silisium, som har en perifer kant 36 og et sirkulært sentralt område med redusert tykkelse som danner en membran 38. Den øvre overflaten 40 av trykkdelen 34 er dopet til å gi en anordning av piezo-motstander og andre ledende regioner deri. Kontaktputer 42 og andre frilagte kretselementer befinner seg om topp-overflaten av den perifere kanten 36.
Trykkdelen 34 understøttes innenfor en elastomer monteringsinnretning 44 bestående av to kontinuerlige vulster 46 og 48 av elastomert klebemiddel. I særdeleshet strekker den nedre vulsten av elastomert klebemiddel 46 seg om den nedre perifere kanten 36 av trykkdelen 34 og fordypning 30 i det nedre dekslet 16, hvilken fordypning vil bemerkes er relativt større enn trykkdelen 34 for å unngå enhver kontakt eller binding mellom disse. Den øvre vulsten 48 av elastomert klebemiddel strekker seg om den øvre perifere kanten 36 på trykkdelen 34, de innvendige endepartier av en lederramme 50 av metall, og mellomliggende deler av det nedre dekslet 16. Det vil bemerkes at den øvre vulsten 48 også dekker og således beskytter kontaktputene 42 og andre frilagte kretselementer, samt trådbindinger 52 som sammenkobler kontaktputene på trykkdelen 34 med lederrammen 50, hvilken er støpt inn i innsideenden av det nedre dekslet 16, for å beskytte de frilagte kretselementene mot korrosjon. De innvendige endedeler av lederrammen 50 er festet til dekslet 16, men de utvendige endedeler av lederrammen strekker seg utenfor huset 12 for forbindelse med ledninger 54 på kontrollkretsen (ikke vist).
I den foretrukne utførelsesform består de elastomere vulstene 46 og 48 av mykt, elastomert klebemiddel, slik som GE-romtemperaturvulkaniserende (RTV) silikongummi nr. 162. Dersom fluidmiljøet er uvennlig eller korrosivt, kan GE-fluor-silikon anvendes.
Som vist er trykkavfølerpakken 10 tilpasset for avføling av det relative trykkdifferensial mellom to fluider som er forbundet med porter 20 og 28 i huset 12. Om ønskelig kan imidlertid avføleren 10 modifiseres til å avføle absolutt eller målertrykk for en fluid som er forbundet med port 20 ved å avtette port 28 og evakuere rommet deri for derved å gi en vakuumreferanse.
Eksperimentelle resultater fra atten (18) prøveenheter har bekreftet den forbedrede ytelse for denne avfølerpakke 10. Direkte sammenlignings tester ble utført på en 1 og 17 psi (0,0703 kg/cm<2> og 1,1951 kg/cm<2>) mellom avfølerpakken heri og Modell 16PC som er vist i US-patent 4 656 454. Oppmerksom-heten var rettet på hysterese, og testresultatene var som følger:
Fra det foregående vil det således være åpenbart at den foreliggende oppfinnelse omfatter en forbedret vått-til-vått-trykkavfølerpakke som har flere fordeler relativt den kjente teknikk. En vesentlig fordel er at trykkdelen er opphengt innenfor en elastomer monteringsinnretning som er festet til og understøttet på den samme delen av huset for å isolere trykkdelen fra påkjenning i den hensikt å skape større følsomhet og nøyaktighet.
Den øvre vulsten tjener også til å beskytte trådbindingene og andre frilagte kretselementer om periferien av trykkdelen, mot korrosjon uten overligging av det sentrale membran-arealet. Andre fordeler vil være åpenbare for fagfolk.
Selv om bestemte utførelsesformer av oppfinnelsen er blitt vist på den vedlagte tegning og beskrevet i foregående detaljerte beskrivelse, vil det forstås at oppfinnelsen ikke er begrenset kun til de vist utførelsesformer, men er tilsiktet å omfatte eventuelle alternativer, ekvivalenter, modifikasjoner og/eller omordninger av elementer som faller innenfor omfanget av oppfinnelsen slik som definert av de etterfølgende patentkrav.
Claims (9)
1.
Trykkavfølerpakke (10), omfattende: et hus (12) som definerer et kammer som er avgrenset delvis av motstående, atskilte øvre (14) og nedre (16) endevegger; og en trykkfølsom trykkdel (34) som er anbragt i huset; idet trykkdelen innbefatter en perifer kant (36), en redusert sentral del (38), og en øvre overflate (40) med en krets i den sentrale delen, karakterisert ved at trykkdelen er anbragt i en fordypning i den nedre endeveggen av huset,
at kretsen er en piezoresistiv krets som er forbundet med et flertall av frilagte kretselementer, innbefattende kontaktputer (42) på den perifere kanten, og en nedre overflate;
at en lederramme (50) er festet til den nedre endeveggen av huset i atskilt forhold til trykkdelen, idet lederrammen innbefatter et flertall av innvendige og utvendige endepartier ;
at et flertall av trådbindinger (52) sammenkobler kontaktputene på trykkdelen og de innvendige endepartier av lederrammen; og
at vulstmidler bevirker opphenging av trykkdelen i fordypningen i den nedre endeveggen av huset og mellom de innvendige endepartier av lederrammen, og på beskyttende måte dekker de frilagte kretselementer og kontaktputer på trykkdelen og trådbindingene deri, uten å overlappe den reduserte, sentrale del av trykkdelen.
2.
Trykkavfølerpakke som angitt i krav 1, karakterisert ved at vulstmidlet omfatter elastomert klebemiddel (48) som strekker seg mellom den perifere kanten på den øvre overflaten av trykkdelen, de innvendige endepartier av lederrammen, og mellomliggende partier av den nedre endeveggen av huset.
3.
Trykkavfølerpakke som angitt i krav 1 eller 2, karakterisert ved: en kontinuerlig nedre vulst (46) av elastomert klebemiddel som strekker seg mellom den perifere kanten på den nedre overflaten av trykkdelen og fordypningen i nedre endevegg på huset; en kontinuerlig øvre vulst (48) av elastomert klebemiddel som strekker seg mellom den perifere kanten på den øvre overflaten av trykkdelen, de innvendige endepartier av lederramme, og mellomliggende deler av nedre endevegg på huset; idet den øvre vulsten på beskyttende måte dekker de frilagte kretselementer og kontaktputer på trykkdelen og trådbindingene deri, uten å overlappe membrandelen av trykkdelen.
4 .
Trykkavfølerpakke som angitt i et hvilket som helst av de foregående krav,
karakterisert ved at huset omfatter: et øvre deksel (14) som innbefatter ytre ende og en utvidet indre ende som avsluttes i den øvre endeveggen; et nedre deksel (16) som innbefatter ytre ende og en utvidet indre ende som avsluttes i den nedre endeveggen; og en omgivende sidevegg (18) som sammenkobler de indre ender av de øvre og nedre deksler i relativt, atskilt forhold.
5 .
Trykkavfølerpakke som angitt i krav 4, karakterisert ved at de øvre og nedre deksler og sideveggen er laget av termoplast.
6.
Trykkavfølerpakke som angitt i et hvilket som helst av de foregående krav,
karakterisert ved dessuten å innbefatte: langsgående ribber (24) på de ytre ender av de øvre og nedre deksler hosliggende deres respektive endevegger for å feste rør eller slange på disse.
7.
Trykkavfølerpakke som angitt i et hvilket som helst av kravene 2-6, karakterisert ved at det elastomere klebemidlet omfatter romtemperaturvulkaniserende silikongummi.
8.
Trykkavfølerpakke som angitt i krav 7, karakterisert ved at det elastomere klebemidlet omfatter fluorsilikongummi.
9.
Trykkavfølerpakke som angitt i et hvilket som helst av de foregående krav, karakterisert ved middel som definerer en fluidport (28) i den nedre endeveggen av huset.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US07/320,170 US4942383A (en) | 1989-03-06 | 1989-03-06 | Low cost wet-to-wet pressure sensor package |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
NO901002D0 NO901002D0 (no) | 1990-03-02 |
NO901002L NO901002L (no) | 1990-09-07 |
NO301252B1 true NO301252B1 (no) | 1997-09-29 |
Family
ID=23245190
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
NO901002A NO301252B1 (no) | 1989-03-06 | 1990-03-02 | Lavkostnads vått-til-vått trykkavfölerpakke |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4942383A (no) |
EP (1) | EP0386959B1 (no) |
JP (1) | JP2890204B2 (no) |
CA (1) | CA2011431C (no) |
DE (1) | DE69011551T2 (no) |
NO (1) | NO301252B1 (no) |
Families Citing this family (39)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0797649B2 (ja) * | 1990-03-07 | 1995-10-18 | 三菱電機株式会社 | 半導体圧力センサ装置およびその製造方法 |
DE4101554A1 (de) * | 1991-01-21 | 1992-07-23 | Bosch Gmbh Robert | Drucksensor fuer gase und fluessigkeiten |
JP2719448B2 (ja) * | 1991-01-24 | 1998-02-25 | 三菱電機株式会社 | 半導体圧力検出装置 |
JPH04258176A (ja) * | 1991-02-12 | 1992-09-14 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体圧力センサ |
JPH05206354A (ja) * | 1992-01-24 | 1993-08-13 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体圧力センサおよびその製造方法 |
JPH0592706U (ja) * | 1992-05-19 | 1993-12-17 | ティーディーケイ株式会社 | 湿度検出装置 |
US5317924A (en) * | 1992-07-13 | 1994-06-07 | Delco Electronics Corporation | Self-retaining, self-sealing pressure sensor |
JPH06132545A (ja) * | 1992-10-19 | 1994-05-13 | Mitsubishi Electric Corp | 圧力検出装置 |
US5454270A (en) * | 1994-06-06 | 1995-10-03 | Motorola, Inc. | Hermetically sealed pressure sensor and method thereof |
US5763787A (en) * | 1996-09-05 | 1998-06-09 | Rosemont Inc. | Carrier assembly for fluid sensor |
DE19707503B4 (de) * | 1997-02-25 | 2007-01-04 | Infineon Technologies Ag | Drucksensor-Bauelement und Verfahren zur Herstellung |
US5825091A (en) * | 1997-03-25 | 1998-10-20 | Motorola, Inc. | Sensor assembly mounted to a leadframe with adhesive deposits at separate locations |
US6176138B1 (en) | 1998-07-15 | 2001-01-23 | Saba Instruments, Inc. | Electronic pressure sensor |
US20020003274A1 (en) * | 1998-08-27 | 2002-01-10 | Janusz Bryzek | Piezoresistive sensor with epi-pocket isolation |
US6006607A (en) * | 1998-08-31 | 1999-12-28 | Maxim Integrated Products, Inc. | Piezoresistive pressure sensor with sculpted diaphragm |
US6351996B1 (en) | 1998-11-12 | 2002-03-05 | Maxim Integrated Products, Inc. | Hermetic packaging for semiconductor pressure sensors |
US6346742B1 (en) | 1998-11-12 | 2002-02-12 | Maxim Integrated Products, Inc. | Chip-scale packaged pressure sensor |
US6229190B1 (en) | 1998-12-18 | 2001-05-08 | Maxim Integrated Products, Inc. | Compensated semiconductor pressure sensor |
JP2001041838A (ja) * | 1999-08-03 | 2001-02-16 | Yamatake Corp | 圧力センサおよびその製造方法 |
US6401545B1 (en) | 2000-01-25 | 2002-06-11 | Motorola, Inc. | Micro electro-mechanical system sensor with selective encapsulation and method therefor |
US20020033050A1 (en) * | 2000-04-28 | 2002-03-21 | Toshitaka Shibata | Pressure sensor |
US6769319B2 (en) | 2001-07-09 | 2004-08-03 | Freescale Semiconductor, Inc. | Component having a filter |
US6886929B2 (en) * | 2002-10-25 | 2005-05-03 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Techniques for improving pressure sensor shock robustness in fluid containment devices |
US7465040B2 (en) * | 2002-10-25 | 2008-12-16 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Labyrinth seal structure with redundant fluid flow paths |
ITTO20030444A1 (it) | 2003-06-13 | 2004-12-14 | Olivetti Jet Spa | Sensore di pressione a struttura integrata. |
US7077008B2 (en) | 2004-07-02 | 2006-07-18 | Honeywell International Inc. | Differential pressure measurement using backside sensing and a single ASIC |
DE602005021793D1 (de) * | 2004-08-23 | 2010-07-22 | Honeywell Int Inc | Abgasrückführungssystem unter verwendung von unein |
US7373830B2 (en) * | 2006-04-25 | 2008-05-20 | Honeywell International Inc. | Metal/thermo plastic port design for media isolated pressure transducers |
US7636053B2 (en) * | 2006-09-20 | 2009-12-22 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Article and method for monitoring temperature and pressure within a pressurized gas cylinder |
US7434471B2 (en) * | 2007-01-16 | 2008-10-14 | Raytheon Company | Pressure measurement transducer with protective device |
US8297125B2 (en) * | 2008-05-23 | 2012-10-30 | Honeywell International Inc. | Media isolated differential pressure sensor with cap |
US8230745B2 (en) * | 2008-11-19 | 2012-07-31 | Honeywell International Inc. | Wet/wet differential pressure sensor based on microelectronic packaging process |
US8322225B2 (en) * | 2009-07-10 | 2012-12-04 | Honeywell International Inc. | Sensor package assembly having an unconstrained sense die |
US8230743B2 (en) | 2010-08-23 | 2012-07-31 | Honeywell International Inc. | Pressure sensor |
CA2866380C (en) | 2012-03-06 | 2017-01-17 | Rosemount, Inc. | Remote seal pressure measurement system for subsea use |
JP6058337B2 (ja) * | 2012-09-28 | 2017-01-11 | 泉工医科工業株式会社 | 圧力センサ付きコネクタ |
US9442031B2 (en) | 2013-06-28 | 2016-09-13 | Rosemount Inc. | High integrity process fluid pressure probe |
US9459170B2 (en) | 2013-09-26 | 2016-10-04 | Rosemount Inc. | Process fluid pressure sensing assembly for pressure transmitters subjected to high working pressure |
US9638600B2 (en) * | 2014-09-30 | 2017-05-02 | Rosemount Inc. | Electrical interconnect for pressure sensor in a process variable transmitter |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3067989D1 (en) * | 1980-02-06 | 1984-07-05 | Keller Hans W | Piezoresistive cylindrical-box-like pressure measurement cell |
US4665754A (en) * | 1985-04-08 | 1987-05-19 | Honeywell Inc. | Pressure transducer |
US4656454A (en) * | 1985-04-24 | 1987-04-07 | Honeywell Inc. | Piezoresistive pressure transducer with elastomeric seals |
US4658651A (en) * | 1985-05-13 | 1987-04-21 | Transamerica Delaval Inc. | Wheatstone bridge-type transducers with reduced thermal shift |
US4655088A (en) * | 1985-10-07 | 1987-04-07 | Motorola, Inc. | Unibody pressure transducer package |
-
1989
- 1989-03-06 US US07/320,170 patent/US4942383A/en not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-03-02 DE DE69011551T patent/DE69011551T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1990-03-02 NO NO901002A patent/NO301252B1/no not_active IP Right Cessation
- 1990-03-02 EP EP90302253A patent/EP0386959B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1990-03-05 CA CA002011431A patent/CA2011431C/en not_active Expired - Lifetime
- 1990-03-06 JP JP2052876A patent/JP2890204B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH03201336A (ja) | 1991-09-03 |
DE69011551D1 (de) | 1994-09-22 |
DE69011551T2 (de) | 1995-01-05 |
NO901002L (no) | 1990-09-07 |
CA2011431A1 (en) | 1990-09-06 |
EP0386959A2 (en) | 1990-09-12 |
EP0386959B1 (en) | 1994-08-17 |
EP0386959A3 (en) | 1991-05-15 |
JP2890204B2 (ja) | 1999-05-10 |
CA2011431C (en) | 2001-04-10 |
NO901002D0 (no) | 1990-03-02 |
US4942383A (en) | 1990-07-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
NO301252B1 (no) | Lavkostnads vått-til-vått trykkavfölerpakke | |
JP2696375B2 (ja) | 隔離装置 | |
US10473546B2 (en) | Hermetic pressure sensor having a bending part | |
US7024937B2 (en) | Isolated pressure transducer | |
JP6458044B2 (ja) | 差圧センサおよびその製造方法 | |
US5410916A (en) | Flowthrough pressure sensor | |
KR102257310B1 (ko) | 차압 감지 다이 | |
JP2009186467A (ja) | 差動流体圧力測定装置 | |
US10466125B2 (en) | Pressure sensor sub assembly and fabrication | |
US4218925A (en) | Differential pressure transmitter with pressure sensor protection | |
CN104515546B (zh) | 用于经受高工作压力的压力变送器的过程流体压力传感组件 | |
JP2017506750A (ja) | 差圧検知ダイ用のパッケージ | |
US7698951B2 (en) | Pressure-sensor apparatus | |
US8770032B2 (en) | Relative pressure sensor | |
EP0197130A1 (en) | Pressure transducer | |
JPH07294358A (ja) | 圧力感知装置及びその製造方法 | |
CA1252646A (en) | Measuring transducer | |
WO2000003220A1 (en) | Methods and apparatus for sensing differential and gauge static pressure in a fluid flow line | |
EP3205998B1 (en) | Open diaphragm harsh environment pressure sensor | |
CN220322611U (zh) | 金属弹性体及其封装压力传感器 | |
EP0497534B1 (en) | Piezoresistive pressure transducer with a conductive elastomeric seal | |
KR20150131439A (ko) | 압력측정장치 | |
JP2984420B2 (ja) | 差圧センサ | |
US10295427B2 (en) | Multi-chamber pressure sensing apparatus | |
CN118225301A (zh) | 一种浸入式压力传感器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MK1K | Patent expired |