NL8902568A

NL8902568A - Vacuuem systeem voorzien van een evacueerbaar huis, een objecthouder en een losneembaar daarmee gekoppelde objectdrager.

Info

Publication number: NL8902568A
Application number: NL8902568A
Authority: NL
Original assignee: Philips Nv
Priority date: 1989-10-17
Filing date: 1989-10-17
Publication date: 1991-05-16
Also published as: JPH03147238A; US5089708A; EP0423877A1

Description

N.V. Philips' Gloeilampenfabrieken te Eindhoven.

Vacuüm systeem voorzien van een evacueerbaar huis, een objecthouder en een losneembaar daarmee gekoppelde objectdrager.

De uitvinding heeft betrekking op vacuüm systeem voorzien van een evacueerbaar huis, een objecthouder en een losneembaar daarmee gekoppelde objectdrager, welke objecthouder is voorzien van deels binnen het huis gelegen positioneringsmiddelen voor positionering van een object in het huis, waarbij de objectdrager is voorzien van een steunelement met een draagvlak voor het object, welk steunelement ten opzichte van de objectdrager draaibaar is rond een draaias, alsmede van met het steunelement en de positioneringsmiddelen samenwerkende aandrijfmiddelen.

De uitvinding heeft tevens betrekking op een objectdrager geschikt voor toepassing in een dergelijk vacuüm systeem.

Een vacuüm systeem, in het bijzonder een elektronenm.icroskoop, alsmede een objectdrager van de bovengenoemde soort zijn bekend uit het Duitse octrooischrift DE 28.25.417.

In dit octrooischrift, is een vacuüm systeem beschreven, in de vorm van een elektronen-optische kolom die is voorzien van een objecthouder in de vorm van een tafel die ten opzichte van een optische as van de kolom verschuifbaar is. Een objectdrager, in de vorm van een object.patroon, wordt het. vacuüm systeem binnengebracht, en wordt met de tafel gekoppeld. De objectdrager, die buisvormig is, bevat een te onderzoeken object dat. aan een steunelement is opgehangen. Het steunelement is ten opzichte van de objectdrager kantelbaar rond een draaias, die dwars staat op de optische as, en parallel loopt aan een ondersteunend oppervlak waartegen het object aanligt. Het steunelement is aan één zijde verbonden met. een veer, en aan een andere zijde met een duwlichaam, dat aanligt tegen een met de kolom verbonden nokkenring. Door draaiing van de nokkenring met behulp van positioneringsmiddelen, die een buiten de kolom tredende flexibele as omvatten, is een positie van het object ten opzichte van de optische as instelbaar. Een dergelijke objectdrager en objecthouder combinatie is weliswaar mechanisch stabiel, maar neemt, in een richting van de optische as relatief veel ruimte in. Hierdoor zijn aantallen mogelijke lensconfiguraties beperkt, daar de door de objectdrager ingenomen ruimte de aanwezigheid van poolschoenen van een magnetische lens uitsluit. Voorts is het met de bekende objectdrager niet mogelijk om eucentrische objectbewegingen uit te voeren, dat wil zeggen, objectbewegingen waarbij het snijpunt van de rotatie assen op de optische as is gelegen.

De uitvinding heeft onder meer als doel te voorzien in een vacusysteem van de bovengenoemde soort, voorzien van een objecthouder en een objectdrager waarmee een object op eenvoudige wijze ten opzichte van een referentie-as, bijvoorbeeld een optische as, in een veeltal posities positioneerbaar is. Het. is tevens een doel van de uitvinding te voorzien in objectdrager met relatief kleine afmetingen, geschikt voor eucentrische rotatie van een door de objectdrager gesteund object.

Hiertoe heeft een vacuüm systeem volgens de uitvinding tot kenmerk, dat met de objecthouder een eerste en een tweede objectdrager koppelbaar zijn, waarbij de draaias van het steunelement van de eerste objectdrager dwars op het draagvlak staat en waarbij de draaias van het steunelement van de tweede objectdrager parallel loopt aan het draagvlak.

Door toepassing van uitwisselbare objectdragers, die zijn voorzien van onderling rond verschillende assen roteerbare steunelementen, kan een te onderzoeken object, afhankelijk van een uit te voeren onderzoek (bij bepaling van kristalorientaties is rotatie rond de optische as wenselijk, voor bepaling van roosterdefecten is rotatie rond een dwars op de optische as gelegen as wenselijk), op de juiste wijze worden gepositioneerd, zonder dat aanpassing van de met de kolom verbonden objecthouder nodig is.

Een uitvoeringsvorm van een vacuüm systeem volgens de uitvinding heeft tot kenmerk, dat de objecthouder een cilindrisch lichaam omvat dat aan een uiteinde is omgeven door een kogelvormig lager dat een deel van een door het huis begrensde vacuümruimte afsluit, waarbij het kogelvormige lager is voorzien van een opening waardoor het cilindrische lichaam en de binnen het cilindrische lichaam gelegen positioneringsmiddelen tot binnen de vacuümruimte schuifbaar zijn.

Door toepassing van een vacuüm systeem van de bovengenoemde soort, wordt het mogelijk de objectdrager rond een snijpunt van de draaias en een lengte-symmetrie as van het cilindrisch lichaam te roteren. Hierdoor blijft, een objectdeel dat in dit snijpunt is gelegen op dezelfde plaats, hetgeen bij bijvoorbeeld elektronen microscopie van voordeel is.

Opgemerkt wordt, dat een objecthouder van de bovengenoemde soort op zich bekend is uit: C.J. Rakels, J.C. Tiemeijer en H.W. Witteveen, "The Philips Electron Microscope EM 300"; Philips Technical Review, Vol. 29, 1968, nr. 12, blz. 370-386.

In dit artikel is een objecthouder in een elektronenmicroscoop beschreven, waarin het cilindrisch lichaam buiten de vacuömruimte kan worden gebracht om een tip van het cilindrich lichaam te voorzien van een object. De tip vormt in dit geval de objectdrager, die echter geen steunelement omvat, dat ten opzichte van de objectdrager draaibaar is rond een draaias. Een rotatie van een object rond een parallel aan de optische as gelegen draaias, wordt verkregen door rotatie van het kogelvormige lager, en is beperkt in draaihoek. Door toepassing van een van de objecthouder losneembare objectdrager met een ten opzichte daarvan draaibaar steunelement, neemt het aantal bewegingsmogelijkheden van een object toe.

Een verdere uitvoeringsvorm van een vacuüm systeem volgens de uitvinding heeft als kenmerk, dat de positioneringsmiddelen een duwstang omvatten, waarbij in de eerste objectdrager het duwlichaam wordt gevormd door een verdere duwstang die dwars ligt op de draaias, en waarbij de veer met één uiteinde met de objectdrager is verbonden en met een ander uiteinde, via een langs de sokkel geleide band, met de verdere duwstang is verbonden.

Door de positioneringsmiddelen en het duwlichaam uit te voeren als samenwerkende duwstangen, kan op een voudige wijze een rotatie van het steunelement plaatsvinden om een dwars op het draagvlak gelegen draaias. Bij voorkeur is het steunelement voorzien van een rond omtreksdeel, dat aanligt tegen één of meer door de objectdrager geteunde lagers. Voor koeling van het object met vloeibare stikstof of helium is het van voordeel de verdere duwstang uit te voeren in een warmte-isolerend materiaal, bijvoorbeeld een keramisch materiaal.

Een verdere uitvoeringsvorm van een vacuüm systeem volgens de uitvinding heeft als kenmerk, dat de positioneringsmiddelen een duwstang omvatten, waarbij in de tweede objectdrager het steunelement is voorzien van twee zj jarmen waarvan één zijarm samenwerkt met een verend element en een andere zijarm samenwerkt met het kantellichaam dat tweearmig is uitgevoerd en met één arm tegen de duwstang aanligt. Voor rotatie van het steunelement om een parallel aan het steunvlak gelegen as, is een objecthouder voorzien van een met de duwstang samenwerkend kantellichaam.

Een weer verdere uitvoeringsvorm van een vacuüm systeem volgens de uitvinding heeft als kenmerk, dat de aandrijfmiddelen een piezo elektrisch element omvatten, waarbij de positioneringsmiddelen en de objectdrager zijn voorzien van onderling samenwerkende elektrische contactpunten.

Doordat de objecthouder ter aansturing van het piezo elektrisch element elektrisch met de positioneringsmiddelen, die in dit geval twee elektrische geleiders omvatten, is verbonden, hoeft geen doorvoer van bewegende delen door een kolomwand plaats te vinden. Hierdoor wordt een vacuümafdichting vereenvoudigd, en is thermische isolatie van het object makkelijk, daar geen geleiding via de duwstang plaats vindt.

Een andere uitvoeringsvorm van een vacuüm systeem volgens de uitvinding heeft als kenmerk, dat het huis in een wand is voorzien van een een tegenover de objecthouder gelegen vacuümsluis voor het binnen het huis brengen van de objectdrager.

Door de objectdrager door een vacuümsluis binnen het huis te brengen, kan de objecthouder van een eenvoudige uitvoering zijn. Een permanente vacuümafdichtng in bijvoorbeeld de vorm van een balg, tusssen een binnenwand van het kogelvormig lager en een buitenwand van het cilindrisch lichaam wordt hierdoor mogelijk. In de bekende objecthouder van Philips is het cilindrisch lichaam ten behoeve van objectverwisseling losneembaar uit het kogelvormig lager, zodat een permanente vacuümafdichting niet mogelijk is, en moet worden volstaan met bijvoorbeeld een O-ring als afdichting.

Een weer andere uitvoeringsvorm van een vacuüm systeem volgens de uitvinding heeft als kenmerk, dat door de sluis een hulpstuk met de objectdrager koppelbaar is voor het ontkoppelen van de preparaatdrager van de koppelingsmiddelen. Een koppeling van een objectdrager in het huis met de objecthouder wordt vergemakkelijkt door toepassing van een speciaal hulpstuk, dat is voorzien van een met een kam in de objectdrager samenwerkende pal.

Enkele uitvoeringsvormen van een vacuüm systeem volgens de uitvinding zullen nader worden toegelicht aan de hand van bijgevoegde tekening. In de tekening toont:

Figuur 1 een schematische weergave van een vacuüm systeem voorzien van een objecthouder,

Figuur 2 een bovenaanzicht van een objecthouder en een eerste objectdrager volgens de uitvinding, waarbij de aandrijfmiddelen een duwstang omvatten,

Figuur 3 een bovenaanzicht van een objecthouder en een tweede objectdrager volgens de uitvinding, waarbij de aandrijfmiddelen een kantellichaam omvatten,

Figuur 4 een zijaanzicht van aandrijfmiddelen in een tweede objectdrager volgens de uitvinding,

Figuur 5 een bovenaanzicht van een objecthouder en een eerste objectdrager volgens de uitvinding, waarbij de aandrijfmiddelen een piezo elektrisch element omvatten,

Figuur 6 een bovenaanzicht van een tweede objectdrager volgens de uitvinding, waarbij de aandrijfmiddelen een piezo elektrisch element omvatten,

Figuur 7a tot en met 7c een schematische weergave van enkele uitvoeringsvormen van de aandrijfmiddelen volgens de uitvinding, Figuur 8a tot en roet 8c een schematische weergave van aandrijfmiddelen volgens de uitvinding alsmede van spanningsverloop van een aansturing daarvan,

Figuur 9a en 9b een bovenaanzicht van een hulpstuk volgens de uivinding.

Figuur 1 toont een vacuüm systeem, in de vorm van een elektronenmicroscoop met een elektronen optische kolom 1, voorzien van een door een evacueerbaar huis 2 omgeven vacuümruimte 3, en een elektronenbron 5. De elektronenbron 5 emitteert een elektronenbundel langs een optische as 7 van de kolom t. Met elektromagnetische condersorlenzen 8 wordt de elektronenbundel op een in een objectieflens 9 geplaatst object gefocusseerd. De objectieflens 9 omvat spoelen met wikkelingen die zijn voorzien van een weekijzeren omhulling en kern, en van poolschoenen die in een richting van de optische as op een onderlinge afstand van bijvoorbeeld 1 cm gelegen zijn, In een spleet die zich uitstrekt tussen de poolschoenen van de lens 9 is een door een objectdrager 11 ondersteund object geplaatst. De objectdrager 11 is gekoppeld met een objecthouder 13, die een cilindrisch lichaam 15 omvat, dat via een kogelvormig lager 17 met het geëvacueerde huis 2 is verbonden. Het cilindrisch lichaam 15 treedt door het kogelvormig l^ger binnen het huis 2, waarin een druk bijvoorbeeld 10”® Torr bedraagt. In het cilindrisch lichaam bevinden zich positioneringsmiddelen 19, in de vorm van bijvoorbeeld een duwstang die door samenwerking van een schroef- en een moerdraad in een dwars op de optische as 7 gelegen richting in het huis 2 verplaatsbaar is. Na het door de objectdrager ondersteund object doorstraald te hebben, valt de elektronenbundel op een detector 20 waarop een vergroot beeld van het object wordt gevormd (bijvoorbeeld 10® maal vergroot). De detector 20 omvat bijvoorbeeld een fluorescerend scherm. Met de objecthouder 13 kan een object in verschillende posities ten opzichte van de optische as 7 worden gepositioneerd, zodat een hoek van inval van de op het object vallende electronenbundel varieert. Hierbij is het van voordeel als twee onderling loodrechte assen van rotatie en de optische as 7 elkaar in een punt snijden. Een beeld van een deel van het object dat in dit punt ligt, zal bij een kanteling van het object dezelfde oriëntatie behouden. Door draaiing van het kogelvormg lager kan de objectdrager 11 in een dwars op de optische as 7 gelegen vlak door een beperkte hoek worden gedraaid. Hierbij verschuift echter het object ten opzichte de optische as 7. Voor sommige onderzoeken van het object, bijvoorbeeld het onderzoek van een kristalstructuur aan de hand van diffractiepatronen, is het wenselijk het object door een hoek van 360° in een dwars op de optische as gelegen vlak te roteren, met een rotatiesnelheid van tussen de 0,1°s'1 en de 10os_1 met een nauwkeuringheid van 0,1° en een reproduceerbaarheid van 0,5°. Voorts dient voor een goede beeldvorming tijdens onderzoek de objectdrager niet meer drift te vertonen dan 0,1 10”^® ms”^ bij kamertemperatuur en dient een amplitude van trilling kleiner dan rond 0,8 10“^ m te zijn. Voor andere onderzoeken, zoals bijvoorbeeld drie dimensionale beeldreconstructie, is een draaiing van de objectdrager rond een dwars op de optische as 7 gelegen as noodzakelijk met soortgelijke eisen aan nauwkeurigheid en reproduceerbaarheid.

Figuur 2 toont een objecthouder 13 met daaraan losneembaar gekoppeld een objectdrager 22, die zich binnen de, door een deels getoonde wand 24 omgeven, vacuümruimte 3 bevindt. Een lengte van de objectdrager bedraagt bijvoorbeeld 30 mm, terwijl een breedte tussen de 6 en de 12 mm bedraagt. De objecthouder 22 is voorzien van een kogelvormig lager 28, dat een deel van de vacuümruimte 3 afdicht en via een 0-ring 30 beweegbaar met de wand 24 is gekoppeld. Door een opening in het kogelvormgig lager 28 treedt een cilindrisch lichaam 32 de vacuümruimte 3 binnen. Het lichaam 32 is via een klemmende koppeling 34 met de objectdrager 22 gekoppeld. In het cilindrisch lichaam 32 dat in het vlak van tekening in de richting van de dubbele pijl F beweegbaar is, bevinden zich positioneringsmiddelen 36, in de vorm van een duwst.ang. Met de duwstang 36 werken aandrijfmiddelen 38 in de objectdrager 22 samen. De aandrijfmiddelen 38 omvatten een duwstang en een met de duwstang verbonden veer 40. De veer 40 kan zijn uitgevoerd als een cilindrische veer of als een horlogeveer in een trommel. Door een beweging van de duwstang 38, aangedreven van buiten de vacuruimte 3 door de duwstang 36, roteert een steunelement 42 rond een as die loodrecht op het vlak van tekening staat. De duwstang 38 wordt gepositioneerd en geleid door een lager 43, terwijl het steunelement 42 langs een lager 44 wordt geleid. De lagers worden bijvoorbeeld gevormd door saffier dat zeer slijtvast is. De gearceerd weergegeven delen van de tekening zjn van warmte isolerend materiaal om bij koeling van een in het steunelement 42 geplaatst object met vloeibare stikstof of helium een warmte isolatie te bewerkstelligen.

Figuur 3 toont de objecthouder 13, waarmee een objectdrager 22 is gekoppeld met een rond een in het vlak van tekening gelegen as 41 roteerbaar steunelement 42. Het steunelement 42 is via de aandrijfmiddelen in de vorm van een kantellichaam 46, met de duwstang 36 verbonden. Beweging van de duwstang 36 resulteert in een rotatie van het steunelement 42 om de as 41. Doordat de aandrijfmiddelen in de objectdrager 22 voor een rotatie van het steunelement om de as 41 en voor rotatie om de as loodrecht op het vlak van tekening, samenwerken met de duwstang 36, kan eenvoudigerwijze door verwisseling van de objectdrager 22 een rotatieas van het object worden veranderd. Vacu afdichting van de vacuruimte 3 vindt plaats met behulp van balgen 37.

Figuur 4 toont een zijaanzicht van het steunelement 42 en het daarmee gekoppelde tweearmige kantellichaam 46. Het steunelement is voorzien van twee zijarmen 49, waarvan één zijarm door een verend element 50 wordt weggeduwd, twerwijl de andere dwarsarm door het kantellichaam rond de draaias 41, die in deze figuur loodrecht op het vlak van tekening staat, roteerbaar is.

Het kantellichaam 46 is bijvoorbeeld V-vormig en kantelbaar rond een aan de draaias 41 parallelle kantelas 47, en is voorzien van een contactdeel dat samenwerkt met een uitsparing in de duwstang 36.

Figuur 5 toont objecthouder 13 die met de objectdrager 22 is gekoppeld. De aandrijfmiddelen omvatten een piezo elektrisch element 50. Het piezo-elektrisch element 50 is via elektrische contactpunten 51 in de objectdrager met elektrische contactpunten van de positioneringsmiddelen, die hier worden gevormd door twee elektrische geleiders 52, verbonden, en wordt afhankelijk van een via de geleiders 52 toe te voeren spanning langer of korter. Het steunelement 42, dat roteerbaar is rond een uit het papier tredende as, is via een gesloten lus 54 met een wiel 56 verbonden, welk wiel eveneens rond een uit het papier tredende as roteerbar is. De lus 54 ligt bj voorkeur om een verder cilindrisch deel 57 van het wiel 56, zodat en omtrekszijde van het wiel 56 in aangrijping met het piezo elektrische element 50 kan zijn, dat op de omtrekszijde een in een tangentiële richting van het wiel gerichte kracht kan uitoefenen. Het cilindrische lichaam 32 is in deze uitvoering nagenoeg geheel massief met een uitsparing voor doorvoer van de geleiders 52. Een voordeel van een uitvoeringsvorm waarbij de aandrijfmiddelen een piezo elektrisch element omvatten, is dat een doorvoer van bewegende delen door de wand 24 ontbtreekt, zodat een vacuümafdichting eenvoudiger kan zijn en kan worden volstaan met bijvoorbeeld één balg 37 tussen het kogelvormig lager 28 en het cilindrische lichaam 32. Voorts kan door aansturing van het piezo elektrische element 50 in een aantal discrete spanningsstappen, door het tellen van het aantal spanningsstappen eenvoudig een maat voor een hoekverdraaiing van het steunelement 42 worden verkregen. Een lengteverandering van het piezo elektrisch element van 7 pm resulteert bij een straal van het steunelement van 2 mm en een straal van het wiel 56 van 4 mm in een hoekverdraaiing van 0,1°. Voor een rotatiesnelheid van het steunelement 42 van 10°s~^ wordt het piezo elektrisch element 50 aangestuurd met een frekwentie van 100 Hz met een spanning in een orde van grootte van enkele honderden volts. Bij een bedrijfsfrekwentie van 100 Hz bijven uitwijkingen van de objectdrager in de orde van grootte van 0,5 10“^ m, hetgeen geen nadelige gevolgen heeft voor een beeldscherpte bij een hoge vergroting.

Figuur 6 toont een uitvoeringsvorm van de tweede objectdrager waarbij de aandrijfmiddelen een piezo elektrisch element 50 omvatten en waarbj het steunelement 42 roteerbaar is rond een as 60 die parallel loopt aan het steunvlak van het steunelement 42. De aandrijfmiddelen omvatten voorts een wiel 62 dat roteerbaar is rond een as 63, die dwars staat op de as 60. Via een pal 64 is het wiel 62 met het steunelement gekoppeld, zodat bj draaiing van het wiel 62 het steunelement 60 rond de as 60 kantelt.

Figuur 7a toont een uitvoeringsvorm van het piezo elektrisch element 50, dat een eerste deel 50a omvat, dat bijvoorbeeld een piezo stack omvat dat in een tangentiële richting van het steunelement 42 kan expanderen, en een deel 50b dat in een radiale richting van het steunelement kan bewegen. Het deel 50b omvat bijvoorbeeld een bimorf piezo elektrisch element. Door het in successie laten expanderen en inkrimpen van de delen 50a en 50b, wordt een hoekverdraaiing van het steunelement bewerkstelligd. In figuur 7b wordt het deel 50a eveneens gevormd door een bimorf piezo elektrisch element. De in figuur 7a en 7b getoonde aandrijfmiddelen van de objecthouder zijn geschikt voor een aandrijving van het. steunelement. 42 rond een loodrecht op het steunelement gelegen as. De aandrijfmiddelen voor rotatie van het steunelement 42 rond een aan het steunoppervlak parallelle as, in een objectdrager zoals getoond in figuur 6, is getoond in figuur 7c. De delen 50a en 50b omvatten beide een bimorf element. Eerst wordt het deel 50b in contact gebracht met het, in deze figuur niet getoond wiel 62, waarna het deel 50a rond de as 63 draait. Vervolgens recht het element 50b zich, waardoor een contact met de omtrekszijde van het wiel 62 wordt verbroken, en draait het deel 50a weer terug in de uitgangspositie.

Figuur 8 toont een verdere vorm van de aandrijfmiddelen die in deze uitvoeringsvorm slechts één bimorf element omvatten.

Twee tegengesteld gepolariseerde delen piezo elektrisch materiaal A en B zijn op elkaar bevestigd. Door het toevoeren van spanningen zoals getoond in figuur 8c aan de delen A en B , waarbij respectievelijk A korter en B langer, A korter en B korter, A langer en B korter en A langer en B langer worden, roteert het steunelement 42 rond een dwars op het steunvlak gelegen as.

Figuur 9a toont hoe door een tegenover de objecthouder 13 gelegen sluis 65 een hulpstuk 67 binnen de vacuümruimte 3 kan worden gebracht. Het hulpstuk 67 is voorzien van twee om de objectdrager passende tongen 68, waarvan één tong een pal 69 draagt die draaibaar is rond een as 70. De pal 69 is aan één uiteinde voorzien van een ronding en aan een ander uiteinde van een haak. Voor het ontkoppelen van de objectdrager 22 van de objecthouder 13, wordt de haak in aangrijping gebracht met de kam 71, waarna de objectdrager door terugtrekken van het hulpstuk 67 door de sluis 65 van de objecthouder 13 wordt losgekoppeld. Om de objectdrager met de objecthouder te koppelen wordt de objectdrager tussen de tongen 68 van het hulpstuk geplaatst waarbij de kam 71 in klemmend contact wordt gebracht met de ronding van de pal 69, zoals getoond in figuur 9b. De objectdrager 22 wordt klemmend met de objecthouder 13 gekoppeld, waarna het hulpstuk 67 uit de vacuruimte 3 kan worden verwijderd. Hierbij glijdt de ronding van de pal 69 uit de kam 71 en blijft de objectdrager achter in de vacuruimte 3.

Opgemerkt. wordt dat een toepassing van een objectdrager en een objecthouder volgens de uitvinding niet beperkt is tot elektronenmicroscopie, maar ook kan worden toegepast in bijvoorbeeld röntgenspectrometrische apparatuur of micro chip fabricage- en inspectie-apparatuur.

Claims

1. Vacuüm systeem voorzien van een evacueerbaar huis, een objecthouder en een losneembaar daarmee gekoppelde objectdrager, welke objecthouder is voorzien van deels binnen het huis gelegen positioneringsmiddelen voor positionering van een object in het huis, waarbij de objectdrager is voorzien van een steunelement met een draagvlak voor het object, welk steunelement ten opzichte van de objectdrager draaibaar is rond een draaias, alsmede van met het steunelement en de positioneringsmiddelen samenwerkende aandrijfmiddelen, met hét kenmerk, dat met de objecthouder een eerste en een tweede objectdrager koppelbaar zijn, waarbij de draaias van het steunelement van de eerste objectdrager dwars op het draagvlak staat en waarbij de draaias van het steunelement van de tweede objectdrager parallel loopt aan het draagvlak.

2. Vacuüm systeem volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de objecthouder een cilindrisch lichaam omvat dat aan een uiteinde is omgeven door een kogelvormig lager dat een deel van een door het huis begrensde vacuümruimte afsluit, waarbij het kogelvormige lager is voorzien van een opening waardoor het cilindrische lichaam en de binnen het cilindrische lichaam gelegen positioneringsmiddelen tot binnen de vacuümruimte schuifbaar zijn.

3. Vacuüm systeem volgens conclusie 1 of 2, waarbij de aandrijfmiddelen een veer en een met de positioneringsmiddelen samenwerkend duwlichaam omvatten, met het kenmerk, dat de positioneringsmiddelen een duwstang omvatten, waarbij in de eerste objectdrager het duwlichaam wordt gevormd door een verdere duwstang die dwars ligt op de draaias, en waarbij de veer met één uiteinde met de objectdrager is verbonden en met een ander uiteinde, via een langs de sokkel geleide band, met de verdere duwstang is verbonden.

4. Vacuüm systeem volgens conclusie 3, met het kenmerk, dat de veer een horlogeveer omvat.

5. Vacuüm systeem volgens conclusie 3 of 4, met het kenmerk, dat de verdere duwstang aanligt tegen een door de objectdrager gesteund lager.

6. Vacuüm systeem volgens één der conclusies 3 tot. en met 5, met het kenmerk, dat de verdere duwstang is gevormd uit warmte-isolerend materiaal.

7. Vacuüm systeem volgens conclusie 1 of 2, waarbij de tweede objectdrager als aandrijfmiddelen een veer en een met het steunelement samenwerkend kantellichaam omvat dat kantelbaar is rond een aan het steunvlak parallelle kantelas, met het kenmerk, dat de positioneringsmiddelen een duwstang omvatten, waarbij in de tweede objectdrager het steunelement is voorzien van twee zijarmen waarvan één zijarm samenwerkt met een verend element en een andere zijarm samenwerkt met het kantellichaam dat tweearmig is uitgevoerd en met één arm tegen de duwstang aanligt.

8. Vacuüm systeem volgens conclusie 1 of 2, met het kenmerk, dat de aandrijfmiddelen een piezo elektrisch element omvatten, waarbij de positioneringsmiddelen en de objectdrager zijn voorzien van onderling samenwerkende elektrische contactpunten.

9. Vacusysteem volgens conclusie 8, met het kenmerk, dat in de eerste objectdrager de aandrijfmiddelen een wiel omvatten dat door het piezo elektrisch element rond een, aan de as parallelle, verdere as roteerbaar is en dat via koppelingsmiddelen ter overbrenging van een rotatie is gekoppeld met het steunelement.

10. Vacuüm systeem volgens conclusie 9, met het kenmerk, dat het wiel is voorzien van een met het wiel coaxiaal verbonden cilindrisch deel, gaarbij de koppelingsmiddelen een band omvatten die als een gesloten lus om het cilindriche deel en het steunelement ligt.

11. Vacuüm systeem volgens conclusie 9 of 10, met het kenmerk, dat het wiel is verbonden met een veer voor het spannen van de lus.

12. Vacuüm systeem volgens conclusie 8, met het kenmerk, dat in de tweede objecthouder de aandrijfmiddelen een wiel omvatten dat door het piezo elektrische element roteerbaar is rond een dwars op de draaias gelegen verdere as, welk wiel via een pal, die ten opzichte van het wiel althans gedeeltelijk excentrisch is, met het. steunelement is gekoppeld.

13. Vacuüm systeem volgens één der conclusies 9 tot en met 12, met het kenmerk, dat het piezo elektrische element een deel omvat dat in een tangentiêle richting ten opzichte van van het wiel beweegbaar is en een met het deel verbonden verder deel dat in een radiale richting ten opzichte van het wiel beweegbaar is.

14. Vacuüm systeem volgens conclusie 13, met het kenmerk, dat ten minste één deel een verder bimorf element omvat, waarbij de delen dwars op elkaarstaan.

15. Vacuüm systeem volgens één der conclusies 8 t.ot en met 12, met het kenmerk, dat het piezo elektrisch element wordt gevormd door één bimorf element.

16. Vacuüm systeem volgens één der conclusies 2, 3, 4, 5, 9, 10 of 11, met het kenmerk, dat het steunelement is voorzien van een rond omtreksdeel, dat aanligt tegen één of meer door de objectdrager gesteunde lagers.

17. Vacuüm systeem volgens conclusie 5 of 16, met het kenmerk, dat de lagers worden gevormd uit saffier.

18. Vacuüm systeem volgens één der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat het huis in een wand is voorzien van een een tegenover de objecthouder gelegen Vacuümsluis voor het binnen het huis brengen van de objectdrager.

19. Vacuüm systeem volgens conclusie 2 en conclusie 18, met het kenmerk, dat zich tussen een binnenwand van het kogelvormig lager en een buitenwand van het cilindrisch lichaam een permanente vacuümafdichting bevindt.

20. Vacuüm systeem volgens conclusie 19, met het kenmerk, dat de vacuümafdichting een balg omvat.

21. Vacuüm systeem volgens conclusie 18, 19 of 20, met het kenmerk, dat door de sluis een hulpstuk met de objectdrager koppelbaar is voor het ontkoppelen van de preparaatdrager van de koppelingsmiddelen.

22. Vacuüm systeem volgens conclusie 21, met het kenmerk, dat het hulpstuk is voorzien van ten minste twee tongen die rond de objectdrager plaatsbaar zijn, waarbij de objectdrager is voorzien van een kam en waarbij het hulpstuk aan een tong een met de kam samenwerkende pal omvat die aan één zijde een haak omvat en aan de andere zijde een ronding omvat en die draaibaar is rond een dwars op de desbetreffende tong gelegen as.

23. Vacuüm systeem volgens één der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat het huis een elektronen-optische kolom omvat.

24. Objectdrager geschikt voor toepassing in een vacuüm systeem volgens één der voorgaande conclusies.