NL8700621A - Mechanically moving magnetic field generator relative to cathode - using spirally grooved rotating baseplate to mechanically impose spiral path on base rotation of field generator - Google Patents

Abstract

A magnetic field generator moves along a path near a cathode surface with an essentially base rotation to which a mechanical linear movement is added forming a spiral path. The spiral path is itself rotated counter to the direction of rotation of the magnetic field to cover the complete surface of the cathode plate. Appts. comprises a magnetic field generator, a cathode plate of an arc evaporator, rotatable slotted slide rail, gear driven base plate having spiral groove.

Description

t: NO 34376 ^t: NO 34376 ^

Magneetsamenstel.Magnet assembly.

De onderhavige uitvinding heeft betrekking op een magneetsamenstel, ten gebruike bij een kathode boogverdampingsinrichting, omvattende een in het midden liggende pool en tenminste een deze omgevende tegenovergestelde pool.The present invention relates to a magnet assembly, for use with a cathode arc evaporator, comprising a center pole and at least one opposite pole surrounding it.

5 Een dergelijke kommagneet is bekend uit WO 85/03954. Daarbij omvat de in het midden liggende pool een permanente magneet en wordt de tegenover liggende pool van magnetische flux voorzien via een weekijzeren deel dat de omgevende pool met de in het midden liggende pool verbindt.Such a bowl magnet is known from WO 85/03954. In addition, the center pole comprises a permanent magnet and the opposite pole is provided with magnetic flux through a soft iron part connecting the surrounding pole to the center pole.

Met deze inrichting wordt beoogd sturing van de boog op de kathodeplaat 10 te verwezenlijken. Deze sturing is van belang, omdat bij ongestuurde beweging van de boog gevaar voor het ontstaan van zogenaamde "makro's” ontstaat, d.w.z. verhoudingsgewijs grotedeeltjes emitteren vanaf het kathodeoppervlak en leiden tot ongewenste fouten in de laag op het te bekleden substraat. Bovendien wordt door het sturen van de boog het op-15 pervlak van de kathodeplaat op meer optimale wijze gebruikt. Vanaf het midden van de permanente magneet, in het bijzonder de bovenzijde daarvan, gaat een radiaal gericht magneetveld naar de rand van de kom die de tegenovergestelde gerichte pool omvat. Dit magneetveld heeft een component evenwijdig aan het kathodeoppervlak. De kathodevlek van de boog 20 loopt in het zich boven het kathodeoppervlak bevindende maximum van deze radiale gerichte evenwijdige component van het magneetveld en beschrijft daarbij een cirkel of een gesloten lijn waarvan de kromtestraal kan variëren. Daarbij is het van nadeel, dat bij grotere stroomsterkten, de spoorbreedte van de boog zeer groot wordt en deze onscherp wordt. Indien 25 het spoor waarlangs de boog loopt niet meer dun of scherp is, ontstaat een toestand die lijkt op die van een ongestuurde boog, met als resultaat een sproeiende en onregelmatige verdamping, waarbij de deeltjes grootte van de vrijkomende deeltjes aanzienlijk is en eveneens variëert.The object of this device is to achieve control of the arc on the cathode plate 10. This control is important, because uncontrolled movement of the arc creates the danger of so-called "macros", ie emitting relatively large particles from the cathode surface and leading to undesired errors in the layer on the substrate to be coated. from the arc, the surface of the cathode plate is utilized more optimally From the center of the permanent magnet, especially the top thereof, a radially directed magnetic field goes to the edge of the cup that includes the opposite facing pole. This magnetic field has a component parallel to the cathode surface The cathode spot of the arc 20 runs in the maximum of this radially oriented parallel component of the magnetic field located above the cathode surface and thereby describes a circle or a closed line of which the radius of curvature can vary. it is a drawback that at larger currents, the track width of the arc very large and it becomes out of focus. If the track along which the arc travels is no longer thin or sharp, a state similar to that of an uncontrolled arc results, resulting in a spraying and irregular evaporation, the particle size of the released particles being considerable and also varying.

Bij een slecht gestuurde boog onstaan minder zogenaamde "makro's”, maar 30 de neerslagsnelheid is groter dan bij een dunne, nauwkeurig gestuurde boog. Dit beperkt de constructiemogelijkheden van de kathode boogverdampingsinrichting.Less so-called “macros” occur in a poorly controlled arc, but the deposition rate is faster than in a thin, precisely controlled arc. This limits the construction possibilities of the cathode arc evaporator.

Het is het doel van de onderhavige uitvinding om in een magneetsamenstel te voorzien, waarbij de kathode boogverdampingsinrichting met 35 grotere stroomsterkten kan werken en waarbij de afstand van de polen tot het kathodeoppervlak groter kan zijn dan tot nu toe gebruikelijk.It is the object of the present invention to provide a magnet assembly in which the cathode arc evaporator can operate with larger currents and wherein the distance from the poles to the cathode surface can be greater than hitherto conventional.

Dit doeleinde wordt bij een hierboven beschreven magneetsamenstel verwezenlijkt doordat een magneetdeel als of nabij de omgevende pool 870 0 0? ï *fr λ aangebracht is· Hierdoor zijn steile en zich loodrecht op het kathode-oppervlak bevindende velden aan beide zijden van het boogspoor aanwezig. Evenwijdig aan het kathodeoppervlak bestaat een grotere veldsterkte, zodat de verhouding van de eigen veldsterkte van de boog ten opzichte van 5 de veldsterkte van het magneetsamenstel niet zo groot wordt dat van het magneetsamenstel geen invloed meer uitgaat. Door de grotere veldsterkte is het eveneens mogelijk om de afstand tussen magneetsamenstel en kathodeoppervlak te vergroten, hetgeen uit produktietechnische overwegingen aantrekkelijk is· Met de zeer steile O-doorgang van het loodrecht op het 10 kathodeoppervlak aanwezige veld van positieve naar negatieve waarden onstaan eveneens bij grotere stroomsterkten door de boog nog steeds scherpe sporen.In a magnet assembly described above, this purpose is achieved in that a magnet part as or near the surrounding pole 870 0 0? ï * fr λ is applied · This results in steep fields perpendicular to the cathode surface on both sides of the arc track. There is a greater field strength parallel to the cathode surface, so that the ratio of the arc's own field strength to the field strength of the magnet assembly does not become so great that the magnet assembly no longer has any influence. Due to the greater field strength, it is also possible to increase the distance between the magnet assembly and the cathode surface, which is attractive for production reasons. With the very steep O-passage of the field present perpendicular to the cathode surface from positive to negative values, also arises at larger current currents through the arc still sharp traces.

Volgens een van voordeel zijnde uitvoering is tussen de polen tenminste een magneet aangebracht, waarvan de verbindingslijn N-Z zich in 15 radiale richting uitstrekt. Hierdoor wordt enerzijds een meer geconcentreerd magneetveld verkregen en wordt anderzijds het magneetveld verder naar buiten gedrukt, zodat het magneetveld op grotere afstand van de magneetveld opwekkende inrichting gehandhaafd blijft. Bij een verdere uitvoering omvat de omgevende pool aan de radiaal buiten liggende zijde 20 tenminste een magneetdeel. Eveneens of in plaats daarvan kan aan de radiaal binnen liggende zijde van de omgevende pool een magneetdeel aangebracht zijn. Verscheidene omgevende polen kunnen in het magneetsamenstel aanwezig zijn en deze kunnen op de hierboven beschreven wijze van een magneetdeel voorzien zijn. Daarmee kan een bijzondere sturing van de 25 boog verkregen worden.According to an advantageous embodiment, at least one magnet is arranged between the poles, the connection line N-Z of which extends in radial direction. On the one hand, this results in a more concentrated magnetic field and, on the other hand, the magnetic field is pushed further outwards, so that the magnetic field is maintained at a greater distance from the magnetic field generating device. In a further embodiment, the surrounding pole on the radially outer side 20 comprises at least one magnet part. A magnet part may also be arranged on the radially inner side of the surrounding pole, or instead. Several surrounding poles may be present in the magnet assembly and may be provided with a magnet portion in the manner described above. In this way, a special control of the arc can be obtained.

De in het midden liggende pool kan een magneetdeel omvatten of uit magnetisch zacht materiaal bestaan. Deze kan tevens als ringvormige pool uitgevoerd zijn.The central pole can comprise a magnet part or consist of a magnetically soft material. It can also be designed as an annular pole.

Alle hierboven beschreven magneetdelen kunnen als permanente mag-30 neet dan wel als elektromagneet uitgevoerd zijn. Daardoor ontstaat de mogelijkheid van het fijn instellen van de magneetvelden door verandering van de stroom en eveneens voor het moduleren en andere veranderingen van het magneetveld. Bij de aanwezigheid van meer dan een elektromagneet of spoel kan de geometrische positie van het maximum van het 35 magnetische veld zonder verandering van de totale veldsterkte heen en weer verplaatst worden, waarbij de verdamping van het kathodemateriaal over een breed gebied over de kathodeplaat verdeeld wordt en diepe ero-siesporen vermeden worden.All magnet parts described above can be in the form of a permanent magnet or an electromagnet. This creates the possibility of finely adjusting the magnetic fields by changing the current and also for modulating and other changes of the magnetic field. In the presence of more than one electromagnet or coil, the geometric position of the maximum of the magnetic field can be moved back and forth without changing the total field strength, distributing the evaporation of the cathode material over a wide area over the cathode plate and deep erosion traces are avoided.

Doordat het thans mogelijk is om het magneetsamenstel op grotere 40 afstand van het kathodeoppervlak aan te brengen, kan de kathode boogver- 81 f's r« & λ 4Since it is now possible to arrange the magnet assembly at a greater distance from the cathode surface, the cathode can be arc-shaped.

/ u U y £. I/ u U y £. I

·»' -3- i dampingsinrichting eenvoudiger uitgevoerd worden, doordat de kathode-plaat via een contactlaag op het kathodehuis aangebracht kan worden. Bij de stand der techniek zoals beschreven in WO 85/03954 is snel verwisselen van de kathodeplaat na gebruik moeizaam, omdat de kathodeplaat 5 rechtstreeks met water gekoeld wordt. Doordat thans de kathodeplaat of schijf op een gesloten kathodehuis aangebracht wordt, kan dit nadeel vermeden worden.The steaming device can be made simpler, because the cathode plate can be applied to the cathode housing via a contact layer. In the prior art as described in WO 85/03954, rapid change of the cathode plate after use is difficult, because the cathode plate 5 is directly cooled with water. Since the cathode plate or disc is now mounted on a closed cathode housing, this drawback can be avoided.

Het hier beschreven magneetsamenstel kan met alle in de stand der techniek bekende kathode boogverdampingsinrichtingen gebruikt worden en 10 in het bijzonder zoals die beschreven in NL-A-..... (NO 34187) en NL-A-·... (NO 34359), welke beide op dezelfde dag als onderhavige aanvrage ingediend zijn.The magnet assembly described here can be used with all cathode arc evaporation devices known in the art and in particular as described in NL-A -... (NO 34187) and NL-A- ... (NO 34359), both of which were filed on the same day as the present application.

De uitvinding zal hieronder aan de hand van in de tekeningen afge-beelde uitvoeringsvoorbeelden nader verduidelijkt worden.The invention will be explained in more detail below with reference to illustrative embodiments shown in the drawings.

15 Daarbij tonen: fig. la, lb respectievelijk een bovenaanzicht en aanzicht in dwarsdoorsnede van een magneetsamenstel, fig. 2a, 2b respectievelijk een bovenaanzicht en dwarsdoorsnede van een verdere uitvoering van het magneetsamenstel, 20 fig. 3a, 3b een bovenaanzicht respectievelijk dwarsdoorsnede van een andere uitvoering van het magneetsamenstel, fig. 4a, 4b resp in bovenaanzicht de baan van een stilstaande drie-fase spoel en een dwarsdoorsnede in zij-aanzicht van een bijzondere uitvoering van het magneetsamenstel, 25 fig. 5-7 zij-aanzichten in doorsnede van verdere uitvoeringen van het magneetsamenstel en fig. 8 een zij-aanzicht in dwarsdoorsnede van een kathode boogver-dampingsinrichting voorzien van een magneetsamenstel volgens de uitvinding.Fig. 1a, 1b show a top view and cross-sectional view of a magnet assembly, fig. 2a, 2b, respectively, a top view and cross-section of a further embodiment of the magnet assembly, fig. 3a, 3b a top view and cross-section, respectively. another embodiment of the magnet assembly, fig. 4a, 4b and in plan view the path of a stationary three-phase coil and a cross-section in side view of a special embodiment of the magnet assembly, fig. 5-7 side views in cross section of further embodiments of the magnet assembly and Fig. 8 is a side cross-sectional view of a cathode arc evaporator equipped with a magnet assembly according to the invention.

30 In fig. 1 is met 1 een weekijzeren ring aangegeven die de omgevende pool vormt. Daarbinnen bevindt zich een veelheid van magneetdelen 2 hier bestaande uit permanente magneten. In de kern van het magneetsamenstel is een weekijzeren deel 3 aangebracht. Hoewel de omgevende weekijzeren ring 1 en de weekijzeren kern 3 rond af geheeld zijn, is het goed voor-35 stelbaar dat deze ovaal of langwerpig uitgevoerd zijn. Door het in de nabijheid van de weekijzeren ring 1 aanbrengen van de magneetdelen, hier de Zuidpolen, ontstaat een beter gedefiniëerd en sterker magnetisch veld. Indien de polen aan de niet benutte magneetzijde door een hoog permeabel materiaal magnetisch worden kortgesloten, zoals in fig. lb en 40 2b aangegeven, wordt aan de benutte magneetzijde het effect van het 670 0 62 1 f , -4- "naar buiten persen" van het magneetveld verkregen. Dit is in het bijzonder in fig. 2b afgebeeld.In Fig. 1, 1 denotes a soft iron ring which forms the surrounding pole. Within it is a plurality of magnet parts 2 consisting of permanent magnets. A soft iron part 3 is arranged in the core of the magnet assembly. Although the surrounding soft iron ring 1 and soft iron core 3 have been rounded off, it is well conceivable that they are oval or elongated. By placing the magnet parts, here the South Poles, in the vicinity of the soft iron ring 1, a more defined and stronger magnetic field is created. If the poles on the unused magnet side are magnetically short-circuited by a highly permeable material, as shown in fig. Lb and 40 2b, the effect of the 670 0 62 1 f, -4- "pressed out" on the utilized magnet side is of the magnetic field. This is shown in particular in Fig. 2b.

In fig. 2 en 3 zijn verdere uitvoeringen van het magneetsamenstel afgebeeld, waarbij in fig. 2a en b vooral de kleinere diameter van de 5 weekijzeren kern 3 opvalt. Daardoor wordt in het midden het magneetveld als ware naar buiten naar boven "geperst". In fig. 3 is een uitvoering weergegeven, waarbij om weekijzeren ring 1 een ringmagneet 5 aangebracht is, die hier als een concentrische spoel uitgevoerd is. De kern 6 van dit magneetsamenstel verschilt van die uit de vorige figuren doordat de-10 ze niet als weekijzeren deel maar als magneetdeel uitgevoerd is. Door het gebruik van elektromagneten kan het magneetveld nauwkeurig gestuurd worden en eveneens tijdens gebruik veranderd worden. De elektromagneten kunnen zowel met ferri als ferro magnetisch materiaal met aanzienlijke permeabiliteit versterkt worden, maar ook uit spoelen zonder magnetische 15 kern bestaan.Figures 2 and 3 show further embodiments of the magnet assembly, in which in figure 2a and b the smaller diameter of the soft iron core 3 is particularly noticeable. As a result, the magnetic field is "pressed" upwards in the center as it were. Fig. 3 shows an embodiment in which a ring magnet 5 is arranged around soft iron ring 1, which here is designed as a concentric coil. The core 6 of this magnet assembly differs from that of the previous figures in that it is not constructed as a soft iron part but as a magnetic part. By using electromagnets, the magnetic field can be accurately controlled and also changed during use. The electromagnets can be reinforced with considerable permeability with both ferric and ferrous magnetic material, but can also consist of coils without a magnetic core.

In fig. 4b is een verdere uitvoering van het magneetsamenstel afgebeeld, bestaande uit een weekijzeren deel 13, dat van verscheidene omgevende polen 17 voorzien is. De in het midden liggende pool 18 wordt tevens door een omgevende deel gevormd. Dit onderscheid tussen omgevende 20 polen en in het midden liggende polen is slechts van formele aard. Door de aangebrachte spoelen 14, 15, 16 met verschillende fasen te schakelen kan zonder bewegende delen sturing van de boog met een dun spoor verkregen worden, dat over een brede band op het kathodeoppervlak met een laagfrequent ritme heen en weer bewogen wordt. Deze baan is in fig. 4a 25 in het geheel aangegeven met 12 en omvat verscheidene sporen R, S, T. Deze wijze van het doorlopen van een baan is van bijzonder voordeel indien deze baan verscheidene malen doorlopen wordt. Om te voorkomen dat een erosieprofiel met scherpe groef uitslijt kunnen drie zich steeds herhalende banen doorlopen worden. Voor verdere beschrijving wordt ver- 30 wezen naar het reeds genoemde NL-A-....... (NO 34187). In fig. 5, 6 en 7 zijn verdere uitvoeringen van het magneetsamenstel afgebeeld. Daarbij bestaat in fig. 5 de weekijzeren ring 1 uit een deel dat zowel noord-als zuidpool omvat, waarbij om de noordpool een spoel 5 aangebracht is. In fig. 6 vormt een weekijzeren deel 1 noordpool 3 en bestaat het magne-35 tische deel uit een permanente ringmagneet 19. Tot slot wordt in fig. 7 een uitvoering beschreven waarbij het weekijzeren deel weer de noord- en zuidpool omvat, waarbij aan weerszijden van de zuidpool ringmagneten 5, die als spoel uitgevoerd zijn, aangebracht zijn. Door deze inrichting wordt een steile 0-doorgang van het loodrecht op het kathodeoppervlak 40 aanwezige magneetveld verwezenlijkt.Fig. 4b shows a further embodiment of the magnet assembly, consisting of a soft iron part 13, which is provided with various surrounding poles 17. The central pole 18 is also formed by a surrounding part. This distinction between surrounding 20 poles and intermediate poles is of a formal nature only. By switching the applied coils 14, 15, 16 with different phases, control of the arc with a thin track can be obtained without moving parts, which is moved back and forth over a wide band on the cathode surface with a low frequency rhythm. This path is indicated in its entirety by 12 in Fig. 4a 25 and comprises several tracks R, S, T. This way of traversing a path is of particular advantage if this path is traversed several times. In order to prevent an erosion profile with a sharp groove from wearing out, three repetitive paths can be completed. For further description reference is made to the aforementioned NL-A -....... (NO 34187). Figures 5, 6 and 7 show further embodiments of the magnet assembly. In Fig. 5, the soft iron ring 1 consists of a part comprising both north and south poles, with a coil 5 arranged around the north pole. In fig. 6 a soft iron part 1 forms north pole 3 and the magnetic part consists of a permanent ring magnet 19. Finally, in fig. 7 an embodiment is described in which the soft iron part again comprises the north and south poles, whereby on both sides of the south pole ring magnets 5, which are designed as a coil, are arranged. This device achieves a steep 0-passage of the magnetic field perpendicular to the cathode surface 40.

fi ? Π Π fi 5 1fi? Π Π fi 5 1

v S V t; È, Iv S V t; È, I

¥ -5- i¥ -5- i

In fig. 8 is een deel van de kathode boogverdampingsinrichting af-gebeeld. De kathodeplaat is met 7 aangegeven, terwijl voor het magneet-samenstel de uitvoering volgens fig. 3 gebruikt is. Via een contactlaag 8 kan de elektrische en thermische geleiding verbeterd worden. De beves-5 tiging geschiedt door een wartelmoer 10. Doordat het magneetveld thans sterker is, is het mogelijk om tussen de kathodeplaat 7 en het magneet-samenstel 11 een grotere afstand aan te houden die dan gebruikt kan worden voor het kathodehuis en de contactlaag. Daardoor hoeft de kathodeplaat niet meer in direct conctact met het voor de koeling noodzakelijke 10 water of dergelijke te komen. Ms contactlaag kan bijvoorbeeld een zachte goed elektrisch en thermisch geleidende folie, b.v. indium, gebruikt worden. De minimale dikte voor het kathodehuis 9 waar de voorkeur aan gegeven wordt bedraagt ongeveer 3 mm.In FIG. 8, part of the cathode arc evaporator is shown. The cathode plate is indicated by 7, while the embodiment according to Fig. 3 is used for the magnet assembly. The electrical and thermal conductivity can be improved via a contact layer 8. The fixing is done by a union nut 10. Since the magnetic field is now stronger, it is possible to maintain a greater distance between the cathode plate 7 and the magnet assembly 11, which can then be used for the cathode housing and the contact layer. As a result, the cathode plate no longer has to come into direct contact with the water or the like necessary for cooling. For example, Ms contact layer can be a soft good electrically and thermally conductive foil, e.g. indium. The minimum thickness for the preferred cathode housing 9 is about 3 mm.

Begrepen moet worden dat bovenstaande uitvoeringen slechts voor-15 beelden zijn en dat het voor de vakman mogelijk is talrijke combinaties te verwezenlijken die binnen het bereik van de hierna volgende conclusies liggen.It is to be understood that the above embodiments are only examples and that it is possible for those skilled in the art to realize numerous combinations which are within the scope of the following claims.

6/ 0 0 6 2 1 ·6/0 0 6 2 1

Claims (13)

1. Magneetsamenstel, ten gebruike bij een kathode boogverdampings-inrichting, omvattende een in het midden liggende pool en tenminste een deze omgevende tegenovergestelde pool, met het kenmerk, dat tenminste een magneetdeel als of nabij de omgevende pool aangebracht is. 5Magnet assembly, for use with a cathode arc evaporation device, comprising a center pole and at least one surrounding opposite pole, characterized in that at least one magnet part is arranged as or near the surrounding pole. 5 2· Magneetsamenstel volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat tussen de polen tenminste een magneet is aangebracht, waarvan de verbindingslijn N-Z zich in radiale richting uitstrekt.Magnet assembly according to claim 1, characterized in that at least one magnet is arranged between the poles, the connection line N-Z of which extends in radial direction. 3. Magneetsamenstel volgens een van de voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat aan de radiaal buiten liggende zijde van de omgevende pool tenminste een magneetdeel aangebracht is.Magnet assembly according to one of the preceding claims, characterized in that at least one magnet part is arranged on the radially outer side of the surrounding pole. 4. Magneetsamenstel volgens conclusie 3, met het kenmerk, dat aan 15 de radiaal binnen liggende zijde van de omgevende pool tenminste een magneetdeel is aangebracht.Magnet assembly according to claim 3, characterized in that at least one magnet part is arranged on the radially inner side of the surrounding pole. 5. Magneetsamenstel volgens conclusie 3 of 4, met het kenmerk, dat bij de zijde van de omgevende pool liggende magneetdeel een ringmagneet 20 is.Magnet assembly according to claim 3 or 4, characterized in that the magnet part located at the side of the surrounding pole is a ring magnet 20. 6· Magneetsamenstel volgens een van de voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat verscheidene omgevende polen concentrisch ten opzichte van elkaar zijn aangebracht. 25Magnet assembly according to one of the preceding claims, characterized in that several surrounding poles are arranged concentrically with respect to each other. 25 7. Magneetsamenstel volgens een van de voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat de in het midden liggende pool een ringvormige pool omvat.Magnet assembly according to any one of the preceding claims, characterized in that the central pole comprises an annular pole. 8. Magneetsamenstel volgens een of meer van de conclusies 1 - 7, met het kenmerk, dat de in het midden liggende pool tenminste een magneetdeel omvat.Magnet assembly according to one or more of claims 1 to 7, characterized in that the central pole comprises at least one magnet part. 9. Magneetsamenstel volgens een of meer van de conclusies 1 - 7, 35 met het kenmerk, dat de in het midden liggende pool magnetisch zacht materiaal omvat.Magnet assembly according to one or more of claims 1 to 7, 35, characterized in that the central pole comprises magnetically soft material. 10. Magneetsamenstel volgens conclusie 7, eventueel in combinatie % 7 0 0 6 2 1 Λ -7- 1 met conclusie 9, met het kenmerk, dat om de in het midden liggende pool een ringmagneetdeel is aangebracht.Magnet assembly according to claim 7, optionally in combination with claim 9, characterized in that a ring magnet part is arranged around the central pole. 11. Magneetsamenstel volgens een van de voorgaande conclusies, met 5 het kenmerk, dat een tenminste een van de magneetdelen een elektromagneet omvat.Magnet assembly according to one of the preceding claims, characterized in that at least one of the magnet parts comprises an electromagnet. 12. Magneetsamenstel volgens conclusie 11, met het kenmerk, dat deze tenminste twee elektromagnetische spoelen omvat, die in fase verschoven geschakeld zijn.Magnet assembly according to claim 11, characterized in that it comprises at least two electromagnetic coils which are phase shifted. 13. Kathode boogverdampingsinrichting, omvattende een magneetsamenstel volgens een van de voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat tussen de kathodeplaat en het kathodetmis een contactorgaan is aangebracht. 7. r- n 4 * ·' ‘»! υ I1 ^ ICathode arc evaporator, comprising a magnet assembly according to any one of the preceding claims, characterized in that a contact member is arranged between the cathode plate and the cathodetis. 7. r- n 4 * · '‘»! υ I1 ^ I