NL8602052A - HIGH VACUUM PUMP. - Google Patents

Description

VV

V.0. 8244 -1-V.0. 8244 -1-

Uitvinder: Johannes Jacobus Emmanuel Moonen Titel: Hoogvacuumpomp.Inventor: Johannes Jacobus Emmanuel Moonen Title: High vacuum pump.

De uitvinding heeft betrekking op een hoogvacuumpomp, omvattende een rotor die is ingericht om met grote snelheid rond de langsas te roteren, en een coaxiaal ten opzichte van de rotor opgestelde stator, waarbij van op geringe 5 afstand tegenover elkaar opgestelde oppervlakken van stator en rotor tenminste een deel van één daarvan is voorzien van een schroeflijnvormige of spiraalvormige groef.The invention relates to a high vacuum pump, comprising a rotor adapted to rotate about the longitudinal axis at high speed, and a stator arranged coaxially with respect to the rotor, wherein at least 5 distances from the stator and rotor arranged opposite each other part of one of them is provided with a helical or spiral groove.

Een dergelijke pomp is bekend uit de Nederlandse 10 octrooiaanvrage 8105614. Bij deze bekende pomp is de binnenwand van het statorhuis van een spiraalvormige groef voorzien. De rotor is zodanig gedimensioneerd dat tussen de buitenwand van de rotor en de binnenwand van het statorhuis een betrekkelijk nauwe spleet bestaat.Such a pump is known from Dutch patent application 8105614. In this known pump, the inner wall of the stator housing is provided with a spiral groove. The rotor is dimensioned such that a relatively narrow gap exists between the outer wall of the rotor and the inner wall of the stator housing.

15 Een probleem dat zich bij de bekende pomp voordoet is dat het volume van de pomp groot dient te zijn, indien men althans een redelijke prestatie van de pomp verlangt.A problem which arises with the known pump is that the volume of the pump must be large if at least a reasonable performance of the pump is required.

Voorts is de pompsnelheid niet al te groot en is de compres-sieverhouding, dat wil zeggen de verhouding tussen de 20 voorvacuumdruk en de hoogvacuumdruk (gemeten op eenzelfde tijdstip) betrekkelijk gering. Om een goede pompsnelheid en compressieverhouding te realiseren dient een grote rotatiesnelheid van de rotor gehandhaafd te worden. Door de omvang van de rotor leidt dit tot een zeer grote snelheid 25 van het buitenoppervlak van de rotor en aldus tot grote mechanische spanningen. Zowel bij starten als tijdens nominaal bedrijf is voorts een betrekkelijk lage voordruk vereist, hetgeen betekent dat eerst gestart kan worden nadat op enigerlei wijze de druk in het gehele systeem 30 reeds tot een bepaalde lage waarde is verlaagd.Furthermore, the pumping speed is not too great and the compression ratio, ie the ratio between the pre-vacuum pressure and the high vacuum pressure (measured at the same time), is relatively low. To achieve a good pumping speed and compression ratio, a high rotational speed of the rotor must be maintained. Due to the size of the rotor, this leads to a very high speed of the outer surface of the rotor and thus to great mechanical stresses. Furthermore, a relatively low pre-pressure is required both at start-up and during nominal operation, which means that it is only possible to start after the pressure has already been reduced in some way in the entire system 30 to a certain low value.

De uitvinding heeft tot doel de bekende hoogvacuumpomp te verbeteren, zodanig dat de bovengeschetste problemen zich niet langer, althans in belangrijk mindere mate voordoen.The object of the invention is to improve the known high vacuum pump, such that the problems outlined above no longer occur, at least to a much lesser extent.

&Ö02CS2 -------------—— — lil —— -2- > /& Ö02CS2 -------------—— - lil —— -2-> /

Het gestelde doel wordt volgens de uitvinding bereikt met een pomp, waarbij rotor en stator ieder over een deel van hun lengte zijn opgebouwd uit een of meer coaxiale bussen of pijpen met onderling verschillende 5 diameter en met één vrij uiteinde, waarbij de stelsels rotorpijpen en statorbussen onderling tegengesteld zijn gericht en ineenpassend zijn opgesteld, zodat een pijp van het stelsel rotorpijpen zich bevindt tussen twee pijpen of tussen een pijp en de wand van het statorbussen-10 stelsel, terwijl van elk tweetal op geringe afstand tegenover elkaar opgestelde oppervlakken van statorpijp of -wand en rotorpijp of -wand tenminste één is voorzien van een schroeflijnvormige of spiraalvormige groef-According to the invention, the stated object is achieved with a pump, wherein the rotor and stator are each built up over part of their length from one or more coaxial bushes or pipes with mutually different diameters and with one free end, the systems of rotor pipes and stator bushes are mutually opposed and arranged so that a pipe of the rotor pipe assembly is located between two pipes or between a pipe and the wall of the stator sleeve assembly 10, while of each pair closely spaced surfaces of stator pipe or - wall and rotor pipe or wall at least one is provided with a helical or spiral groove

De pomp volgens de uitvinding omvat, doordat rotor 15 en stator ieder tenminste een coaxiale bus naast de eigenlijke rotor of stator omvatten, tenminste drie paren van tegenover elkaar opgestelde oppervlakken waarvan tenminste één van een schroeflijnvormige of spiraalvormige groef is voorzien. Voor een dergelijke lengte van oppervlakken 20 heeft de bekende pomp een grotere hoogte nodig Ongeveer tweemaal de lengte van de coaxiale bus meer). De pomp volgens de uitvinding kan aldus compacter geconstrueerd worden.The pump according to the invention, in that rotor 15 and stator each comprise at least one coaxial sleeve next to the actual rotor or stator, comprises at least three pairs of opposed surfaces, at least one of which is provided with a helical or spiral groove. For such a length of surfaces 20, the known pump needs a greater height (about twice the length of the coaxial sleeve more). The pump according to the invention can thus be constructed more compactly.

Doordat de ineenpassende bussen een labyrint-structuur vormen is de pomp volgens de uitviding voorts veel beter 25 optisch dicht dan de bekende pomp. (Bij de bekende pomp "ziet" een gasmolecuul, dat zich aan de voorvacuumzijde bevindt, de hoogvacuumzijde - bij de pomp volgens de uitvinding is dit ormogelijk). Hierdoor wordt teruglek, in het bijzonder van lichte gassen beter voorkomen dan 30 bij de bekende pomp, die voor lichte gassen in de praktijk geen goede pompsnelheid bleek te hebben vanwege juist de optredende teruglek.Because the mating bushes form a labyrinth structure, the pump according to the invention is also much better optically tight than the known pump. (With the known pump, a gas molecule located on the front vacuum side "sees" the high vacuum side - this is possible with the pump according to the invention). As a result, back leakage, in particular of light gases, is better prevented than with the known pump, which was found in practice not to have a good pumping speed for light gases due to precisely the occurring back leak.

Bij de pomp volgens de uitvinding zullen bij toepassing van meer pijpen de met de rotor verbonden pijpen 35 of bussen met de kleinste diameters bij een bepaalde rotatiefrequentie een geringere oppervlaktesnelheid hebben 8602052 «Γ ϊ -3- dan de meer buitenwaarts gelegen pijpen met grotere diameter.In the case of the pump according to the invention, if more pipes are used, the pipes connected to the rotor 35 or bushes with the smallest diameters at a certain rotation frequency will have a slower surface speed than the more outwardly situated pipes with a larger diameter.

De kleinere pijpen staan daardoor aan geringere mechanische spanningen bij het roteren bloot en zullen in mindere mate oprekken dan de grotere pijpen. Daardoor kunnen 5 de aan de kleinere pijpen aangrenzende wanden (van de statorbussen) dichter op de rotorpijpen aansluiten. Hierdoor wordt mede een hoge compressieverhouding van de pomp bereikt. Bij een voorkeursuitvoeringsvorm van de pomp volgens de uitvinding neemt dan ook de radiale afmeting 10 van de draaispleet af van de zijde van hoogvacuum in de pomp naar de zijde van hogere drukken toe. Bij voorkeur zijn bij de pomp volgens de uitvinding voorts de afmetingen van de groeven in de desbetreffende oppervlakken zodanig gedimensioneerd dat de diepte van de groeven afneemt 15 van de zijde van hoogvacuum in de pomp naar de zijde van hogere drukken. Ook dit draagt bij aan het verbeteren van de compressieverhouding en aldus aan de pompsnelheid.The smaller pipes are therefore exposed to less mechanical stresses during rotation and will stretch to a lesser extent than the larger pipes. As a result, the walls (of the stator buses) adjoining the smaller pipes can connect closer to the rotor pipes. This also achieves a high compression ratio of the pump. Therefore, in a preferred embodiment of the pump according to the invention, the radial dimension of the turning gap decreases from the side of high vacuum in the pump to the side of higher pressures. Preferably, in the pump according to the invention, the dimensions of the grooves in the respective surfaces are also dimensioned such that the depth of the grooves decreases from the side of high vacuum in the pump to the side of higher pressures. This also contributes to improving the compression ratio and thus to the pumping speed.

Bij de genoemde geschikte uitvoeringsvorm van de pomp volgens de uitvinding is aan de hoogvacuumzijde, 20 waar vooral de pompsnelheid van belang is, de constructie ruimer gedimensioneerd en zijn de toleranties op de afmetingen veel groter dan aan de voorvacuumzijde waar vooral de compressieverhouding belangrijk is en waar de afmetingen van groeven en draaispleet veel kleiner zijn.In the said suitable embodiment of the pump according to the invention, on the high vacuum side, where the pump speed is particularly important, the construction is dimensioned more broadly and the tolerances on the dimensions are much larger than on the pre-vacuum side, where the compression ratio is particularly important and where the dimensions of grooves and turning gap are much smaller.

25 De afmetingen van de draaispleet worden mede bepaald door het dynamisch gedrag van de rotor, in het bijzonder de opslingeringen en het trillen tijdens het opvoeren en gedurende bijzondere omstandigheden zoals luchtinbraak. Toepassing aan de bovenzijde van een magnetisch lager 30 met een hoge radiale stijfheid is in dit geval gunstig.The dimensions of the turning gap are partly determined by the dynamic behavior of the rotor, in particular the oscillations and vibrations during ramp-up and during special circumstances such as air intrusion. Application on the top side of a magnetic bearing 30 with a high radial stiffness is favorable in this case.

Een magnetisch lager heeft bovendien goede vacuumtechnische eigenschappen.A magnetic bearing also has good vacuum technical properties.

De compacte bouw, het goed optisch dicht zijn en de geleidelijke overgang naar kleine diameter hebben 35 tot gevolg dat een effectieve pompwerking verkregen wordt zodat de rotatiefrequentie niet extreem hoog hoeft te ' 8602052 > ΐ -4- zijn om aan de hoogvacuum zijde een redelijke netto pompsnel-heid over te houden. Het spanningsniveau in de rotorcompo-nenten zal hierdoor altijd een aannemelijk niveau hebben.The compact construction, the good optical density and the gradual transition to small diameter mean that an effective pumping effect is obtained so that the rotation frequency does not have to be extremely high to have a reasonable net on the high vacuum side. pump speed. The voltage level in the rotor components will therefore always have a plausible level.

Naar de voorvacuumzijde wordt de gevraagde pompsnel-5 heid kleiner naarmate de druk toeneemt; om deze reden kan hier dan ook volstaan worden met kleinere omtreksnelheid en kleine radiale groef- en draaispleetafmetingen; aan de voorvacuumzijde zijn in het algemeen de specifieke afmetingen veel kleiner dan aan de hoogvacuumzijde.Towards the pre-vacuum side, the demanded pumping speed decreases as the pressure increases; for this reason, it is therefore sufficient to use a smaller peripheral speed and small radial groove and turning gap dimensions; on the front vacuum side, the specific dimensions are generally much smaller than on the high vacuum side.

10 Opgemerkt wordt nog dat de pomp volgens de uitvinding desgewenst kan zijn voorzien van een rotor die aan de hoogvacuumzijde een schoepenrad bevat, bijvoorbeeld zoals beschreven in de Nederlandse octrooiaanvrage 8303927.It is further noted that the pump according to the invention can, if desired, be provided with a rotor which contains a blade wheel on the high vacuum side, for instance as described in Dutch patent application 8303927.

Bij een zeer geschikte uitvoeringsvorm van de 15 pomp volgens de uitvinding is in de stator tussen één of meerdere paren van opvolgende bussen en/of tussen een bus en een opvolgende wand een afvoerkanaal voorzien, waarin een terugslagklep is opgenomen, welk afvoerkanaal of welke afvoerkanalen ieder in verbinding staan met 20 de omgevingsruimte of met een voorvacuumpomp. Een dergelijke constructie, met tussen opvolgende paren wanden steeds een afvoerkanaal met terugslagklep, maakt het opvoeren van de pomp eenvoudiger en laat dit sneller geschieden.In a very suitable embodiment of the pump according to the invention a discharge channel is provided in the stator between one or more pairs of successive buses and / or between a bus and a successive wall, in which a non-return valve is included, which discharge channel or which discharge channels each be in communication with the ambient space or with a pre-vacuum pump. Such a construction, with a discharge channel with non-return valve between successive pairs of walls, makes pumping-up easier and allows it to take place more quickly.

Dit kan nog als volgt worden toegelicht.This can be explained as follows.

25 Wanneer bij hoge drukken in de te evacueren ruimte de pomp gestart wordt, kan de pomp reeds na een enkelvoudige compressietrap een druk opbouwen groter dan 1 bar, afhankelijk van de druk in de te evacueren ruimte en van de rotatie-frequentie. Zodra de druk bijvoorbeeld aan het 30 einde van het eerste paar wanden groter is dan 1 atmosfeer, opentautomatisch, mechanisch dan wel elektronisch, de eerste terugslagklep en het gas wordt met hoge snelheid verpompt, zelfs tijdens het opvoeren. Zodoende wordt vermeden dat het gas nog verder gecomprimeerd moet worden 35 om door de uiteindelijk zeer nauw wordende kanalen getransporteerd c.q. geperst te worden. Tevens wordt op deze 8602052 -5- manier bereikt dat zelfs bij redelijke hoge drukken de pomp toch opgestart kan worden.When the pump is started at high pressures in the space to be evacuated, the pump can already build up a pressure greater than 1 bar after a single compression stage, depending on the pressure in the space to be evacuated and the rotation frequency. For example, as soon as the pressure at the end of the first pair of walls exceeds 1 atmosphere, the first check valve opens automatically, mechanically or electronically, and the gas is pumped at high speed, even during ramp-up. In this way it is avoided that the gas has to be compressed even further in order to be transported or pressed through the ultimately very narrow channels. It is also achieved in this way that the pump can be started up even at reasonably high pressures.

Daalt de druk in de hoogvacuumruimte in de loop van de opvoerprocedure of daarna, dan zal ook de druk 5 bij de eerste klep dalen tot beneden 1 bar en de klep sluit automatisch. Een analoog proces als beschreven voor de eerste klep herhaalt zich vervolgens bij de tweede klep. Aldus sluiten successievelijk alle kleppen naarmate de evacuatie toeneemt, met uitzondering van de laatste 10 klep, en dit veelal reeds voor het bereiken van het bedrijfs-toerental. Bij het afschakelen van de pomp zullen normaliter alle kleppen, inclusief de laatste continu gesloten blijven. De kleppen dienen bij voorkeur zodanig geconstrueerd te worden, en de materiaalkeuze dient zodanig te zijn, 15 dat de lekdichtheid per klep veel kleiner is dan het locale volumedebiet van de pomp.If the pressure in the high vacuum space falls during the lifting procedure or afterwards, the pressure at the first valve will also drop below 1 bar and the valve will close automatically. An analogous process as described for the first valve then repeats at the second valve. Thus all valves close successively as the evacuation increases, with the exception of the last valve, and this often already before the operating speed is reached. When the pump is turned off, all valves, including the last one, will normally be closed continuously. The valves should preferably be constructed and the choice of material should be such that the leak density per valve is much less than the local volume flow rate of the pump.

Het is zelfs mogelijk de constructie van de pomp zodanig uit te voeren met draaispleten en groeven die zodanig klein zijn, dat aan de hoge drukzijde rechtstreeks 20 naar de buitendruk van 1 atmosfeer gepompt wordt.It is even possible to design the construction of the pump with rotary gaps and grooves so small that the high pressure side pumps directly to the outside pressure of 1 atmosphere.

Bij de pomp volgens de uitvinding kan de laatste druktrap (aan de zijde van de hoge drukken) desgewenst fungeren als luchtlager. Geschiedt dit niet dan kan een conventioneel lager, bijvoorbeeld een kogellager of magneet-25 lager, worden toegepast.With the pump according to the invention, the last pressure stage (on the side of the high pressures) can function as an air bearing if desired. If this is not the case, a conventional bearing, for instance a ball bearing or magnetic bearing, can be used.

De uitvinding wordt toegelicht aan de hand van de tekening, waarin de enkele figuur een weergave in doorsnede is door een deel van een uitvoeringsvorm van de hoogvacuumpomp volgens de uitvinding.The invention is elucidated with reference to the drawing, in which the single figure is a cross-sectional view through part of an embodiment of the high vacuum pump according to the invention.

30 In de figuur omvat een uitvoeringsvorm van de pomp volgens de uitvinding een rotor 1. De rotor 1, die rotatiesymmetrisch is, is slechts voor de helft (de helft links van de rotatie-as, tevens symmetrie-as 2) in doorsnede weergegeven. De rotor 1 bestaat in hoofdzaak uit een 35 cilindrisch huis 3, dat aan de onderzijde uitloopt in een afgeknot kegelvormig uiteinde 4. Aan de bovenzijde 8602052 f * * -6- omvat de rotor 1 een cilindrisch deel 5 met grotere diameter dan van het huis 3. Huis 3 en cilinderdeel 5 zijn met elkaar verbonden door de schijf 6. Op de buitenwand van het cilinderdeel 5 kunnen op bekende wijze schoepen 7 5 zijn voorzien, welke schoepen 7 met cilinderdeel 5 een schoepenrad vormen met de functie bekend uit de Nederlandse octrooiaanvrage 8303927.In the figure, an embodiment of the pump according to the invention comprises a rotor 1. The rotor 1, which is rotationally symmetrical, is only shown in cross-section (half to the left of the rotation axis, also symmetry axis 2). The rotor 1 mainly consists of a cylindrical housing 3, which tapers into a frusto-conical end 4 at the bottom. At the top side 8602052 f * * -6- the rotor 1 comprises a cylindrical part 5 with a larger diameter than that of the housing. 3. Casing 3 and cylinder part 5 are connected to each other by the disc 6. The outer wall of the cylinder part 5 can be provided with blades 7 5 in known manner, which blades 7 with cylinder part 5 form a blade wheel with the function known from the Dutch patent application. 8303927.

De rotor 1 omvat voorts twee cilindrische pijpen of bussen 8 en 9, welke pijpen coaxiaal met het cilindrische huis 10 3 verlopen, onderling verschillende diameter, groter dan die van het huis 3 hebben en vast zijn bevestigd aan de schijf 6.The rotor 1 further comprises two cylindrical pipes or sleeves 8 and 9, which pipes run coaxially with the cylindrical housing 103, have mutually different diameters, larger than that of the housing 3 and are fixedly attached to the disc 6.

De rotor 1 is aan de bovenzijde gelagerd in een magnetisch lager 10. Dergelijke magnetische lagers zijn 15 algemeen bekend.The rotor 1 is mounted at the top in a magnetic bearing 10. Such magnetic bearings are generally known.

Coaxiaal ten opzichte van de rotor 1 is de stator 11 opgesteld. De stator 11 omvat een buitenste wand 12, die aan de binnenzijde is voorzien van de spiraalvormige groef 13. De groef 13 heeft een diepte, die afneemt vanaf 20 de zijde tegenover de schoepen 7 op cilinderdeel 5 van rotor 1 tot aan de bodem van het huis gevormd door stator 11.The stator 11 is arranged coaxially with respect to the rotor 1. The stator 11 comprises an outer wall 12, which is provided on the inside with the spiral groove 13. The groove 13 has a depth which decreases from the side opposite the blades 7 on cylinder part 5 of rotor 1 to the bottom of the housing formed by stator 11.

Coaxiaal binnen buitenste wand 12 van de stator 11 is de bus 14 opgesteld, die vanuit de bodem van het 25 statorhuis omhoog steekt. De bus 14 is aan weerszijden voorzien van een spiraalvormige groef 15, resp. 16. De diepte van groef 15, die zich aan de buitenzijde van de bus 14 bevindt neemt af vanaf de bodem naar het vrije uiteinde van bus 14. De diepte van groef 16, die zich 30 aan het binnenoppervlak van bus 14 bevindt, neemt af vanaf het vrije uiteinde naar de bodem toe.Coaxially inside the outer wall 12 of the stator 11, the sleeve 14 is arranged, which protrudes from the bottom of the stator housing. The sleeve 14 is provided on either side with a spiral groove 15, respectively. 16. The depth of groove 15 located on the outside of the sleeve 14 decreases from the bottom to the free end of sleeve 14. The depth of groove 16 located on the inner surface of sleeve 14 decreases from the free end to the bottom.

Coaxiaal binnen de bus 14 is de bus 17 opgesteld, die vanuit de bodem van het statorhuis omhoog steekt.Coaxially within the sleeve 14, the sleeve 17 is arranged, which protrudes from the bottom of the stator housing.

De bus 17 is eveneens aan weerszijden voorzien van spiraal-35 vormige groeven 18, resp. 19 met afnemende diepte in overeenkomstige richtingen als bij groeven 15, resp.The sleeve 17 is also provided on both sides with spiral-shaped grooves 18, respectively. 19 with decreasing depth in corresponding directions as with grooves 15, respectively.

8602052 f' -7- 16 in bus 14.8602052 f '-7- 16 in socket 14.

De rotorpijpen 8 en 9 steken in het stelsel van statorbussen 14 en 17 en statorwand 12. De rotorpijp 8 ligt aldus op geringe afstand tegenover de wand 12 5 en de buitenzijde van statorbus 14. De rotorpijp 9 ligt op geringe afstand tegenover de binnenzijde van statorbus 14 en de buitenzijde van de statorbus 17. De binnenzijde van statorbus 17 licht op geringe afstand van de buitenwand van cilindrische huis 3 van rotor 1. Zoals uit de figuur blijkt 10 is van ieder paar tegenover elkaar opgestelde wanden van rotordelen en statordelen steeds tenminste één voorzien van een spiraalvormige groef.The rotor pipes 8 and 9 protrude into the system of stator bushes 14 and 17 and stator wall 12. The rotor pipe 8 is thus a short distance opposite the wall 125 and the outside of stator sleeve 14. The rotor pipe 9 is a small distance opposite the inside of stator sleeve 14 and the outside of the stator sleeve 17. The inside of the stator sleeve 17 is slightly spaced from the outside wall of the cylindrical housing 3 of the rotor 1. As can be seen from the figure 10, at least one of each pair of opposed walls of rotor parts and stator parts equipped with a spiral groove.

In de bodem van het statorhuis zijn afvoerkanalen 20, resp. 21 voorzien, die de ruimte tussen de wand 12 15 en bus 14, waarin rotorpijp 8 steekt, resp. de ruimte tussen bus 14 en bus 17, waarin rotorpijp 9 steekt verbindt met de omgevingsruimte of met een voorvacuumpomp. Kanaal 20 kan zijn voorzien van een terugslagklep 22 en kanaal 21 van een terugslagklep 23.In the bottom of the stator housing there are discharge channels 20, respectively. 21, which provide the space between the wall 12 15 and sleeve 14, into which the rotor pipe 8 protrudes, respectively. the space between sleeve 14 and sleeve 17, into which rotor pipe 9 protrudes, connects to the surrounding space or to a pre-vacuum pump. Channel 20 can be provided with a non-return valve 22 and channel 21 with a non-return valve 23.

20 In de bodem van het statorhuis is in het midden daarvan een verdiept gedeelte gevormd dat plaats biedt aan het kegelvormige uiteinde 4 van rotor 1. De wand van het verdiepte gedeelte van het statorhuis is van een spiraalvormige groef 24 voorzien. Het van de groef 25 24 voorziene verdiepte gedeelte vormt een luchtlager voor het kegelvormige uiteinde 4 van rotor 1. Het uiteinde 4 is voorzien van een kleine kegel 25 waarvan het uiteinde rust op de vlakke bodem van het verdiepte gedeelte. De kegel 25 voorkomt het vastvreten van de loopvlakken van 30 het kegelvormige uiteinde 4 van rotor 1 en het luchtlager gevormd door het gegroefde, verdiepte gedeelte van de bodem van het statorhuis. In het vlakke deel van de bodem van het verdiepte gedeelte is een kanaal 26 aangebracht, waarin een terugslagklep 27 is opgenomen. Het kanaal 35 26 staat in verbinding met de omgevingsruimte of met een voorvacuumpomp.In the bottom of the stator housing, a recessed portion is formed in the center thereof, which accommodates the conical end 4 of rotor 1. The wall of the recessed portion of the stator housing is provided with a spiral groove 24. The recessed portion provided with the groove 24 forms an air bearing for the conical end 4 of rotor 1. The end 4 is provided with a small cone 25, the end of which rests on the flat bottom of the recessed portion. The cone 25 prevents the treads of the cones from the conical end 4 of rotor 1 and the air bearing formed by the grooved, recessed portion of the bottom of the stator housing. A channel 26, in which a non-return valve 27 is accommodated, is arranged in the flat part of the bottom of the recessed part. Channel 35 26 communicates with the surrounding space or with a pre-vacuum pump.

8602052 * / il -8-8602052 * / il -8-

De aandrijving van rotor 1 geschiedt bij de weergegeven uitvoeringsvorm van de pomp volgens de uitvinding met behulp van een in het statorhuis opgestelde elektromotor 28 en een aandrijfring 29, die bevestigd is op hetcilin-5 drische huis 3 van rotor 1.In the embodiment of the pump according to the invention shown, the rotor 1 is driven by means of an electric motor 28 arranged in the stator housing and a drive ring 29, which is mounted on the cylindrical housing 3 of rotor 1.

De onderdelen van de pomp volgens de uitvinding bestaan uit voor het desbetreffende doel gebruikelijke materialen. Zo kunnen de rotorpijpen 8 en 9 bijvoorbeeld bestaan uit roestvrij staal en een dikte hebben van enkele 10 tienden tot een halve millimeter en meer. De statorwanden en -bussen bestaan bij voorkeur uit een gemakkelijk te verspanen materiaal, bijvoorbeeld uit aluminium. De afmetingen van rotor, rotorpijpen, statorwand en statorbussen zijn voorts zodanig dat de afstand tussen tweetallen 15 tegenover elkaar opgestelde wanden afneemt vanaf de buitenste statorwand 12 tot het cilindrische huis 3 van rotor 1.The parts of the pump according to the invention consist of materials customary for the respective purpose. For example, the rotor pipes 8 and 9 can consist of stainless steel and have a thickness of a few 10 tenths to half a millimeter and more. The stator walls and bushes preferably consist of an easily machined material, for example of aluminum. The dimensions of the rotor, rotor pipes, stator wall and stator buses are further such that the distance between pairs of opposed walls decreases from the outer stator wall 12 to the cylindrical housing 3 of rotor 1.

86020528602052

Claims (5)

1. Hoogvacuumpomp, omvattende een rotor die is ingericht om met grote snelheid rond de langsas te roteren, en een coaxiaal ten opzichte van de rotor opgestelde stator, waarbij van op geringe afstand tegenover elkaar opgestelde 5 oppervlakken van stator en rotor tenminste een deel van één daarvan is voorzien van een schroeflijnvormige of spiraalvorm!ge groef, met het kenmerk, dat rotor en stator ieder over een deel van hun lengte zijn opgebouwd uit een of meer coaxiale bussen of pijpen met onderling verschil-10 lende diameter en met één vrij uiteinde, waarbij de stelsels rotorpijpen en statorbussen onderling tegengesteld zijn gericht en ineenpassend zijn opgesteld, zodat een pijp van het stelsel rotorpijpen zich bevindt tussen twee pijpen of tussen een pijp en de wand van het statorbussen-15 stelsel, terwijl van elk tweetal op geringe afstand tegenover elkaar opgestelde oppervlakken van statorpijp of -wand en rotorpijp of -wand tenminste één is voorzien van een schroeflijnvormige of spiraalvormige groef.1. High vacuum pump, comprising a rotor adapted to rotate about the longitudinal axis at high speed, and a stator arranged coaxially with respect to the rotor, wherein at least a part of one of the surfaces of the stator and rotor positioned at a slight distance from each other it is provided with a helical or spiral-shaped groove, characterized in that the rotor and stator are each built up over part of their length from one or more coaxial sleeves or pipes of different diameters and with one free end, the rotor tube and stator sleeve assemblies being mutually opposed and arranged so that a pipe of the rotor tube assembly is located between two pipes or between a pipe and the wall of the stator sleeve assembly while each pair is closely spaced from each other arranged surfaces of stator pipe or wall and rotor pipe or wall at least one is provided with a helical or spiral rale-shaped groove. 2. Hoogvacuumpomp volgens conclusie 1, met het kenmerk, 20 dat de afmetingen van de groeven in de desbetreffende oppervlakken zodanig zijn gedimensioneerd dat de diepte van de groeven afneemt van de zijde van hoogvacuum in de pomp naar de zijde van hogere drukken.High vacuum pump according to claim 1, characterized in that the dimensions of the grooves in the respective surfaces are dimensioned such that the depth of the grooves decreases from the side of high vacuum in the pump to the side of higher pressures. 3. Hoogvacuumpomp volgens conclusie 1-2, met het 25 kenmerk, dat de radiale afmeting van de draaispleet afneemt van de zijde van hoogvacuum in de pomp naar de zijde van hogere drukken.3. High vacuum pump according to claims 1-2, characterized in that the radial size of the turning gap decreases from the side of high vacuum in the pump to the side of higher pressures. 4. Hoogvacuumpomp volgens conclusie 1-3, met het kenmerk, dat in de stator tussen één of meerdere paren 30 van opvolgende bussen en/of tussen een bus en een opvolgende wand een afvoerkanaal is voorzien, waarin een terugslagklep is opgenomen, welk afvoerkanaal of welke afvoerkanalen in verbinding staan met de omgevingsruimte of met een 8602052 - - * ï -10- voorvacuumpomp.4. High vacuum pump according to claims 1-3, characterized in that in the stator between one or more pairs of successive bushes and / or between a bush and a successive wall a discharge channel is provided, in which a non-return valve is included, which discharge channel or which drains are connected to the ambient space or to an 8602052 - - * ï -10- pre-vacuum pump. 5. Hoogvacuumpomp volgens conclusie 1-4, met het kenmerk, dat de laatste druktrap aan de voorvacuumzijde is geconstrueerd als luchtlager. 8602052High vacuum pump according to claims 1-4, characterized in that the last pressure stage on the front vacuum side is constructed as an air bearing. 8602052