NL8300648A - FLOATING CARRIAGE FOR SUBSTRATES. - Google Patents
FLOATING CARRIAGE FOR SUBSTRATES. Download PDFInfo
- Publication number
- NL8300648A NL8300648A NL8300648A NL8300648A NL8300648A NL 8300648 A NL8300648 A NL 8300648A NL 8300648 A NL8300648 A NL 8300648A NL 8300648 A NL8300648 A NL 8300648A NL 8300648 A NL8300648 A NL 8300648A
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- substrates
- conveyor track
- main conveyor
- track
- passage
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67784—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations using air tracks
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Branching, Merging, And Special Transfer Between Conveyors (AREA)
- Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
Description
#,#,
Floating transportbaan voor substraten.Floating conveyor for substrates.
In da Nederlandss Qctrooi-aanvrage No. 83 GQ 443 van da aanvrager zijn transportbanen omschreven, waarbij de substraten, welke zich in aan floating transportpassaga met bahulp van dubbel floating ervan rechtlijnig 5 verplaatsen, door middel van daartoe aangepaste transporteurs vanuit zulk een baan in zijdelingse richting kunnen worden verplaatst.In Dutch Patent Application No. 83 GQ 443 of the applicant have described conveyor tracks, wherein the substrates which move in a linear manner in a floating transport passage with a double-floating bath aid thereof, can be moved in such a sideways direction by means of adapted conveyors.
Daarbij is het mogelijk, dat meerdere, naast elkaar gelegen aftak-transportbanen zijn aangesloten op zulk een hoofdtransportbaan.It is then possible for a plurality of adjacent branch conveyor tracks to be connected to such a main conveyor track.
Tevens kunnen zulke aftak-transportbanen een zodanige brede passage 10 voor de substraten hebben, dat daarin meerdere substraten naast elkaar liggend kunnen worden verplaatst met een mogelijke aansluiting van zulk een baan op een mechanische transportbaan voor verder transport.Also, such branch conveyor tracks can have such a wide passage 10 for the substrates that multiple substrates can be moved side by side therein with a possible connection of such a track to a mechanical conveyor track for further transport.
Op deze aftak-transportbanen kunnen ook cassettes voor toevoer van substraten zijn aangesloten met aldus via zulk een baan toevoer van substra-15 ten naar de hoofdtranspartbaan.Cassettes for supplying substrates can also be connected to these branch conveyor tracks, thus supplying substrates to the main conveying track via such a path.
Ook kunnen op 2ulke aftak-transportbanen cassettes voor vergaring van substraten zijn aangesloten.Cassettes for collecting substrates can also be connected to such branching conveyor tracks.
Zulke cassettes kunnen dan met behulp van stepper-motoren in verticale richting worden verplaatst voor opname of afvoer van een volgende sub— 20 straat.Such cassettes can then be moved vertically with the aid of stepper motors for receiving or discharging the next substrate.
Verder kan op zulk een aftak-transportbaan verzamelbanen met enkel of dubbel floating verplaatsing van da substraten zijn aangesloten voor opzameling van een groot aantal substraten in één vlak en zulks mogelijk in meerdere lagen.Furthermore, collection paths with single or double floating displacement of the substrates can be connected to such a branch conveyor track for collection of a large number of substrates in one plane and possibly in several layers.
25 Zulk een verzamelbaan of series van banen kunnen dan deel uitmaken van de micro cleanroom ruimte-, waarin het transport van substraten tussen proces—,test—, meet en sortering modules tezamen met belichtingsmodules onderling plaats vinden.Such a collection lane or series of lanes can then form part of the micro cleanroom space, in which the transport of substrates between process, test, measuring and sorting modules take place together with lighting modules.
Daarbij bevindt zich een inert gas in zulk een ruimte.There is an inert gas in such a space.
30 Verdere bijzonderheden volgen uit de beschrijving van de hieronder aangegeven Figuren.Further details follow from the description of the Figures indicated below.
Figuur 1 toont een hoofdtransportbaan volgens de uitvinding met de aansluiting er op van een aftak-transportbaan.Figure 1 shows a main conveyor according to the invention with the connection of a branch conveyor to it.
Figuur 2 is een dwarsdoorsnede over de lijn 2-2 van de transportbaan 35 volgens de Figuur 1.Figure 2 is a cross-sectional view along line 2-2 of the conveyor track 35 of Figure 1.
Figuur 3 toont een vergroot detail van de overgang van de hoofdtranspartbaan naar de tweede baan als aftaktransportbaan.Figure 3 shows an enlarged detail of the transition from the main conveyor track to the second track as a branch conveyor track.
8300648 ί- > - 2 -8300648 ί-> - 2 -
Figuur 4 toont de combinatie van een hoofdtransportbaan met een tweetal aftak-transportbanen.Figure 4 shows the combination of a main conveyor track with two branch conveyor tracks.
Figuur 5 toont een tweetal hoofdtransportbanen met elk een aftak-transportbaan met een sterk vergrootte passage ervan voor de substraten 5 en aansluiting van deze aftak-transportbanen op een gemeenschappelijke transportband·Figure 5 shows two main conveyor tracks, each with a branch conveyor track with a greatly enlarged passage thereof for the substrates 5 and connection of these branch conveyor tracks to a common conveyor belt
Figuur 6 is een doorsnede over de lijn 6-6 van de inrichting volgens de Figuur 5*Figure 6 is a section on line 6-6 of the device according to Figure 5 *
In de Figuur 1 is de hoofdtransportbaan 10 aangegeven· Deze bestaat 10 daarbij uit de zijdraagstukken 12 en 14» waarin series transporteurs 16 zijn opgenomen met aan weerszijde van de passage 18 de transporteur-sectiBS 20 en 22, zie tevens de Figuur 2.In figure 1 the main conveyor track 10 is indicated. This consists here of the side carriers 12 and 14 »in which series of conveyors 16 are accommodated with on both sides of the passage 18 the conveyor sections 20 and 22, see also figure 2.
De zijdraagstukken zijn opgesloten in de bovenplaat 24 en onderplaat 26»The side supports are enclosed in the top plate 24 and bottom plate 26 »
Op deze hoofdtransportbaan 10 is de aftak-transportbaan 28 aangeslo-15 ten. Deze bestaat uit de draagstukken 30 en 32, die corresponderen met het draagstuk 14 en waarbij dit draagstuk 14 gedeeld is met de tussen gelegen opening 34,The branch conveyor track 28 is connected to this main conveyor track 10. This consists of the support pieces 30 and 32, which correspond to the support piece 14 and wherein this support piece 14 is divided with the intermediate opening 34,
In deze aftak-transportbaan 28 zijn de transporteurs 36 opgenomen, welke gelijk zijn aan de transporteurs 16 en zulks in tenminste het aanslui-20 tingsgebied·In this branch conveyor track 28, the conveyors 36, which are equal to the conveyors 16, are included in at least the connection area.
De eerste transporteur 36 ligt daarbij tegen een aantal transporteurs 16 van de hoofdtransportbaan 10. De passage 38 sluit daarbij aan op de passage 18, doordat de in de draagstukken 14 opgenomen afstandstrippen 40 corresponderen met de strippen 42, die in de draagstukken 30 en 32 zijn op— 25 genomen.The first conveyor 36 herein rests against a number of conveyors 16 of the main conveyor track 10. Passage 38 connects to passage 18, in that the spacing strips 40 incorporated in the supporting pieces 14 correspond to the strips 42 which are in the supporting pieces 30 and 32 recorded.
Het boveneinde van een aantal transporteurs 16' zijn met behulp van een bout-verbinding 44 vastgezet op de bovenplaat 24, terwijl hun ondereinde met behulp van de boutverbinding 46 zijn vastgezet op de onderplaat 26«The top end of a number of conveyors 16 'are secured to the top plate 24 by bolt connection 44, while their bottom end are secured to the bottom plate 26 by bolt connection 46
Hierdoor blijft de breedte van passage 18 ook ter plaatse van deze 30 transporteurs 16' nagenoeg gelijk·As a result, the width of passage 18 also remains virtually the same at the location of these 30 conveyors 16 '
De boven- en onderplaten bedekken eveneens over tenminste enige afstand dB draagstukken 30 en 32 van de aftak-transportbaan 28,The top and bottom plates also cover dB supports 30 and 32 of the branch conveyor track 28 over at least some distance,
Tussen een tweetal transporteurs 16’ is verder nog de transporteur 48 opgenomen, zie tevens de Figuren 2 en 3· 35 In deze transporteur met secties 50 en 52 bevinden zich de segmen ten 54 en 56 met de daarin opgenomen kanalen 58, die schuin in de richting van de aftak-transportbaan zijn geplaatst· Deze kanalen 58 zijn via de gemeenschappelijke kanalen 60 en 62 en toevoerkanalen 64 en 66 aangesloten op 8300648 - 3 - ean eigen toevoer 68 van medium. Met behulp van de afsluit-ventielen 70 en 72 kan afsluiting van deze kanalen 64 en 66 plaats vinden.Between two conveyors 16 ', the conveyor 48 is further included, see also Figures 2 and 3 · 35. In this conveyor with sections 50 and 52 there are segments 54 and 56 with the channels 58 included therein, which are inclined in the direction of the branch conveyor path. These channels 58 are connected via common channels 60 and 62 and supply channels 64 and 66 to 8300648-3 of their own supply 68 of medium. These channels 64 and 66 can be closed by means of the shut-off valves 70 and 72.
De marking van de verandering van bewegingsrichting van de substraten 74 is daarbij als volgt: 5 Deze substraten doorlopen al dan niet tegen elkaar liggend de passa ge 18. Op commando worden de ventielen 70 en 72 geopend met toevoer van transportmedium onder relatief hoge druk via de kanalen 58 naar de substraat 74’, welke daardoor naar de passage 38 wordt gestuwd met overname van de verplaatsing ervan door de transporteurs 36. Vervolgens wordt via 10 deze ventielen 70 en 72 de toevoer van medium naar de transporteurs 48 gestopt, zodat de volgende substraat zich ongehinderd verder in de hoofdtransportbaan 10 kan verplaatsen.The marking of the change of direction of movement of the substrates 74 is as follows: 5 These substrates pass through the passages, whether or not lying one against the other. 18 On request, the valves 70 and 72 are opened with supply of transport medium under relatively high pressure via the channels 58 to the substrate 74 ', which is thereby pushed to the passage 38, taking over its displacement by the conveyors 36. Then, through these valves 70 and 72, the supply of medium to the conveyors 48 is stopped, so that the next substrate can move unhindered further in the main conveyor track 10.
In de Figuur 4 is de hoofdtransportbaan 10 over een grotere lengte aangegeven en waarbij daarop nog een tweede aftak-transportbaan 281 is aan-15 gesloten. De transporteurs 48* hebben daarbij wederom dezelfde functie als die van de transporteur 48 met op commando de verplaatsing in zijwaartse richting van de substraten 74.In Fig. 4, the main conveyor track 10 is shown over a greater length and a second branch conveyor track 281 is connected thereto. The conveyors 48 * again have the same function as that of the conveyor 48 with the lateral displacement of the substrates 74 on command.
Binnen het kader van de uitvinding kan ook slechts deze hoek-trans-portsectie 28' zijn toegepast, waarbij dan elke substraat 74 met behulp van 20 een impuls in zijdelingse richting wordt verplaatst.Within the scope of the invention it is also possible to use only this corner transport section 28 ', whereby each substrate 74 is then moved in the side direction by means of an impulse.
Zulk een constructie is toepasbaar in transportbanen, welke meer dan alleen een rechtlijnige verplaatsing van de substraten bieden. Tevens is daarbij elke hoek van zijdelingse verplaatsing mogelijk.Such a construction is applicable in conveyor tracks, which offer more than just a linear displacement of the substrates. Also, any angle of lateral displacement is possible.
In de Figuur 5 is op de hoofdtransportbaan 10· een transportbaan 76 25 aangesloten met een zodanig verbrede passage 78, dat gelijktijdig met behulp van transporteurs 80, 82 en 84 een drietal substraten 74 vanaf deze hoofdtransportbaan 10* daarheen verplaatsbaar zijn, zie tevens de Figuur 6.In Figure 5, a conveyor track 76 with a widened passage 78 is connected to the main conveyor track 10, such that three substrates 74 can be moved there simultaneously from the main conveyor track 10 * by means of conveyors 80, 82 and 84, see also the Figure 6.
Binnen het kader van de uitvinding kan zulk een passage 78 nog breder zijn en is daarin ook een éénzijdige '’floating" transport mogelijk naar 30 een met gasvormig transportmedium gevulde micro cleanroom ruimte ten behoeve van een tijdelijke opslag van deze substraten.Within the scope of the invention, such a passage 78 may be even wider and it also permits unilateral floating transport to a micro-cleanroom space filled with gaseous transport medium for the temporary storage of these substrates.
Op de transportbaan 76 is een mechanische transportband 86 voor de substraten aangesloten. Daarbij kan bijvoorbeeld de transportbaan 10’ zich reeds tot in een hoogvacuum-module uitstrekken en kan processing onder 35 hoog vacuum van de op de transportband 86 gebrachte substraten plaats vinden. Daartoe kan de transportband een metalen folie zijn, die daarbij tevens als electrode kan fungeren. Deze folie wordt dan met behulp van transportinrichting 88 gelijkmatig van de rol 90 af gerold en kan het wederom oprollen van d8 folie plaats vinden op rol 92.A mechanical conveyor belt 86 for the substrates is connected to the conveyor track 76. For example, the conveyor track 10 may already extend into a high vacuum module and processing can take place under high vacuum of the substrates placed on the conveyor belt 86. For this purpose the conveyor belt can be a metal foil, which can also function as an electrode. This foil is then evenly unrolled from the roller 90 with the aid of transport device 88 and the roll-up of the d8 foil can again take place on roller 92.
8300848 - 4 -8300848 - 4 -
De overname van de substraten door de transportband geschiedt daarbij telkens als een drietal van deze substraten door de transportbaan 76 worden vrijgegeven.The transfer of the substrates by the conveyor belt takes place every time three of these substrates are released by the conveyor track 76.
Aan de andere zijde van de transportband 86 bevindt zich de transport-5 baan-opstelling 94, welke soortgelijk is aan de combinatie van transportbanen 10* en 76,On the other side of the conveyor belt 86 is the conveyor-track arrangement 94, which is similar to the combination of conveyor tracks 10 * and 76,
Binnen het kader van de uitvinding is elk ander type van mechanisch transport-systeem tussen de transportbaneen, die een "floating'· transport van de substraten bieden, mogelijk.Within the scope of the invention, any other type of mechanical conveying system between the conveyor belts, which provide a "floating" conveyance of the substrates, is possible.
10 De ultra nauwe "floating" passage voor de substraten met een zeer be perkte inhoud van de daarmede gevormde ultra-cleanroom tuimte voor deze substraten en zulks gecombineerd met een zeer geringe benodigde hoeveelheid transportmedium per tijdseenheid, maakt het nu mogelijk om het "floating" transportsysteem zeer doelmatig tevens geschikt te doen zijn voor opzame-15 ling in een verzamelbaan van een zeer groot aantal substraten.The ultra-narrow "floating" passage for the substrates with a very limited content of the ultra-cleanroom space formed therewith for these substrates and this in combination with a very small amount of transport medium required per unit of time, now makes it possible to "float" transport system can also be made very suitable for storage in a collection path of a very large number of substrates.
Daarbij kan dan zulk een verzamelbaan zodanig zijn uitgevoerd, dat de aan elkaar grenzende transport/verzamel-banen zich zodanig in opwaartse richting uitstrekken, dat na 360° zulk een baan-gedeelte boven een andere, ermede verbonden baan-gedeelte is gelegen. Aldus is in een aantal opvol— 20 gende lagen een opzameling onder cleanroom-conditie van bijvoorbeeld 1000 substraten mogelijk.In such a case, such a collecting track can then be designed such that the adjoining transport / collecting tracks extend in an upward direction such that after 360 ° such a track section is situated above another connected section of track. In a number of successive layers it is thus possible to collect, for example, 1000 substrates under a cleanroom condition.
Ook kunnen deze op Blkaar gestapelde banen als pakket met behulp van stepper-motoren in verticale richting verplaatsbaar zijn voor een telkenmale aansluiting van een opvolgende baan op da toe- en afvoer via de trans— 25 portbanen met een "floating" transport van de substraten.These Black-stacked webs can also be vertically displaced as a package with the aid of stepper motors for a subsequent connection of a successive web to the supply and discharge via the transport webs with a "floating" transport of the substrates.
Daarbij kan ook de gehele ruimte, inclusief de steppermotoren of zonder deze motoren in een ultra-cleanroom ruimte zijn ondergebracht.The entire space, including the stepper motors or without these motors, can also be housed in an ultra-cleanroom space.
Binnen het kader van de uitvinding zijn eveneens andere uitvoeringen van zulk een substraat-vergaarbaan mogelijk.Other embodiments of such a substrate collection path are also possible within the scope of the invention.
83006488300648
Claims (41)
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
NL8300648A NL8300648A (en) | 1983-02-21 | 1983-02-21 | FLOATING CARRIAGE FOR SUBSTRATES. |
PCT/NL1984/000004 WO1984003412A1 (en) | 1983-02-21 | 1984-02-20 | Track for floating transport of substrates |
EP19840900893 EP0135548A1 (en) | 1983-02-21 | 1984-02-20 | Track for floating transport of substrates |
JP50094084A JPS60500907A (en) | 1983-02-21 | 1984-02-20 | Substrate conveyance device |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
NL8300648A NL8300648A (en) | 1983-02-21 | 1983-02-21 | FLOATING CARRIAGE FOR SUBSTRATES. |
NL8300648 | 1983-02-21 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
NL8300648A true NL8300648A (en) | 1984-09-17 |
Family
ID=19841450
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
NL8300648A NL8300648A (en) | 1983-02-21 | 1983-02-21 | FLOATING CARRIAGE FOR SUBSTRATES. |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0135548A1 (en) |
JP (1) | JPS60500907A (en) |
NL (1) | NL8300648A (en) |
WO (1) | WO1984003412A1 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3514825B1 (en) * | 2018-01-22 | 2023-11-29 | Meyer Burger GmbH | Wafer sorting |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3918706A (en) * | 1974-06-24 | 1975-11-11 | Ibm | Pneumatic sheet transport and alignment mechanism |
US4211505A (en) * | 1975-10-01 | 1980-07-08 | International Business Machines Corporation | Fluidic transport intersection |
US3976330A (en) * | 1975-10-01 | 1976-08-24 | International Business Machines Corporation | Transport system for semiconductor wafer multiprocessing station system |
CA1097770A (en) * | 1977-02-28 | 1981-03-17 | Robert L. Judge | Controls for semiconductor wafer orientor |
US4278366A (en) * | 1977-03-18 | 1981-07-14 | Gca Corporation | Automatic wafer processing system and method |
-
1983
- 1983-02-21 NL NL8300648A patent/NL8300648A/en not_active Application Discontinuation
-
1984
- 1984-02-20 EP EP19840900893 patent/EP0135548A1/en not_active Withdrawn
- 1984-02-20 JP JP50094084A patent/JPS60500907A/en active Pending
- 1984-02-20 WO PCT/NL1984/000004 patent/WO1984003412A1/en unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0135548A1 (en) | 1985-04-03 |
WO1984003412A1 (en) | 1984-08-30 |
JPS60500907A (en) | 1985-06-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6209703B1 (en) | Method and apparatus for the sorting of objects | |
US4468165A (en) | Apparatus for transporting sorted stacked matter | |
US5366063A (en) | Accumulator for conveyor system | |
US4926999A (en) | Right angle flow-through jump transfer conveyor system | |
EP0480436A2 (en) | Distributing and collecting device for products to be conveyed | |
KR100456998B1 (en) | Apparatus and method for inspecting objects, in particular beverage containers | |
US6158566A (en) | Transfer system for a conveyor | |
JP3256751B2 (en) | Solid material transfer device | |
JPS58135025A (en) | Method and device for arranging and transferring bottle | |
JP2763181B2 (en) | Manufacturing equipment for large unit products in the form of handles in the group of small packs of tissue paper | |
US4465417A (en) | System for handling vehicles of a revolving cableway in a parking station | |
US3637066A (en) | Conveyor systems | |
FI98619C (en) | Method and apparatus for intermediate storage of a stream of newspapers or similar | |
JPH10509094A (en) | Equipment for sorting conveyed articles | |
NL8300648A (en) | FLOATING CARRIAGE FOR SUBSTRATES. | |
US4346799A (en) | Conveyor system with part transfer device | |
ITRM940652A1 (en) | SYSTEM FOR THE STORAGE OF PACKAGES WAITING IN AIRPORTS | |
US6029800A (en) | Conveyor for articles with wave-shaped rollers | |
JP2008199021A (en) | Conveyance device in substrate processing equipment | |
SI9400125A (en) | Process and device for conveying articles, particulary for automatic packaging plants | |
KR900006016B1 (en) | Insulating for vaccum processing of substrates | |
CA1308126C (en) | Apparatus for vertically stacking and storing articles | |
EP2161226A1 (en) | Device for buffering of rectangular objects | |
CH695732A5 (en) | Means for conveying similar objects. | |
JPH01122815A (en) | Transport device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A85 | Still pending on 85-01-01 | ||
BV | The patent application has lapsed |