NL8300419A - Roentgen analyse apparaat. - Google Patents

Description

' , i PHN 10.566 1 N.V. Philips' Gloeilampenfabrieken te Eindhoven.

Eöntgen analyse apparaat.

De uitvinding heeft betrekking op een röntgen analyse apparaat met een röntgenbron voer opwekking van een röntgenbundel ter bestraling van een te analyseren monster en met een detectorinrichting voor detectie van uit het monster tredende straling.

5 Een dergelijk röntgen apparaat, in de vorm van een röntgenpoe- der diffractometer is bekend uit ÜS 3.852.594.In de aldaar beschreven diffractometer wordt een monster bestraald met een röntgenbundel uitgaarde van een relatief smal, langwerpig focus, in het monster gediffracteerde straling wordt met een röntgendetector gemeten. Hiertoe bevindt zich in 10 een afbeeldingsvlak van de gediffracteerde röntgenburdel een ingangs-spleet voor de detector en in de hundelweg van de gediffracteerde röntgen-bundel een collimator. Voor het opmeten van een diffractogram wordt de detector langs een cirkelboog bewogen. Bij die rotatie wordt ook het monster on de rotatieas van de detector geroteerd waarbij de detector, ten 15 opzichte van het monster met een tweemaal zo grote hoeksnelheid roteert.

Aldus wordt een diffractogram verkregen. De nauwkeurigheid van de hoek-stand van het monster ten opzichte van een stralingsvoorwerpspunt en, zij het in iets mindere mate ten opzichte van de detector is daarbij direct bepalend voor de nauwkeurigheid van de meting. Het rotatiemechanisme moet 20 derhalve uiterst nauwkeurig werken en de collimator en de detectorin-gangsspleet moeten steeds optimaal gepositioneerd en ingesteld zijn.

Voor een gedetailleerde beschrijving van een dergelijke rotatiemechanisme wordt verwezen naar Philips Technical Rev. nr. 27, pp 304-314.

De uitvinding beoogt een röntgen analyse apparaat te verschaffen 25 waarbij zonder verlies aan oplossend vermogen met andere detectiemiddelen welke een ruimere keuze in detectiemethode toelaten. Een röntgen analyse apparaat van de in de aanhef genoemde soort heeft daartoe volgens de uitvinding tot kenmerk, dat de detectie inrichting een samengestelde foto-diode halfgeleider detector bevat waarvan onderscheiden detectorelementen 30 afzonderlijk dan vel onderling gecombineerd aan een signaaluitleesin-richting aansluitbaar zijn.

Fotodioden zoals silicium fotodioden kunnen zonder veel moeite in verscheidene vormen en afmetingen worden geproduceerd en vertonen een 8300419 i*- ί PHN 10.566 2 goede stabiliteit ook na langdurige bestraling met röntgen quanta. Voor signaaluitlezing kan direkt gebruik gemaakt warden van operationele versterkers. Fotodioden voor het neten van electromagnetische straling als zodanig zijn bekend, maar die zijn gebruikelijk ingericht voor het tellen 5 van pulsen en niet voor het direct meten van de door de invallende straling opgewekte fotostroom.

Door aanpassing van de diode afmeting, die bepalend is voor het oplossend vermogen van een met dergelijke dioden uitgerust apparaat kan nu bijvoorbeeld worden bereikt, dat in plaats van een mechanische detec-10 torspleet, een effectieve detectorcelbreedte daarvoor bepalend is. Aldus kan bijvoorbeeld in een poeder diffractometer uitgerust met een aangepaste diode detector een ten minste gelijk oplossend vermogen met een eenvoudiger en goedkoper apparaat worden gerealiseerd. Een röntgen spectrometer kan cp overeenkomstige wijze zonder verlies aan scheidend vermogen goed-15 koper en eenvoudiger worden geconstrueerd. De afmeting van de dioden wordt reeds bij de productie daarvan vastgelegd en kan daarbij zonder neer aan een te gebruiken stralingsoptiek worden aangepast. Door electronische combinatie van meerdere naast elkaar gelegen fotodioden, kan een stapsgewijze spleetbreedte instelling worden bereikt welke bijvoorbeeld ook de gebrui-2Q kelijke spleetuitwisseling voor onderscheiden metingen kan vervangen.

Door een gunstige combinatie van fotodioden, dan. wel door een aangepaste opbouw van een fotodiode als zodanig kan daarbij de invloed van de tem-peratuurafhankelijke donkerstroam van de fotodioden in de meetresultaten voldoende worden gereduceerd.

2g In een voorkeursuitvoering bevat de detectie inrichting een reeks silicium fotodioden, bijvoorbeeld in de vorm van elementen met een effectieve breedte van 0.05 mm en een lengte van 10 mm. De breedte afmeting is hier bepalend voor het oplossend vermogen van het apparaat en door combinatie van naast elkaar liggende elementen kan een gewenste detectie in-2Q gangsbreedte van de detector worden ingesteld. Een grotere breedte levert daarbij een sterker detectie signaal maar een slechter oplossend vermogen en omgekeerd. Door combinatie van detectorelementen en een aangepaste signaalverwerking van aldus verkregen gecombineerde signalen kunnen onder grondstroom en donkerstroom uit de meetresultaten worden ge-35 elimineerd. Met een guard diode kan de invloed van op het grensgebied van het effectieve detectoroppervlak vallende fotonen worden geëlimineerd.

Ook kunnen door een aangepast convolutie proces a-symmetrische spectraallijnen in symmetrische worden omgezet. Een dergelijke omzetting kan 8300419 * ^ PHN 10.566 3 ook direct worden gerealiseerd door de fotodicde detector een effectief oppervlak overeenkomstig het in DE 2.345.406 beschreven diafragma te geven. Naast het combineren van detectoreleirenten kan een en ander ook bereikt worden door aan de fotodiode elementen een voor de meting aangepaste 5 gewichtsfactor toe te kennen of direct door de opbouw van de fotodioden aan te passen. Het effectief oppervlak van de fotodiode detector vormt daarbij als het ware een replica van een te meten intensiteitsverdeling in de betreffende stralingslijn.

In een voorkeursuitvoering in de vorm van een spectrometer kan 10 met een fccusserende optiek onder gebruik van een array van silicium fotodioden een eenvoudiger apparaat worden gerealiseerd. Het apparaat kan daardoor aanzienlijk goedkoper worden zonder dat aan de kwaliteit behoeft te worden toegegeven, met het optische voordeel, dat de fotodioden zelf als detectie ingangsspleet voor de te meten straling fungeren.

15 In een verdere voorkeursuitvoering, in de vorm van een poeder röntgen diffractometer werkend volgens het Bragg-Brentano principe bevat de detector eveneens ten minste een fotodiode. In het bijzonder kan dan het detectorsysteem, normalerwijze uitgerust met een detectcrspleet en een, bijvoorbeeld gasgevulde, detector zijn vervangen door een fotodiode 20 detector.

Een voorkeursuitvoering wordt gevormd door een zogenaande enkelvoudige positie diffractometer, zoals een focusserende diffractometer, waarin geen bewegende onderdelen worden toegepast. Hst monster neemt hier een vaste positie in en de detectorbeweging is ondervangen door 25 het gebruik van een plaatsgevoelige detector waarvoor een array van fotodioden zich in het bijzonder leent.

Aan de hand van de tekening zullen in het navolgende enkele voorkeursuitvoeringen volgens de uitvinding nader worden beschreven.

In de tekening tooit : 30 Figuur 1 een schetsmatige weergave van een focusserende poeder diffractometer volgens de uitvinding,

Figuur 2 een schetsmatige weergave van een foucsserende röntgen-spectromster volgens de uitvinding,

Figuur 3 een schetsmatige weergave voor het meten van materiaal-35 spanningen en textuur volgens de uitvinding, en

Figuur 4 enkele voorkeursuitvoeringen van fotodiode detectoren voor röntgen analyse apparaten volgens de uitvinding.

8300419 » · PHN 10.566 4

Van een röntgen poeder diffractometer zijn in figuur 1 een röntgenbron 1 net een anode 3 en een uittreevenster 5, een op een monster-drager 7 gemonteerd polykr istallij n monster 9 en een detector 11 met een signaaluitleessysteem 13 weergegeven. Een door de röntgenbuis 1 uit te 5 zenden en door bijvoorbeeld een nikkelfilter 15 tredende stralenbundel 17, die na bet filter hoofdzakelijk koper Kot straling bevat, diffrac-teert aan het monster, een gedeelte 19 onder een hoek 2& . Dit gedeelte van de bundel wordt door een detectorcel 21 van de detector ingevangen.

In de figuur zijn voor enkele kristalvlakreeksen gediffracteerde bundels 10 19-1 en 19-2 getekend, deze bundels worden door detectorcellen 21-1 en 21-2 ingevangen. Dit kan ook de intussen geroteerde detectorcel 21 zijn.

Als de anode 3 van de röntgenbuis en het monster 9 op een focusserings-bol 23 liggen, zal de bundel 19 op die bol worden gefocusseerd. De detector is derhalve eveneens samenvallend met de cirkel 23 gemonteerd. Af-15 hankelijk van de kristalstructuur worden aldus verschillende diffractie-lijnen qp de detector gevormd en kan een diffractogram worden opgenomen.

Uit het diffractogram kan bijvoorbeeld informatie over de in het monster aanwezige kristalstructuren worden verkregen.

Voor het etaleren van meetgegevens kan op de signaaluitlees-20 inrichting 13 een schrijver of monitor 27 en voor opslag van meetgegevens een geheugeninrichting 29 zijn aangesloten. Voor eventuele digitale verwerking of opslag kan een analoog digitaal omzetter zijn toegevoegd. De detector is hier opgetouwd uit bijvoorbeeld silicium fotodiode elementen die in vooraanzicht, dat wil zeggen, gezien vanuit de invallende röntgen-25 bundel 19, een effectieve breedte van bijvoorbeeld 0.05 irm en een lengte van bijvoorbeeld 10 ntti hebben. In de breedterichting gezien kan een detector element zoals nog nader zal worden beschreven, uit meerdere naast elkaar gelegen, gecombineerd uit te lezen elementen zijn opgebouwd. Een detector bevat bijvoorbeeld 200 van dergelijke fotodiode elementen. De 30 fotodioden zijn aan de ingangszijde, bijvoorbeeld tegen invallend omgevingslicht, af gedekt met een voor de te detecteren straling transparant venster dat bijvoorbeeld uit beryllium bestaat. Het array van fotodioden kan zijn aangebracht in een binnenoppervlak van een eventueel bolvormige strip silicium. Het array kan ook zijn samengesteld uit een aantal op 35 zich vlakke units, net elk bijvoorbeeld 24 fotodioden naast elkaar. Een aantal, bijvoorbeeld een twintigtal van deze units, vormt dan, aaneengesloten opgesteld, een quasi cirkelboog met 480 detectorkanalen. De door deze opbouw eventueel optredende scheve inval van de straling in de 8300419 EHN 10.566 5 * -l detector heeft, gezien het feit, dat de detector slechts in een uiterst dunne laag effectief is geen nadelige gevolgen.

Figuur 2 toont van een röntgenspectrcmeter een röntgenhron 30 met een anode 31 en een uittreevenster 33, een monster 35, een dubbel-g focusserend kristal 37 gemonteerd in een houder 39 en een detector 41.

De röntgenhron 30 bestraalt het monster 35 net een röntgenbundel 43. Van de in het monster opgewekte fluorescentie straling die karakteristiek is voor de aangestraalde elementen worden nu golflengte afhankelijk gedeelten waarvoor aan de Bragg relatie is voldaan door het kristal 37 ingevangen 10 en gefocusseerd, in een lijn op een focusseringsbol 45. zo wordt bijvoorbeeld een gedeelte 47 dat wordt begrensd door randstralen naar het kristal van een bij de betreffende golflengte behorend voorwarpslijn 49 gefocusseerd in een focuslijn 51. De plaats van de betreffende focuslijn op de boldoorsnede 45 is aldus afhankelijk van de golflengte van de in het 15 monster opgewekte fluorescentie straling die karakteristiek is voor een in het monster aanwezig element. Met de detector 41 kan de intensiteit van de gediffracteerde straling plaatsgevoelig worden gedetecteerd. Hiertoe kan de, ook hier weer uit silicium fotodioden opgebouwde detector langs de boldoorsnede 45 worden bewogen. Bij het detecteren kan ook hier door 20 combineren van detectorelementen, zoals later nog zal worden toegelicht, extra informatie worden ingewonnen.

In figuur 3 is zeer schematisch een röntgen diffractie apparaat voor het meten van macro materiaalspanningen weergegeven. Omdat met dit röntgen analyse apparaat afstanden tussen opvolgende kristalvlakken worden 25 bepaald, kan daarmede bijvoorbeeld de zuivere rék in de kristallen worden geanalyseerd. Hier nu wordt van uit gegaan bij spanningsmetingen. van een apparaat daartoe wordt bij voorkeur verlangd, dat er relatief snel mee kan worden gemeten en dat het transportabel is. Het laatste vooral ten gunste van metingen aan bijvoorbeeld onderdelen van grote werkstukken en 30 dergelijke. Het voldoen aan deze bijkanende eis mag geen afbreuk doen aan de nauwkeurigheid van de metingen aangezien de door macro-spanningen cpgetreden kristalafwijkingen veelal relatief klein zijn. Van het apparaat zijn in de figuur aangegeven een röntgenhron 50 met een anode 52 voor het opwekken van een röntgenbundel 54 waarmede via een uittreevenster 35 56 een monster 58 kan worden bestraald. Het monster 58 kan daarbij geacht worden een deel van een groter te onderzoeken geheel te zijn. In bekende apparaten van dit type, bijvoorbeeld beschreven in US 3.934.138 wordt voor het detecteren van uit het monster tredende röntgenbundels zoals de aange- 8300419 HU 10.566 6 geven bundels 60 en 62 gebruik gemaakt van plaatsgevoelige detectoren uitgerust als plaatsgevoelige ionisatiekamers. Daarbij wordt hinder ondervonden van de in het apparaat optredende positie-afhankelijke defo-cussering en van het scheef invallen van de te meten röntgenbundel. Vol-5 gens de uitvinding nu is het geschetste apparaat uitgerust met een eerste fotodiode detector 64 en een tweede fotodiode detector 66 die zijn aangesloten op een signaalverwerkingsinrichting 68. Doordat aan effectieve oppervlakken van fotodioden van detectoren 64 en 66 gemakkelijk een cylindervormig oppervlak gegeven kan en deze detectoren zoals reeds 10 werd opgemerkt vrijwel ongevoelig zijn voor de richting waaronder de bundel invalt, treden de genoemde bezwaren hier niet op. Door de opbouw van de detectorelementen als zodanig of door electronische combinatie van cellen kan een optimale effectieve detectiebreedte gekozen worden waarmede, een door de eventuele macro-materiaalspanningen optredende lijn-15 verschuiving kan worden gemeten. De detectoren zijn eenvoudig voor de meest optimale positionering aan te passen en vallen hier dan samen met een focusseringscirkel 78 waarop de anode 52, een raakpunt 70 van het monster en de focuslijnen 74 en 76 van de bundels 60 en 62 liggen. Voor een verdere uitvoeringsvorm van een apparaat voor deze metingen wordt 20 verwezen naar de uitvoeringsvorm volgens figuur 5 van de gelijk met deze aanvrage op naam van Aanvraagster ingediende octrooiaanvrage. PHN 10.568.

In figuur 4 zijn verschillende voorbeelden van detector inrichtingen met meerdere gecombineerd uit te lezen fotodiode cellen volgens de uitvinding aangegeven.

25 Figuur 4a toont een dergelijke detector met hier een reeks van veertien naast elkaar gelegen detectorelementen 80 met bijvoorbeeld per element een breedte van 0.05 ram en een lengte van 10 itm. De totale breedte van de detectoringangsspleet wordt dan 0.7 ran. Deze breedte kan door gebruikmaking van een ander aantal detectorelementen of een andere breedte 3Q afmeting per element aan de behoeft worden aangepast.De detector is hier verder verdeeld in, in de tekening gezien, een bovenste fotodioden reeks 82 en een onderste fotodioden reesk 84. Ben dergelijke deling kan bij het vormen van de fotodioden in het halfgeleider materiaal eenvoudig worden gerealiseerd. Van de bovenste reeks zijn hier zes centraal gelegen 35 fotodioden gezamenlijk verbonden met een niet inverterende ingang 86 van een operationele versterker 87 en de aan weerszijden daarvan aan de buitenzijde gelegen fotodioden gezamenlijk aan een inverterende ingang 88 van de operationele versterker 87. De niet inverterende ingang is gebruike- 8300419 PHN 10.566 7 lijk via een veerstand 90 met een vast potentiaal punt 92 verbonden terwijl een veerstand 94 de inverterende ingang 88 met een uitgang 96 van de operationele versterker 87 verbindt. De onderste reeks fotodioden zijn op overeenkomstige wijze gecombineerd, maar het geheel is daarbij 5 bijvoorbeeld twee cellen opgeschoven. Aldus zijn veer zes centraal gelegen fotodioden met een niet-inverterende ingang 100 van een operationele versterker 101 en aangrenzende twee maal drie fotodioden gezamenlijk met een inverterende ingang 102 van de operationele versterker 101 verbonden. Ook van de versterker 101 is de niet inverterende klem met een weerstand 104 10 met een vast potentiaalpunt 106 verbonden en de inverterende ingang 100 met een veerstand 106 met een uitgang 108 van de versterker verbonden.

Zowel de uitgang 96 als de uitgang 108 zijn met een electronisch signaal uitleesverwerkingsinrichting 110 verbonden waarop een registratie weergave inrichting 112 is aangesloten. Mat behulp van een dergelijke detec-15 tor inrichting kan door combineren van de onderscheiden gezamenlijke signalen achtergrondstrocm en donkerstrocm uit het uiteindelijke meetsignaal worden geëlimineerd en kan uit quasi tweede afgeleide signalen piekver-schuiving worden geconstateerd, üit de verhouding van beide signalen kan de juiste positie voor de betreffende piek worden bepaald en met be-20 hulp daarmede kan de ter plaatse geldende amplitude voor de piek worden afgeleid.

In figuur 4b is een detectorschakelinrichting weergegeven waarbij detectorelementen 120 niet zijn opgedeeld. De detectorelementen zijn ook hier weer groepsgewijs verbonden met respectievelijk een inverterende 25 ingang 122 van een operationele versterker 123, met een niet-inverterende ingang 124 daarvan, met een inverterende ingang 126 van een operationele versterker 127 en met een niet-inverterende ingang 128 daarvan. Zonder een opdeling in de hoogterichting, gezien in de tekening, van de fotodioden elementen kan ook hier veer achter grondstroom en donkerstrocm 3Q wordem geëlimineerd en kan door tweede afgeleide meting piekverschuiving worden geconstateerd. Van een te meten piek 121 zijn twee standen net respectievelijk een getrokken lijn en een stippellijn aangegeven.

Tijdens het neten verplaatst de piek 121 zich dus in de richting van de pijl 125.

35 Figuur 4c geeft een uitvoeringsvorm van een detector waarmede genoemde correcties meer direct kunnen worden uitgevoerd en exacte tweede afgeleide signalen kunnen warden gemeten. Onder behoud van een totale breedte, gezien in de breedter ichting van een gebruikelijk lijnprof iel, 8300419 PHN 10.566 8 van bijvoorbeeld 0.5 mm is door onderling verschillende breedte van de elementen het effectieve oppervlak van hier de centraal gelegen elementen.

130 plus twee maal 132 gezamenlijk gelijk aan het effectieve oppervlak van de gezamenlijke decentraal gelegen elementen twee maal 134 plus twee maal 136 plus twee maal 138. De centrale elementen zijn veer gezamenlijk 5 met bijvoorbeeld een inverterende ingang 140 en de decentraal gelegen elementen gezamenlijk met een niet-inverterende ingang 142 van een operationele versterker 141 verbonden.

Met een detectorvorm als aangegeven in figuur 4d is reeds met de vorm van de actieve detector oppervlakken tegemoet gekomen aan de wens cm een exacte piekpositie meting te kunnen doorvoeren. Wel geldt daarbij als voorwaarde/ dat de energieverdeling van de te neten stralenbundel gezien in de hoogterichting in de tekening homogeen is. Voor het meten is het centrale gedeelte 150 weer verbonden met bijvoorbeeld een inverterende ingang 151 van een operationele 'versterker 152 en de twee randgedeelten 153 met een niet-inverterende ingang 154 daarvan. Overeenkomstig de aan de hand van figuur 4c en 4d beschreven uitvoeringsvormen kan ook een effectief detectoroppervlak overeenkomende het in DE 2.345.406 beschreven diafragma voor het cmvormen van een a-symmetrische piek in een meer 2Q symmetrische piek in het halfgeleider materiaal worden gevormd.

Een silicium fotodiode detector zoals geschets in figuur 4e toont vier actieve detector gebieden, een eigenlijke detectorstrook 160, een klokvonnig gebied 162, een tweede detectorstrook 164 en een tweede klok-vormig gebied 166. De stroken 160 en 164 meten bijvoorbeeld 0.1 x 8 mm .

Het oppervlak van elk van de stroken is gelijk aan het oppervlak van de 25 bijbehorende klok. Hierdoor is bereikt, dat de donker stroom van de strook en de klok in eerste benadering gelijk zijn. Voor zover daar uit andere dan oppervlakteverschillen toch nog een verschil in zou optreden, kan dit worden gecompenseerd door extra in het silicium aangebrachte actieve gebieden 168 en 170 die bijvoorbeeld een onderlinge oppervlakte verhouding 30 van 1 op 3 hebben en naar keuze aan de inverterende op de niet-inverterende ingang kunnen warden geschakeld waardoor een extra compensatie mogelijkheid voor de donker stroom is verkregen. Als laatste ccnpensatiestap is nog een regeling mogelijk door de spanning aanwezig voor het af voeren van niet tot het signaal behorende ladingsdragers tussen guards 172 en de 35 actieve detectievlakken onderling te variëren waardoor de effectieve grens tussen beide stroken, zij het slechts over een geringe afstand, wordt 8300419 PHN 10.566 9 verschoven. Voor externe aansluiting zijn de onderscheiden gebieden guards enz. voorzien van aansluitingen 174.

Alle carpensatiemiddelen samen maken onder alle meetomstandighe-den een optimale compensatie mogelijk waardoor de temperatuur compensatie 5 steeds volkenen kan zijn. Ben gunstig neveneffect is, dat een order-grondsignaal dat lineair in de plaats varieert over de breedte van bat actieve deel van de inrichting ook uitgeschakeld wordt.

Indien gewenst kan voor het meten van smalle pieken gemeten worden met een va de stroken 160 en 164 afzonderlijk en vocar bredere pieken met 10 beide stroken gezamenlijk. Het omschakelen tussen beide situaties kan eenvoudig in de uitleesinrichting warden gerealiseerd en eventueel automatisch worden door gevoerd. Doordat let absolute oppervlak van de gemeten pieken door de negatieve delen aan weerszijden daarvan gelijk aan nul is, kan voor verloop in het detectiesysteem dat met een grote tijdconstante 15 gepaard gaat met een gelijkstroom blokkerende RC koppeling worden gecompenseerd. De handel moet dan vel zowel de stroken als de klokken bestrijken.

Door de klokken althans gedeeltelijk af te schermen bijvoorbeeld met loodlamellen kan het signaal met ondergrond gemeten warden met 20 behoud van de tenper atuurccmpensatie.

Potodiode detectoren volgens de uitvinding kunnen ook net vrucht worden tcegepast in diffractometer met hoog oplossend vermogen toe te passen voor het neten aan êênkristallen, bijvoorbeeld voor het neten van diffusieverschijnselen. Voor een uitvoerige beschrijving van een 25 dergelijke diffractometer wordt verwezen naar de op naam van Aanvraagster van deze aanvrage ingediende octrooiaanvrage nr. PHN 10.504.

30 35 8300419

Claims (13)

1. Röntgen analyse apparaat net een röntgenbron voor opwekking van een röntgenbundel ter bestraling van een te onderzoeken monster en net een detectorinrichting voor detectie van uit het monster tredende röntgenstraling met het kenmerk, dat de detectorinrichting een samengestelde 5 fotodiode halfgeleider detector (11, 41) bevat waarvan onderscheiden de-tectorelementen (120) afzonderlijk dan wel groepsgewijs gecombineerd aan een signaaluitleesinrichting (12) zijn aangesloten.

2. Röntgen analyse apparaat volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de detectorinrichting een reeks fotodiode elementen (120) met een 10 effectieve afmeting in een piekbreedte richting van de te detecteren röntgenbundel bevat die bepalend is voor het oplossend vermogen van de detectorinrichting.

3. Röntgen analyse apparaat volgens conclusie 2, net het kennerk, dat de breedte afmeting van het effectieve detectiecppervlak is aange- 15 past aan een halfwaarde breedte van te meten pieken.

4. Röntgen analyse apparaat volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat gecombineerd uit te lezen groepen fotodiode elementen zodanig zijn gerangschikt, dat door combineren van aldus verkregen gr oeps s ignalen de tweede afgeleide van het signaal direkt meetbaar is. 20

5, Röntgen analyse apparaat volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat door samenvoeging van naast elkaar gelegen fotodiode elementen een ingangsbreedte voor de detector is bepaald.

6. Röntgen analyse apparaat volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat een reeks fotodiode elementen deel uit maakt van een 25 röntgen diffractometer voor het meten aan polykristallijne objecten.

7. Röntgen analyse apparaat volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat de detector een reeks fotodicden bevat waarmede de functie van ingangsspleet en detector is gecombineerd.

8. Röntgen analyse apparaat volgens een der conclusies 1 tot 5, 30 met het kenmerk, dat een fotodiode detector deel uit maakt van een röntgen spectrometer met een dubbel focusserend monochrcmatiserend kristal.

9. Röntgen analyse apparaat volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat groepen van fotodiode elementen zodanig zijn geselecteerd, dat door combinatie van signalen daarvan zowel de signaalamplitude als signalen 35 voor het meten van piekverschuiving kunnen worden verkregen.

10. Röntgen analyse apparaat volgens een der conclusies 1 of 4, net het kenmerk, dat de fotodiode detector zodanig is uitgevoerd en geschakeld, dat onder alle omstandigheden een optimale temper atuurcompensatie is ver- 8300419 EHN 10.566 11 ' *V t kregen.

11. Röntgen analyse apparaat volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat de signaaluitleesinrichting is uitgerust met operationele versterkers. 5

12. Röntgen analyse apparaat volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat daarin een aan de vorm van een te meten lijnprofiel aangepaste detectoringangsspleet is opgencmen.

13. Röntgen analyse apparaat volgens een der conclusies 1, 3, 4 of 5, met het kenmerk, dat aan een effectief te bestralen detectarcppervlak 10 een vorm is gegeven welke overeenkomt met de vorm van een te detecteren lijnprofiel. 15 20 25 30 35 8300419