NL7903389A - Werkwijze voor het verbeteren van de warmte-afstra- lingseigenschappen van een roentgendraaianode en zo ver-kregen draaianode. - Google Patents

Werkwijze voor het verbeteren van de warmte-afstra- lingseigenschappen van een roentgendraaianode en zo ver-kregen draaianode. Download PDF

Info

Publication number
NL7903389A
NL7903389A NL7903389A NL7903389A NL7903389A NL 7903389 A NL7903389 A NL 7903389A NL 7903389 A NL7903389 A NL 7903389A NL 7903389 A NL7903389 A NL 7903389A NL 7903389 A NL7903389 A NL 7903389A
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
anode
tungsten
layer
ray
alloy
Prior art date
Application number
NL7903389A
Other languages
English (en)
Original Assignee
Philips Nv
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Philips Nv filed Critical Philips Nv
Priority to NL7903389A priority Critical patent/NL7903389A/nl
Priority to US06/135,964 priority patent/US4320323A/en
Priority to EP80200370A priority patent/EP0018685B1/en
Priority to AT80200370T priority patent/ATE337T1/de
Priority to DE8080200370T priority patent/DE3060045D1/de
Priority to JP5704880A priority patent/JPS55148356A/ja
Publication of NL7903389A publication Critical patent/NL7903389A/nl

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00X-ray tubes
    • H01J35/02Details
    • H01J35/04Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
    • H01J35/08Anodes; Anti cathodes
    • H01J35/10Rotary anodes; Arrangements for rotating anodes; Cooling rotary anodes
    • H01J35/105Cooling of rotating anodes, e.g. heat emitting layers or structures
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22CALLOYS
    • C22C27/00Alloys based on rhenium or a refractory metal not mentioned in groups C22C14/00 or C22C16/00
    • C22C27/04Alloys based on tungsten or molybdenum

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Coating By Spraying Or Casting (AREA)
  • X-Ray Techniques (AREA)

Description

·' t ·» ♦ * 27.4.1979 1 ΡΗΓί 9^32
Werkwijze voor het verbeteren van de varmte-afstralingseigenschappen van een röntgendraaianode en zo verkregen draaianode.
De uitvinding heeft betrekking op een werkwijze voor het verbeteren van de warmte-afstralingseigenschappen van een röntgendraaianode met een dragerlichaam, vervaardigd uit een molybdeenlegering en een treflaag uit een 5 wolfraamlegering, waarbij op het oppervlak van de anode een warmte-afstraling verbeterende laag wordt aangebracht.
De uitvinding heeft tevens betrekking op de zo verkregen röntgendraaianode.
Uit het Duitse gebruiksmodel G 7807*119 zijn 10 reeds röntgendraaianoden bekend, die over hun gehele oppervlak met uitzondering van de focusbaan zijn voorzien van een ruwe, door plasmaspuiten aangebrachte wolfraam-laag. De wolfraamlaag zorgt voor een verbeterde warmte-af straling. De oppervlakteruwheid van de bekende wolfraam-15 laag ligt tussen 5 ©n 10 micrometer. Het dragerlichaam van de bekende draaianode bestaat uit een molybdeenlegering met titaan, zirkoon en koolstof, terwijl de treflaag uit een wolfraam-rheniumlegering bestaat.
De bekende draaianode heeft het nadeel dat de 20 wolfraamlaag niet goed hecht op de WRe-laag. Daardoor kunnen bij gebruik deeltjes van de wolfraamlaag loslaten, waardoor de werking van de röntgenbuis ongunstig wordt beïnvloed. De uitvinding voorziet in een nieuwe werkwijze voor het verbeteren van de warmte-afstralingseigenschappen van de röntgendraaianode waarbij de zojuist ge- 7903389 *- 27.4.1979 2 ΡΗΝ 9432 noemde hechtingsproblemen niet optreden.
De uitvinding berust op het inzicht dat op de treflaag, bestaande uit een wolfraamlegering, geen wolf-raamlaag behoeft te worden aangebracht, doch dat kan 5 worden volstaan met een opruwen van het oppervlak van de treflaag.
De werkwijze volgens de uitvinding wordt gekenmerkt doordat de ri5ntgenanode over zijn gehele oppervlak, behalve ter plaatse van de focusbaan, wordt geruwd 10 door stralen met staalgrit, de in de anode opgenomen deeltjes staalgrit met een zuur worden verwijderd en het oppervlak van de anode behalve ter plaatse van de focusbaan en van de treflaag door vlamspuiten met een ruwe wolfraamlaag wordt bekleed.
15 Bij voorkeur wordt de röntgenanode geruwd door stralen met staalgrit met een deeltjesgrootte van 230 tot 800 micrometer teneinde een optimale oppervlakte-ruwheid te verkrijgen en wordt een wolfraamlaag met een oppervlakteruwheid van 5 tot 10 micrometer dpoSr plasnja-20 spuiten op de onderzijde van de anode aangebracht. Door toepassing van staalgrit met een deeltjesgrootte van 230 tot 800 micrometer wordt enerzijds· het oppervlak van de treflaag zo sterk geruwd dat de warmte-afstralende eigenschappen daarvan worden verbeterd en wordt anderzijds 25 de onderzijde van het dragerlichaam dusdanig geruwd dat de wolfraamlaag daarop goed hecht. De behandeling met een zuur is noodzakelijk om de in de anode opgenomen deeltjes staalgrit te verwijderen; wanneer deze niet worden,verwijderd wordt de werking van de röntgenbuis 30 waarin de röntgendraaianode wordt toegepast, ongunstig beïnvloed t.g.v. metaalneerslag op de wand door verdampen van de deeltjes staalgrit. De uitvinding is beperkt tot staalgrit daar dit door behandeling met zuur kan worden verwijderd. Andere soorten deeltjes zoals silici-35 umcarbide, aluminiumoxyde bf SiO^ leveren ook problemen op ten aanzien van het handhaven van het vacuum in de buis en kunnen niet worden verwijderd uit de anode.
Plasmaspuiten is voor het spuiten· van wolfraam 7903380 27.4.1979 3 ΡΗΝ 9432 Λ «si1 de best geschikte wijze van vlamspuiten.
De werkwijze volgens de uitvinding is bijzonder geschikt voor het verbeteren van de warmte-afstradings-eigenschappen van op zich bekende röntgendraaianoden 5 met een dragerlichaam uit een molybdeenlegering met titaan, zirkoon en koolstof en een treflaag uit een wolfraam-rheniumlegering. De draaianode kan uiteraard der zaak nog verdere lagen omvatten, zoals een wolfraamlaag tussen het dragerlichaam en de treflaag.
10 Uit het Duitse Auslegeschrift 207-513 is op zich bekend dat men de warmte-afstralingseigenschappen van röntgendraaianodaiin theorie moet kunnen verbeteren door een ruwen van het oppervlak zoals door zandstralen of door het aanbrengen van een laag met betere warmte-15 af stralingseigenschappen. Volgens dit octrooischrif t' verkrijgt men echter door zandstralen van een wolfraam-draaianode geen bruikbare resultaten. Bij het ontwikkelen van de werkwijze volgens de uitvinding is verder gebleken, dat het ruwen van de onderzijde van de röntgendraaianode 20 bestaande uit een molybdeenlegering geen verbetering van de warmte-afstraling oplevert. Dit hangt waarschijnlijk samen met het feit dat de röntgendraaianoden kort voor montage in de röntgenbuis 5# bij ongeveer 1500-1700°C worden ontgast. Bij die temperatuur wordt het geruwde 25 molybdeen oppervlak weer glad, terwijl het geruwde wolfraam oppervlak van de treflaag ruw blijft.
Verder valt op te merken, dat zandstralen niet geschikt is; de in de röntgendraaianode opgenomen zanddéeltjes kunnen niet of slechts zeer moeilijk worden 30 verwijderd._Dit is echter noodzakelijk om in de röntgenbuis ' een goed vacuum te handhaven.
De uitvinding wordt toegelicht aan de hand van een tekening, waarbij de figuur een doorsnede weergeeft van een röntgen-35 draaianode volgens de uitvinding.
Ih de figuur is een röntgendraaianode weergegeven, waarvan de warmte-afstralingseigenschappen zijn verbeterd volgens de werkwijze van de uitvinding. Met 1 is het drager- 7903389 4» 27.4-. 979 4 PHN 9432 t" lichaam uit een molybdeenlegeri'ng weergegeven. Geschikte molybdeenlegeringen zijn bijvoorbeeld zulke die titaan, zirkoon en koolstof of die wolfraam als legeringselement bevatten. Met 2 is een treflaag uit een wolfraamlegering 5 weergegeven. Geschikte wolfraamlegeringen'zijn bijvoorbeeld zulke die rhenium of die rhenium en verdere elementen bevatten. Met 3 is de ruwe wolfraamlaag aangegeven,· die door vlamspuiten zoals plasmaspuiten of vlamboogspuiten is aangebracht. De focusbaan is aangegeven met verwijzings-10 cijfer 4, terwijl de spil is aangegeven met 5· Het oppervlak' van de treflaag 2 is door bestralen met staal-grit geruwd, behalve ter plaatse van de focusbaan 4.
De treflaag kan een kleiner deel van het oppervlak van de' anode bedekken dan is weergegeven in de figuur.
15 De treflaag moet in ieder geval ter plaatse van de focusbaan 4 aanwezig zijn.
De werkwijze volgens de uitvinding wordt als volgt uitgevoerd. Een röntgendraaianode met een dragerlichaam uit een molybdeehlegering (bijvoorbeeld met 0,4-0,5 gew.$ 20 Ti, 0,06-0,12 gew.^· Zr en 0,01-0,04 gew.^ C), en een treflaag uit een wolfraamlegering (bijvoorbeeld met 3-5)5 gew.^ rhenium) wordt over zijn gehele oppervlak, behalve de focusbaan, geruwd door stralen met staal-grit met een deeltjesgrootte van 250 tot 800 micrometer.
25 De focusbaan wordt daarbij door een masker afgeschermd. Goede resultaten zijn verkregen met staalgrit type Nr. GH 50 van WHEEL ABRAT0R. Dan worden de in de anode opgenomen deeltjes staalgrit verwijderd door oplossen in een ongeveer 18^-ige zoutzuur oplossing (gewichts-30 procent in water). Aan de onderzijde wordt vervolgens door plasmaspuiten een wolfraamlaag aangebracht (dikte bij voorkeur 20 tot 200 micrometer). Kort voor montage in de röntgenbuis wordt de röntgendraaianode ontgast (bijvoorbeeld bij 1600°C gedurende 1/2 - 2 h).
' 25 De zo verkregen draaianode vertoont geen hechtings- problemen (daar op de treflaag geen wolfraamlaag is aangebracht) en bezit toch warmte-afstralingseigenschappen gelijkwaardig aan die van de röntgendraaianode volgens 7903389 27.4.1979 5 PHN 9432 h.et bovengenoemd Duitse geforuiksmoclel G· 78.07*119· 5 10 15 20 25 30 35 7903389

Claims (3)

1. Werkwijze voor het verbeteren van de warmte-afstralingseigenschappen van een röntgendraaianode met een drager-lichaam vervaardigd uit een molybdeenlegering en een treflaag uit een wolfraamlegering, waarbij op het opper- 5 vlak van de anode een warmte-afstraling verbeterende laag wordt aangebracht, met het kenmerk, dat de röntgenanode over zijn gehele oppervlak behalve ter plaatse van de focusbaan, wordt geruwd door bestralen met staalgrit, de in de anode opgenomen deeltjes staalgrit met een 10 zuur worden verwijderd en het oppervlak van de anode, behalve ter plaatse van de focusbaan en van de treflaag, door vlamspuiten met een ruwe wolfraamlaag wordt bekleed.
2. Werkwijze volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de röntgenanode wordt geruwd door bestralen met staal-15 grit met een deeltjesgrootte van 250-800 micrometer en een wolfraamlaag met een oppervlakteruwheid van 5 tot 10 micrometer door plasmaspuiten op de onderzijde van de anode wordt aangebracht.
3. Werkwijze volgens conclusies 1-2, met het kenmerk, 20 dat een röntgenanode met een dragerlichaam uit een molybdeenlegering met titaan , zirkoon en koolstof en een treflaag uit een wolfraam-rheniumlegering wordt geruwd en aan de onderzijde wordt voorzien van een wolfraamlaag. h. Röntgendraaianode verkregen door toepassing van de werkwijze volgens conclusies 1-3· 7903389
NL7903389A 1979-05-01 1979-05-01 Werkwijze voor het verbeteren van de warmte-afstra- lingseigenschappen van een roentgendraaianode en zo ver-kregen draaianode. NL7903389A (nl)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL7903389A NL7903389A (nl) 1979-05-01 1979-05-01 Werkwijze voor het verbeteren van de warmte-afstra- lingseigenschappen van een roentgendraaianode en zo ver-kregen draaianode.
US06/135,964 US4320323A (en) 1979-05-01 1980-03-31 Method of improving the heat radiation properties of an X-ray tube rotary anode and a rotary anode thus obtained
EP80200370A EP0018685B1 (en) 1979-05-01 1980-04-23 Method of improving the heat radiation properties of an x-ray tube rotary anode
AT80200370T ATE337T1 (de) 1979-05-01 1980-04-23 Verfahren zum verbessern der waermeabstrahlungseigenschaften einer roentgenroehren-drehanode.
DE8080200370T DE3060045D1 (en) 1979-05-01 1980-04-23 Method of improving the heat radiation properties of an x-ray tube rotary anode
JP5704880A JPS55148356A (en) 1979-05-01 1980-04-28 Method of improving heat emission of rotary anode for xxray tube

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL7903389 1979-05-01
NL7903389A NL7903389A (nl) 1979-05-01 1979-05-01 Werkwijze voor het verbeteren van de warmte-afstra- lingseigenschappen van een roentgendraaianode en zo ver-kregen draaianode.

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL7903389A true NL7903389A (nl) 1980-11-04

Family

ID=19833074

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL7903389A NL7903389A (nl) 1979-05-01 1979-05-01 Werkwijze voor het verbeteren van de warmte-afstra- lingseigenschappen van een roentgendraaianode en zo ver-kregen draaianode.

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4320323A (nl)
EP (1) EP0018685B1 (nl)
JP (1) JPS55148356A (nl)
AT (1) ATE337T1 (nl)
DE (1) DE3060045D1 (nl)
NL (1) NL7903389A (nl)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL8300251A (nl) * 1983-01-25 1984-08-16 Philips Nv Werkwijze voor het vervaardigen van een draaianode voor roentgenbuizen en zo verkregen anode.
DE3490721T1 (de) * 1984-06-08 1986-05-15 Lev Gavrilovič Andrušenko Drehanode für eine Röntgenröhre und Röntgenröhre mit dieser Drehanode
NL8402828A (nl) * 1984-09-14 1986-04-01 Philips Nv Werkwijze voor de vervaardiging van een roentgendraaianode en roentgendraaianode vervaardigd volgens de werkwijze.
US4943989A (en) * 1988-08-02 1990-07-24 General Electric Company X-ray tube with liquid cooled heat receptor
US5008918A (en) * 1989-11-13 1991-04-16 General Electric Company Bonding materials and process for anode target in an x-ray tube
DE4443074C1 (de) * 1994-12-03 1995-12-14 Winter & Sohn Ernst Verfahren zur Herstellung von abrasiv belegten Einkegelscheiben, insbesondere Abrichtscheiben
US5629970A (en) * 1996-01-11 1997-05-13 General Electric Company Emissivity enhanced x-ray target
US6863930B2 (en) 2002-09-06 2005-03-08 Delphi Technologies, Inc. Refractory metal mask and methods for coating an article and forming a sensor
DE102005003445B4 (de) * 2005-01-21 2009-06-04 H.C. Starck Hermsdorf Gmbh Metallsubstrat-Werkstoff für die Anodenteller von Drehanodenröntgenröhren, Verfahren zur Herstellung eines solchen Werkstoffes sowie Verfahren zur Herstellung eines Anodentellers unter Verwendung eines solchen Werkstoffes
US20090060139A1 (en) * 2007-08-28 2009-03-05 Subraya Madhusudhana T Tungsten coated x-ray tube frame and anode assembly
US9159523B2 (en) 2007-08-28 2015-10-13 General Electric Company Tungsten oxide coated X-ray tube frame and anode assembly
CN111415852B (zh) * 2020-05-06 2024-02-09 上海联影医疗科技股份有限公司 X射线管的阳极组件、x射线管及医疗成像设备

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2376219A (en) * 1944-01-28 1945-05-15 Gen Electric Fabrication of quartz resonators
DE1050457B (de) * 1956-03-15 1959-02-12 Compagnie Generale De Radiologie, Paris Röntgenröhre mit vorzugsweise rotieren der hochtemperaturfester Anode
FR73772E (fr) * 1958-06-24 1960-09-05 Radiologie Cie Gle Amélioration des tubes radiogènes
US3188776A (en) * 1962-08-20 1965-06-15 Wheelabrator Corp Surface treatment of steel
BE635133A (nl) * 1963-07-19
US3400010A (en) * 1964-09-28 1968-09-03 Standard Internat Corp Method of making a composite metal article
US3731128A (en) * 1972-03-08 1973-05-01 Siemens Ag X-ray tube with rotary anodes
US3753021A (en) * 1972-04-03 1973-08-14 Machlett Lab Inc X-ray tube anode target
JPS5120763Y2 (nl) * 1972-04-14 1976-05-29
US4038786A (en) * 1974-09-27 1977-08-02 Lockheed Aircraft Corporation Sandblasting with pellets of material capable of sublimation

Also Published As

Publication number Publication date
ATE337T1 (de) 1981-11-15
EP0018685B1 (en) 1981-10-21
JPS55148356A (en) 1980-11-18
JPH0145704B2 (nl) 1989-10-04
US4320323A (en) 1982-03-16
DE3060045D1 (en) 1981-12-24
EP0018685A1 (en) 1980-11-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL7903389A (nl) Werkwijze voor het verbeteren van de warmte-afstra- lingseigenschappen van een roentgendraaianode en zo ver-kregen draaianode.
US4090103A (en) X-ray target
JP3510993B2 (ja) プラズマ処理容器内部材およびその製造方法
JP5037649B2 (ja) スパッタリングのバーンインに要する時間を短縮してスパッタリングの際に発生するパーティクルを最小限に抑える方法、及びこのときに用いられるターゲットアセンブリ
JP4372748B2 (ja) 半導体製造装置用部材
NL8300487A (nl) Draaianode voor een roentgenbuis.
Maxman Target preparation techniques
US20230143320A1 (en) Sputter trap having a thin high purity coating layer and method of making the same
US5264801A (en) Active carbon barrier for x-ray tube targets
US4559125A (en) Apparatus for evaporation arc stabilization during the initial clean-up of an arc target
JPH0334244A (ja) コーティング付き物品
US3243636A (en) Rotary anode for X-ray tubes
US2410733A (en) Method of making mechanically resistant and highly reflecting metallic films
US3620957A (en) Targets for radio frequency sputtering apparatus
JPH02285067A (ja) 真空薄膜形成装置
SE7705088L (sv) Rontgenrorsanod med legerad yta och forfarande for framstellning derav
JPH0598423A (ja) チタンの酸化防止用のクロム被膜
US3372008A (en) Metal reflector and method of manufacturing such reflectors
Philips Procedure for the improvement of the heat radiating properties of a rotating X-ray anode, and the rotating anode thus obtained
US2903611A (en) X-ray tube comprising a cast copper anode sealed with a copper-silver electric alloy
JP2560126B2 (ja) シンクロトロン放射光用反射ミラー
SU513818A1 (ru) Шихта дл наплавки
JP3345439B2 (ja) X線管回転陽極の製造方法
US3930901A (en) Coating ingot pretreatment
JP2905865B2 (ja) 金属成形体表面の蒸着方法及び蒸着装置

Legal Events

Date Code Title Description
A1B A search report has been drawn up
BV The patent application has lapsed