NL7714501A

NL7714501A - OPTIC-MECHANICAL SCANNER.

Info

Publication number: NL7714501A
Application number: NL7714501A
Authority: NL
Original assignee: Trt Telecom Radio Electr
Priority date: 1977-01-26
Filing date: 1977-12-28
Publication date: 1986-12-01
Also published as: IT1203128B; NL190769C; NL190769B; FR2593657B2; GB1605268A; DE2802950A1; DE2802950C2; FR2593657A2

Description

t - .t -.

AANVRAAGSTER: S.A. TELECOMMUNICATIONS RADIOELECTRIQUES ET TELEPHONIQUES T.S.T. te PAKIJS, Frankrijk.APPLICANT: S.A. TELECOMMUNICATIONS RADIO ELECTRIQUES ET TELEPHONIQUES T.S.T. in PAKIS, France.

TITEL : Optisch-mechanische aftastinrichting.TITLE: Optical-mechanical scanner.

De uitvinding betreft een derde verbetering bij de uitvinding die het onderwerp vormde van aanvraageters nederlandse octrooiaanvrage 76 01301 alsmede een eerder ingediende eerste en tweede aanvullii igs-aanvrage.The invention relates to a third improvement in the invention which was the subject of applicant's Dutch patent application 76 01301 as well as a previously filed first and second supplementary application.

3 De onderhavige uitvinding vormt een verbetering van de in richting voor het optisch aftasten van het zichtveld en visualisati» van het veld zoals die beschreven zijn in de hoofdaanvrage en de beide eerdere aanvullingsaanvragen. De uitvinding betreft het raste: -gedeelte van die aftasting in combinatie met de beweging van de vel<-10 spiegel.The present invention improves the optical field of view and field visualization apparatus as described in the main application and the two previous supplemental applications. The invention relates to the rast portion of that scan in combination with the movement of the sheet <-10 mirror.

De hoofdaanvrage en de twee eerdere aanvullingen beschrijven een inrichting voor de optische aftasting van een zichtveld dat ver* deeld is in verschillende zones en voor het zichtbaar maken van dit veld, in welke richting de aftasting uitgevoerd wordt in twee onder-15 ling loodrecht staande richtingen, en wel in een richting x een aftasting aangeduid als rasteraftasting of beeldaftasting, welke inrichting de aftastingen uitvoert volgens de bundels die afkomstig zijn uit de verschillende zones van het veld en die zorgt voor de convergents van deze bundels op een element dat gevoelig is voor de zich in de 20 bundels bevindende straling, en welke inrichting in het algemeen achtereenvolgens in de baanrichting van de invallende mediane bundel die afkomstig is van het beeldveld, omvat een objektief, rasteraf-tastmiddelen in de richting £, een afsnijstelsel voor de bundels die begrensd worden door de opening van het objektief naar de lijnaftast-23 middelen van het veldbeeld van het objektief in de richting x en het gevoelige element, welke lijnaftastmiddelen, gevoelig element en eventueel andere elementen in verband met de eerdergenoemde dienen voor de rechtstreekse visualisatie van het beeld van het geanalyseerde veld, waarbij: 30 de optische as van het objektief verwisselbaar is, en het brard- vlak ervan gekromd is en zodanig dat het krommingsmiddelpunt gelegen 7714501 - 2 - , is in het middelpunt van de uittreepupil van het objektief, de rasteraftastmiddelen worden gevormd door een vlakke spiege die met een been en weergaande beweging draait om een as evenwijdig aan de richting x en welke geplaatst is in de convergente bundel 5 achter het objektief bij het beeld van het veld in dit objektief, de lijnaftastmiddelen enerzijds worden gevormd door de tromme!. die gelijkmatig draait om een vaste as YY' welke ligt in het genoemd» vlak P en welke trommel een groot aantal platte reflekterende vlakken draagt die regelmatig zijn verdeeld over de omtrek van de tromme.The main application and the two previous additions describe a device for the optical scanning of a field of view divided into different zones and for visualizing this field, in which direction the scanning is carried out in two mutually perpendicular directions in a direction x, a scan referred to as a raster scan or an image scan, which device performs the scanning according to the beams coming from the different zones of the field and which ensures the convergent of these beams on an element sensitive to the radiation contained in the 20 beams, and which device generally successively in the path direction of the incident median beam emanating from the image field comprises an objective, raster scanning means in the direction £, a beam cutoff system through the aperture of the objective to the line scan 23 means of the field image of the objective in the direction x and the sensitive element, which line scanning means, sensitive element and possibly other elements related to the aforementioned serve for the direct visualization of the image of the analyzed field, wherein: 30 the optical axis of the objective is interchangeable, and the its curved plane is curved and such that the center of curvature is located 7714501-2, at the center of the exit pupil of the objective, the grating scanning means is formed by a flat key which rotates with one leg and in reverse motion about an axis parallel to the direction x and which is placed in the convergent beam 5 behind the objective at the image of the field in this objective, the line scanning means on the one hand are formed by the drum. which rotates uniformly about a fixed axis YY 'which lies in the said plane P and which drum carries a large number of flat reflecting surfaces which are regularly distributed over the circumference of the drum.

10 en anderzijds een beeldtransportstelsel dat symmetrisch is ten opzicite van het vlak P en dat een beeld vormt van het gevoelige element in een vast punt A* van de draaias YY* van de trommel, welke trommel geplaatst is in de convergerende bundel in de baan van dit transport-stelsel aan de beeldzijde van het gevoelige element terwijl het 15 symmetriepunt van het punt A* ten opzichte van elk vlak van de trommel wanneer dit vlak loodrecht staat op het vlak P gelegen is in de nabijheid van het symmetriepunt D van het brandpunt van het objektief ten opzichte van de rasterspiegel in een positie evenwijdig aan de as YY', 20 en waarbij het optisch afsnijstelsel voor de bundels wordt gevormd door een concave spiegel, veldspiegel genaamd, met het vlak P als symmetrievlak, en waarvan de top gelegen is in de nabijheid van D op de as ZZ' door D en loodrecht op YY' welke spiegel zodanig is bepaald dat hij het middelpunt 0 van de uittreepupil van het 25 objektief conjugeert met een vast punt 0' van de as YY', welk punt 0' het symmetriepunt is ten opzichte van ZZ' van het snijpunt van de optische as van het objektief met de as YY', en welke veldspiegel, om eventueel ervoor te zorgen dat de dode aftastbijd tussen twee achtereenvolgende lijnen nihil is,bovendien een breedte heeft in de richting 30 x welke iets kleiner is dan de lengte van de geanalyseerde lijn die zelf gelijk is aan de afstand tussen de beelden van de detector in twee opeenvolgende vlakken van de draaiende trommel, en welke spiege!. al of niet aangedreven wordt in een beweging met kleine amplitude in fase met de beweging van de rasteraftastmiddelen, welke kleine bewe-35 ging enerzijds bestaat uit een heen en weergaande translatie volgens “de as ZZ* in de nabijheid van D en een heen en weergaande 7714501 - 3 - rotatie om een as evenwijdig aan de richting x symmetrisch ten opzichte van ZZ*, waarbij de amplitude van deze translatie zodanig is dat daardoor een correctie wordt gemaakt van het verlopen van het brandpunt «is gevolg van de rasteraftastmiddelen, terwijl de amplitude van de rotaiie 5 zodanig is dat deze zorgt voor het vastblijven in 0' van de geconjugeerde door de veldspiegel van het middelpunt 0 van de uittreepupil van het objektief tijdens de heen en weergaande rotatie van de raster- . aftastmiddelen.10 and, on the other hand, an image transport system which is symmetrical with respect to the plane P and which forms an image of the sensitive element in a fixed point A * of the axis of rotation YY * of the drum, which drum is placed in the converging beam in the path of this transport system on the image side of the sensitive element, while the symmetry point of the point A * with respect to each plane of the drum when this plane is perpendicular to the plane P is located in the vicinity of the symmetry point D of the focal point of the objective with respect to the grating mirror in a position parallel to the axis YY ', 20 and wherein the optical cut-off system for the beams is formed by a concave mirror, called field mirror, with the plane P as the plane of symmetry, the top of which is located in the proximity of D to the axis ZZ 'through D and perpendicular to YY', which mirror is determined such that it conjugates the center 0 of the exit pupil of the objective with a fixed point 0 'of the axis YY ', which point 0' is the point of symmetry with respect to ZZ 'of the intersection of the optical axis of the objective with the axis YY', and which field mirror, if necessary, to ensure that the dead scanning distance between two successive lines is nil, moreover, has a width in the direction 30 x which is slightly less than the length of the analyzed line which is itself equal to the distance between the detector images in two consecutive planes of the rotating drum, and which mirror !. whether or not it is driven in a movement of small amplitude in phase with the movement of the raster scanning means, which small movement consists on the one hand of a reciprocating translation along the axis ZZ * in the vicinity of D and a reciprocating translation 7714501-3 - Rotation about an axis parallel to the direction x symmetrical with respect to ZZ *, the amplitude of this translation being such that a correction of the course of the focal point «is thereby made due to the raster scanning means, while the amplitude of the rotation 5 is such that it ensures that the conjugate remains fixed in 0 'by the field mirror of the center 0 of the exit pupil of the objective during the reciprocating rotation of the grating. scanning means.

Bij deze inrichting slaagt men erin om tijdens de rasteraftas-10 ting het verloop van het brandpunt van de analysebundel in de nabijheid van het punt D te voorkomen, alsmede om ervoor te zorgen dat de lijnaft ast- el event en onder een konstante invalshoek doorlopen worden dooi de gemiddelde stralen van de bundels ongeacht de richtingen het geanalyseerde veld, door ean handige combinatie en synchronisatie van 13 de heen en weergaande draaibeweging van de rasterspiegel en de draaien verplaatsingsbeweging van de veldspiegel.In this arrangement, during the scanning scan, it is possible to prevent the course of the focus of the analysis beam in the vicinity of the point D, and to ensure that the line scanning is carried out at a constant angle of incidence. thaw the average rays of the beams regardless of the directions in the analyzed field, by a convenient combination and synchronization of the reciprocating rotational movement of the raster mirror and the rotational displacement movement of the field mirror.

Bij dergelijke systemen is het steeds van belang om de heen-en weer bewegende massa van de rasterspiegel te beperken, dus de afmetingen ervan, hetgeen er toe leidt dat deze spiegel zo dicht mo-20 gelijk bij het brandpunt van het objektief wordt geplaatst. Bit is d<> uitkomst die nagestreefd wordt in het duitse octrooischrift 2 011 SI 3· In deze octrooipublikatie wordt een inrichting beschreven voor het aftasten van een veld in een enkele richting met behulp van een vlakke spiegel die de door een objektief doorgelaten bundel heen en weer 25 laat gaan, welke bundel voortdurend in eenzelfde vast punt wordt ge-focaliseerd. Deze uitkomstvordt verkregen door aan de vlakke spiegel een zodanige beweging te geven dat hij steeds raakt aan een elliptische kromme, waarvan één van de brandpunten geplaatst is in het hoofdvlak van het objektief en het andere in het genoemde vaste punt, waarbij ce 30 brandpuntsafstand f van het objektief volgens dat octrooischrift gelijk is aan de som van de halve assen a en b van de ellipsen, hetgeen er op neerkomt dat a * b. Hieruit volgt dat de ellipsen, vanuit het oogpunt van de zuivere theorie in feite een cirkel is, en dat volgens dit octrooischrift het brandpunt zich bevindt in het hoofdvlak van het 35 objektief. Een dergelijke opstelling laat, zelfs wanneer hij op de 7714501 - If - benaderde wijze wordt uitgevoerd, slechts weinig afstand tussen ob-jektief en brandpunt. Het zou dus moeilijk zijn cm in het brandpunt de top te plaatsen van de veldspiegel van de optisch mechanische aftastinrichting volgens de hoofdaanvrage waarbij de onderhavige aan-5 vullmg behoort. Bovendien hebben de gemiddelde stralen van de analyse-bundels na hun convergentie in het vaste punt variabele oriëntaties ii afhankelijkheid van de geanalyseerde veldrichting. Hieruit volgt dat de inrichting volgens het duitse octrooischrift 2 011 885 opzichzelf niet de funktie van rasteraftasting volgens de hoofdaanvrage kan 10 vervullen. Een ander bezwaar van de inrichting volgens het duitse octrooischrift vloeit voort uit het feit dat de spiegel loopt op een praktisch cirkelvormige ellips in de nabijheid van de kleine as ervan op een afstand welke praktisch de helft is van de brandpuntsafstand van het objektief. De breedte van de opgevangen bundel en het oppervlak 15 van de spaqgel blijven dus relatief groot, zodat daardoor de epiegel zwaar en omvangrijk blijft.In such systems it is always important to limit the reciprocating mass of the grating mirror, thus its dimensions, which leads to this mirror being placed as close as possible to the focal point of the objective. Bit is d <> result sought in German Patent Specification 2 011 SI 3 · This patent publication describes a device for scanning a field in a single direction using a flat mirror passing the beam transmitted through an objective and which beam is continuously focused in the same fixed point. This result is obtained by giving the flat mirror such a movement that it always touches an elliptical curve, one of the focal points of which is placed in the main plane of the objective and the other in the aforementioned fixed point, whereby the focal length f of the objective according to that patent is equal to the sum of the semi-axes a and b of the ellipses, which means that a * b. It follows that, from the point of view of pure theory, the ellipses are in fact a circle, and that according to this patent the focal point is located in the major plane of the objective. Such an arrangement, even when performed in the 7714501 - If - approximation, leaves only little distance between objective and focal point. Thus, it would be difficult to position the apex of the field mirror of the optical mechanical sensing device of the main application to which the present supplement belongs, in the focus. In addition, the mean rays of the analysis beams after their convergence in the fixed point have variable orientations ii dependence on the analyzed field direction. It follows that the device according to German patent specification 2 011 885 cannot in itself fulfill the function of raster scanning according to the main application. Another drawback of the device according to the German patent arises from the fact that the mirror runs on a practically circular ellipse in the vicinity of its minor axis at a distance which is practically half the focal length of the objective. The width of the collected beam and the surface of the spa gel thus remain relatively large, so that the epiegel remains heavy and bulky.

Volgens de onderhavige uitvinding wordt de optisch-mechanische aftastinrichting volgens de hoofdaanvrage en de beide eerdere aanvul-lingsaanvragen voorzien van een nieuwe versie van de rasteraftastmid-20 delen die niet de bezwaren vertonen van de hierboven besproken oudere techniek. Deze middelen omvatten essentieel een vlakke spiegel waarvan de beweging in samenhang met die van de veldspiegel zo uitgedacht is dat men gelijktijdig scherpstelling verkrijgt van de bundel in een vast punt dat zich in hoofdzaak bevindt in de top van de holle veld-25 spiegel, en weerkaatsing van de gemiddelde straal van de bundelden stabiele richting onafhankelijk van de richting van het geanalyseerde veld.In accordance with the present invention, the optical mechanical scanning device of the main application and the two previous supplemental applications are provided with a new version of the raster scanning means which do not exhibit the drawbacks of the prior art discussed above. These means essentially comprise a plane mirror whose movement in conjunction with that of the field mirror is designed to simultaneously focus the beam in a fixed point substantially located at the top of the concave field mirror, and reverberation of the mean radius of the beams stable direction independent of the direction of the analyzed field.

De uitvinding laat ook de rasterspiegel lopen en kantelen op een zahnige kromme dat hij zich voortdurend bevindt in een positie 50 tamelijk dicht bij het brandpunt van het objektief, en zodanig dat de bundel gefocaliseerd wordt in een vast punt onafhankelijk van de richting van het geanalyseerde veld. De veldspiegel wordt op zijn beurt aangedreven met een enkele rotatiebeweging, synchroon met de beweging van de rasterspiegel en zodanig dat hij de gemiddelde straal 35 weerkaatst van de bundel die geanajjseerd wordt door de rasterspiegel volgens een vaste straal._ 7714501 - 5 -The invention also makes the grating mirror rotate and tilt on a similar curve that it is constantly in a position 50 rather close to the focal point of the objective, and such that the beam is focused in a fixed point independent of the direction of the analyzed field. . The field mirror, in turn, is driven with a single rotational movement, synchronous with the movement of the grating mirror and such that it reflects the average beam 35 of the beam that is anjected by the grating mirror according to a fixed radius ._ 7714501 - 5 -

In een voorkeursuitvoering van de uitvinding, overeenkomende met het geval waarin het brandvlak van het objektief bolvormig is en met de holte naar het objektief gekeerd, is de kromme die omslotei wordt door de rasterspiegel een ellips met een excentriciteit die 5 aanzienlijk van de eenheid kan verschillen en waarvan een van de braid-punten gelegen is in het middelpunt van de uittreepupil van het objectief en waarvan het andere bradpunt het vaste focalisatiepunt van de bundel vormt en in hoofdzaak gelegen is in de top van de veldspiegel en samenvallend met het beeld van de detector dat wordt gegeven door 10 de lijnaftastmiddelen afkomstig van het midden van een lijn· De veld· spiegel gaat heen en weer om een as welke loopt door dit focalisatiepunt. Synchroon met de rasterspiegel, zodat de gemiddelde straal vai een bndel wordt gereflekteerd in een vaste richting en aldus wordt gezorgd voor de optische toevoeging van het middelpunt van de uittre»-pupil, met een vast punt van de rotatieas van het lijnaftaststelsel.In a preferred embodiment of the invention, corresponding to the case where the focal plane of the objective is spherical and with the cavity facing the objective, the curve enclosed by the grating mirror is an ellipse with an eccentricity that can differ significantly from the unit and of which one of the braid points is located at the center of the exit pupil of the objective lens and the other brad point is the fixed focus point of the beam and is substantially located at the top of the field mirror and coincides with the image of the detector which is given by the line scanning means from the center of a line · The field · mirror reciprocates about an axis passing through this focus point. Synchronous with the grating mirror, so that the mean radius of a band is reflected in a fixed direction and thus provides the optical addition of the center of the exit pupil, with a fixed point of the axis of rotation of the line scanning system.

Een vereenvoudigde vanant van de uitvinding, die in het bijzonder bruikbaar is wanneer de amplitude van de rasteraftasting beperkt is, bestaat daarin dat, als loopkromme voor de rasterspiegel de cirkel wordt gekozen die raakt aan deze ellips in het raakpunt vai 20 de spiegel dat overeenkomt met de middenrichting van het geanalyseerde veld en gecentreerd op het kromningsmiddelpunt van de ellips in het aanrakingspunt. Er wordt aldus een licht verlopen van het brandpunt geïntroduceerd aan weerszijden van het veldmiddelpunt· Deze wordt verminderd door de draaias van de veldspiegel over een zeer kleine 25 afstand te verplaatsen ten opzichte van het brandpunt van de ellips*A simplified vanant of the invention, which is particularly useful when the amplitude of the raster scan is limited, consists in that, as the raster curve running curve, the circle is chosen which tangents to this ellipse in the tangent point of the mirror corresponding to the center direction of the analyzed field and centered on the center of curvature of the ellipse in the touch point. Thus, a slight focus shift is introduced on either side of the field center point · It is reduced by moving the axis of rotation of the field mirror a very small distance from the focus point of the ellipse *

Volgens de uitvinding kan de loopkromme van de rasterspiegel als funktie van de kromming van het brandvlak van het objektief kegelvormig zijn en verschillend van een ellips. Aldus is deze krommi» een parabool voor een plat brandvlak en een uittreepupil van het objek-30 tief welke teruggebracht is op oneindig en een hyperbool voor een convex brandvlak ten opzichte van invallend licht en een uittreepupil. die zich bevindt achter het brandvlak.According to the invention, the running curve of the grating mirror as a function of the curvature of the focal plane of the objective can be conical and different from an ellipse. Thus this curve is a parabola for a flat focal plane and an exit pupil of the objective which is reduced to infinity and a hyperbola for a convex focal plane with respect to incident light and an exit pupil. which is located behind the focal plane.

De uitvinding zal hierna worden toegelicht aan de hand van de bijgaande tekening van enkele uitveringsvoorbeelden.The invention will be elucidated hereinbelow with reference to the annexed drawing of some embodiment examples.

35 Eig* 1 is een doorsnedevoorstelling van een uitvoeringsvorm van de optisch mechanische aftastinrichting volgens a* hiwfriganyrage 7714501 - 6 - en de beide eerdere aanvullingsaanvragen;Eig * 1 is a cross-sectional view of an embodiment of the optical mechanical scanner according to a * hiwfriganyrage 7714501-6 - and the two previous supplementary applications;

Fig. 2 stelt een doorsnede voor van de rasteraftastmiddelen in combinatie met de veldspiegel volgens de onderhavige uitvinding;Fig. 2 represents a cross-section of the field scanning means in combination with the field mirror of the present invention;

Fig. 3 stelt een speciale uitvoeringsvorm van deze middelen 5 voor;Fig. 3 represents a special embodiment of these means 5;

Fig. k is een kromme met betrekking tot de voorgaande uitvoeringsvorm waarin de uitgevoerde correctie is aangegeven voor het verloop van het brandpunt als funktie van de veldhoek.Fig. k is a curve with respect to the previous embodiment in which the correction performed is indicated for the course of the focal point as a function of the field angle.

In fig. 1 vindt men, volgens de doorsnede door het symmetric-10 vlak P, de struktuur terug van het geheel van de inrichting volgens de hoofdaanvrage en de beide eerdere aanvullingsaanvragen. Door het verwijzingscijfer 11 wordt een vast objektief aangeduid waarvan de optische as 12 is en het brandpunt F. Het objektief 11 is hier getekend als opgebouwd met behulp van 'lenzen. Uit de hoofdaanvrage is bekend 13 dat dit objektief ook met behulp van spiegels kan worden samengesteld. De optische as 12 snijdt de as ïï' in het punt E. De as Yï* is de draaias van een stelsel dat bestaat uit een aandrijfinrichting 13 en trommel 13' welke aan de zijkanten een groot aantel reflekterende vlakken draagt. Zoals vermeld, is in de hoofdaanvrage kan deze trom-20 mei verschillende vormen hebben. Hij wordt hier prismatisch verondersteld, waarbij de reflekterende vlakken regelmatig verdeeld zijn rondom de as ÏÏ'. Een van deze vlakken is voorgesteld bij 17 in een stand loodrecht op het vlak P. De spiegel 1*t, rasterspiegel genaamd, is beweegbaar om een as loodrecht op het Tlak van tekening en gaande 23 door E. In feite3oopt volgens de uitvinding deze as niet noodzakelijkerwijze door E. Deze in fig.1 weergegeven plaatsing verdient slechte: de voorkeur in het geval waarin de inrichting, zoals vermeld in de hoofdaanvrage, voorzien is van extra middelen voor het verkrijgenfeei; rechtstreekse visualisatie van het veld, met behulp van elektrolumincs-30 cente diodes. De spiegel 14 weerkaatst alle bundels die uit een zone van het veld komen en die door het objektief 11 met de spiegel 16 gaan, waar van dit veld een beeld wordt gevormd dat zich in hoofdzask bevindt op deze laatste spiegel. In fig.1 is de speciaal aangeduide bundel 13 die waarvoor de gemiddelde straal die is welke samenvalt 35 met de optische as 12, zodat het beeld ontstaat in het D op de as ZZ' loodrecht op YY1 overeenkomend met het midden van het veld.___ 7714501 - 7 -Fig. 1 shows, according to the section through the symmetric plane P, the structure of the whole of the device according to the main application and the two previous supplementary applications. Reference numeral 11 designates a fixed objective, the optical axis of which is 12 and the focal point F. The objective 11 is shown here as constructed using lenses. It is known from the main application 13 that this objective can also be assembled with the aid of mirrors. The optical axis 12 intersects the axis II at the point E. The axis Y1 is the axis of rotation of a system consisting of a drive device 13 and drum 13 'which carries a large number of reflective surfaces on the sides. As mentioned, in the main application, this drum may take various forms. It is presumed prismatic here, with the reflecting surfaces regularly distributed around the axis. One of these planes is represented at 17 in a position perpendicular to the plane P. The mirror 1 * t, called grating mirror, is movable about an axis perpendicular to the Tlak of drawing and passing 23 through E. In fact, according to the invention, this axis not necessarily by E. This arrangement shown in Figure 1 is poor: preferred in the case where the device, as stated in the main application, is provided with additional means for obtaining fees; direct visualization of the field, using electrolumincs-30 cente diodes. The mirror 14 reflects all beams coming from a zone of the field and passing through the objective 11 with the mirror 16, where an image is formed of this field, which is mainly located on this last mirror. In Fig. 1, the specially designated beam 13 is that for which the mean beam is that coinciding with the optical axis 12, so that the image is created in D on the axis ZZ 'perpendicular to YY1 corresponding to the center of the field. 7714501 - 7 -

De zogenaamde rasterspiegel 1*f zorgt voor de aftasting van > het veld volgens de richting y loodrecht op de assen 12 en ligt in j: het vlak van tekening, jThe so-called grating mirror 1 * f scans the field in the direction y perpendicular to the axes 12 and lies in j: the plane of the drawing, j

De inrichting omat een holle spiegel die van de in A geplaatste 5 detector 19 een beeld vormt in A', Hij wordt bijvoorbeeld gevormd LThe device comprises a hollow mirror which forms an image in A 'of the detector 19 placed in A, for example it is formed L

door het geheel van twee delen van een paraboloïde 18 resp, 18* als 1 omwentelingsvorm om de as YY1 en waarvan de reflekterende vlakken 1 tegenover elkaar liggen. De toppen van deze paraboloïde zijn S resp. | S' en de brandpunten zijn A resp. .A*. Ze bevinden zich op YY*. A* |by the whole of two parts of a paraboloid 18 resp. 18 * as 1 revolution form about the axis YY1 and of which the reflecting surfaces 1 are opposite each other. The tops of this paraboloid are S resp. | S 'and the focal points are A resp. .A*. They are located on YY *. A * |

10 is het symmetriepunt van D ten opzichte van het vlak 17 van de tromnel. J10 is the point of symmetry of D with respect to the plane 17 of the drum. J

Het systeem dat wordt gevormd door de draaiende trommel 13*, ί j de spiegels 18, 181 en de detector 19 maakt bij draaiing van de troa-mel de analyse mogelijk, lijn voor lijn, volgens de richting x loodrecht op het vlak van tekening, van het beeld van het veld dat wordt 15 gegeven door het objektief 11 en de rasterspiegel 14 in de'nabijheic van het punt D. Dit stelsel vormt het lijnanalysestelsel of analyse x stelsel. De spiegel 16, die symmetrisch is ten opzichte van het vlak (ZZ1, YY') en waarvan de top ligt in de nabijheid van D, zorgt voor de optische toevoeging van het middelpunt van de uittreepupil ( 20 0 van het objektief 11 met het punt O1 dat vast ligt op de as YY', als symmetriepunt van E ten opzichte van ZZ', zodat gezorgd wordt ί voor de convergentie op de detector 19 van alle bundels die liggen ! r j op de uittreepupil van het objektief 11. Deze spiegel 16 vormt, omdab ! i hij het geanalyseerde veld begrest, de zogenaamde veldspiegel. | 25 1^ fig.2 is de inrichting slechts gedeeltelijk in doorsnede < ! weergegeven door het symmetrievlak P ervan. Men vindt het objektief j terug onder het verwijzingscijfer 11 met de optische as 12 ervan, en ! het brandpunt F. De kromme 21 stelt de doorsnede voor van het brand- ; vlak van dit objektief door het punt P. Voor beter begrip van het 50 verschil met de oudere techniek wordt verondersteld dat de uittreepupil niet samenvalt met het hoofdvlak van het objektief. Deze pupil wordt aangeduid door het verwijzingscijfer 22, terwjjL het hoofdvlak verondersteld wordt volgens 11. Het middelpunt van deze pupil is het punt 0. In dit voorbeeld is het brandvlak dat men ziet van O hol->5 _bolvormig. Het krommingsmiddelpunt ervan is 0. De kromme 21 is dus 771 4 501 - 8 - een cirkel. Men vindt ook in deze figuur de draaias ïï' terug van de lijnaftastmiddelen, en het punt D dat samenvalt met het beeld van de detector dat gegeven wordt door de lijnaftastmiddelen wanneer de aftasting ligt in het midden van een lijn. 0' op de lijn ïï1 is een va£t-5 punt dat het optisch toegevoegde punt is van het punt 0 door de rastor-spiegel en de veldspiegel waarvan in het navolgende de positie en de beweging zullen worden uiteengezet. Door het verwijzingscijfer 23 is een ellips aangeduid, waarvan de brandpunten, resp. 0 en D zijn, en waarvan de grote as gelijk is aan OF, de kromtestraal in F van het 10 brandvlak 21. De rasterspiegel waarvan het reflekterende oppervlak tegenover D ligt, verplaatst zich waarbij hij voortdurend blijft raken aan deze ellips, en waarbij het kontaktpunt van de spiegel met deze ellips het snijpunt is van deze ellips met de gemiddelde straal van de ganalyseerde bundel. In fig. 2 zijn twee van deze bundels ge-15 tekendt de middenbundel 15 die convergeert in F en waarvoor de rast< r-spiegel zich bevindt in de stand T, waarbij het kontaktpunt met de ellips E is, het snijpunt van 12 met de ellips} verder de buitenste bundel 2h die convergeert in F^ op de kromme 21 en waarvoor de raster-spiegel zich in de stand bevindt, waarbij het kontaktpunt met de 20 ellips E^ is, het snijpunt van de straal 25 met de ellips. De punten F^ en resp. op 21 en 23 zijn de punten analoog aan F^ en E^ voor de buitenste analysebundel die de symmetriejjundel van 2k is ten opzichte van de optische as. Vanneer de rasterspiegel afwisselend loopt op de ellips 23 van E^ tot E^ en van Eg tot E^ zal hij de geanalyseerde 25 bundel focaliseren in het punt D onafhankelijk van zijn plaats op de ellips. Men bereikt aldus dat het veld wordt afgetast in de rasterzir ander enig verloop van de focalisatie in het punt D. In dit punt is de top geplaatst van de holle veldspiegel 16 waaraan een rotatiebe-weging gegeven wordt om een as loodrecht op F en gaande door D synchroon 30 met de beweging van de rasterspiegel en zodanig dat de gemiddelde straal van de geanalyseerde bundel, zoals bijvoorbeeld 12 of 25 weerkaatst wordt volgens de vaste straal DO*. Bij voorkeur ligt, voor het verminderen van de omvang van de rasterspiegel «n voor verkleining v«n het gewicht ervan, de boog E^E^ van de gebruikte ellips in de nabijheid 35 van het punt D en op afstand van de kleine as van de ellips.The system formed by the rotating drum 13 *, the mirrors 18, 181 and the detector 19 allows the analysis, when rotating the blade, line by line, in the direction x perpendicular to the plane of the drawing, of the image of the field given by the objective 11 and the grating mirror 14 in the annex of the point D. This system forms the line analysis system or analysis x system. The mirror 16, which is symmetrical with respect to the plane (ZZ1, YY ') and whose apex is in the vicinity of D, provides the optical addition of the center of the exit pupil (20 0 of the objective 11 with the point O1 which is fixed on the axis YY ', as a point of symmetry of E with respect to ZZ', so that convergence on the detector 19 of all beams lying on the exit pupil of the objective 11 is ensured. This mirror 16 forms Because it buries the analyzed field, the so-called field mirror, Fig. 2 shows the device only partly in cross-section by its plane of symmetry P. The objective j is found under the reference numeral 11 with the optical axis 12 thereof, and the focal point F. Curve 21 represents the cross section of the focal plane of this objective through point P. For a better understanding of the difference with the older technique, it is assumed that the exit pupil does not coincide with the major plane of h et objective. This pupil is indicated by the reference numeral 22, while the main plane is assumed to be according to 11. The center of this pupil is point 0. In this example, the focal plane seen from O is concave-spherical. Its center of curvature is 0. So curve 21 is 771 4 501 - 8 - a circle. Also shown in this figure is the axis of rotation of the line scanning means, and the point D which coincides with the image of the detector given by the line scanning means when the scan is in the middle of a line. 0 'on line II is a va-5 point which is the optically added point of point 0 by the rastor mirror and the field mirror, the position and movement of which will be explained below. Reference numeral 23 designates an ellipse, the focal points of which, respectively. 0 and D, and of which the major axis is equal to OR, the radius of curvature in F of the focal plane 21. The grating mirror whose reflecting surface is opposite D moves constantly touching this ellipse, and the point of contact of the mirror with this ellipse is the intersection of this ellipse with the mean radius of the analyzed beam. In Fig. 2, two of these beams are shown, the center beam 15 converging in F and for which the raster mirror is in the position T, where the point of contact with the ellipse is E, the point of intersection of 12 with the ellipse} further the outer beam 2h which converges in F ^ on the curve 21 and for which the grating mirror is in the position where the point of contact with the ellipse is E, the intersection of the radius 25 with the ellipse. The points F ^ and resp. at 21 and 23, the points are analogous to F ^ and E ^ for the outer analysis beam which is the 2k symmetry beam with respect to the optical axis. When the grating mirror runs alternately on the ellipse 23 from E ^ to E ^ and from Eg to E ^, it will focus the analyzed beam at point D regardless of its location on the ellipse. It is thus achieved that the field is scanned in the rasterzir other some course of the focus in point D. In this point is placed the apex of the hollow field mirror 16 which is rotated about an axis perpendicular to F and passing through D synchronous with the movement of the grating mirror and such that the average beam of the analyzed beam, such as for example 12 or 25, is reflected according to the fixed beam DO *. Preferably, in order to reduce the size of the grating mirrors for decreasing their weight, the arc E ^ E ^ of the ellipse used is in the vicinity of the point D and away from the minor axis of the ellipse.

7714501 - 9 -7714501 - 9 -

In de praktijk wordt de beweging van de spiegel bijvoorbeeld verkregen met twee loopbanen, met een elliptische doorsnede, identiel: aan 23» geplaatst in vlakken evenwijdig aan het vlak P aan weerszijden van dit vlak, zodat de doorsneden van deze banen geprojekteerd worden 5 op P volgens 23« waarbij mechanische drukmiddelen zorgen voor het slipvrij kontakt van de spiegel met deze banen·In practice, for example, the movement of the mirror is obtained with two tracks, with an elliptical cross section, identical: at 23 »placed in planes parallel to the plane P on either side of this plane, so that the cross sections of these tracks are projected on P according to 23 «, whereby mechanical pressure means ensure the slip-free contact of the mirror with these strips ·

Een speciale uitvoeringsvorm van de uitvinding betreft het geval waarin het geanalyseerde veld niet erg groot is, In dat geval is de boog F^F^ zelf niet erg groot en worden de krommhgsmiddelpunten 10 C^C^C van de ellips in de punten E^E^E zeer benaderd. Men kan dan de ellipsboog E^E^ gelijkstellen aan een cirkel met middelpunt C en met straal EG. In dat geval kan men de rasterspiegel op de cirkel laten lopen, waarbij een eenvoudig middel om een dergelijke beweging tot stand te brengen bestaat uit het verbinden van deze spiegel met een 15 arm die scharnierend is om C en met een konstante lengte. Een dergelijke beweging geeft aanleiding tot een klein verloop van de focali-satie. Bit verloop van de focalisatie 1 ten opzichte van D is in fig.A special embodiment of the invention concerns the case where the analyzed field is not very large, in which case the arc F ^ F ^ itself is not very large and the centers of curvature 10 C ^ C ^ C of the ellipse in points E ^ E ^ E very approximated. One can then equate the ellipse arc E ^ E ^ with a circle with center C and with radius EG. In that case, the grating mirror can be run on the circle, a simple means of effecting such a movement consisting of connecting this mirror to an arm hinged about C and of a constant length. Such a movement gives rise to a small course of focalization. Bit variation of the focus 1 with respect to D is shown in fig.

4 weergegeven als funktie van de hoek van de geanalyseerde richtinj; met de optische as van het objektief, door de kromme 4-1. In deze 20 figuur zijn 1 en oi voorzien van een teken. Ze zijn .0 voor het punt F, en ze worden positief genoemd voor de richting die overeenkomt mei; punt Fg, en negatief voor de richting die overeenkomt met punt F^.4 as a function of the angle of the analyzed direction; with the optical axis of the objective, through the curve 4-1. In this figure 1 and oi are provided with a sign. They are .0 for the point F, and they are called positive for the direction corresponding May; point Fg, and negative for the direction corresponding to point F ^.

Deze defocalisatie is maximaal voor de punten F^ en (punten A en B van de kromme 4-1).This defocalization is maximal for points F ^ and (points A and B of curve 4-1).

25 Volgens de uitvinding wordt: het belang van het verloop van de focalisatie verminderd door enigszins en op geschikte wijze het draaiingsmiddelpunt van de veldspiegel in het vlak P te verplaatsen ten opzichte van het punt B.According to the invention: the importance of the course of the focusing is reduced by slightly and suitably displacing the center of rotation of the field mirror in the plane P with respect to the point B.

In fig.3 is de uitgevoerde verplaatsing aangegeven, zodanig 50 dat gelijktijdig het verloop van de scherpstelling weggewerkt wordt voor de richting van het geanalyseerde veld overeenkomend met resp.Fig. 3 shows the displacement performed, such that simultaneously the course of the focus is eliminated for the direction of the analyzed field corresponding to resp.

F, F^ en F,,. In deze figuur vindt men de brandkromme 21 terug, het brandpunt F en 1st beeld F^ van het veld volgens de buitenste analyse-richting waar de hoek o< de waarde M heeft met de optische as 12, 35 _waarop punt E uit fig. 2 is getekend. Men vindt ook het middelpunt 0 7714501 - 10 - terug van de uittreepupil, en het toegevoegde punt 0* daarvan op de as YY’. De rasterspiegel is voorgesteld in zijn stand Deze spiegel omhult .cirkel 31 met straal EC. Het beeld van in de rasterspiegel in de stand is ', de geïntroduceerde verandering van 5 het brandpunt is dus DF1^. Om dit verloop van het brandpunt weg te werken wordt de asten de veldspiegel evenwijdig aan het vlak D verplaatst naar het punt I, dat het snijpunt is van de uitwendige bissets-trice van de hoek EDO* en van de middenlijn van het segment DF^, welke as loodrecht blijft op het vlak P· In de loop van de raster-10 aftasting gaat de veldspiegel heen en weer om dit punt I aan weerszijden van Dl van de stand 32 tot de stand 33 overeenkomend resp. me; het punt F^ en F^ van het beeld van het veld in het objektief. Op deze wijze zijn de maximale afstanden bij de scherpstelling praktisch in tweeën gedeeld, waarbij de overblijvende *afstanden die zijn welkt 13 worden gemeten tussen de kromme 41 en de rechte AB in fig.4-.F, F ^ and F ,,. This figure shows the fire curve 21, the focal point F and 1st image F ^ of the field according to the outer analysis direction, where the angle o <has the value M with the optical axis 12, 35 _ to which point E from fig. 2 is signed. The center 0 7714501 - 10 - of the exit pupil can also be found, and the additional point 0 * thereof on the YY axis. The grating mirror is shown in its position. This mirror encloses circle 31 with radius EC. The image from the raster mirror in the position is', so the introduced change of the focal point is DF1 ^. To overcome this course of the focal point, the axes are moved the field mirror parallel to the plane D to the point I, which is the intersection of the external bissets trice of the angle EDO * and of the centerline of the segment DF ^, which axis remains perpendicular to the plane P · In the course of the raster-10 scanning, the field mirror goes back and forth around this point I on either side of D1 from position 32 to position 33, respectively. me; the points F ^ and F ^ of the image of the field in the objective. In this way, the maximum focusing distances are practically divided in two, with the remaining * distances, which are measured 13, between the curve 41 and the straight line AB in Fig. 4-.

Vanzelfsprekend omvat de uitvinding ook het geval waarin het brandvlak van het objektief convex bolvormig is ten opzichte van het invallende licht en de uittreepupil zich bevindt achter het brandvlak, en ook het geval waarin de uittreepupil teruggeworpen is op oneindig 20 en het brandvlak plat is. Volgens de uitvinding loopt de spiegel op een deel van een hyperbool of een parabool. In het geval van de hyperbool zijn de brandpunten daarvan nog steeds het middelpunt van de uittreepupil van het objektief en het punt D. In het geval van een parabool ligt het brandpunt ervan in het punt D en is de as ervan 23 evenwijdig geplaatst aan de optische as van het objektief.Of course, the invention also includes the case where the focal plane of the objective is convexly spherical to the incident light and the exit pupil is behind the focal plane, and also the case where the exit pupil is thrown back to infinity and the focal plane is flat. According to the invention, the mirror runs on a part of a hyperbola or a parabola. In the case of the hyperbola, the focal points thereof are still the center of the exit pupil of the objective and the point D. In the case of a parabola, its focal point lies at the point D and its axis 23 is parallel to the optical axis of the objective.

Vanzelfsprekend kan ook in deze bij de laatste gevallen gebruik gemaakt worden van de cirkels die raken aan de parabool en de hyperbool in het kontaktpunt van de rasterspiegel overeenkomend met de middenrichting van het veld, en dezelfde kromtestraal als de 30 parabool en hyperbool. Eveneens behoort tot de uitvinding de maatregelen die genomen worden voor de verandering van het verloop van het brandpunt dat anders wardt geïntroduceerd, welke maatregelen analoog zijn aan die welke worden genomen voor een brandvlak van het objektief da; concaaf is.Obviously, in the latter cases, too, use can be made of the circles tangent to the parabola and the hyperbola in the contact point of the grating mirror corresponding to the center direction of the field, and the same radius of curvature as the parabola and hyperbola. Also included in the invention are the measures taken for changing the course of the focal point which is otherwise introduced, which measures are analogous to those taken for a focal plane of the objective da; is concave.

33 Vanzelfsprekend vallen binnen de uitvindingsgedachte alle toe passingen en industrieel gebruik van het rasteraftastsysteem in combi- 771450133 It goes without saying that within the inventive concept all applications and industrial use of the raster scanning system in combination 7714501

Claims

1. Inrichting voor de optische aftasting van een zichtveld dat 5 verdeeld is in verschillende zones en voor het zichtbaar maken van dit veld, in welke richting de aftasting uitgevoerd wordt in twee onderling loodrecht staande richtingen, en wel in een richting x een aftasting aangeduid als rasteraftasting of beeldaftasting, welke inrichting de aftastingen uitvoert volgens de bundels die afkomstig üijn 10 uit de verschillende zones van het veld en die zorgt voor de convergentie van deze bundels op een element dat gevoelig is var de zich in de bundels bevindende straling, en welke inrichting in het algemeen achtereenvolgens in de baanrichting van de invallende mediane bundel die afkomstig is van het beeldveld, omvat een objektief, rasteraftas ;mid-15 delen in de richting £, een afsnijstelsel voor de bundels die begremtd worden door de opening van het objektief naar de lijnaftastmiddelen van het veldbeeldtan het objektief in de richting x en het gevoelige element, welke lijnaftastmiddelen, gevoelig element en eventueel andere elementen in verband met de eerdergenoemde dienen voor de rechtstreekse 20 visualisatie van het beeld van het geanalyseerde veld, waarbij: de optische as van het objektief verwisselbaar is, en het brai d-vlak ervan gekromd is en zodanig c& het krommingsmiddelpunt gelegen is in het middelpunt van de uittreepupil van het objektief, de rasteraftastmiddelen worden gevormd door een vlakke spiegel 25 die met een heen en weergaande beweging draait om een as evenwijdig aan de richting x en welke geplaatst is in de convergente bundel achter het objektief bij het beeld van het veld in dit objektief, de lijiaftastmiddelen enerzijds worden gevormd door de trommel die gelijkmatig draait om een vaste as Yï* welke ligt in het genoemde 30 vlak P en welke trommel een groot aantal platte reflekterende vlakker draagt die regelmatig zijn verdeeld over de omtrek van de trommel en anderajds een beeldtransportstelsel dat symmetrisch is ten opzichte _van het vlak P en dat een beeld vormt van het gevoelige element in een vast -punt A* van de draaias IY1 van de trommel, welke trommel- 7714501 - 12 — geplaatst is in de convergerende bundel in de baan van dit transport · stelsel aan .de beeldzijde van het gevoelige element, terwijl het symmetriepunt van het punt A' ten opzichte van elk vlak van de trommel, wanneer dit vlak loodrecht staat op het vlak P gelegen is in de 5 nabijheid van het symmetriepunt D van het brandpunt van het objek- tief ten opzichte van de rasterspiegel in een positie evenwijdig aan de as ïï*, en waarbij het optisch afsnijstelsel voor de bundels wordt gevormd door een concave spiegel, veldspiegel genaamd, met het vlak 10 p als symmetrievlak, en waarvan de top gelegen is in de nabijheid van D op de as ZZ* door D en loodrecht op ïï’ welke spiegel zodanig is bepaald dat hij het middelpunt 0 van de uittreepupil van het objektief conjugeert, met een vast punt 0* van de as ïï1, welk punt 0' het symmetriepunt is ten opzichte van ZZ1 van het snijpunt van de 13 optische as van het objektief met de as ÏÏ*, en welkeylspiegel, om eventueel ervoor te zorgen dat de dode aftasttijd tussen twee achtereenvolgende lijnen nihil is, bovendien een breedte heeft in de richt:ing x welke iets kleiner is dan de lengte van de geanalyseerde lijn die zelf gelijk is aan de afstand tussen de beelden van de detector in twee 20 op-eenvolgende vlakken van de draaiende trommel, en welke spiegel al of niet aangedreven wordt in een beweging met kleine amplitude in fase met de beweging van de rasteraftastmiddelen, welke kleine beweging enerzijds bestaat uit een heen en weergaande translatie volgens de as ZZ* in de nabijheid van D en een heen en weergaande rotatie om 23 een as evenwijdig aan de richting x symmetrisch ten opzichte van ZZ* waarbij de amplitude van deze translatie zodanig is dat daardoor een correctie wordt gemaakt van het verlopen van het brandpunt als gevol]; van de rasteraftastmiddelen, terwijl de amplitude van de rotatie zodanig is dat deze zorgt voor het vastblijven in 0* van de geconju-30 geerde door de veldspiegel van het middelpunt 0 van de uittreepupil van het objektief tijdens de heen en weergaande rotatie van de rasteraftastmiddelen. De verbetering bestaat daarin dat het brandvlak van het objektief concaaf is ten opzichte van invallend licht, dat de rasterspiegel 35 _draait met een heen en weergaande beweging, waarbij hij blijft raken 7714501 “13” aan een gedeelte van een ellips, welke ligt in het vlak P met een grote as welke gelijk is aan de kromtestraal van het brandvlak van het objektief, en waarvan een van de brandpunten gevormd wordt door het middelpunt van de uittreepupil van het objektief en het andere 5 door het punt D, en dat de beweging van de veldspiegel een heen en weergaande draaibeweging is om een as welke loopt door D evenwijdig aan x, welke draaiing synchroon is met de beweging van de rasterspeg >1 en zodanig dat de gemiddelde straal van de bundel weerkaatst wordt volgens een vaste richting DO'. 101. Apparatus for the optical scanning of a field of view which is divided into different zones and for visualizing this field, in which direction the scanning is carried out in two mutually perpendicular directions, namely in a direction x a scanning indicated as raster scan or image scan, which device performs the scanning according to the beams emanating from the different zones of the field and which ensures the convergence of these beams on an element sensitive to the radiation contained in the beams, and which device generally successively in the trajectory direction of the incident median beam emanating from the image field, includes an objective, raster axis; center-15 divisions in the direction £, a trimming system for the beams limited by the opening of the objective to the line scanning means of the field image than the objective in the direction x and the sensitive element, which line scanning means , sensitive element and possibly other elements related to the aforementioned serve for the direct visualization of the image of the analyzed field, in which: the optical axis of the objective is interchangeable, and the braid plane thereof is curved and such c & it center of curvature is located in the center of the exit pupil of the objective, the grating scanning means are formed by a flat mirror 25 which rotates in an reciprocating motion about an axis parallel to the direction x and which is placed in the convergent beam behind the objective at the image of the field in this objective, the line scanning means, on the one hand, are formed by the drum which rotates uniformly about a fixed axis Yi * which lies in the said plane P and which drum carries a large number of flat reflecting surfaces which are regularly distributed over the circumference of the drum and other an image transport system which is symmetrical with respect to the plane P and which forms an image of the sensitive element at a fixed point A * of the axis of rotation IY1 of the drum, which drum is placed in the converging beam in the path of this transport system on the image side of the drum. sensitive element, while the point of symmetry of the point A 'with respect to each plane of the drum, when this plane is perpendicular to the plane P is located in the vicinity of the point of symmetry D of the focal point of the objective with respect to the grating mirror in a position parallel to the axis Ii *, and wherein the optical cut-off system for the beams is formed by a concave mirror, called field mirror, with the plane 10p as the plane of symmetry, the top of which is located in the vicinity of D on the axis ZZ * through D and perpendicular to ïï ', which mirror is determined such that it conjugates the center 0 of the exit pupil of the objective, with a fixed point 0 * of the axis ïï1, which point 0' is the point of symmetry with respect to ZZ1 of the intersection of the 13 optical axis of the objective with the axis *, and the mirror, in order to possibly ensure that the dead scanning time between two successive lines is nil, additionally has a width in the direction: ing x which is slightly smaller than the length of the line analyzed which is itself equal to the distance between the detector images in two successive planes of the rotating drum, and which mirror is driven or not in a small amplitude motion in phase with the movement of the raster scanning means, which small movement consists on the one hand of a reciprocating translation along the axis ZZ * in the vicinity of D and a reciprocating rotation about 23 an axis parallel to the direction x symmetrical with respect to ZZ *, the amplitude this translation is such that it corrects the course of the focus as a result]; of the grating scanning means, while the amplitude of the rotation is such that it ensures that the conjugated by the field mirror of the midpoint 0 of the exit pupil of the objective remains in the reciprocal rotation of the grating scanning means. The improvement is that the focal plane of the objective is concave with respect to incident light, which rotates the grating mirror 35 with a reciprocating motion, continuing to touch 7714501 "13" on a portion of an ellipse lying in the plane P with a major axis equal to the radius of curvature of the focal plane of the objective, one of the focal points of which is formed by the center of the exit pupil of the objective and the other 5 by the point D, and that the movement of the field mirror is a reciprocating rotational movement about an axis passing through D parallel to x, which rotation is synchronous with the movement of the grating speg> 1 and such that the average beam radius is reflected in a fixed direction D0 '. 10

2· Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk dat het gebruikte deel van de ellips hoofdzakelijk ligt op de helft van de éLlips begrensd door de kleine as ervan, en het dichtst liggend bij D.2. Device according to claim 1, characterized in that the part of the ellipse used lies mainly on half of the elips bounded by its minor axis, and closest to D.

3« Inrichting volgens conclusie 1 of 2, met het kenmerk dat de omhullende kromme van de spiegel een cirkel is welke zeer dicht ligt 13 bij de voorgaande ellips, en welke cirkel de cirkel is die raakt aan de ellips in het kontaktpunt dat overeenkomt met het midden van het geanalyseerde veld en waarvan het middelpunt en de kromtestraal resp. het middelpunt en de kromtestraal zijn van de ellips in dit kontaktpunt, en waarbij de geïntroduceerde geringe verandering van 20 de focalisatie teruggebrachtwrdt tot een geringe translatie evenwijdig aan het vlak P van de draaias van de veldspiegel*3. Device according to claim 1 or 2, characterized in that the envelope curve of the mirror is a circle very close to the previous ellipse, and which circle is the circle tangent to the ellipse in the contact point corresponding to the center of the analyzed field and of which the center and the radius of curvature respectively. are the center and the radius of curvature of the ellipse in this contact point, and the introduced slight change of the focus is reduced to a small translation parallel to the plane P of the axis of rotation of the field mirror *

4. Inrichting volgens conclusie 3» met het kenmerk dat de draaian van de veldspiegel evenwijdig aan het vlak P verplaatst wordt naar het snijpunt van de buitenbissectrice van de hoek EDO' en van de 25 middenlijn van het segment van de rechte DF^*, waarin £ het kontaktpunt is van de rasterspiegel met de omhullende cirkel ervan overeenkomend met het midden van het geanalyseerde veld en fhet beeld van het veld dat wordt gegeven door het objektief en de rasterspiegel voor een van de uiterste richtingen van het geanalyseerde veld.4. Device as claimed in claim 3, characterized in that the rotation of the field mirror is moved parallel to the plane P to the intersection of the outer bisector of the angle ED0 'and of the centerline of the segment of the straight line DF ^ *, wherein £ is the contact point of the grating mirror with its surrounding circle corresponding to the center of the analyzed field and the image of the field given by the objective and the grating mirror for one of the extreme directions of the analyzed field.

5. Inrichting gelijkend op de inrichting volgens één der conclu sies 1-2, met het kenmerk dat, wanneer de uittreepupil van het objektief op oneindig ligt en het brandvlak ervan plat is, de raster·· spiegel loopt op een deel van een parabool met een as evenwijdig aan -de optische as van een objektief, en een brandpunt dat ingenomen wordt 7714501 — Indoor het print D.Device similar to the device according to any one of claims 1-2, characterized in that when the exit pupil of the objective is infinite and the focal plane thereof is flat, the raster mirror extends on a part of a parabola with an axis parallel to the optical axis of an objective, and a focal point occupied 7714501 - Indoor the print D.

6. Inrichting gelijkend op de inrichting volgens een der conclusies 1-2, met het kenmerk dat, wanneer het brandvlak van het objektiof convex is en de uittreepupil van het objektief achter het brandvlak 5 ligt, de rasterspiegel loopt om een deel van een hyperbool waarvan dn brandpunten ingenomen worden, resp· door het middelpunt van de uittreepupil van het objektief en doonhet punt D.Device similar to the device according to any one of claims 1-2, characterized in that when the focal plane of the objective is convex and the exit pupil of the objective lies behind the focal plane 5, the grating mirror extends around a part of a hyperbola of which the focal lengths are taken in, respectively, · by the center of the exit pupil of the objective, and then point D.

7· Inrichting volgens conclusie 5 of 6, met het kenmerk dat de omhullende kromme van de rasterspiegel een cirkel is welke zeer dich; 10 ligt bij een parabool of een hyperbool, welke cirkel raakt aan de genoemde parabool of hyperbool in het kontaktpunt van de spiegel met zijn omhullende, en waarvan het middelpunt en de kromtestraal, resp· het middelpunt en de kromtestraal zijn van de parabool, of de hyperbool in het kontaktpunt, en waarbij de aldus ingevoerde geringe de-15 focalisatie teruggebracht wordt door een geringe verplaatsing evenwijdig aan het vlak P van de draaias van de veldspiegel zoals vermeld in conclusie k.Device according to claim 5 or 6, characterized in that the envelope curve of the grating mirror is a circle which is very close; 10 lies with a parabola or a hyperbola, which circle touches said parabola or hyperbola in the contact point of the mirror with its envelope, and of which the center and the radius of curvature, respectively, are the center and the radius of curvature of the parabola, or the hyperbola in the contact point, and wherein the small de-localization thus introduced is returned by a small displacement parallel to the plane P of the axis of rotation of the field mirror as stated in claim k.

8. Inrichting volgens één der conclusies 1-7, met het kenmerk dal; deze aan weeiasijden van het vlak P en evenwijdig aan dit vlak voorzien 20 is dvan rolbanen met een doorsnede identiek aan de kegel vormige kromt ie waake omhuld wordt door de rasterspiegel, en op elk waarvan de spiegel loopt.Device according to any one of claims 1-7, characterized in valley; it is provided at whey times of the plane P and parallel to this plane, the roller tracks having a cross section identical to the conical curvature which is enveloped by the grating mirror, and on each of which the mirror runs.

9· Inrichting volgens één dar conclusies 3, ^ of 7» met het kenmerk dat de rasterspiegel vast verbonden is met een arm met konstante lengte, 25 welke scharnierend is om een as die loopt door het middelpunt van de omhullende cirkel. 771 4 5 0iDevice according to one of claims 3, 7 or 7, characterized in that the grating mirror is fixedly connected to an arm of constant length, which is hinged about an axis passing through the center of the enclosing circle. 771 4 5 0i