NL7601301A - OPTIC-MECHANICAL SCANNER. - Google Patents

Description

Aanvrager: Telecommunications, Badio-electriques et Telephoniques T.B.T. te Parijs, Frankrijk·Applicant: Telecommunications, Badio-electriques et Telephoniques T.B.T. in Paris, France

Titel : Qptisch-mechanische aftastinrichting· 5 De uitvinding heeft betrekking op een inrichting voer Met optisch aftasten van een zichtveld dat verdeeld is in verschillende zones, alsmede voor het zichtbaar maken van dit veld· De uitvinding betreft meer in het bijzonder een inrichting die een veldaftasting uitvoert in twee richtingen volgens bundels die uit deze verschil-10 lende zones komen en die convergeren op een element dat gevoelig is voor de zich in deze bundels bevindende straling, waarbij de aftast-inrichting optisch is ingericht om te worden gebruikt bij elke golflengte van de straling.Title: Optical mechanical scanning device · 5 The invention relates to a device for optical scanning of a field of view which is divided into different zones, as well as for visualizing this field. The invention relates more particularly to a device which has a field scan. bi-directionally according to beams emanating from these different zones and converging on an element sensitive to the radiation contained in these beams, the scanning device being optically arranged to be used at any wavelength of the radiation.

Inrichtingen van dit type worden in het bijzonder ge-15 bruikt in visualisatie-inrichtingen voor het landschap dat waargenomen wordt volgens infraroodstraling met een golflengte groter dan 1 micron· Een dergelijke inrichting, waarin het objectief wordt gevormd door een bolspiegel en de aftasting alleen wordt uitgevoerd met behulp van spiegels, wordt beschreven in het franse octrooi-20 schrift 1·^9^·δ05· Deze inrichting is belangrijk omdat hij bruikbaar is met een groot zichtveld dat als uiterste waarde zelfs 180° kan hebben· Daarentegen is hij niet goed geschikt voor de analyse van een klein veld met een groot scheidend vermogen, hetgeen het geval i£ wanneer het gaat om het detecteren en herkennen van ver weg gelegen 25 voorwerpen in het zichtveld die gezien worden onder een kleine hoek. Het is dan nodig om in voldoende mate stralingsflux op te vangen die door deze verre voorwerpen wordt uitgezonden. Deze flux is afhankelijk van het oppervlak van de intreepupil van de inrichting en, bij de inrichting volgens het genoemde octrooischrift, van de straal van 30 de analysecirkel en van de numerieke opening van het convergentie-optiek, omdat de brandpuntsafstand van het objectief principieel gelijk is aan de genoemde analysestraal.Devices of this type are particularly used in landscape visualization devices perceived according to infrared radiation with a wavelength greater than 1 micron. Such a device, in which the objective is formed by a spherical mirror and the scanning is performed alone with the help of mirrors, is described in French patent-20 script 1 · ^ 9 ^ · δ05 · This device is important because it can be used with a large field of view that can even have an extreme value of 180 ° · In contrast, it is not well suited for the analysis of a small field with a high resolution, which is the case when it comes to detecting and recognizing distant objects in the field of view that are seen at a small angle. It is then necessary to sufficiently absorb radiation flux emitted by these distant objects. This flux depends on the surface of the entrance pupil of the device and, in the device according to the aforementioned patent, on the radius of the analysis circle and on the numerical aperture of the convergence optic, because the focal length of the objective is basically the same to the said analysis radius.

Een mogelijkheid voor het vergroten van de opgevangen fluxhoeveelheid zou zijn om de opening groter te maken van het con-35 vergentie-optiek van de bundels op de detector; omdat dit echter ^^760 1 30 1 f·* . 4Γ - a - wordt herhaald bij meerdere exemplaren die naast elkaar geplaatst zijn om een van de draaiassen van het aftaststelsel, zou het aantal exemplaren kleiner worden, hetgeen zou lijden tot een vergroting van de draaisnelheid van dit convergentie-optiek voor een zelfde aftast-5 frekwentie, en dit zou moeilijk oplosbare problemen stellen bij de mechanische realisatie· Sen andere mogelijkheid zou bestaan in het homothetisch vergroten van alle afmetingen van de inrichting. Dan zou echter de totale oavang te groot worden, en hetzelfde geld voor het traagheidsmoment van het draaiende deel· 10 In aanvraagsters franse octrooiaanvrage 73 28 82^ worden oplossingen gegeven voor sommige van deze bezwaren· Teneinde de diameter van de intreepupil van de inrichting maximaal te maken en het analyseveld klein, wordt een stelsel gemaakt waarin de brandpuntsafstand niet gebonden is aan de straal van de analysecirkel· Daartoe 13 wordt in het brandvlak van het objectief een optisch element ingébracht (een lens of spiegel) dat zorgt voor een optische conjugatie van het centrum van de uittreepupil van het objectief en de detector die geplaatst is in het draaimiddelpunt van het analysestelsel, welk element het voordeel heeft dat de kromming wordt gecorrigeerd van 20 het veld van het geheel van objectief en analyse-inrichting·One possibility of increasing the collected flux amount would be to make the aperture larger of the convergence optics of the beams on the detector; because this is ^^ 760 1 30 1 f · *. 4Γ - a - repeats with multiple copies placed side by side on one of the rotation axes of the scanning system, the number of copies would decrease, which would lead to an increase in the rotation speed of this convergence optic for the same scan-5 frequency, and this would pose difficult-to-solve problems in mechanical realization. Another possibility would be to homogeneously increase all dimensions of the device. However, the total size would then become too large, and the same would apply to the moment of inertia of the rotating part.10 In applicant's French patent application 73 28 82 ^ solutions are given for some of these objections · In order to maximize the diameter of the entrance pupil of the device and make the analysis field small, a system is made in which the focal length is not bound to the radius of the analysis circle · For this purpose, 13 an optical element (a lens or mirror) is inserted into the focal plane of the objective lens, which ensures an optical conjugation of the center of the exit pupil of the objective lens and the detector placed at the center of rotation of the analysis system, which element has the advantage of correcting the curvature of the field of the whole of objective and analysis device

Bij de inrichting volgens deze octrooiaanvrage wordt de veldaftasting volgens één van de richtingen uitgevoerd door oscilla-tie van het spiegelobjectief om een van zijn middellijnen· Sen van de op te lossen moeilijkheden wanneer dit objectief een grote middel-25 lijn heeft in verband met de grote opening, is dat een zwaar objectief moet draaien met een frekwentie die, voor televisiebeelden, licht in de orde van 20 perioden per secunde· Overigens heeft dit spiegelobjectief, zelfs wanneer het parabolisch is, een veld dat door de verschillende afwerkingen beperkt is tot enkele graden· 30 Bovendien moet het zichtveld van de detector voldoende groot zijn om de flux te kunnen opnemen die door de draaiende optische stelsels gaat tijdens de draaiing daarvan. In verband daarmee ziet de detector het inwendige van de analyse-inrichting die de optische delen draagt, en die zich meestal als gevolg van wrijvingen 35 op een hogere temperatuur bevindt dan de geanalyseerde omgeving.In the apparatus of this patent application, the field scanning is performed in one direction by oscillation of the mirror lens about one of its midlines of the difficulties to be solved when this lens has a large centerline because of the large aperture, is that a heavy lens must rotate with a frequency that, for television images, is light on the order of 20 periods per second · Incidentally, even if it is parabolic, this mirror lens has a field that is limited to a few degrees due to the different finishes · 30 In addition, the field of view of the detector must be sufficient to accommodate the flux passing through the rotating optical systems during their rotation. In this connection, the detector sees the interior of the analyzer carrying the optical parts, which is usually at a higher temperature than the analyzed environment due to friction.

7601301 * . % - 3 -7601301 *. % - 3 -

In het geval van infraroodanalyse vloeit daaruit voort dat er een parasitaire modulatie optreedt van de flux die op de detector valt, in fase met de lijnaftasting.In the case of infrared analysis, it follows that there is a parasitic modulation of the flux falling on the detector, in phase with the line scan.

Verder is, omdat het beeld van het veld niet in een vrije 5 positie ligt, de plaatsing van de detector en van de electrolumines-cente diode in het zichtbare ligt met het oog op de rechtstreekse visualisatie van het beeld van het veld, door gebruikmaking van het analysestelsel met omgekeerde baan, bijna niet mogelijk·Furthermore, since the image of the field is not in a free position, the placement of the detector and of the electroluminescent diode is in view for the purpose of direct visualization of the image of the field, using the reverse-path analysis system, almost impossible

Omdat anderzijds bij deze octrooiaanvrage de optieken 10 niet uitsluitend bestaan uit spiegele, is deze visualisatie slechts mogelijk wanneer dit optiek doorschijnend is voor zichtbaar licht, hetgeen moeilijk uitvoerbaar is wanneer de analyse wordt uitgevoerd in het verre infrarood (10 micron)·On the other hand, because in this patent application the optics 10 are not exclusively composed of mirror yellow, this visualization is only possible if this optic is transparent to visible light, which is difficult to perform when the analysis is performed in the far infrared (10 micron).

De inrichting volgens de uitvinding vertoont deze zelfde 13 bezwaren niet· Om redenen van praktisch gebruik is hij zodanig opgebouwd dat, hoewel hij een grote capaciteit heeft die de omvang beperkt, het objectief enerzijds en de detector anderzijds afzonderlijk toegankelijk zijn met het oog op meervoudig gebruik, ofwel met het oog op het veranderen van hun aard in afhankelijkheid van de toepas-20 aingt terwijl het stelsel van de analyse, die uitgevoerd wordt in twee richtingen, onbeweeglijk blijft en geschikt is voor alle soorten objectieven en detectors, en alleen spiegele kan bevatten·The device according to the invention does not exhibit these same 13 drawbacks · For practical use reasons, it is constructed in such a way that, although it has a large capacity which limits its size, the objective on the one hand and the detector on the other hand are separately accessible for multiple use or, in view of changing their nature depending on the application, while the analysis system, which is carried out in two directions, remains immobile and suitable for all kinds of lenses and detectors, and can only contain mirror ·

Door de konstruktie van de inrichting volgens de uitvinding is dus de plaatsing van de detector en van de electrolumines-23 cente diode mogelijk voor een rechtstreekse visualisatie van het beeld van het veld. Teneinde parasitaire modulatie te voorkomen als gevolg van andere draaiende delen dan de optieken wordt het optiek voor de lijnaftasting uitgevoerd in twee delen, te weten een draaiende trommel met een groot aantal reflekterende platte vlakken, welke 30 trommel draait om een vaste as, en een enkel vast convergentie-optiek dat zorgt voor de concentratie van de flux op de detector; dit convergentie-optiek vormt een beeld van de detector op de draaias van de trommel welke werkt als convergente bundel*The construction of the device according to the invention thus permits the placement of the detector and the electroluminescent 23-diode for a direct visualization of the image of the field. In order to avoid parasitic modulation due to rotating parts other than the optics, the line scanning optic is performed in two parts, namely a rotating drum with a large number of reflective flat surfaces, which rotates around a fixed axis, and a single fixed convergence optics that ensure the concentration of the flux on the detector; this convergence optic forms an image of the detector on the axis of rotation of the drum which acts as a convergent beam *

Teneinde een nauwkeurige scherpstelling te verkrijgen in 33 het gehele veld in de richting van de lijnanalyse, en dien tengevolge 7601301 ¥> . ί - if - een konstant scheidend vermogen over de gehele analyselijn, zorgt een concave spiegel, veldspiegel genaamd, voor de optische conjugatie van het brandvlak van het objectief en het vlak van de geanalyseerde lijn Volgens de uitvinding wordt deze optische conjugatie gewaarborgd door 5 dat enerzijds het objectief een gekromd brandvlak heeft waarvan het krommingsmiddelpunt zich bevindt in het midden van de uittreepupil van het objectief, en doordat anderzijds de top van het oppervlak van de veldspiegel geplaatst is in de nabijheid van de top van het brandvlak van het objectief, of nauwkeuriger gezegd nabij-'het symme-10 triepunt van de top ten opzichte van de draaias van de trommel, zodat het middelpunt van de uittreepupil van het objectief geconjugeerd wordt met een speciaal punt van de draaias van de trommel, terwijl de bundels gericht worden op het convergentie-optiek voor de lijn-aftasting na weerkaatsing op de vlakken van deze trommel· 15 Wanneer objectieven met grote middellijn worden gebruikt, zodat men geen oscillatie volgens een tweede richting hoeft uit te voeren voor de rasteraftasting van zeer zware massa's, wordt de aftasting in deze tweede richting uitgevoerd met behulp van een beweeglijke vlakke spiegel, de zogenaamde rasteranalysespiegel, om een 20 as haaks op de draaias van de trommel, waarbij deze spiegel in het algemeen in de convergente bundel wordt geplaatst in de nabijheid van een brandpunt van het objectief tussen het objectief en zijn brandpunt·In order to obtain an accurate focus in 33 the entire field in the direction of the line analysis, and as a result 7601301 ¥>. ί - if - a constant resolution across the entire analysis line, a concave mirror, called field mirror, ensures the optical conjugation of the focal plane of the objective and the plane of the analyzed line. According to the invention, this optical conjugation is ensured by the lens has a curved focal plane, the center of curvature of which is located in the center of the exit pupil of the objective lens, and because on the other hand the top of the surface of the field mirror is placed near the top of the focal plane of the objective lens, or more precisely near-the center point of the axis relative to the axis of rotation of the drum, so that the center of the exit pupil of the objective lens is conjugated with a special point of the axis of rotation of the drum, while the beams are focused on the convergence optics for the line scan after reflection on the surfaces of this drum · 15 When lenses with large medium n are used, so that one does not have to perform oscillation in a second direction for the raster scan of very heavy masses, the scanning in this second direction is carried out with the aid of a movable flat mirror, the so-called raster analysis mirror, about a 20 axis perpendicular to the axis of rotation of the drum, this mirror generally being placed in the convergent beam near a lens focal point between the lens and its focal point

De oscillatie van de rasteranalysespiegel in de conver-25 gente bundel heeft tot gevolg dat er een extra veldkromming verschijnt in de richting van de rasteraftasting· Deze wordt volgens de uitvinding gecompenseerd door een kleine alternatieve translatie-beweging van de veldspiegel, synchroon met de beweging van de rasteranalysespiegel, welke translatie haaks staat op de draaias van de 30 trommel.The oscillation of the raster analysis mirror in the convergent beam results in an additional field curvature in the direction of the raster scan. This is compensated according to the invention by a small alternative translation movement of the field mirror, synchronous with the movement of the raster analysis mirror, which translation is perpendicular to the axis of rotation of the drum.

Overigens wordt, voor het compenseren van de afwerking van de bundel die in het lijnanalysestelsel terecht komt door de rasteraftastspiegel, en om het gefixeerd zijn van de geconjugeerde te waarborgen, op de draaias van de lijnaftasting, van het middel-35 punt van de uittreepupil van het objectief door de veldspiegel, deze 7601301 jt' ..Incidentally, to compensate for the finish of the beam entering the line analysis system by the raster scan mirror, and to ensure the conjugate is fixed, on the axis of rotation of the line scan, the center-point of the exit pupil of the lens through the field mirror, this 7601301 jt '..

- 5 - laatste aangedreven met meer dan een heen en weer gaande rotatiebe-weging, synchroon met de beweging van de rasterspiegel om een as evenwijdig aan de draaias van deze rasterspiegel, en zodanig dat de gemiddelde straal van elke bundel die afkomstig is van het veld een 5 konstante inval houdt op de draaias van de lijnaftasting in afhankelijkheid van de rasteraftasting·- 5 - last driven with more than one reciprocating rotational movement, synchronous with the movement of the grating mirror about an axis parallel to the axis of rotation of this grating mirror, and such that the average radius of each beam emanating from the field keep a constant incidence on the axis of rotation of the line scan depending on the raster scan

De uitvinding gaat uit van een inrichting voor het optisch aftasten van een zichtveld dat verdeeld is in verschillende zones, en voor het zichtbaar maken van dit veld, in welke inrichting 10 de aftasting uitgevoerd wordt in twee onderling loodrecht staande richtingen, en wel in een richting x een aftasting aangeduid als lijnaftasting, en in een andere richting £ een aftasting die wordt aangeduid als rasteraftasting of beeldaftasting, welke inrichting de aftastingen uitvoert volgens bundels die afkomstig zijn uit de 15 verschillende zones van het veld en die zorgt voor de convergentie ; van deze bundels op een element dat gevoelig is voor de zich in de bundels bevindende straling, en welke inrichting in het algemeen Ί- achtereenvolgens in de baanrichting van de invallende mediane bundel | die afkomstig is van het beeldveld, omvat een objectief, raster- lie 20 aftastmiddelen in de richting £, een afsnijstelsel voor de bundels die begrensd worden door de opening van het objectief naar de lijn-aftastmiddelen van het veldbeeld van het objectief in de richting x = en het gevoelige element, en welke lijnaftastmiddelen, gevoelig element en eventueel andere elementen in verband met de eerdergenoemde 25 dienen voor de rechtstreekse visualisatie van het beeld van het geanalyseerde veld.The invention is based on a device for optical scanning of a field of view which is divided into different zones, and for making this field visible, in which device 10 the scanning is carried out in two mutually perpendicular directions, in one direction x a scan referred to as line scan, and in another direction £ a scan referred to as raster scan or image scan, the device performing the scans according to beams coming from the different zones of the field and providing the convergence; of these beams on an element sensitive to the radiation contained in the beams, and which device generally Ί- successively in the path direction of the incident median beam | originating from the image field, includes an objective, raster 20 scanning means in the direction £, a beam cutoff system delimited by the opening of the objective to the line scanning means of the field image of the objective in the direction x = and the sensitive element, and which line scanning means, sensitive element and possibly other elements related to the aforementioned 25 serve for the direct visualization of the image of the analyzed field.

De inrichting volgens de uitvinding vertoont het kenmerk dat: - de optische as van het objectief ligt een vlak P door 50 de richting £ en loodrecht op x, dat dit objectief verwisselbaar is, en dat het brahdvlak ervan gekromd is en zodanig dat het krommings-middelpunt gelegen is in het middelpunt van de uittreepupil van het objectief, - dat de rasteraftastmiddelen worden gevormd door een 5 vlakke spiegel die met een heen en weer gaande beweging draait om 760 1 30 1" - δ - een as evenwijdig aan de richting x en welke geplaatst is in de convergente bundel achter het objectief bij het beeld van het veld in dit objectief, - dat de lijnaftastmiddelen enerzijds worden gevormd door 5 een trommel die gelijkmatig draait om een vaste as 17' welke ligt in het genoemde vlak P, en welke trommel een groot aantal platte reflek-terende vlakken draagt die regelmatig zijn verdeeld over de omtrek van de trommel, en anderzijds een beeldtransportstelsel dat symmetrisch is ten opzichte van het vlak P, en dat een beeld vormt van 10 het gevoelige element in een vast punt A' van de draaias 77' van de trommel, welke trommel geplaatst is in de convergerende bundel in de baan van dit transportstelsel aan de beeldzijde van het gevoelige element, terwijl het symmetriepunt van het punt A' ten opzichte van elk vlak van de trommel wanneer dit vlak loodrecht staat op het vlak 15 P gelegen is in de nabijheid van het symmetriepunt D van het brandpunt van het objectief ten opzichte Van de rasterspiegel in een positie evenwijdig aan de as 77*, - en dat het optische afsnijstelsel voor de bundels wordt gevormd door een concave spiegel, veldspiegel genaamd, met het vlak 20 P als symmetrievlak, en waarvan de top gelegen is in de nabijheid var D op de as ZZ* door D en loodrecht op 77', welke spiegel zodanig is bepaald dat hij het middelpunt 0 van de uittreepupil van het objectief conjugeert met een vast punt 0' van de as 77', welk punt 0' het symmetriepunt is ten opzichte van ZZ' van het snijpuht van de op-25 tische as van het objectief met de as 77', en welke veldspiegel, om eventueel ervoor te zorgen dat de dode aftasttijd tussen twee achtereenvolgende lijnen nihil is, bovendien een breedte heeft in de richting x welke iets kleiner is dan de lengte van de geanalyseerde lijn die zelf gelijk is aan de afstand tussen de beelden van de detector 50 in twee opeenvolgende vlakken van de draaiende trommel, en welke spiegel al of niet aangedreven wordt in een beweging met kleine amplitude in fase met de beweging van de rasteraftastmiddelen, welke kleine beweging enerzijds bestaat uit een heen en weer gaande translatie volgens de as ZZ' in de nabijheid van D en een heen en weer 35 gaande rotatie om een as evenwijdig aan de richting x symmetrisch 7601301 - 7 - *' > ten opzichte"van ZZ', waarbij de amplitude van deze translatie zodanig is dat daardoor een correctie wordt gemaakt van het verlopen van het brandpunt als gevolg van de rasteraftastmiddelen, terwijl de amplitude van de rotatie zodanig is dat deze zorgt voor het vast blij-5 ven in 0’ van de geconjugeerde door de veldspiegel van het middelpunt 0 van de uittreepupil van het objectief tijdens de heen en weer gaande rotatie van de rasteraftastmiddelen.The device according to the invention has the feature that: - the optical axis of the objective lies a plane P through 50 in the direction β and perpendicular to x, that this objective is interchangeable, and that the brahd plane thereof is curved and such that the curvature center is located in the center of the exit pupil of the objective, - that the grating scanning means are formed by a flat mirror rotating in a reciprocating motion about 760 1 30 1 "- δ - an axis parallel to the direction x and which is placed in the convergent beam behind the objective near the image of the field in this objective, - that the line scanning means are formed on the one hand by a drum rotating uniformly about a fixed axis 17 'which lies in said plane P, and which drum bears a large number of flat reflective surfaces regularly distributed around the periphery of the drum, and on the other hand an image transport system symmetrical to the plane P, and which forms an image of the sensitive element at a fixed point A 'of the axis of rotation 77' of the drum, which drum is placed in the converging beam in the path of this transport system on the image side of the sensitive element, while the point of symmetry of the point A 'with respect to each plane of the drum when this plane is perpendicular to the plane 15P is located in the vicinity of the symmetry point D of the focal point of the objective with respect to the grating mirror in a position parallel to the axis 77 * , and that the optical cut-off system for the beams is formed by a concave mirror, called field mirror, with the plane 20 P as the plane of symmetry, the top of which is located in the vicinity var D on the axis ZZ * through D and perpendicular to 77 which mirror is determined such that it conjugates the center point 0 of the exit pupil of the objective lens with a fixed point 0 'of the axis 77', which point 0 'is the symmetry point with respect to ZZ' of the intersection point of the lens. 25 optical axis of the objective with axis 77 ', and which field mirror, in order to possibly ensure that the dead scanning time between two successive lines is nil, additionally has a width in the direction x which is slightly less than the length of the analyzed line which itself is equal to the distance between the images of the detector 50 in two successive planes of the rotating drum, and which mirror is driven or not in a small amplitude movement in phase with the movement of the raster scanning means, which small movement on the one hand consists of a reciprocating translation along the axis ZZ 'in the vicinity of D and a reciprocating rotation about an axis parallel to the direction x symmetrical 7601301 - 7 - *'> with respect to "ZZ", where the amplitude of this translation is such that a correction is made of the course of the focus due to the raster scanning means, while the amplitude of the rotation is such that it ensures that the conjugate remains fixed in 0 'by the field mirror of the center 0 of the exit pupil of the objective during the reciprocating rotation of the raster scanning means.

De uitvinding zal hierna worden toegelicht aan de hand van de bijgaande tekening van een aantal uitvoeringsvoorbeelden van 10 de inrichting.The invention will be explained below with reference to the accompanying drawing of a number of exemplary embodiments of the device.

Fig. 1 toont een eerste uitvoeringsvorm van de inrichting volgens de uitvinding;Fig. 1 shows a first embodiment of the device according to the invention;

Fig. 2 toont de lijnanalyse-inrichting die alleen spiegels bevat, in doorsnede volgens een vlak dat gaat 15 door de draaias ervan;Fig. 2 shows the line analyzer containing mirrors only, in section along a plane passing through its axis of rotation;

Fig. 5 toont dezelfde lijnaftastinrichting in projectie op een vlak haaks op de genoemde as;Fig. 5 shows the same line scanner in projection on a plane at right angles to said axis;

Fig. 4 toont de lijnanalyse-inrichting met lenzen, in doorsnede volgens het symmetrievlak ervan; 20 Fig. 5 toont dezelfde inrichting in projectie op een vlak haaks op het symmetrievlak;Fig. 4 shows the line analyzer with lenses, in section according to its plane of symmetry; FIG. 5 shows the same device in projection on a plane at right angles to the plane of symmetry;

Fig. 6 dient ter toelichting van de funktie van de zogenaamde veldspiegel;Fig. 6 serves to explain the function of the so-called field mirror;

Fig. 7 is de projectie van fig. 6 op een vlak haaks op 25 ___^·de draaias van de lijnanalyse-inrichting;Fig. 7 is the projection of FIG. 6 on a plane at right angles to the axis of rotation of the line analyzer;

Fig. 8 dient voor de beschrijving van de beweging van de raster- (of beeld-) analysespiegel;Fig. 8 serves to describe the movement of the raster (or image) analysis mirror;

Fig. 9 illustreert de beweging van de veldspiegel;Fig. 9 illustrates the movement of the field mirror;

Fig. 10 toont een tweede uitvoeringsvorm van de inrichting 30 die slechts spiegels bevat;Fig. 10 shows a second embodiment of the device 30 containing only mirrors;

Fig. 11 toont een derde uitvoeringsvorm van de inrichting, in doorsnede volgens het symmetrievlak;Fig. 11 shows a third embodiment of the device, in section according to the plane of symmetry;

Fig. 12 toont de derde uitvoeringsvorm in projectie op een vlak loodrecht op het symmetrievlak; 35 Fig. 13 toont een uitvoeringsvorm met een eerste stelsel *- voor rechtstreekse visualisatie van het beeld; 7601301 - 8 -Fig. 12 shows the third embodiment in projection on a plane perpendicular to the plane of symmetry; FIG. 13 shows an embodiment with a first system * - for direct visualization of the image; 7601301 - 8 -

Fig. 1½ toont een uitvoering met een tweede stelsel voor rechtstreekse visualisatie;Fig. 1½ shows an embodiment with a second system for direct visualization;

Fig. 15 toont een element waarmee een tweekleurenbeeld mogelijk is; 5 Fig. 16 toont, neergeslagen in het vlak van tekening, het element 151 uit de voorgaande figuur;Fig. 15 shows an element that allows a two-color image; FIG. 16, deposited in the plane of drawing, shows the element 151 of the previous figure;

Fig. 17 is een uitvoeringsvorm van de uitvinding voor thermische beeldvorming met pyrometrie;Fig. 17 is an embodiment of the invention for thermal imaging with pyrometry;

Fig. 18 toont een zogenaamde parallelopstelling van de 10 detectors in de inrichting volgens de uitvinding;Fig. 18 shows a so-called parallel arrangement of the 10 detectors in the device according to the invention;

Fig. 19 toont een zogenaamde serie-opstelling van de detectors in de inrichting;Fig. 19 shows a so-called series arrangement of the detectors in the device;

Fig. 20 toont een zogenaamde serie-parallelopstelling van de detectors in de inrichting volgens de uitvin-15 ding.Fig. 20 shows a so-called series-parallel arrangement of the detectors in the device according to the invention.

Fig· 1 toont een uitvoeringsvorm van de inrichting die schematisch weergegeven is als een doorsnede volgens het symmetrie-vlak P van de inrichting. Door 11 is een vast objectief aangeduid waarvan-de optische as 12 is, en een brandpunt F. Deze optische as 20 snijdt de as ff' in het punt E. De as YY' is de draaias van een stel·' sel met een aandrijfinrichting 13 en een trommel 13* welke aan de zijkant een groot aantal reflekterende vlakken draagt. Zoals nog nader zal worden toegelicht kan deze trommel verschillende vormen hebben. Ter vereenvoudiging wordt de trommel hier prismatisch veronder-25 steld, waarbij de reflekterende vlakken regelmatig verdeeld zijn om de as YY’. Een van deze vlakken is aangeduid door 17 ia een positie loodrecht op het vlak P. De vlakke spiegel 1^ is beweegbaar om een as loodrecht op het vlak van tekening en gaande door E. In feite gaa-; deze as volgens de uitvinding niet noodzakelijk door E heen. Deze in 30 fig. 1 weergegeven plaatsing verdient alleen de voorkeur in het geval waarin de inrichting, zoals nog nader zal worden toegelicht, voorzien van extra middelen voor het verkrijgen van een rechtstreeksi zichtbaarheid van het veld met behulp van electroluminescente diodes. Door de spiegel 1*t worden alle bundels weerkaatst die afkomstig zijn 35 uit een veldzone, en door het objectief 11 gezonden naar de spiegel —16, waar een beeld van dit veld wordt gevormd in hoofdzaak gelegen 7601301 . τ . . . T" * :ί ψά ~ 9 - ' 7 - · ‘.Η..Fig. 1 shows an embodiment of the device which is schematically shown as a section according to the plane of symmetry P of the device. 11 denotes a fixed objective, the optical axis of which is 12, and a focal point F. This optical axis 20 intersects the axis ff 'at the point E. The axis YY' is the axis of rotation of a system with a driving device 13 and a drum 13 * which carries a large number of reflective surfaces on the side. As will be further explained, this drum can have different shapes. For simplicity, the drum is assumed to be prismatic here, with the reflective surfaces regularly spaced about the YY axis. One of these planes is indicated by 17 ia a position perpendicular to the plane P. The plane mirror 1 ^ is movable about an axis perpendicular to the plane of the drawing and passing through E. In fact it is; this axis according to the invention does not necessarily pass through E. This arrangement shown in Fig. 1 is preferred only in the case where, as will be explained in more detail, the device is provided with additional means for obtaining direct visibility of the field by means of electroluminescent diodes. All beams coming from a field zone are reflected by the mirror 1 * t and sent through the objective 11 to the mirror 16, where an image of this field is formed, located mainly at 7601301. τ. . . T "*: ί ψά ~ 9 - '7 - ·" .Η ..

; --^7:- -----:-;- ' -.^:¾ : se laatste spiegel. In fig. 1 is de ene getekende bundel 15 die · V"’vr^j als gemiddelde kromtestraal de lijn heeft welke samenvalt met bische as 12, waarbij het beeld dan ontstaat in het punt D op ZZ' loodrecht op YY', overeenkomend met het middelpunt van het; - ^ 7: - -----: -; - '-. ^: ¾: se last mirror. In Fig. 1, the one drawn beam 15 which has the radius of curvature as the mean radius of curvature is the line which coincides with bic axis 12, the image then being created at point D on ZZ 'perpendicular to YY', corresponding to the center of the

De spiegel zorgt voor de aftasting van het veld in de Lng y loodrecht op de as 12 en liggend in het vlak van de fi-In verband daarmee zal hij worden aangeduid als beeldanalyse-ïl, of analysespiegel, ofwel rasteranalysespiegel.The mirror scans the field in the Lng y perpendicular to the axis 12 and lies in the plane of the image. In connection therewith, it will be referred to as image analysis, or analysis mirror, or raster analysis mirror.

Het systeem bevat verder nog een vaste holle spiegel 18 ui het reflekterende oppervlak een omwentelingsoppervlak is om p'J 1¾ YY’. Deze spiegel zorgt ervoor dat van de detector 19* die >evindt in het punt A van de as YY*, een beeld wordt gevormd in slegen op dezelfde as en als symmetriepunt van D ten opzichteThe system further comprises a fixed hollow mirror 18 of which the reflecting surface is a surface of revolution around p'J 1¾ YY ". This mirror ensures that the detector 19 *, which> arises in the point A of the axis YY *, is formed in layers on the same axis and as a point of symmetry of D with respect to

Het systeem dat wordt gevormd door de draaiende trommel le spiegel 18 en de detector 19 maakt tijdens de draaiing van immel de analyse mogelijk, lijn voor lijn, volgens de richting (recht op het vlak van tekening, van het beeld van het veld dat gegeven door het objectief 11 en de beeldanalysespiegel 1^ in 'ƒThe system formed by the rotating drum le mirror 18 and the detector 19 during the rotation of immel allows the analysis, line by line, according to the direction (right on the plane of drawing, of the image of the field given by the lens 11 and the image analysis level 1 ^ in 'ƒ

iijheid van het punt D. Dit stelsel zal hierna worden aangeduid Kvanity of point D. This system will hereinafter be referred to as K.

.jnanalysestelsel of analyse stelsel x. De spiegel 16, symme- .analysis system or analysis system x. The mirror 16, system.

i ten opzichte van het vlak (ZZ*, YY*) zorgt voor de optische ; -T7-' ;atie van het middelpunt van de uittreepupil 0 van het objec- 11 met het vaste punt 0* van de as YY’, als symmetriepunt van E . f. .i relative to the plane (ZZ *, YY *) provides the optical; -T7- '; ation of the center of the exit pupil 0 of the object-11 with the fixed point 0 * of the axis YY ", as the point of symmetry of E. f. .

* : f - . - f *£ ψ. - jzichte van ZZ’, zodanig dat de convergentie op de detector gewaarborgd van elke bundel die terecht komt op de uit tree- · _ van het objectief 11.*: f -. - f * £ ψ. - view from ZZ, such that convergence on the detector is assured of any beam that ends up on the exit of the lens 11.

i _ 7> - ri _ 7> - r

Deze spiegel 16 zal, omdat hij het geanalyseerde veld be- .7^.7* * !- " f ··***' ;, aangeduid worden als veldspiegel.This mirror 16, because it contains the analyzed field, will be referred to as field mirror. 7 ^ .7 * *! - "f ·· *** ';

Het objectief 11 is in deze figuur weergegeven als opge-uit lenzen. Volgens de uitvinding kan, zoals nog nader zal .The objective 11 is shown in this figure as raised-out lenses. According to the invention it is possible, as will be further described.

t beschreven, dit objectief evengoed worden gerealiseerd met " t van spiegels. In verband met het feit dat de uitvinding niet t gelegen is in het geheel van het stelsel waarvan in het 130 1 — 10 — bovenstaande een uitvoeringsvoorbeeld werd beschreven, maar ook en vooral in de keuze, de inrichting en de kombinatie van de samenstellende elementen, zullen deze laatste allereerst in bijzonderheden worden beschreven.t, this objective can also be realized with "t of mirrors. In view of the fact that the invention does not lie in the entirety of the system of which an exemplary embodiment has been described in the above, but also and especially in the choice, arrangement and combination of the constituent elements, the latter will first be described in detail.

5 1e Het lijnanalysestelsel (x)5 1st The line analysis system (x)

Hen eerste uitvoeringsvorm van dit stelsel is schematisch weergegeven in fig. 2 en 3» en wel als projectie in het vlak (ZZ', TT’) respektievelijk als projectie op een vlak loodrecht op TT'.Het stelsel omvat de trommel 13' die draait om de as 77' en die een 10 groot aantal reflekterende platte vlakken draagt en de beeldtrans-portspiegel 18.The first embodiment of this system is shown schematically in Figs. 2 and 3, as projection in the plane (ZZ ', TT') and as projection on a plane perpendicular to TT '. The system comprises the drum 13' which rotates about the axis 77 'and which carries a large number of reflective flat surfaces and the image transport mirror 18.

De spiegel 18 zorgt voor het transport van het beeld van een detector A welke geplaatst is op de draaiae 77' in een punt A' eveneens op de as 77'.The mirror 18 takes care of the transport of the image of a detector A which is placed on the rotation 77 'at a point A' also on the axis 77 '.

13 De vlakken van de trommel 13' zijn geplaatst in de con vergerende bundel in de baan van het beeldtransport van de spiegel 18.13 The faces of the drum 13 'are placed in the converging beam in the path of the image transport of the mirror 18.

De symmetriepunten AM^, A"2,····, AMn van A' ten opzichte van elk van deze n vlakken van de trommel beschrijven dan respektie-20 velijk cirkelbogen die gecentreerd zijn op de draaias 77' en die liggen in vlakken loodrecht op de as 77', welke cirkelbogen de dragers zijn voor de afgetaste lijnen.The points of symmetry AM ^, A "2, ····, AMn of A 'relative to each of these n faces of the drum then describe respective arcs centered on the axis of rotation 77' and which are in planes perpendicular on the axis 77 ', which arcs are the carriers for the scanned lines.

De trommel kan volgens de uitvinding verschillende vormen hebben. Hij kan prismatisch zijn, waarbij de vlakken ervan allemaal 23 evenwijdig zijn aan de as 77* en op gelijke afstand daarvan liggen; de punten A'^, AH2, ·.., A"a beschrijven dan eenzelfde cirkel die gaat door D. Dit is het geval voor fig. 2 en 3 waarin A"^ en AM2 het symmetriepunt van A' voorstellen ten opzichte van twee opvolgende vlakken 21 en 22.The drum according to the invention can have different shapes. It may be prismatic, the surfaces of which are all 23 parallel to and equidistant from axis 77 *; the points A '^, AH2, · .., A "a then describe the same circle passing through D. This is the case for fig. 2 and 3 where A" ^ and AM2 represent the point of symmetry of A' with respect to two successive planes 21 and 22.

30 Hetzelfde geldt wanneer de trommel piramidevormig is en wanneer de reflekterende vlakken een gelijke hellingshoek hebben ten opzichte van de as 77*, zoals weergegeven in fig· k en 5° Maar de vlakken van de trommel kunnen ook ongelijke hellingshoeken hebben; de punten A“^, A"2, ..., A”a beschrijven dan aparte cirkelbogen met 35 het middelpunt op de as 77' en liggend in onderling evenwijdige 760 1 30 1 -11 — vlakken die loodrecht staan op 17', Het lijnaftaststelsel tast dan met zijn achtereenvolgende vlakken de verschillende lijnen af die passeren in de nabijheid van het punt D.The same applies when the drum is pyramidal and when the reflecting surfaces have an equal angle of inclination with respect to the axis 77 *, as shown in fig. K and 5 °. But the surfaces of the drum can also have unequal angles of inclination; points A “^, A” 2, ..., A ”a then describe separate circular arcs centered on axis 77 'and lying in parallel 760 1 30 1 -11 - planes perpendicular to 17', The line scanning system then scans with its successive planes the different lines passing in the vicinity of the point D.

De beeldtransportspiegel 18 is bijvoorbeeld torisch om de 3 as YY·. De doorsnede van de spiegel is bijvoorbeeld elliptisch en maakt deel uit van een omweatelingsellipsoïde met brandpunten A en A'« Het is echter niet noodzakelijk dat de tores een elliptische doorsnede heeft; de elliptische vorm is slechts de theoretisch beste vorm. In bepaalde gevallen, afhankelijk van de toepassing, is 10 het oogelijk om met een goede benadering de elliptische doorsnede te laten samenvallen met een andere doorsnede die echter weinig van verschilt en die gemakkelijker te realiseren is, bijvoorbeeld een ronde doorsnede·For example, the image transport mirror 18 is toric about the 3 axis YY. For example, the cross-section of the mirror is elliptical and is part of an overturning ellipsoid with focal points A and A. However, it is not necessary that the torques have an elliptical cross-section; the elliptical form is only the theoretically best form. In some cases, depending on the application, it is desirable to have a good approximation of the elliptical cross-section to coincide with another cross-section, which differs little and is easier to achieve, for example a round cross-section.

Volgens een kleine variant van deze uitvoeringsvorm heeft 15 de tores niet uitsluitend spiegels maar is hij catadioptrisch·According to a small variant of this embodiment, the torches not only have mirrors, but are catadioptric

De aftastinrichting verliest dan het voordeel dat hij kan funktioneren bij alle golflengten, omdat hij niet meer uitsluitend uit spiegels bestaat, maar hij heeft dan het voordeel te beschikken over nieuwe parameters voor de correctie van aberraties.The scanner then loses the advantage that it can function at all wavelengths, because it no longer consists exclusively of mirrors, but it has the advantage of having new parameters for the correction of aberrations.

20 In een tweede uitvoeringsvorm wordt het beeldtransport van de detector op de as tot stand gebracht met behulp van een lensobjectief · Deze uitvoeringsvorm is weergegeven in fig. 4 en 5 res-pektievelijk geprojecteerd op een vlak door de as YI’ en een loodrecht daarop staand vlak.In a second embodiment, the image transport of the detector on the axis is accomplished using a lens lens. This embodiment is shown in Figs. 4 and 5 projected respectively on a plane through the axis Y1 'and perpendicular thereto. flat.

25 De detector bevindt zich bij A buiten de draaias 77*. Het objectief 41 geeft van de detector een beeld dat zich bevindt in A’ op de draaias 77’· De trommel 13* kan ook nog prismatisch zijn of regelmatig piramidaal, of onregelmatig om de as 77'. Het symmetrie-punt A" van A’ ten opzichte van een van de vlakken 42 van deze trom-30 mei beschrijft nog steeds een cirkelboog 43 met middelpunt op de as 77' en gaande door D of de nabijheid daarvan, al of niet identiek aan zichzelf, aan de ene of de andere zijde, afhankelijk van de situatie, zoals eerder werd vermeld·25 The detector is located at A outside the rotary axis 77 *. The objective 41 gives an image of the detector which is located in A "on the rotary axis 77". The drum 13 * can also be prismatic or regularly pyramidal, or irregularly about the axis 77 ". The point of symmetry A "of A 'with respect to one of the faces 42 of this drum may still describe a circular arc 43 centered on the axis 77' and passing through D or the vicinity thereof, whether or not identical themselves, on one side or the other, depending on the situation, as mentioned earlier

Dit stelsel vertoont het nadeel dat het geen omwentelings-35 vorm is om de as 77', zodat het beeld A' of A,f geen konstante 7601301 — 12 — kwaliteit heeft als funktie van de draaiing van de trommel· Overigene moet het objectief een zeer grote opening hebben, die afhankelijk ia van de lengte van de geanalyseerde lijn.This system has the disadvantage that it is not a revolution shape about the axis 77 ', so that the image A' or A, f does not have a constant 7601301-12 quality as a function of the rotation of the drum. have very large openings, which depend on the length of the analyzed line.

Deze tweede uitvoeringsvorm, die deel uitmaakt van de 5 uitvindingsgedachte, kan bij bepaalde toepassingen nuttig zijn. De voorkeur verdient echter in het algemeen het stelsel met een torische spiegel in verband met de daaraan verbonden voordelen: - bruikbaarheid bij alle golflengten van het licht, kon-trole en instelling bij de aanvang zijn mogelijk bij zichtbaar licht 10 doordat het stelsel geheel met spiegele werkt; het heeft dus een grotere konstruktieve eenvoud; - een konstante beeldkwaliteit die wordt bepaald door de feores, ongeacht de draaiingshoek van de trommel, doordat de as 17' een symmetrie-as is van de lijnanalyse-inrichting.This second embodiment, which forms part of the inventive idea, can be useful in certain applications. In general, however, the toric mirror system is preferred for its associated advantages: usability at all wavelengths of light, control and initial setting are possible with visible light because the system is completely mirror-like works; it therefore has a greater structural simplicity; a constant image quality determined by the feores, regardless of the angle of rotation of the drum, because the axis 17 'is a symmetry axis of the line analyzer.

15 Op de horizontale projectie van het lijnaftastsysteem van fig· 3 zijn door 21 en 22 twee opeenvolgende reflekterende vlakken van de trommel 13' aangeduid· Door 33 en 3*t de normalen op elk van deze vlakken Cof de projecties van deze twee normalen op een vlak loodrecht op de as 77' wanneer de trommel piramidaal is)· Deze nor-20' malen maken een hoek a.15 On the horizontal projection of the line scanning system of Fig. 3, 21 and 22 indicate two successive reflecting surfaces of the drum 13 '. By 33 and 3 * t the normals on each of these surfaces Cof the projections of these two normals on a plane perpendicular to the axis 77 'when the drum is pyramidal) · These nor-20' grinds make an angle a.

AM,j en AM2 zijn de symmetriepunten van het beeld A’ van de detector A ten opzichte van het vlak 21 respektievelijk het vlak 22· De hoek waaronder men vanuit Af de spiegel 21 of 22 ziet is ook a. Deze hoek a bepaalt de maximale lengte van de geanalyseerde lijn 25 welke gedragen wordt door de cirkelboog AH^ An^ in de loop van de draaiing van de, trommel 13' en de opening die de spiegel 18 moet hebben* De detector mag immers niet gelijktijdig flux ontvangen die afkomstig is van twee verschillende punten van de lijn. De geanalyseerde lijn mag daartoe slechts een enkel beeld bevatten van de de-30, tector; veronderstellend dat de trommel 13’ draait in de richting van de pijl 35» en dat de spiegel 22 een aanvang gemaakt heeft met de aftasting van de lijn in A"^, dan moet hij noodzakelijk eindigen in Af,2 op het moment waarop de spiegel 21 de aftasting van de volgende lijn begint in A"^0 De opening van de torische spiegel dient 35 voldoende te zijn in het vlak loodrecht op 77' om de van A*^ of van 7601301 -13- AH2 afkomstige stralen te laten weerkaatsen naar A. Hieruit vloeit voort, zoals overigens direkt blijkt uit fig· 3» dat deze opening groter dan of gelijk aan 2a dient te zijn. f.AM, j and AM2 are the symmetry points of the image A 'of the detector A with respect to the plane 21 and the plane 22, respectively. The angle at which one sees from the mirror 21 or 22 is also a. This angle a determines the maximum length of the analyzed line 25 which is carried by the circular arc AH ^ An ^ in the course of the rotation of the drum 13 'and the opening which the mirror 18 must have * After all, the detector must not receive flux originating from two different points of the line. The line analyzed should therefore contain only a single image of the detector; assuming that the drum 13 'rotates in the direction of the arrow 35 »and that the mirror 22 has started scanning the line in A 1, it must necessarily end in Af 2 at the moment when the mirror 21 the scanning of the next line begins in A "^ 0. The opening of the toric mirror should be sufficient in the plane perpendicular to 77 'for the rays from A * ^ or from 7601301-13 AH2 to reflect to A. It follows from this, as is also apparent from Fig. 3 that this opening must be greater than or equal to 2a. f.

Met deze opbouw is de dode tijd tussen de aftasting van <;C- 5 twee achtereenvolgende lijnen nihil. ';·With this construction, the dead time between the scan of two consecutive lines is nil. ';

De lengte van de geanalyseerde lijn wordt bepaald door g het aantal facetten van de draaiende trommel die de hoek α bepaald, ,r*· dus de lengte A" A'' in fig. 3·The length of the analyzed line is determined by g the number of facets of the rotating drum that determine the angle α, r * · so the length A "A" 'in fig. 3 ·

ICIC

Verder komt de spiegel 16, veldspiegel genaamd, uit fig. 1 0 te pas om te voorkomen dat de op de detector vallende flux afkomstig ^ is van meerdere punten van de lijn A". A” uit fig. 3» zoals hierna Ί c syr ·: zal worden behandeld.Furthermore, the mirror 16, called field mirror, of FIG. 10 is used to prevent the flux falling on the detector from coming from several points of the line A ". A" from FIG. 3 "as hereinafter" syr ·: will be treated.

• t:: .• t ::.

2e· De veldspiegel. it12nd · The field mirror. it1

De funkties en de vormgeving van de veldspiegel (spiegel j& 5 -16 in fig. l) worden beschreven aan de hand van fig. 6 en 7*The functions and design of the field mirror (mirror j & 5 -16 in fig. 1) are described with reference to fig. 6 and 7 *

In fig· 6 is de ingangsoptiek voorgesteld in projectie op if' het symmetrievlak van de inrichting door de as YY'. Duidelijkheids- IC, halve is de beeldanalysespiegel weggelaten, en in verband daarmee is het objectief 11 getekend in een symmetrische positie ten opzichte 0 van de as YY* in vergelijking met z'n werkelijke positie, hetgeen ft"' overigens geen beperking oplevert op hetgeen hierna wordt gezegd. f 0U is de aanduiding van het middelpunt van de uittreepupil van het objectief dat geplaatst is in deze symmetrische positie. [In Fig. 6, the input optics are represented in projection on if 'the plane of symmetry of the device through the axis YY'. Clarity IC, half, the image analysis mirror is omitted, and in this connection, the objective 11 is drawn in a symmetrical position with respect to the axis YY * compared to its actual position, which does not, however, limit what hereinafter it is said: f 0U is the designation of the center of the lens' exit pupil positioned in this symmetrical position.

Verder zijn er verschillende dwarsdoorsneden weergegeven 5 van het oppervlak, en wel: bij 61 de dwarsdoorsnede van de veldspie- gel, bij 62 de dwarsdoorsnede van het brandvlak van het objectief 11 · met middelpunt 0", met 63 de dwarsdoorsnede van het geanalyseerde oppervlak met middelpunt 0* op de as YY’ en snijpunt van een straal QG die bij G weerkaatst is op de dwarsdoorsnede 61 van de spiegell6* 0 Deze dwarsdoorsneden snijden elkaar in een punt D dat ligt op de optische as van het objectief 11 en dat overeenkomt met het middelpunt van het veld.Furthermore, different cross-sections of the surface are shown, namely: at 61 the cross-section of the field mirror, at 62 the cross-section of the focal plane of the objective 11 · with center 0 ", with 63 the cross-section of the analyzed surface with center 0 * on the axis YY 'and intersection of a beam QG reflected at G on the cross-section 61 of the mirror 6 * 0 These cross-sections intersect at a point D which lies on the optical axis of the objective 11 and which corresponds to the center of the field.

Deze veldspiegel 16 heeft meerdere funkties. Hij is zo ontworpen dat hij elke straal weerkaatst die afkomstig is van 0”, 5 zoals 0MG, tot een straal zoals 0’G die gaat door het vaste punt 0’ 7601301 r* ' — ik — op de as YY', welk punt 0’ het symmetriepunt is ran E, het snijpunt van de optische as met YY*. Een eerste funktie is dus om het middelpunt 0" van de uittreepupil van het objectief 11, dus 0 in werkelijkheid, te conjugeren met het vaste punt 0' van de draaias, hetgeen 5 een voorwaarde is om elke bundel die afkomstig is van een van de zones van een veld behorend bij elke straal die gaat door 0 en die teruggekaatst wordt door de analysespiegels, te laten convergeren op de detector die geplaatst is bij A op de rotatie-as YY'· Het aanbrengen van een dergelijke spiegel vertoont a priori het bezwaar dat 10 zijn eigen veldkromming wordt geïntroduceerd. In feite is dat niet zo, en er komt nu een tweede funktie naar voren die vervuld wordt door de veldspiegel: volgens de uitvinding wordt de kromming benut om de aberratie-effekten te corrigeren als gevolg van de kromming van het objectief 11 en die van het lijnanalysestelsel. Hij geeft 15 van het brandvlak van het objectief 11 (met doorsnede 62) een beeld dat samenvalt met het geanalyseerde oppervlak (met doorsnede 63) gecentreerd op 0', hetgeen bereikt wordt doordat het brandvlak (met doorsnede 62) gecentreerd is op de uittreepupil van het objectief 11 en doordat de veldspiegel zorgt voor de optische conjugatie van 0” 20 (dus 0) en 0*.This field mirror 16 has several functions. It is designed to reflect any beam from 0 ”, 5 such as 0MG, to a beam such as 0'G passing through the fixed point 0 '7601301 r *' - I - on the axis YY ', which point 0 'the point of symmetry is ran E, the intersection of the optical axis with YY *. Thus, a first function is to conjugate the center point 0 "of the exit pupil of the objective lens 11, that is to say 0 in reality, with the fixed point 0 'of the axis of rotation, which is a condition for every beam coming from one of the zones of a field associated with each ray passing through 0 and reflected by the analysis mirrors to converge on the detector placed at A on the axis of rotation YY '· The provision of such a mirror presents the objection a priori that its own field curvature is introduced, in fact it is not, and a second function is now emerging which is fulfilled by the field mirror: according to the invention the curvature is used to correct the aberration effects as a result of the curvature of the objective 11 and that of the line analysis system.He gives 15 of the focal plane of the objective 11 (with section 62) an image that coincides with the analyzed surface (with section 63) centered on 0 ', h This is also achieved because the focal plane (with section 62) is centered on the exit pupil of the objective 11 and because the field mirror provides the optical conjugation of 0 ”20 (ie 0) and 0 *.

In de meest theoretische vorm is deze veldspiegel een deel van een omwentelingsellipsoïde met brandpunten 0” en 0', en door het punt D en ieder punt zoals G.In its most theoretical form, this field mirror is part of a revolutionary ellipsoid with focal points 0 ”and 0 ', and through point D and any point such as G.

In de praktijk en volgens de uitvinding zal men een be-25 naderde vorm van de ellipsoïde gebruiken die gemakkelijker kan worden verkregen; dit is een deel van een bol door 0 en met als middelpunt het punt C dat zich bevindt in het snijpunt van 0**0* met de as ZZ', loodrecht op YY' en gaande door D.In practice and in accordance with the invention, an approximate shape of the ellipsoid will be used which is more easily obtained; this is part of a sphere through 0 and centered at the point C which is at the intersection of 0 ** 0 * with the axis ZZ ', perpendicular to YY' and passing through D.

De kromtestraal ervan is zodanig dat, geprojecteerd op 30 het vlak loodrecht op YY' in D deze spiegel, zoals weergegeven in fig. 7» zorgt voor het conjugeren van H en H', de projecties van 0'· respektievelijk 0' op dit vlak.Its radius of curvature is such that, projected on the plane perpendicular to YY 'in D, this mirror, as shown in Fig. 7 »conjugates H and H', the projections of 0 'and 0' on this plane, respectively. .

De geanalyseerde lijn is de cirkelboog 73 met middelpunt H', het snijpunt van dit vlak met de bol die het middelpunt 0' heeft 35 en straal 0'D, terwijl de dwarsdoorsneden van het brandvlak van het 7601301 -15 - objectief 11 en ran deze spiegel de cirkelbogen 72 respektievelijk 71 zijn*The analyzed line is the circular arc 73 with center H ', the intersection of this plane with the sphere having the center 0' 35 and radius 0'D, while the cross sections of the focal plane of the 7601301-15 lens 11 are and mirror the arcs 72 and 71, respectively *

Volgens de uitvinding kan de veldspiegel 16 worden beperkt in bet vlak loodrecht op YY’ en door ZZ* tot een oneindig kleine 5 cirkelboog in de zin YY' met middelpunt H’, welke cirkel van een punt B van 72 overeenkomend met de projectiestraal HB een beeld B* geeft op de cirkelboog 73·According to the invention, the field mirror 16 can be limited in the plane perpendicular to YY 'and by ZZ * to an infinitely small circular arc in the sense YY' with center H ', which circle has a point B of 72 corresponding to the projection beam HB image B * shows on the circular arc 73

In bepaalde gevallen kan de cirkelboog worden vereenzelvigd met het raakvlak* Volgens de uitvinding is de veldspiegel 16 dan 10 in het bijzonder een cilindrische spiegel waarvan de as evenwijdig is aan YY' en loopt door C*In certain cases, the circular arc can be identified with the tangent plane * According to the invention, the field mirror 16 then 10 is in particular a cylindrical mirror whose axis is parallel to YY 'and passes through C *

Ben derde funktie van de spiegel is om de afmetingen vast te leggen van het geanalyseerde veld, in het bijzonder de lengte van de lijn waarvan de maximale waarde, zoals hierboven bleek, wordt be-15 paald door het aantal facetten van de draaiende trommel, en wel overeenkomend met de boog AH^ AM2 gecentreerd op A', zoals weergegeven in fig* 3* waarbij A"^ en AM2 de beelden zijn van de detector die worden gegeven door het lijnanalysestelsel met behulp van twee opeenvolgende vlakken van de trommel 13?* 20 De veldspiegel 16 heeft een breedte welke kleiner is dan de boog A"^ A’^, zodat de flux die bij A op de detector valt slechts afkomstig is van êén enkel punt van de lijn*The third function of the mirror is to record the dimensions of the analyzed field, in particular the length of the line whose maximum value, as shown above, is determined by the number of facets of the rotating drum, and corresponding to the arc AH ^ AM2 centered on A ', as shown in FIG. * 3 * where A "^ and AM2 are the detector images given by the line analysis system using two successive faces of the drum 13? * The field mirror 16 has a width which is smaller than the arc A "^ A" ^, so that the flux that falls on the detector at A originates only from a single point of the line *

Ben van de randen van de spiegel kan bijvoorbeeld samenvallen met Ah2, terwijl hij iets binnen ΑΜ^ ligt, zoals weergegeven 25 in fig* 3·For example, ben of the edges of the mirror may coincide with Ah2, while it is slightly within ΑΜ ^, as shown in fig * 3 ·

In verband met de konstantheid van de beeldkwaliteit van het veld in afhankelijkheid van de richting van het geanalyseerde veld in de richting y, en ook in verband met de beperking van de omvang van het lijnanalysesysteem, is het gewenst om door dit lijn-30 analysestelsel stralen te laten treden met eenzelfde invalshoek, ongeacht deze richting.In view of the constancy of the image quality of the field in dependence of the direction of the analyzed field in the direction y, and also in connection with the limitation of the size of the line analysis system, it is desirable to radiate through this line-30 analysis system to act with the same angle, regardless of this direction.

De uitvinding voldoet aan deze voorwaarde door de veldspiegel in een heen en weer gaande beweging te brengen, synchroon met de beweging van de beeldanalysespiegel. Deze bewegingen worden 35 ia het onderstaande beschreven bij de beschrijving van het 7601301 - 16 - i» *· beeldanalysestelsel.The invention fulfills this condition by moving the field mirror in a reciprocating motion synchronous with the movement of the image analysis mirror. These movements are described below in the description of the 7601301-16 image analysis system.

3e Beeldanalysestelsel.3rd Image analysis system.

Dit stelsel is schematisch weergegeven in fig. 8 in een doorsnede volgens het vlak ZZ’ t YY'. De beeldanalysespiegel 14 wordt 3 in een heen en weer gaande draaiende beweging gebracht om een as loodrecht op het vlak van tekening door het punt E, dat zich bevindt op de optische as van het objectief 11. E is getekend op de draaias YY' van de analysetrommel x. E kan in feite een andere plaats innemen. Teneinde de afmetingen van deze spiegel te reduceren en een 10 hoge oscillatiefrekwentie mogelijk te maken wordt dit punt in het algemeen zeer dicht bij het brandvlak van het objectief 11 met doorsnede 62 geplaatst. Deze positie vertoont verder het voordeel dat daardoor het gebruik mogelijk is van een objectief met korte brandpuntsafstand en met een kortere optische diepte.This system is schematically shown in Fig. 8 in a section according to the plane ZZ 't YY'. The image analysis mirror 14 is brought in a reciprocating rotational motion about an axis perpendicular to the plane of the drawing through the point E, which is located on the optical axis of the objective 11. E is drawn on the axis of rotation YY 'of the analysis drum x. E can actually take a different place. In order to reduce the dimensions of this mirror and allow a high oscillation frequency, this point is generally placed very close to the focal plane of the objective 11 of section 62. This position further has the advantage that it allows the use of a lens with a short focal length and a shorter optical depth.

15 Evenals in fig. 6 en 7 wordt door D het beeld voorgesteld van de detector A door het lijnanalysestelsel voor het midden van het veld.As in FIGS. 6 and 7, D represents the image of the detector A through the center field analysis system.

De straal OE die samenvalt met de optische as gaat door D na weerkaatsing door de spiegel 14 wanneer deze de stand inneemt voor 20 analyse van het middelpunt van het veld, dat wil zeggen wanneer de hoek α die hij maakt met YY' nul is.The radius OE coinciding with the optical axis passes through D after reflection from mirror 14 when it takes up position for analysis of the center of the field, ie when the angle α it makes with YY 'is zero.

Tijdens de draaiing van de spiegel 14- beschrijft het symmetriepunt van D ten opzichte van deze spiegel de cirkelboog 81 met middelpunt E en met straal ED^, waarbij D^ het symmetriepunt van 25 D is ten opzichte van YY'. Voor de richting 82 van het veld die met de optische as 12 de hoek β maakt, gemeten vanuit het middelpunt 0 van de uittreepupil van het objectief, en in fig. 8 samenvallend getekend met het objectief 11, en overeenkomend met een positie van het spiegelvlak dat een hoek α maakt met YY', ligt het beeld van 30 de detestor bij D^ op de boog 81, terwijl het beeld van het veld in de richting β ligt bij D'^ op de doorsnede 62 van het brandvlak, ofwel, na weerkaatsing op de spiegel 14, bij D”, het symmetriepunt van D'^ ten opzichte van het spiegelvlak 14.During the rotation of the mirror 14-, the symmetry point of D with respect to this mirror describes the circular arc 81 with center E and with radius ED ^, where D ^ is the symmetry point of D with respect to YY '. For the direction 82 of the field making the angle β with the optical axis 12, measured from the center 0 of the exit pupil of the objective lens, and coincident in Figure 8 with the objective objective 11, and corresponding to a position of the mirror plane that makes an angle α with YY ', the image of the detector at D ^ is on the arc 81, while the image of the field in the direction β is at D' ^ on the section 62 of the focal plane, or, after reflection on the mirror 14, at D ”, the point of symmetry of D '^ with respect to the mirror plane 14.

Het blijkt dus dat, wanneer het beeld van de detector 35 door de spiegel 14 in de positie evenwijdig aan YY' zeker het 7601301 - 17- brandvlak van bet objectief 11 is, dit beeld verder weg komt ia afhankelijkheid van de beeldboek β, een optredend verloop van de scherpstelling volgens het segment D^^*3» oivei DD" met lengte 1.It thus appears that, when the image of the detector 35 through the mirror 14 in the position parallel to YY 'is certainly the 7601301 - 17 focal plane of the objective 11, this image gets further away depending on the picture book β, a occurring focus progress according to segment D ^^ * 3 »level DD» with length 1.

De theorie toont aan dat DD" een hoek maakt met ZZ' waar-5 van de waarde is γ = α - |, terwijl de waarde van 1 gegeven wordt door de relatie: 1 = - LH t sin 2 a met L = rnrr“ 10 M = cos (a + i - -| ) A * ^(M2 - 1) + H2 a * ^ £β + bgsin ^—· - 1) + sin £|j H = OD,The theory shows that DD "makes an angle with ZZ 'where -5 of the value is γ = α - |, while the value of 1 is given by the relation: 1 = - LH t sin 2 a with L = rnrr" 10 M = cos (a + i - - |) A * ^ (M2 - 1) + H2 a * ^ £ β + bgsin ^ - · - 1) + sin £ | j H = OD,

r = EDr = ED

15 waarin i de hoek voorstelt van BD met ZZ'·15 where i represents the angle of BD with ZZ '

Volgens de uitvinding wordt dit verloop van de scherpstel- > ling gecorrigeerd door op de veldspiegel 16 de bewegingen met kleine amplitude op ‘te drukken die geschikt zijn om er voor te zorgen dat de raaklijn aan de top van deze spiegel op elk moment de middenlijn 20 is van DD". Deze bewegingen bestaan uit de volgende componenten: allereerst een heen en weer gaande translatiebeweging met amplitude ~ cos γ in de richting ZZ' van Z' naar Z9 op de tweede plaats een heen en weer gaande rotatie met amplitude γ om een as evenwijdig aan z en symmetrisch ten opzichte van ZZ', welke translatie en rotatie 25 in fase zijn met de beweging van de rasterspiegel 14·According to the invention, this course of the focus is corrected by pressing on the field mirror 16 the movements with small amplitude which are suitable to ensure that the tangent line at the top of this mirror is at all times the center line 20. is of DD ". These movements consist of the following components: first a reciprocating translation movement with amplitude ~ cos γ in the direction ZZ 'from Z' to Z9, secondly a reciprocating rotation with amplitude γ about a axis parallel to z and symmetrical with respect to ZZ ', which translation and rotation 25 are in phase with the movement of the grating mirror 14

De positie van de spiegel 16 is in fig. 8 aangeduid voor de veldhoek β, met behulp van de raaklijn 83 aan de spiegel in de top daarvan, aanvankelijk loodrecht op ZZ' in D voor het middelpunt van het veld, dat wil zeggen wanneer α en β nul zijn· Deze raaklijn 30 heeft een afstand tot D van ^ in de richting van DDM, terwijl hij met ÏY' een hoek maakt die gelijk is aan α zo<*at de straal OD'^ de as ZZ' in D snijdt na achtereenvolgende reflekties op de spiegel 1½ en de spiegel 16, en hij gaat door het aan 0 toegevoegde punt 0' door de spiegel ié in de oorspronkelijke stand daarvan· 33 Ongeacht hoe groot β is, is D dus het beeld van DP in de 760 1 3 0 1 5 r - 18- veldspiegel, en de gemiddelde straal van de bundel beeft, na reflek-tie op deze spiegel, een konstante invalshoek i op de as ZZ', zodanig dat het middelpunt 0 van de uittreepupil voortdurend geconjugeerd is met hetzelfde vaste punt 0' van YY'· 5 Hieruit volgt dat voor elke richting van de hoek β van het veld het brandvlak van het objectief 11 in de veldspiegel nog steeds samenvalt met het oppervlak dat wordt geanalyseerd door de lijnana-lyse-inri chting.The position of the mirror 16 is indicated in Fig. 8 for the field angle β, using the tangent 83 to the mirror at the top thereof, initially perpendicular to ZZ 'in D for the center of the field, i.e. when α and β are zero · This tangent line 30 has a distance to D of ^ in the direction of DDM, while with ÏY 'it makes an angle equal to α if <* at the radius OD' ^ intersects the axis ZZ 'in D after successive reflections on mirror 1½ and mirror 16, and it passes through the point 0 'added to 0 through the mirror ié in its original position · 33 Regardless of how big β is, D is therefore the image of DP in the 760 1 3 0 1 5 r - 18-field mirror, and the mean beam radius, after reflection on this mirror, has a constant angle of incidence i on the axis ZZ ', such that the center 0 of the exit pupil is continuously conjugated with same fixed point 0 'of YY' · 5 It follows that for each direction of the angle β of the field the focal plane of the o Objective 11 in the field mirror still coincides with the area analyzed by the line analysis device.

De samengestelde beweging van de veldspiegel wordt bij-10 voorbeeld verkregen zoals weergegeven is in fig· 9· De spiegel 16 is loodrecht geplaatst op een rechter drager AB, zodanig dat A zich verplaatst op de as ZZ' terwijl B de cirkelboog 91 beschrijft met middelpunt op ZZ' en liggend in het vlak (ZZ', YY')· In fig. 9 is door M de positie aangeduid van de spiegel die gaat door D, overeenkomend 15 met het middelpunt van het veld, en door M' de positie van de spiegel voor de veldrichting met hoek β· De ondersteuning, die dan de positie A'B' inneemt, is over een hoek α - gedraaid ten opzichte van AB in de zin van de pijl 92·For example, the compound movement of the field mirror is obtained as shown in Fig. 9 · The mirror 16 is placed perpendicular to a right-hand carrier AB, such that A moves on the axis ZZ 'while B describes the circular arc 91 with its center on ZZ 'and lying in the plane (ZZ', YY ') · In Fig. 9, M indicates the position of the mirror passing through D, corresponding to the center of the field, and M' indicates the position of the mirror for the field direction with angle β · The support, which then takes the position A'B ', is turned by an angle α - with respect to AB in the sense of the arrow 92 ·

Met een dergelijke compensatie van het verloop van de 20 scherpstelling, ontstaan door de beeldanalysespiegel 14, is het dus mogelijk om voor het scheidend vermogen een limiet te verkrijgen die evengoed is over het totale afgetaste veld in x en y als in het middelpunt van het veld· Overigens wordt de grens van het scheidend vermogen welke wordt bepaald door het objectief niet gewijzigd door het 25 stelsel voor analyse in de x en de y richting.With such compensation of the course of the focus, caused by the image analysis level 14, it is thus possible to obtain a limit for the resolution that is just as good over the total scanned field in x and y as in the center of the field. Incidentally, the resolution limit determined by the objective is not changed by the analysis system in the x and y directions.

Nu zullen bij wijze van voorbeeld twee andere uitvoeringsvormen van de optisch-mechanische aftastinrichting worden beschreven, waarin een combinatie de elementen zullen terugkeren die hierboven in bijzonderheden zijn beschreven· 30 Ben van deze uitvoeringen is weergegeven in fig. 10 vol gens het symmetrievlak van het stelsel.Now, by way of example, two other embodiments of the optical-mechanical scanner will be described, in which a combination will return the elements described in detail above. [30] One of these embodiments is shown in FIG. 10 according to the plane of symmetry of the system. .

Deze vertoont de bijzonderheid dat hij volledig opgebouwd is uit spiegels. Het ingangsobjectief wordt gevormd door de omkeer-spiegel 101, voorzien van een opening 102, en een spiegel van het 35 telescoopspiegeltype 103 met parabolische doorsnede. De optische as 7601301 - 19- van het opjectief is aangeduid door 10½. Het brandpunt bevindt zich bij F. De bundel die afkomstig is van een vast punt op het oneindige gaat na weerkaatsing door de vaste spiegel 101 en de spiegel 103 door de opening 102, waarna hij dan wordt opgenomen door het eigen-3 lijke analysestelsel, teweten de beeldanalysespiegel 14, de veldspie·· gel 1Ó, de draaiende trommel 13' en de beeldtransportspiegel 18, om tenslotte te convergeren op de detector 19·This shows the special feature that it is completely made up of mirrors. The input objective is formed by the reversing mirror 101 having an aperture 102 and a mirror of the telescopic mirror type 103 with parabolic cross section. The optical axis 7601301 - 19- of the lens is indicated by 10½. The focal point is at F. The beam emanating from a fixed point at infinity, after reflection, passes through the fixed mirror 101 and the mirror 103 through the aperture 102, after which it is taken up by the actual analysis system. the image analysis mirror 14, the field mirror ·· gel 1Ó, the rotating drum 13 'and the image transport mirror 18, finally converging on the detector 19 ·

In fig. 10 is de getekende bundel 103 de bundel waarvan de gemiddelde straal kan samenvallen met de optische as 10½. Heke-10 ning houdend met de gebruikte telescoopspiegel 103 ligt het veld bij·· voorbeeld in de orde van 0,5 a 3°·In Fig. 10, the drawn beam 103 is the beam whose average radius can coincide with the optical axis 10½. Taking into account the telescopic mirror 103 used, the field is, for example, in the order of 0.5 to 3 °.

De andere uitvoeringsvorm is weergegeven in fig· 11 en 12 respektievelijk in een doorsnede volgens het symmetrievlak van de inrichting, en in projectie op een vlak loodrecht op de as 77' waar-15 om het lijnanalysestelsel draait·The other embodiment is shown in Figures 11 and 12, respectively, in a section according to the plane of symmetry of the device, and in projection on a plane perpendicular to the axis 77 'about which the line analysis system revolves

Deze uitvoeringsvorm vertoont de bijzonderheid dat hij de beeldanalysespiegel 1½ gebruikt welke, vS8r het objectief geplaatst is in een evenwijdige bundel; deze spiegel is beweegbaar om een as loodrecht op het vlak van fig· 11 en gaande door het punt E 20 van de as 77' waarop bij A de detector is geplaatst.This embodiment has the special feature that it uses the image analysis mirror 1½ which, before the objective is placed in a parallel beam; this mirror is movable about an axis perpendicular to the plane of fig. 11 and passing through the point E 20 of the axis 77 'on which the detector is placed at A.

De spiegel 1½ begrenst de bundel die het systeem binnentreedt en hij kan worden beschouwd als de intreepupil van het ana-lysestelsel dat een omwentelingssymmetrie vertoont om de as 77' en dat daardoor optische eigenschappen heeft welke identiek zijn in 25 alle richtingen van het veld·The mirror 1½ defines the beam entering the system and it can be considered as the entrance pupil of the analysis system which has a rotation symmetry about the axis 77 'and therefore has optical properties which are identical in all directions of the field ·

Het gebruikte objectief is een torische spiegel 11½ met as 77' en met een doorsnede die parabolisch is in elk vlak door 77*. Het brandpunt van de doorsnede door het vlak van tekening ligt in het punt Dy het middelpunt van het veld op de as ZZ’ door A’, het 30 beeld van de detector door de torische spiegel 18 voor de lijnanalyse· De brandpuntsafstand van de spiegel 11½ is zo gekozen dat hij gelijk is aan de straal van de analysecirkel, zodat A'D = DS, waarin S de top,is van de doorsnede van de tores die zich bevindt op ZZ'·The objective used is a toric mirror 11½ with axis 77 'and a cross section that is parabolic in each plane through 77 *. The focal point of the section through the plane of the drawing is at the point Dy the center of the field on the axis ZZ 'through A', the image of the detector through the toric mirror 18 for the line analysis · The focal length of the mirror 11½ is chosen to be equal to the radius of the analysis circle, so that A'D = DS, where S is the apex, of the cross section of the torques located at ZZ '·

De torische spiegel 11½ is begrensd tot het oppervlak welk zich bo-33 ven de as ZZ* bevindt.The toric mirror 11½ is limited to the surface which is above the axis ZZ *.

7601301 - 20 — ? £7601301 - 20 -? £

De plaats van de brandpunten zoals D is een cirkel 121 met straal A’D in het vlak loodrecht op YY’ en door D.The location of the focal points such as D is a circle 121 with radius A'D in the plane perpendicular to YY 'and through D.

Deze brandpunten van achtereenvolgens samen met het beeld, in het lijnanalysestelsel, van de detector.These foci of consecutively together with the image, in the line analysis system, of the detector.

5 De door dit beeld beschreven boog is beperkt tot de pun ten A'· en A" die overeenkomen met de beelden van de detector in de 1 2 beide achtereenvolgende vlakken van de draaiende trommel 13'·5 The arc described by this image is limited to points A 'and A "corresponding to the detector images in the 1 2 consecutive planes of the rotating drum 13"

In dit systeem gaat de gemiddelde straal van de bundel evenwijdige stralen die wordt geanalyseerd steeds, na reflektie aan 10 de spiegels 14 en 11^, door een punt van de cirkelboog A^A^» en deze laatste punten zijn zelf de toegevoegden van de detector A door het lijnanalyseeysteem. Het objectoef 11^ neemt aldus in zekere zin de plaats in van de veldspiegel in combinatie met het feit dat de-as YY’ een symmetrie-as is voor het gehele optische stelsel.In this system, the mean radius of the beam of parallel rays being analyzed always passes, after reflection on mirrors 14 and 11 ^, through a point of the arc A ^ A ^ »and the latter points are themselves the additions of the detector A by the line analysis system. The objective lens 11 ^ thus takes the place of the field mirror in a sense in combination with the fact that the axis YY is a symmetry axis for the entire optical system.

15 Om er voor te zorgen dat de detector niet gelijktijdig de flux ontvangt van twee punten van de ruimte wordt het veld begrensd door een diafragma 125 buiten A'^A'^·15 To ensure that the detector does not simultaneously receive the flux from two points of space, the field is bounded by a diaphragm 125 outside A '^ A' ^ ·

Het geanalyseerde veld is dan gelijk aan de hoek α waaronder vanuit D een vlak van de trommel (fig. 12) wordt gezien, dat 20 wil zeggen bijvoorbeeld in de orde van 20 a 60°, afhankelijk van het aantal facetten van de trommel.The analyzed field is then equal to the angle α at which a plane of the drum is seen from D (fig. 12), that is to say, for example, in the order of 20 to 60 °, depending on the number of facets of the drum.

De inrichting is beschreven aan de hand van enkele speciale uitvoeringsvormen waarin het geanalyseerde veld zich op oneindig bevindt. Vanzelfsprekend is de uitvinding niet tot die gevallen 25 beperkt en kan het veld zich zeer goed op een eindige afstand bevinden. Het lijnaftaststelsel en het rasteraftaststelsel zijn zeer wel verenigbaar met het gebruik van alle soorten objectieven, met klein of groot veld, geschikt voor eindige of oneindige afstand, zoals bijvoorbeeld microscoopobjectieven of objectieven met variabele 30 brandpuntsafstand (Zoom), waarbij het verkregen scheidend vermogen steeds zeer groot is door de volmaakte scherpstelling van het beeld van de detector op het beeldvlak van het objectief. Het scheidend vermogen kan de grenswaarde bereiken als gevolg van de diffractie in het gehele veld van het apparaat.The device has been described on the basis of some special embodiments in which the analyzed field is at infinity. Obviously, the invention is not limited to those cases and the field may very well be at a finite distance. The line scanning system and the grating scanning system are very compatible with the use of all types of lenses, with small or large field, suitable for finite or infinite distance, such as for example microscope lenses or lenses with variable focal length (Zoom), whereby the obtained resolution is always very is large due to the perfect focus of the image of the detector on the image plane of the lens. The resolution can reach the limit value due to the diffraction in the entire field of the device.

35 Men zal verder opmerken dat de uitvinding gemakkelijk 7601301 -21 — leidt tot kompakte inrichtingen, waarvan echter de kompaktheid door het schuine verloop van de bundels op de veldspiegel en op de lijn-aftastelementen, niet leidt tot een struktuur waarin de detector zich bevindt in een positie buiten het eigenlijke optisch-mechanische 5 analysestelsel.It will be further noted that the invention easily leads to compact devices, the compactness of which, however, due to the oblique course of the beams on the field mirror and on the line scanning elements, does not lead to a structure in which the detector is located in a position outside the actual optical-mechanical analysis system.

Naast de hierboven in bijzonderheden beschreven optisch-^ mechanische analyse-inrichting omvat de uitvinding inrichtingen waarmee de geanalyseerde voorwerpen rechtstreeks zichtbaar kunnen worden gemaakt, en ook de toepassing van deze inrichting voor infra-10 roodbeeldvorming van bepaalde voorwerpen of in andere golflengte gebieden.In addition to the optical-mechanical analysis device described in detail above, the invention includes devices for directly visualizing the analyzed objects, and also the use of this device for infrared imaging of certain objects or in other wavelength regions.

Voor deze rechtstreekse visualisatie wordt het uit de de· tector komende videosignaal na geschikte versterking aangelegd aan een diode die electroluminescent is in het zichtbare spectrum, en 15 waarvan de luminescentie evenwijdig is met het ontvangen signaal·For this direct visualization, the video signal coming out of the detector is applied after suitable amplification to a diode which is electroluminescent in the visible spectrum, and the luminescence of which is parallel to the received signal.

Het analysestelsel kan, in de versie die uitsluitend spiegels bevat, worden gebruikt voor alle golflengten· De rechtstreekse zichtbaarheid van het geanalyseerde object wordt dus gemakkelijk mogelijk gemaakt door gebruikmaking van hetzelfde systeem 20 voor de analyse en voor de weergave.The analysis system, in the mirror-only version, can be used for all wavelengths. Thus, the direct visibility of the analyzed object is easily made possible by using the same system 20 for analysis and display.

Een eerste uitvoeringsvorm van de uitvinding met betrekking tot het aspect van de visualisatie is bij wijze van voorbeeld weergegeven in fig. 13· De analysebundel 15 respektievelijk de visua· lisatiebundel 131 maken gebruik van verschillende banen die symme-25 trisch zijn ten opzichte -van een vlak door YY’·A first embodiment of the invention with regard to the visualization aspect is shown by way of example in Fig. 13. The analysis beam 15 and the visualization beam 131, respectively, use different paths which are symmetrical with respect to a flat by YY '·

De analyse-inrichting is die welke weergegeven is in fig· 1. De visualisatie-inrichting omvat een veldspiegel 132, een symme-triespiegel van de spiegel 16 ten opzichte van YY'. De spiegel 132 is niet noodzakelijk beweegbaar doordat de visualisatiebundel een 30 kleinere opening kan hebben dan bij de analyse, en doordat het oog zich gemakkelijk kan accommoderen voor het compenseren van een kleine veldkromming.The analyzer is that shown in Figure 1. The visualizer includes a field mirror 132, a symmetry mirror of mirror 16 relative to YY '. The mirror 132 is not necessarily movable because the visualization beam can have a smaller aperture than in the analysis, and because the eye can easily accommodate to compensate for a small field curvature.

De beeldanalysespiegel 14 is aan beide zijden reflekte-rend, waarbij een van deze vlakken dient voor de abalyse en het an-35 dere voor de visualisatie. De spiegel 134- is zo geplaatst dat het 7601301 - 22 - symmetriepunt van de electroluminescente diode 133 samenvalt met de detector 19» Boor de versterkingslieten 1*fQ wordt het uit de detector 19 afkomstige videosignaal versterkt en aangelegd aan de diode 133· Eet beeld van het geanalyseerde veld dat wordt gerestitueerd door 3 deze electroluminescente diode en het analysestelsel wordt waargenomen met behulp van het oog 137 dat geplaatst is achter de vergrotende kijker die schematisch voorgesteld wordt door de optische elementen 135 en 136, ofwel rechtstreeks achter de collimator 139·The image analysis mirror 14 is reflective on both sides, one of which serves for the analysis and the other for the visualization. The mirror 134- is positioned such that the 7601301 - 22 - symmetry point of the electroluminescent diode 133 coincides with the detector 19 »Drill the amplification loops 1 * fQ, the video signal from the detector 19 is amplified and applied to the diode 133 the analyzed field returned by this electroluminescent diode and the analysis system is observed using the eye 137 placed behind the magnifying viewer schematically represented by the optical elements 135 and 136, or directly behind the collimator 139

De kijker heeft het voordeel dat het beeld wordt geredres* 10 seerd· Men kan er een beeldversterkingsbuis 133 aan toevoegen ter vergroting van de beeldhelderheid en om een tijdskonstante te verkrijgen door de remanentie van het scherm waardoor de visualisatie aangenomen wordt·The viewer has the advantage that the image is saved * 10 · An image enhancement tube 133 can be added to it to increase the image clarity and to obtain a time constant due to the retentivity of the screen whereby the visualization is assumed ·

Een tweede uitvoeringsvorm van de inrichting volgens de 15 uitvinding voor deze visualisatie is weergegeven in fig. 1*f.A second embodiment of the device according to the invention for this visualization is shown in Fig. 1 * f.

In deze uitvoeringsvorm, die bijzonder geschikt is voor de beeldvorming in een beperkt gebied van het spectrum, maken de analyse- en visualisatiebundels 15 respektievelijk 1*H grotendeels gebruik van gemeenschappelijke banen dankzij dichroische spiegels 1*1-2 20 en 1**3· Deze spiegels hebben de eigenschap dat het licht van het analysespectrum erdoorheen kan terwijl de gehele rest van het spectrum wordt weerkaatst· De spiegel1**2 is zo opgesteld dat het symme-triepunt van de electroluminescente diode iMt in deze spiegel samenvalt met de detector 19· Het van de detector 19 afkomstige video-25 signaal wordt versterkt door de versterkingsketen 1*1-5 in de richting van de diode iMf. De spiegels 1*f2 en 1*1-3 zorgen ervoor dat naar de kijker, met optische elementen 135 en 136, en het oog 137* het licht wordt weerkaatst dat uitgezonden wordt door de electroluminescente diode l¥t en dat niet ligt in het analysespectrum.In this embodiment, which is particularly suitable for imaging in a limited region of the spectrum, the analysis and visualization beams 15 and 1 * H, respectively, largely use common paths thanks to dichroic mirrors 1 * 1-2 20 and 1 ** 3 · These mirrors have the property that the light from the analysis spectrum can pass through while reflecting the entire rest of the spectrum · The mirror1 ** 2 is arranged so that the symmetry point of the electroluminescent diode iMt in this mirror coincides with the detector 19 · The video-25 signal from detector 19 is amplified by the gain circuit 1 * 1-5 in the direction of the diode iMf. The mirrors 1 * f2 and 1 * 1-3 ensure that the viewer, with optical elements 135 and 136, and the eye 137 * reflects the light emitted by the electroluminescent diode l ¥ t and which does not lie in the analysis spectrum.

30 Wanneer de analyse wordt uitgevoerd in het infrarood be staan de twee spiegels 1*1-2 en 1*+3 met voordeel elk uit een germanium laag waardoor het infrarood wordt doorgelaten en de uit de electroluminescente diode 1M komende zichtbare bundel wordt weerkaatst·When the analysis is performed in the infrared, the two mirrors 1 * 1-2 and 1 * + 3 each advantageously consist of a germanium layer through which the infrared is transmitted and the visible beam emerging from the electroluminescent diode 1M is reflected ·

Een ander type visualisatie voor het beeld van het veld 35 is die waarin een kathodebuis wordt gebruikt waarnaar het videosig--aaal wordt gezonden dat door de detector wordt geleverd, waarbij de 7601301 - 23 - lijn- en rasteraftastingen van deze kathodebuis gesynchroniseerd worden met de respektieve aftastingen van de optisch-aechanische inrichting.Another type of visualization for the image of the field 35 is that in which a cathode tube is used to which the video signal supplied by the detector is sent, synchronizing the 7601301 - 23 - line and raster scans of this cathode tube with the respective scans of the optical-mechanical device.

Wanneer het ingangsobjectief (11 in fig. 1) een spiegel-5 objectief is bevat de inrichting volgens de uitvinding slechts spiegels. Hij is dan bruikbaar voor beeldvorming bij alle golflengten. Daardoor wordt beeldvorming in twee kleuren of in meerdere kleuren mogelijk en de inrichting kan dan evengoed in het ultravioletspec-trum worden gebruikt als in het zichtbare of in het infrarood.When the input lens (11 in Fig. 1) is a mirror-5 lens, the device according to the invention contains only mirrors. It is then useful for imaging at all wavelengths. This enables two-color or multi-color imaging and the device can then be used in the ultraviolet spectrum as well as in the visible or infrared.

<10 Volgens de uitvinding kan de analyse gelijktijdig worden uitgevoerd op de verschillende kleuren of achtereenvolgens op elk van de kleuren.According to the invention, the analysis can be performed simultaneously on the different colors or successively on each of the colors.

Voor de gelijktijdige analyse op verschillende kleuren bevat de inrichting bijvoorbeeld ia eenzelfde Dewarvat meerdere de-<15 tectors 9 D2* ...» D^, dus een aantal n die respektievelijk gevoelig zijn voor de golflengten λ 2» en die geplaatst zijn volgens een enkele rij in de richting van de lijnanalyse· Deze detec· tors leveren de reeks signalen S^, S^, ...» die ten opzichte van elkaar in fase zijn verschoren. Deze signalen worden in fase terug-20 gebracht met behulp van vertragingslijnen. De beelden met de golflengtenXλ2» ···* XQ hunnen dan precies worden gesuperponeerd. Door een geschikte op zichzelf bekende electronische behandeling is het dan mogelijk om het verschil tussen de beelden bij verschillende golflengten te laten verschijnen door de sommen of verschillen te 25 maken van signalen, bijvoorbeeld (S^ +8^) - (S2 + 8^)» In een andere uitvoeringsvorm van de gelijktijdige analyse met meerdere kleuren kunnen de detectors behoren bij verschillende Dewarvaten. Bijvoorbeeld voor een tweekleurenanalyse bij de golflengten en λ2· kunnen de twee detectors D^ en J3^ die behoren bij twee verschillende 30 Dewarvaten symmetrisch geplaatst zijn ten opzichte van een dichro- ische spiegel, evenals de detector 19 en de diode iMf in fig. 1¼ ten opzichte van de dichroische spiegel 14-2, welke laatste bijvoorbeeld 'de golflengte doorlaat en de golflengte Xg weerkaatst.For the simultaneous analysis on different colors, the device contains, for example, several detectors in the same Dewar vessel, i.e. a number n which are respectively sensitive to the wavelengths λ 2 »and which are arranged according to a single row in the direction of line analysis · These detectors provide the sequence of signals S ^, S ^, ... »that are phase-scrambled with respect to each other. These signals are returned to phase-20 using delay lines. The images with the wavelengths Xλ2 »··· * XQ theirs are then superimposed exactly. By a suitable per se known electronic treatment it is then possible to have the difference between the images appear at different wavelengths by making the sums or differences of signals, for example (S ^ + 8 ^) - (S2 + 8 ^) In another embodiment of the multi-color simultaneous analysis, the detectors may belong to different Dewar vessels. For example, for a two-color analysis at the wavelengths and λ2 ·, the two detectors D ^ and J3 ^ belonging to two different Dewar vessels may be arranged symmetrically to a dichroic mirror, as can the detector 19 and the diode iMf in FIG. 1¼ with respect to the dichroic mirror 14-2, the latter of which, for example, transmits the wavelength and reflects the wavelength Xg.

Voor een kleuranalyse van sequentieel type, bijvoorbeeld 35 in twee kleuren, is een uitvoeringsvorm volgens de uitvinding 7601301 ♦ -24 - weergegeven in fig. 15- Twee detectors en die gevoelig zijn voor de golflengten respektievelijk zijn symmetrisch ten opzichte van de draaiende schijf 151 die getekend is met zijn vlak loodrecht op het vlak van tekening en evenwijdig aan de draaias IY'· 5 Deze schijf draait om de as 152. De vlakken van de schijf zijn re-flekterend en ze worden doorsneden door spleten. In fig. 16 is de schijf getekend in zijn eigen vlak. Het reflekterende gedeelte van de naar voren gerichte zijde is gearceerd, terwijl de spleten wit * gelaten zijn met de nummers 161 en 162. De draaiing van de schijf 10 wordt gesynchroniseerd met de beeldaftasting. Tijdens de draaiing ontvangen en D2 afwisselend de flux die gaat door het beeldvor-mingsstelsel, waardoor dus een MtweekleurenH-analyse mogelijk is. In deze uitvoeringsvorm kan de inrichting bovendien een stralingsbron 153 bevatten die zo geplaatst is dat de gemiddelde eoissiestraal een 15 invalshoek op de schijf 151 heeft symmetrisch ten opzichte van de gemiddelde straal van de lijnanalysebundel uit de spiegel 18, en dat die door D^ of D-, gaat. Deze fluxbron wordt afwisselend gezien door en J>2 en dient als fluxreferentie voor de van de analyse afkomstige flux.For a color analysis of sequential type, for example 35 in two colors, an embodiment according to the invention 7601301 ♦ -24 - is shown in Fig. 15- Two detectors sensitive to the wavelengths and symmetrical with respect to the rotating disk 151 which is drawn with its plane perpendicular to the plane of the drawing and parallel to the axis of rotation IY'5. This disk rotates about axis 152. The surfaces of the disk are reflective and intersected by slits. In Fig. 16, the disk is drawn in its own plane. The reflective portion of the forward-facing side is shaded, while the slits are left white with the numbers 161 and 162. The rotation of the disc 10 is synchronized with the image scan. During rotation, D2 alternately receives and passes the flux passing through the imaging system, thus allowing for a M-color H analysis. In this embodiment, the device may additionally include a radiation source 153 positioned so that the average eiission beam has an incidence angle on the disk 151 symmetrical to the average radius of the line analysis beam from the mirror 18, and that it passes through D 1 or D -, goes. This flux source is seen alternately by and J> 2 and serves as a flux reference for the flux from the analysis.

20 De inrichting volgens de uitvinding is bijzonder geschikt voor het verkrijgen van een thermische beeldvorming met absolute meting van de temperaturen· Een toepassingsvoorbeeld van de inrichting volgens de uitvinding op dit gebied is weergegeven in fig· 17· Daarin is, in projectie in een vlak loodrecht op YY*, de aftasting 23 volgens een lijn getekend. In de loop van deze aftasting beschrijft het beeld van de detector in het analysestelsel een cirkelboog 171 die gecentreerd is op de draaias van de analysetrommel geprojecteerd in H’ in fig· 17* De uiteinden van deze boog zijn A' en B', respektievelijk overeenkomend met de punten A en B van het beeldveld dat 30 zich bevindt op de dwarsdoorsnede 173 van het brandvlak van het objectief· Men herinnert zich dat de veldspiegel met doorsnede 172 speciaal tot taak heeft om enerzijds A en A' te conjugeren, en ander-zijds B en B'. Terwijl de detector bij A* de flux ontvangt die overeenkomt met de punt A van het veld, wordt bij B' de veldspiegel on» 33 derbroken zodanig dat de detector geen van het punt B afkomstige 7601301 -25 - flox meer ontvangt, maar die van de kleine bron 17^ die zich als referentie bevindt op de plaats van de veldspiegel· Zoals reeds eerder uiteen gezet is moet de totale lengte van de veldspiegel en van de referentiebron iets kleiner zijn dan de lengte van de analyselijn.The device according to the invention is particularly suitable for obtaining a thermal imaging with absolute measurement of the temperatures. An example of application of the device according to the invention in this field is shown in Fig. 17. In this, projection in a plane is perpendicular on YY *, the scan 23 is drawn along a line. In the course of this scan, the image of the detector in the analysis system describes a circular arc 171 centered on the axis of rotation of the analysis drum projected in H 'in Fig.17 * The ends of this arc are A' and B ', respectively, corresponding with points A and B of the field of view located on the cross section 173 of the focal plane of the objective lens · It is recalled that the field mirror with section 172 has the special task of conjugating A and A 'on the one hand, and on the other hand B and B '. While the detector at A * receives the flux corresponding to the point A of the field, at B 'the field mirror is interrupted such that the detector no longer receives the phlox from the point B, but that of the small source 17 ^ which is located as a reference at the location of the field mirror · As has been explained before, the total length of the field mirror and of the reference source must be slightly less than the length of the analysis line.

5 Men beschikt dan aan het begin of aan het einde van elke analyselijn over een referentiesignaal dat in temperatuur geijkt kan worden en waarmee men het door het objectief gegeven signaal kan vergelijken.At the beginning or at the end of each analysis line one then has a reference signal that can be calibrated in temperature and with which one can compare the signal given by the objective.

Het voordel van dat systeem is dat de referentiebron gezien wordt op elke lijn van het beeld. Het referentiesignaal heeft 10 slechts een tijdsduur equivalent met enkele analysepunten en de analyse van het veld wordt er door niet verstoord. De referentiebron is klein. Het is bijvoorbeeld een zwart lichaam waarvan het emissie-oppervlak kleiner kan zijn dan een vierkante millimeter. Het is mogelijk om de temperatuur daarvan snel te veranderen en te controleren 15 op elk moment, met gebruikelijke meetinrichtingen (bijvoorbeeld een thermokoppel).The advantage of that system is that the reference source is seen on every line of the image. The reference signal has only a time equivalent to a few analysis points and does not interfere with the analysis of the field. The reference source is small. For example, it is a black body whose emission area can be less than a square millimeter. It is possible to quickly change and control the temperature thereof at any time, with conventional measuring devices (eg a thermocouple).

De inrichting volgens de uitvinding laat zich verenigen met het gebruik van detectors van allerlei aard, al of niet gekoeld.The device according to the invention is compatible with the use of detectors of all kinds, whether or not cooled.

Het detectiestelsel kan een enkele detector bevatten maar 20 het kan ook bestaan uit meerdere detectors, tot een aantal n, die onderling parallel op een kolom zijn geplaatst (hierna aan te duiden als parallel-plaatsing). Deze plaatsing is weergegeven ia fig. 18 waarin de kleine vierkantjes de detectors zijn en de pijl 181 de richting geeft en de zin van de lijnaftasting die uitgevoerd wordt 25 loodrecht op de kolomdetectors. Het beeld van deze detectors in het lijnanalysestelsel tast tegelijkertijd n lijnen van het veld af. Bij de volgende lijnaftasting verschuift het beeldanalysesysteem de lijn-aftasting over n lijnen, waardoor het mogelijk is om de draaisnelheid van de draaiende trommel te verlagen. Met een gelijk aantal 50 lijnen per seconde is de rotatiesnelheid n maal kleiner dan voor een enkele detector. Dit systeem vergt n versterkingskanalen voor het gedetecteerde signaal, waarbij elk van deze kanalen behoort bij een van de detectors. Het detectiesysteem kan ook worden verkregen door n detectors die achter elkaar zijn geplaatst in de richting van de 55 lijnaftasting (hierna aangeduid als serie-opstelling). Deze 7601301 t - -26 - opstelling is weergegeven in fig. 19 waarin de pijl 191 de richting en de zin van de aftasting aangeeft· Elk beeld van een detector in het lijnaftastsysteem tast dezelfde lijn af en geeft voor elk punt van de lijn een signaalf in de tijd verschoven ten opzichte van het 5 signaal dat voor hetzelfde punt door de andere detectors wordt gegeven. Deze signalen worden in fase teruggebracht met behulp van ver-tragingslijnen, zodat uiteindelijk eenzelfde signaal wordt verkregen dat afgegeven wordt op een enkel versterkingskanaal· Alles gaat dan alsof er gebruik gemaakt werd van een enkele detector waarvan de ge-10 voeligheid verbeterd is volgens een verhouding die gelijk is aan ''/n.The detection system can contain a single detector, but it can also consist of several detectors, up to a number n, which are placed in parallel on a column (hereinafter referred to as parallel placement). This placement is shown in Fig. 18 where the small squares are the detectors and the arrow 181 indicates the direction and sense of the line scan performed perpendicular to the column detectors. The image of these detectors in the line analysis system simultaneously scans n lines of the field. On the next line scan, the image analysis system shifts the line scan by n lines, making it possible to reduce the speed of rotation of the rotating drum. With an equal number of 50 lines per second, the rotation speed is n times less than for a single detector. This system requires n gain channels for the detected signal, each of which belongs to one of the detectors. The detection system can also be obtained by n detectors arranged one behind the other in the direction of the 55 line scan (hereinafter referred to as series arrangement). This 7601301 t -26 array is shown in Fig. 19 where the arrow 191 indicates the direction and sense of the scan. Each image of a detector in the line scanning system scans the same line and gives a signal for each point of the line. time offset from the signal given for the same point by the other detectors. These signals are brought back in phase using delay lines, so that ultimately the same signal is obtained which is delivered on a single gain channel. Everything then goes as if a single detector was used, the sensitivity of which was improved according to a ratio. which is equal to '' / n.

Vanzelfsprekend kan het detectiesysteem ook van serie-paralleltype zijn, dat wil zeggen, zoals weergegeven in fig· 20, bestaan uit n^ kolommendetectors die geplaatst zijn volgens n^ lijnen, waarbij de lijnaftasting uitgevoerd wordt volgens de pijl 201. Men 15 kan op deze manier de draaisnelheid van de draaiende trommel (13* ia de figuur) delen door n2 met een gevoeligheidsverbetering in de verhouding ^1-Of course, the detection system may also be of series-parallel type, i.e., as shown in FIG. 20, consist of n column detectors arranged along n lines, the line scanning being performed according to arrow 201. divide the rotational speed of the rotating drum (13 * ia the figure) by n2 with a sensitivity improvement in the ratio ^ 1-

In het geval het beeld wordt gerestitueerd door eleetro-luminescente diodes kan men beschikken over een stelsel van n diodes 20 identiek aan die van de n detectors· Op dezelfde wijze kan men rechtstreeks een weergave in kleuren verkrijgen door aan diodes voor verschillende kleuren de videosignalen toe te voeren die afkomstig zijn van detectors welke gevoelig zijn voor verschillende golflengten· 25 In het geval van meerkleurenanalyse kan eenzelfde serie-, parallel- of serie-parallelopstelling worden toegepast voor de detectors die gevoelig zijn voor de verschillende golflengten·In the case that the image is restituted by electroluminescent diodes, a system of n diodes 20 identical to that of the n detectors can be obtained. Similarly, one can obtain a color display directly by adding video signals to diodes of different colors. from detectors sensitive to different wavelengths · 25 In the case of multi-color analysis, the same series, parallel or series parallel arrangement may be used for detectors sensitive to different wavelengths ·

De aftastinrichting volgens de uitvinding is, door het grote veld, verenigbaar met de gebruikelijke televisiestandaars voor 30 grote definitie, bijvoorbeeld het systeem van 625 lijnen per beeld· Een dergelijke standaard komt overeen met de aftasting van 625 lijnen, en wel 25 maal per secunde, dus in feite een aftasting van 15 maal 625 lijnen per secunde· De inrichting volgens de uitvinding kan dan bijvoorbeeld worden gevormd door een draaiende trommel met ;35 12 vlakken en een detector met 5 elementen parallel· 60 lijnen 7601301The scanning apparatus according to the invention is, because of the large field, compatible with the usual large definition television standards, for example the system of 625 lines per image. Such a standard corresponds to the scanning of 625 lines, 25 times per second, so in fact a scan of 15 times 625 lines per second · The device according to the invention can then for instance be formed by a rotating drum with 12 surfaces and a detector with 5 elements in parallel · 60 lines 7601301

Claims (20)

5 C 0 W C L 17 S I E S5 C 0 W C L 17 S I E S 1. Inrichting voor de optische aftasting van een zichtveld dat verdeeld is in verschillende zonest en voor het zichtbaar maken van dit veld, in welke inrichting de aftasting uitgevoerd wordt in twee onderling loodrecht staande richtingen, en wel in een rich-10 ting x een aftasting aangeduid als lijnaftasting, en in een an dere richting £ een aftasting die wordt aangeduid als rasteraf-tasting of beeldaftasting, welke inrichting de aftastingen uitvoert volgens bundels die afkomstig zijn uit de verschillende zones van het veld en die zorgt voor de convergentie van deze 15 bundels op een element dat gevoelig is voor de zich in de bundels bevindende straling, en welke inrichting in het algemeen achtereenvolgens in de baanrichting van de invallende mediane bundel die afkomstig is van het beeldveld, omvat een objectief, raster-aftastmiddelen ia de richting een afsnijstelsel voor de bun-20 dels die begrensd worden door de opening van het objectief naar de lijnaftastmiddelen van het veldbeeld van het objectief in de richting x en het gevoelige element, en welke lijnaftastmiddelen, gevoelig element en eventueel andere elementen in verband met de eerdergenoemde dienen voor de rechtstreekse visualisatie van het 25 beeld van het geanalyseerde veld, met het kenmerk, dat: - de optische as van het objectief verwisselbaar is, en dat het brandvlak ervan gekromd is en zodanig dat het krommingsmiddel-punt gelegen is in het middelpunt van de uittreepupil van het 30 objectief, - dat de rasteraftastmiddelen worden gevormd door een vlakke spiegel die met een heen en weer gaande beweging draait om een as evenwijdig aan de richting x en welke geplaatst is in de convergente bundel achter het objectief bij het beeld van het 35 veld in dit objectief, 7601301 -28 - - dat de lijnaftastmiddelen enerzijds worden gevormd door een trommel die gelijkmatig draait om een vaste as YY' welke ligt in het genoemde vlak P, en welke trommel een groot aantal plat* te reflekterende vlakken draagt die regelmatig zijn verdeeld 5 over de omtrek van de trommel* en anderzijds een beeldtrans- portstelsel dat symmetrisch is ten opzichte van het vlak P, en dat een beeld vormt van het gevoelige element in een vast punt A' van de draaias YY' van de trommel, welke trommel geplaatst is in de convergerende bundel in de baan van dit transport-10 stelsel aan de beeldzijde van het gevoelige element, terwijl het symmetriepunt van het punt A' ten opzichte van elk vlak van de trommel wanneer dit vlak loodrecht staat op het vlak P gelegen is in de nabijheid van het symmetriepunt D van het brandpunt van het objectief ten opzichte van de rasterspiegel 15 in een positie evenwijdig aan de as YY*, - en dat het optische afsnijstelsel voor de bundels wordt gevorau door een concave spiegel, veldspiegel genaamd, met het vlak P als symmetrievlak, en waarvan de top gelegen is in de nabijheit, van D op de as ZZ’ door D en loodrecht op YY', welke spiegel 20 zodanig is bepaald dat hij het middelpunt 0 van de uittreepu- pil van het objectief conjugeert met een vast punt 0' van de as YY', welk punt 0' het symmetriepunt is ten opzichte van ZZ' van het snijpunt van de optische as van het objectief met de as YY', en welke veldspiegel, om eventueel ervoor te zorgen 25 dat de dode aftasttijd tussen twee achtereenvolgende lijnen nihil is, bovendien een breedte heeft in de richting x welke iets kleiner is dan de lengte van de geanalyseerde lijn die zelf gelijk is aan de afstand tussen de beelden van de detector in twee opeenvolgende vlakken van de draaiende trommel, en 30 welke spiegel al of niet aangedreven wordt in een beweging met kleine amplitude in fase met de beweging van de rasteraftast-middelen, welke kleine beweging enerzijds bestaat uit een heen en weer gaande translatie volgens dx as ZZ' in de nabijheid van D en een heen en weer gaande rotatie om een as evenwijdig 35 aan de richting x symmetrisch ten opzichte van ZZ', waarbij de 7601301 -29 - - amplitude van deze translatie zodanig is dat daardoor een correctie wordt gemaakt van het verlopen van het brandpunt als gevolg van de rasteraftastmiddelen, terwijl de amplitude van de rotatie zodanig is dat deze zorgt voor het vast blijven in 5 0' van de geconjugeerde door de veldspiegel van het middelpunt 0 van de uittreepupil van het objectief tijdens de heen en weer gaande rotatie van de rasteraftastmiddelen.1. Apparatus for the optical scanning of a field of view which is divided into different zones and for visualizing this field, in which device the scanning is carried out in two mutually perpendicular directions, namely in a direction x a scanning referred to as line scanning, and in another direction a scanning referred to as raster scanning or image scanning, which device performs the scanning according to beams coming from the different zones of the field and ensures the convergence of these beams on an element sensitive to the radiation contained in the beams, and which generally comprises successively in the trajectory direction of the incident median beam emanating from the image field, an objective, raster scanning means in the direction of a cutting system for the beams bounded by the opening of the objective to the line scanning means of the field image of the objective in the direction x and the sensitive element, and which line scanning means, sensitive element and possibly other elements related to the aforementioned serve for the direct visualization of the image of the analyzed field, characterized in that: - the optical axis of the objective is interchangeable, and the focal plane thereof is curved and such that the center of curvature is located at the center of the exit pupil of the objective, - that the grating scanning means are formed by a flat mirror which is reciprocated ongoing movement revolves about an axis parallel to the direction x and which is placed in the convergent beam behind the objective at the image of the field in this objective, 7601301 -28 - - that the line scanning means are formed on the one hand by a drum which rotates evenly about a fixed axis YY 'which lies in said plane P, and which drum carries a large number of flat * reflective surfaces which are regularly distributed about the circumference of the drum * and, on the other hand, an image transport system which is symmetrical with respect to the plane P, and which forms an image of the sensitive element at a fixed point A 'of the axis of rotation YY' of the drum which drum is placed in the converging beam in the path of this transport system on the image side of the sensitive element, the point of symmetry of the point A 'relative to each plane of the drum when this plane is perpendicular to the plane P is located in the vicinity of the symmetry point D of the focal point of the objective relative to the grating mirror 15 in a position parallel to the axis YY *, and that the optical cut-off system for the beams is formed by a concave mirror, called a field mirror , with the plane P as the plane of symmetry, and the top of which is located in the vicinity of D on the axis ZZ 'through D and perpendicular to YY', which mirror 20 is determined such that it is the center 0 of the u the lens of the objective conjugates with a fixed point 0 'of the axis YY', which point 0 'is the point of symmetry with respect to ZZ' of the intersection of the optical axis of the objective with the axis YY ', and which field mirror , to optionally ensure that the dead scan time between two consecutive lines is nil, additionally has a width in the direction x which is slightly less than the length of the analyzed line which itself is equal to the distance between the images of the detector in two successive planes of the rotating drum, and which mirror is driven or not in a small amplitude movement in phase with the movement of the raster scanning means, which small movement consists on the one hand of a reciprocating translation along the dx axis ZZ 'in the vicinity of D and a reciprocating rotation about an axis parallel to the direction x symmetrical with respect to ZZ', the 7601301 amplitude of this translation being such is that it makes a correction of the course of the focal point due to the raster scanning means, while the amplitude of the rotation is such that it ensures that the conjugate remains fixed in 50 0 'by the field mirror of the center 0 of the exit pupil of the objective during the reciprocating rotation of the raster scanning means. 2. Inrichting volgens conclusie 1, a e t het kenmerk, dat de draaiende trommel een prisma is waarvan de vlakken reflekte-10 rend zijn en op gelijke afstand liggen van de as TI', of een piramide waarvan de vlakken dezelfde hoek hebben ten opzichte van YY', en dat A' en D nauwkeurig symmetrisch zijn ten opzichte van elk van de opeenvolgende vlakken die loodrecht geplaatst zijn op het vlak P· 15 3· Inrichting volgens conclusie 1, me t he t kenmerk, dat de draaiende trommel een piramide is waarvan de reflekterende vlakken ongelijke hoeken hebben ten opzichte van YY’· *t· Inrichting volgens een der conclusies 1 tot 3» n e t h e t kenmerk, dat het beeldtransportstelsel van de lijnaftast-20 middelen gevormd wordt door een torische holle spiegel met as YY' welke spiegel als symmetrievlak een vlak heeft dat loodrecht staat op YY', en waarbij het gevoelige element en het beeld A' daarvan in de genoemde spiegel zich bevinden op YY'·2. Device according to claim 1, characterized in that the rotating drum is a prism whose surfaces are reflective and equidistant from the axis TI ', or a pyramid whose surfaces have the same angle with respect to YY , and that A 'and D are precisely symmetrical with respect to each of the successive planes placed perpendicular to the plane P15. Device according to claim 1, characterized in that the rotating drum is a pyramid the reflecting surfaces have unequal angles with respect to YY * device according to any one of claims 1 to 3, characterized in that the image transport system of the line scanning means is formed by a toric hollow mirror with axis YY plane of symmetry has a plane that is perpendicular to YY ', and where the sensitive element and its image A' in said mirror are located on YY ' 5· Inrichting volgens conclusie m e t het kenmerk, dat 25 de doorsnede van de torische spiegel door een vlak dat YY' bevat een ellips is waarvan de hoofdas samenvalt met YY' en waarvan een van de brandpunten ingenomen wordt door het gevoelige elementDevice according to claim, characterized in that the cross section of the toric mirror through a plane containing YY 'is an ellipse whose main axis coincides with YY' and one of the focal points of which is occupied by the sensitive element 6. Inrichting volgens conclusie 5* Bet het kenmerk, dat de genoemde doorsnede praktisch een cirkel is· 30 7· Inrichting volgens een der conclusies 1 tot 3* π ® t h e t kenmerk, dat het beeldtransportstelsel van de lijnaftast-middelen een catadiopter is van torische vorm om de as YY', welke catadiopter als symmetrievlak een vlak heeft loodrecht op YY1, en waarbij het gevoelige element en het beeld daarvan zich bevin-35 den op YY'· 7601301 - 30 - j . τ6. Device according to claim 5 *, characterized in that said cross-section is practically a circle · Device according to any one of claims 1 to 3 * π ®, characterized in that the image transport system of the line scanning means is a catadiopter of toric shape about the axis YY ', which catadopter as plane of symmetry has a plane perpendicular to YY1, and the sensitive element and its image are located on YY' 7601301 - 30 - j. τ 8· Inrichting volgens een der conclusies 1 tot 3, ι e t het kenmerk, dat het beeldtransportstelsel van de lijnanalyse-aiddelen een lensobjectief is, waarbij het gevoelige element zich bevindt buiten de as YY', en waarbij de brandpuntsafstand 5 van het lensobjectief zodanig is bepaald dat het beeld A* van het gevoelige element wordt gevormd op de as YY' in het punt dat eerder werd vermeld ten opzichte van D.8. Device as claimed in any of the claims 1 to 3, characterized in that the image transport system of the line analysis means is a lens objective, wherein the sensitive element is located outside the axis YY ', and wherein the focal length 5 of the lens objective is such determined that the image A * of the sensitive element is formed on the axis YY 'at the point previously reported relative to D. 9· Inrichting volgens een der conclusies 1 tot 8, a e t het kenmerk, dat de veldspiegel een gedeelte is van een el-10 lipeoide met brandpunten 0' en 0", waarbij 0" het symmetriepunt van 0 is ten opzichte van de rasterspiegel in de positie even» wijdig aan YY', welke ellipsoïde door D gaat of in de onmiddellijke nabijheid van 0.Device according to any one of claims 1 to 8, characterized in that the field mirror is a part of an el-10 lipoid with focal points 0 'and 0 ", wherein 0" is the symmetry point of 0 with respect to the raster mirror in the position equally wide to YY, which ellipsoid passes through D or in the immediate vicinity of 0. 10. Inrichting volgens een der conclusies 1 tot 8, met het 15 kenmerk, dat de veldspiegel een boldeel is waarvan het middelpunt gevormd wordt door het punt C, het snijpunt van de rechte die de eerdergenoemde punten 0'0" en ZZi verbindt, welke bol gaat door D of in de onmiddellijke nabijheid van D.10. Device according to any one of claims 1 to 8, characterized in that the field mirror is a spherical part of which the center is formed by the point C, the intersection of the line connecting the aforementioned points 0'0 "and ZZi, which sphere passes through D or in the immediate vicinity of D. 11. Inrichting volgens conclusie 9 of 10, met het k e n - 20 merk, dat de veldspiegel samenvalt met een cilindrisch opper vlak dat raakt aan de eerdergenoemde oppervlakken.11. Device as claimed in claim 9 or 10, characterized in that the field mirror coincides with a cylindrical surface touching the aforementioned surfaces. 12. Inrichting volgens een der conclusies 1 tot 11, a e t het kenmerk, dat de amplitude van de translatie van de veldspiegel op de as ZZ' en de amplitude van de rotatie om de rich- 25 ting x, geëvalueerd vanuit de referentiepositie welke overeen komt met het geval waarin de top van de spiegel ligt bij D terwijl de rasterspiegel parallel is aan YY' en de veldhoek nul is, respektievelijk zijn een ^ cos γ en γ » a - waarin α de hoek voorstelt van de rasterspiegel met YY’ en β de hoek waaronder de 50 rand van het veld wordt gezien vanuit het middelpunt van de uit- treepupil van het objectief, en waarbij 1, α en β samenhangen volgens de volgende betrekkingen: 7601301 - 31 - 1 = - lm + Va sia 2« met L = r v··; V-- SXA p β M = cos (a + i- ·^)12. Device according to any one of claims 1 to 11, characterized in that the amplitude of the translation of the field mirror on the axis ZZ 'and the amplitude of the rotation about the direction x is evaluated from the reference position which corresponds with the case where the vertex of the mirror is at D while the grating mirror is parallel to YY 'and the field angle is zero, a ^ cos γ and γ »a are respectively - where α represents the angle of the grating mirror with YY' and β the angle at which the 50 edge of the field is viewed from the center of the objective's exit pupil, where 1, α and β are related according to the following relations: 7601301 - 31 - 1 = - lm + Va sia 2 «with L = RV ··; V-- SXA p β M = cos (a + i- ^) 5 A * L2 (M2 - 1) + Β2 η * 3 | [β + bg sin|(^ - 1) + sin Pjj B = 0D1 r b BD waarin 0^ het symmetriepunt van D is ten opzichte van TT*, 10. het snijpunt Tan de optische as van het objectief met ïï', ea i de hoek ran ED met ZZ’·5 A * L2 (M2 - 1) + Β2 η * 3 | [β + bg sin | (^ - 1) + sin Pjj B = 0D1 rb BD where 0 ^ is the symmetry point of D with respect to TT *, 10. the intersection point Tan is the optical axis of the objective with ïï ', ea i the angle ran ED with ZZ ' 13. Inrichting volgens een der conclusies 1 tot 3» e e t h e t kenmerk* dat deze samengesteld is tot een geheel volgens een der conclusies k tot 6 en volgens een der conclusies 9 tot 15 12. 1½. Inrichting volgens conclusie 13* met het kenmerk* dat het objectief bestaat uit lenzen.13. Device according to any one of claims 1 to 3, characterized in that it is assembled into a whole according to any one of claims k to 6 and according to any one of claims 9 to 12. Device according to claim 13 *, characterized in that the objective consists of lenses. 15· Inrichting volgens conclusie 13» «e t h e t k e n m e r k» dat het objectief slechts uit spiegels bestaat.15. Device as claimed in claim 13 »« that the lens consists only of mirrors. 16. Inrichting».slechts bestaande uit spiegels analoog aan de inrich*· ting volgens fig. 15» en gekenmerkt doordat de rasteraftastspie-gel geplaatst is in de evenwijdige bundel vó6r het objectief, waarbij de draaias daarvan loodrecht staat op de as YY' en deze as snijdt» terwijl het objectief ook de funktie vervult van 25 veldspiegel en gevormd wordt door een vaste holle spiegel met torische vorm om IT1* met een doorsnede volgens elk vlak door de genoemde as van parabolisch type, waarbij de brandpunten van deze doorsneden de toegevoegden zijn van de detector door het lijnanalysestelsel» en waarbij de vaste spiegel in afmetingen 30 begrensd is in de rasterrichting tot het gedeelte dat zich be vindt boven het vlak loodrecht op de as ïï* en gaande door de lijn van de brandpunten, terwijl een in het brandvlak van de spiegel geplaatst velddiafragma de lengte begrenst van de geanalyseerde lijn. 35 17· Inrichting volgens een der conclusies 13 tot 16, m e t h e t — kenmerk, dat het stelsel voor rechtstreekse visualisatie 7601301 1 1 * -32 - van het beeld van het veld gevormd wordt door optische elementen die, ten opzichte van de draaias van de lijnaftasting, de symme-triepunten zijn van die elementen welke deel uitmaken van het analysestelsel, en dat de inrichting verder een vlakke spiegel 3 bevat waarin een diode, die electroluminescent*is in het zicht bare gebied, het symmetriepunt is van de detector, alsmede middelen om aan deze electroluminescente diode het van de detector afkomstige signaal aan te leggen, terwijl het beeld van het veld wordt waargenomen met het oog al of niet door middel van een 10 kijker. ΐθ* Inrichting volgens een der conclusies 13 tot 16, met het kenmerk, dat de optische elementen van het beeldabalyse-stelsel gemeenschappelijk zijn waar de optische elementen van het visualisatiestelsel, welk laatste verder twee vlakke ddchroische 13 spiegels omvat, en wel een eerste die zodanig geplaatst is dat de electroluminescente diode het symmetriepunt is van de detector, en een tweede die vó6r de lijn- en rasiteranalysestelsels is geplaatst, welke dichroische spiegels doorlatend zijn voor het ana-lyselicht en weerkaatsend voor het electrolumineseente licht, en 20 waarbij het beeld door het .oog wordt waargenomen al of niet met behulp van een kijker· 19* Inrichting volgens een der conclusies 1 tot IS, met het kenmerk, dat de detector evenals de electroluminescente diode bestaat uit n elementen, waarbij de elementen van de detec· 23 tor gevoelig zijn voor verschillende golflengten en de elementen van de diode émitteren in verschillende kleuren, waarbij de geometrische opstelling van de detectorelementen identiek is aan die van de diode-elementen en deze opstellingen onderling symmetrise!, zijn ten opzichte van de vlakke spiegel volgens conclusie 17 of 30 18, en dat verder de inrichting middelen omvat om het uit een element van de detector tredende videosignaal aan te leggen aan een element van de diode, en eventueel optische elementen die de rol vervullen van lichtfilter.16. Device »consisting only of mirrors analogous to the device according to fig. 15» and characterized in that the grating scanning mirror is placed in the parallel beam in front of the objective, the axis of rotation of which is perpendicular to the axis YY 'and this axis intersects »while the objective also performs the function of field mirror and is formed by a fixed hollow mirror with toric shape about IT1 * with a section along each plane through said axis of parabolic type, the focal points of these cross sections being the added of the detector through the line analysis system »and wherein the fixed mirror is limited in dimensions 30 in the grating direction to the portion which is above the plane perpendicular to the axis and passing through the line of the focal points, while one in the focal plane of the mirror placed field diaphragm limits the length of the analyzed line. Device according to any one of claims 13 to 16, characterized in that the direct visualization system 7601301 1 1 * -32 - of the image of the field is formed by optical elements which, relative to the axis of rotation of the line scan the symmetry points of those elements which form part of the analysis system, and that the device further comprises a flat mirror 3 in which a diode, which is electroluminescent * in the visible region, is the symmetry point of the detector, as well as means for apply the signal from the detector to this electroluminescent diode, while the image of the field is observed with or without the aid of a viewer. * Device according to any one of claims 13 to 16, characterized in that the optical elements of the image analysis system are common where the optical elements of the visualization system, the latter further comprising two planar dchroic 13 mirrors, the first of which is such the electroluminescent diode is positioned to be the point of symmetry of the detector, and a second placed in front of the line and rasiter analysis systems, which dichroic mirrors are transmissive to the analysis light and reflective to the electroluminescent light, and the image through the Eye is observed with or without the aid of a viewer. Device according to one of Claims 1 to IS, characterized in that the detector, like the electroluminescent diode, consists of n elements, the elements of the detector being sensitive. are for different wavelengths and the elements of the diode emit in different colors, with the geometric arrangement ng of the detector elements is identical to that of the diode elements and these arrangements are mutually symmetrical with respect to the flat mirror according to claim 17 or 18, and that the device further comprises means for exiting an element of the detector. apply video signal to an element of the diode, and possibly optical elements that fulfill the role of light filter. 20. Inrichting volgens een der conclusies 1 tot 18, net het 35 kenmerk, dat deze bovendien een referentiestralingsbron 7601301 - 33- omvat die geplaatst is op de lijnbaan van het beeld van de detector aan het uiteinde ran een analyselijn»20. Device according to any one of claims 1 to 18, characterized in that it additionally comprises a reference radiation source 7601301-33- which is placed on the line path of the image of the detector at the end of an analysis line. 21· Inrichting volgens conclusie 19,met het kenmerk, dat de detector bestaat uit twee elementen 0^ en die elk ge-5 voelig zijn voor een golflengtegebied dat gecentreerd is op de golflengte respektievelijk op de golflengte X^, waarbij het element geplaatst is op de draaias van de lijnaftasting terwijl het element symmetrisch aan geplaatst is ten opzichte van een dichroische spiegel, welke laatste transparant is voor 10 de golflengte en reflekterend voor de golflengte X^·21. Device as claimed in claim 19, characterized in that the detector consists of two elements 0 ^ and each of which is sensitive to a wavelength region which is centered on the wavelength and on the wavelength X ^, the element being placed on the axis of rotation of the line scan while the element is placed symmetrically with respect to a dichroic mirror, the latter being transparent for the wavelength and reflecting for the wavelength X ^ 22· Inrichting volgens conclusie 19» m* e t he t k e n m e r k, dat de detector bestaat uit twee elementen en die elk gevoelig zijn voor een golflengtegebied dat gecentreerd is op respektievelijk en dat de beide detectors symmetrisch zijn 15 ten opzichte van een draaiende schijf, waarbij het oppervlak van de schijf reflekterend is aan een van zijn zijden en voorzien is van uitgesneden spleten, terwijl de inrichting eventueel bovendien een referentiestralingsbron bevat die uitzendt in een gemiddelde richting met dezelfde invalshoek op de schijf als da 20 gemiddelde straal van de analysebundel·Device according to claim 19, characterized in that the detector consists of two elements, each of which is sensitive to a wavelength region centered on, respectively, and that the two detectors are symmetrical with respect to a rotating disk, the the surface of the disc is reflective on one of its sides and has cut slits, while the device may additionally contain a reference radiation source which emits in an average direction with the same angle of incidence on the disc as the average beam of the analysis beam 23· Inrichting volgens een der conclusies 1 tot 18, n e t h e t kenmerk, dat de detector bestaat uit meerdere gevoelige elementen die geplaatst zijn volgens een kolom loodrecht op de richting van de lijnaftasting·Device according to any one of claims 1 to 18, characterized in that the detector consists of several sensitive elements arranged in a column perpendicular to the direction of the line scan 25 Inrichting volgens een der conclusies 1 tot 18, a e t h e t kenmerk, dat de detector bestaat uit meerdere gevoelige elementen die achter elkaar zijn geplaatst volgens een rij parallel aan de richting van de lijnaftasting.Device according to any one of claims 1 to 18, characterized in that the detector consists of a plurality of sensitive elements arranged one behind the other in a row parallel to the direction of the line scan. 25· Inrichting volgens een der conclusies 1 tot 18, a e t h e t 30 k e n m e r k, dat de detector bestaat uit meerdere kolommen ge voelige elementen die geplaatst zijn volgens meerdere rijen loodrecht op de genoemde kolommen welke loodrecht zijn gericht op de richting van de lijnaftasting· 26· inrichting volgens een der conclusies 1 tot 20, met detectors di« 35 elk gevoelig zijn voor een bepaald golflengtegebied, waarbij elk 7601301 _3if - van deze detectors een van de konstrukties heeft volgens conclusies 23 tot 25· 7601301Device according to any one of claims 1 to 18, characterized in that the detector consists of several columns of sensitive elements arranged along several rows perpendicular to said columns which are perpendicular to the direction of the line scan. according to any one of claims 1 to 20, with detectors each being sensitive to a particular wavelength range, each 7601301-3if of these detectors having one of the structures of claims 23 to 257601301