NL2011773A - Component for a radiation source, associated radiation source and lithographic apparatus. - Google Patents
Component for a radiation source, associated radiation source and lithographic apparatus. Download PDFInfo
- Publication number
- NL2011773A NL2011773A NL2011773A NL2011773A NL2011773A NL 2011773 A NL2011773 A NL 2011773A NL 2011773 A NL2011773 A NL 2011773A NL 2011773 A NL2011773 A NL 2011773A NL 2011773 A NL2011773 A NL 2011773A
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- radiation
- fuel
- source
- plasma
- component
- Prior art date
Links
Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- X-Ray Techniques (AREA)
Claims (1)
- Een lithografieinrichting omvattende: een belichtinginrichting ingericht voor het leveren van een stralingsbundel; een drager geconstrueerd voor het dragen van een patroneerinrichting, welke patroneerinrichting in staat is een patroon aan te brengen in een doorsnede van de stralingsbundel ter vorming van een gepatroneerde stralingsbundel; een substraattafel geconstrueerd om een substraat te dragen; en een projectieinrichting ingericht voor het projecteren van de gepatroneerde stralingsbundel op een doelgebied van het substraat, met het kenmerk, dat de substraattafel is ingericht voor het positioneren van het doelgebied van het substraat in een brandpuntsvlak van de projectieinrichting.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
NL2011773A NL2011773A (en) | 2013-11-08 | 2013-11-08 | Component for a radiation source, associated radiation source and lithographic apparatus. |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
NL2011773 | 2013-11-08 | ||
NL2011773A NL2011773A (en) | 2013-11-08 | 2013-11-08 | Component for a radiation source, associated radiation source and lithographic apparatus. |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
NL2011773A true NL2011773A (en) | 2014-01-13 |
Family
ID=51542574
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
NL2011773A NL2011773A (en) | 2013-11-08 | 2013-11-08 | Component for a radiation source, associated radiation source and lithographic apparatus. |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
NL (1) | NL2011773A (nl) |
-
2013
- 2013-11-08 NL NL2011773A patent/NL2011773A/en unknown
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6487519B2 (ja) | リソグラフィ装置用の汚染トラップ | |
JP5162546B2 (ja) | 放射源及びリソグラフィ装置 | |
US8405055B2 (en) | Source module, radiation source and lithographic apparatus | |
EP2154574A2 (en) | Radiation sources and methods of generating radiation | |
JP2010062560A5 (nl) | ||
US9632419B2 (en) | Radiation source | |
US10678140B2 (en) | Suppression filter, radiation collector and radiation source for a lithographic apparatus; method of determining a separation distance between at least two reflective surface levels of a suppression filter | |
US10750604B2 (en) | Droplet generator for lithographic apparatus, EUV source and lithographic apparatus | |
US9846365B2 (en) | Component for a radiation source, associated radiation source and lithographic apparatus | |
NL2011742A (en) | Power source for a lithographic apparatus, and lithographic apparatus comprising such a power source. | |
US20170045832A1 (en) | Cleaning Apparatus and Associated Low Pressure Chamber Apparatus | |
NL2011773A (en) | Component for a radiation source, associated radiation source and lithographic apparatus. | |
WO2014095262A1 (en) | Beam delivery for euv lithography | |
NL2012129A (en) | Radiation source that jets up liquid fuel to form plasma for generating radiation and recycle liquid fuel. | |
NL2011772A (en) | Beam delivery apparatus, euv radiation apparatus, euv optical apparatus, lithographic apparatus and associated methods. | |
NL2010217A (en) | Source collector apparatus, lithographic apparatus and device manufacturing method. | |
NL2010306A (en) | Radiation source for an euv optical apparatus and method of generating euv radiation. | |
NL2010575A (en) | Contamination trap for a lithographic apparatus. | |
WO2013127587A2 (en) | Source collector apparatus, lithographic apparatus and device manufacturing method | |
NL2011763A (en) | Radiation source for an euv optical lithographic apparatus, and lithographic apparatus comprising such a power source. | |
NL2004969A (en) | Radiation source, lithographic apparatus and device manufacturing method. |