NL171309C - Werkwijze voor de vervaardiging van een halfgeleiderlichaam, waarbij een laag van siliciumdioxyde wordt gevormd op een oppervlak van een monokristallijn lichaam van silicium. - Google Patents

Werkwijze voor de vervaardiging van een halfgeleiderlichaam, waarbij een laag van siliciumdioxyde wordt gevormd op een oppervlak van een monokristallijn lichaam van silicium.

Info

Publication number
NL171309C
NL171309C NLAANVRAGE7102685,A NL7102685A NL171309C NL 171309 C NL171309 C NL 171309C NL 7102685 A NL7102685 A NL 7102685A NL 171309 C NL171309 C NL 171309C
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
silicone
manufacture
dioxide layer
semiconductor body
monocrystalline
Prior art date
Application number
NLAANVRAGE7102685,A
Other languages
English (en)
Other versions
NL171309B (nl
NL7102685A (nl
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP1708470A external-priority patent/JPS50182B1/ja
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Publication of NL7102685A publication Critical patent/NL7102685A/xx
Publication of NL171309B publication Critical patent/NL171309B/nl
Application granted granted Critical
Publication of NL171309C publication Critical patent/NL171309C/nl

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L29/00Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/02Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/04Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their crystalline structure, e.g. polycrystalline, cubic or particular orientation of crystalline planes
    • H01L29/045Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their crystalline structure, e.g. polycrystalline, cubic or particular orientation of crystalline planes by their particular orientation of crystalline planes
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F3/00Manufacture of workpieces or articles from metallic powder characterised by the manner of compacting or sintering; Apparatus specially adapted therefor ; Presses and furnaces
    • B22F3/24After-treatment of workpieces or articles
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/02104Forming layers
    • H01L21/02365Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
    • H01L21/02367Substrates
    • H01L21/0237Materials
    • H01L21/02373Group 14 semiconducting materials
    • H01L21/02381Silicon, silicon germanium, germanium
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/02104Forming layers
    • H01L21/02365Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
    • H01L21/02367Substrates
    • H01L21/02433Crystal orientation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/02104Forming layers
    • H01L21/02365Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
    • H01L21/02518Deposited layers
    • H01L21/02521Materials
    • H01L21/02524Group 14 semiconducting materials
    • H01L21/02532Silicon, silicon germanium, germanium
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L29/00Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S117/00Single-crystal, oriented-crystal, and epitaxy growth processes; non-coating apparatus therefor
    • Y10S117/901Levitation, reduced gravity, microgravity, space
    • Y10S117/902Specified orientation, shape, crystallography, or size of seed or substrate
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S148/00Metal treatment
    • Y10S148/049Equivalence and options
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S148/00Metal treatment
    • Y10S148/097Lattice strain and defects
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S148/00Metal treatment
    • Y10S148/115Orientation
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S148/00Metal treatment
    • Y10S148/118Oxide films
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S438/00Semiconductor device manufacturing: process
    • Y10S438/973Substrate orientation

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Insulated Gate Type Field-Effect Transistor (AREA)
  • Recrystallisation Techniques (AREA)
  • Powder Metallurgy (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Bipolar Transistors (AREA)
  • Formation Of Insulating Films (AREA)
NLAANVRAGE7102685,A 1970-03-02 1971-03-01 Werkwijze voor de vervaardiging van een halfgeleiderlichaam, waarbij een laag van siliciumdioxyde wordt gevormd op een oppervlak van een monokristallijn lichaam van silicium. NL171309C (nl)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1708470A JPS50182B1 (nl) 1970-03-02 1970-03-02
US00120289A US3821783A (en) 1970-03-02 1971-03-02 Semiconductor device with a silicon monocrystalline body having a specific crystal plane
US00402306A US3850702A (en) 1970-03-02 1973-10-01 Method of making superalloy bodies
US473407A US3920489A (en) 1970-03-02 1974-05-28 Method of making superalloy bodies
US483837A US3920492A (en) 1970-03-02 1974-06-27 Process for manufacturing a semiconductor device with a silicon monocrystalline body having a specific crystal plane

Publications (3)

Publication Number Publication Date
NL7102685A NL7102685A (nl) 1971-09-06
NL171309B NL171309B (nl) 1982-10-01
NL171309C true NL171309C (nl) 1983-03-01

Family

ID=27519889

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NLAANVRAGE7102685,A NL171309C (nl) 1970-03-02 1971-03-01 Werkwijze voor de vervaardiging van een halfgeleiderlichaam, waarbij een laag van siliciumdioxyde wordt gevormd op een oppervlak van een monokristallijn lichaam van silicium.

Country Status (5)

Country Link
US (4) US3821783A (nl)
DE (1) DE2109874C3 (nl)
FR (1) FR2084089A5 (nl)
GB (1) GB1318832A (nl)
NL (1) NL171309C (nl)

Families Citing this family (33)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL7306948A (nl) * 1973-05-18 1974-11-20
US3975219A (en) * 1975-09-02 1976-08-17 United Technologies Corporation Thermomechanical treatment for nickel base superalloys
US4050964A (en) * 1975-12-01 1977-09-27 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Growing smooth epitaxial layers on misoriented substrates
US4081295A (en) * 1977-06-02 1978-03-28 United Technologies Corporation Fabricating process for high strength, low ductility nickel base alloys
US4144100A (en) * 1977-12-02 1979-03-13 General Motors Corporation Method of low dose phoshorus implantation for oxide passivated diodes in <10> P-type silicon
JPS5694732A (en) * 1979-12-28 1981-07-31 Fujitsu Ltd Semiconductor substrate
US4916505A (en) * 1981-02-03 1990-04-10 Research Corporation Of The University Of Hawaii Composite unipolar-bipolar semiconductor devices
US4518442A (en) * 1981-11-27 1985-05-21 United Technologies Corporation Method of producing columnar crystal superalloy material with controlled orientation and product
US4402767A (en) * 1982-12-27 1983-09-06 Owens-Corning Fiberglas Corporation Fabrication of alloys
JPS60253268A (ja) * 1984-05-29 1985-12-13 Meidensha Electric Mfg Co Ltd 半導体装置
JPS60253269A (ja) * 1984-05-29 1985-12-13 Meidensha Electric Mfg Co Ltd ゲ−トタ−ンオフサイリスタ
JP2597976B2 (ja) * 1985-03-27 1997-04-09 株式会社東芝 半導体装置及びその製造方法
US4707216A (en) * 1986-01-24 1987-11-17 University Of Illinois Semiconductor deposition method and device
US4872046A (en) * 1986-01-24 1989-10-03 University Of Illinois Heterojunction semiconductor device with <001> tilt
DE3775671D1 (de) * 1986-09-08 1992-02-13 Bbc Brown Boveri & Cie Oxyddispersionsgehaertete superlegierung mit verbesserter korrosionsbestaendigkeit auf der basis von nickel.
US4865659A (en) * 1986-11-27 1989-09-12 Sharp Kabushiki Kaisha Heteroepitaxial growth of SiC on Si
US5279701A (en) * 1988-05-11 1994-01-18 Sharp Kabushiki Kaisha Method for the growth of silicon carbide single crystals
US5009704A (en) * 1989-06-28 1991-04-23 Allied-Signal Inc. Processing nickel-base superalloy powders for improved thermomechanical working
US5230768A (en) * 1990-03-26 1993-07-27 Sharp Kabushiki Kaisha Method for the production of SiC single crystals by using a specific substrate crystal orientation
US5393483A (en) * 1990-04-02 1995-02-28 General Electric Company High-temperature fatigue-resistant nickel based superalloy and thermomechanical process
JP2570502B2 (ja) * 1991-01-08 1997-01-08 三菱電機株式会社 半導体装置及びその製造方法
JP2750331B2 (ja) * 1992-04-23 1998-05-13 株式会社ジャパンエナジー エピタキシャル成長用基板およびエピタキシャル成長方法
US5569954A (en) * 1993-01-13 1996-10-29 Sumitomo Chemical Company Limited Epitaxial Inx Ga.sub.(1-x) As having a slanted crystallographic plane azimuth
US5877516A (en) * 1998-03-20 1999-03-02 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Bonding of silicon carbide directly to a semiconductor substrate by using silicon to silicon bonding
JP3690563B2 (ja) * 1998-04-28 2005-08-31 富士通株式会社 シリコン基板の評価方法及び半導体装置の製造方法
JP2002134374A (ja) * 2000-10-25 2002-05-10 Mitsubishi Electric Corp 半導体ウェハ、その製造方法およびその製造装置
US20020117718A1 (en) * 2001-02-28 2002-08-29 Apostolos Voutsas Method of forming predominantly <100> polycrystalline silicon thin film transistors
JPWO2003049189A1 (ja) * 2001-12-04 2005-04-21 信越半導体株式会社 貼り合わせウェーハおよび貼り合わせウェーハの製造方法
JP2004119943A (ja) * 2002-09-30 2004-04-15 Renesas Technology Corp 半導体ウェハおよびその製造方法
US8220697B2 (en) * 2005-01-18 2012-07-17 Siemens Energy, Inc. Weldability of alloys with directionally-solidified grain structure
JP4797514B2 (ja) * 2005-08-26 2011-10-19 株式会社Sumco シリコンウェーハの製造方法
KR100868758B1 (ko) * 2007-01-15 2008-11-13 삼성전기주식회사 압저항 센서를 구비한 회전형 mems 디바이스
WO2013143995A1 (en) * 2012-03-27 2013-10-03 Alstom Technology Ltd Method for manufacturing components made of single crystal (sx) or directionally solidified (ds) nickelbase superalloys

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL243511A (nl) * 1959-09-18
FR1270844A (fr) * 1959-09-18 1961-09-01 Philips Nv Procédé pour la fabrication de cristaux en forme de tiges en matière semiconductrice
NL277330A (nl) * 1961-04-22
NL284785A (nl) * 1961-10-27
DE1264419B (de) * 1961-10-27 1968-03-28 Siemens Ag Verfahren zum Abscheiden einer einkristallinen Silicium-Schicht aus der Gasphase aufeinem Silicium-Einkristall
US3346427A (en) * 1964-11-10 1967-10-10 Du Pont Dispersion hardened metal sheet and process
FR1424690A (fr) * 1964-02-13 1966-01-14 Hitachi Ltd Dispositifs semi-conducteurs et leur procédé de fabrication
GB1100124A (en) * 1964-02-13 1968-01-24 Hitachi Ltd Semiconductor devices and methods for producing the same
US3366515A (en) * 1965-03-19 1968-01-30 Sherritt Gordon Mines Ltd Working cycle for dispersion strengthened materials
US3480491A (en) * 1965-11-17 1969-11-25 Ibm Vapor polishing technique
US3476592A (en) * 1966-01-14 1969-11-04 Ibm Method for producing improved epitaxial films
US3556875A (en) * 1967-01-03 1971-01-19 Philco Ford Corp Process for epitaxially growing gallium arsenide on germanium
FR1574577A (nl) * 1967-08-03 1969-07-11
US3612960A (en) * 1968-10-15 1971-10-12 Tokyo Shibaura Electric Co Semiconductor device
US3603848A (en) * 1969-02-27 1971-09-07 Tokyo Shibaura Electric Co Complementary field-effect-type semiconductor device
US3671223A (en) * 1969-12-10 1972-06-20 United Aircraft Corp Anisotropic polyphase structure of multivariant eutectic composition
US3639179A (en) * 1970-02-02 1972-02-01 Federal Mogul Corp Method of making large grain-sized superalloys
US3749612A (en) * 1971-04-06 1973-07-31 Int Nickel Co Hot working of dispersion-strengthened heat resistant alloys and the product thereof
BE794801A (fr) * 1972-01-31 1973-07-31 Int Nickel Ltd Procede de recuit en zones d'alliages
US3783032A (en) * 1972-07-31 1974-01-01 Gen Electric Method for producing directionally solidified nickel base alloy

Also Published As

Publication number Publication date
DE2109874B2 (de) 1976-12-30
US3850702A (en) 1974-11-26
DE2109874A1 (de) 1971-09-16
DE2109874C3 (de) 1984-10-18
NL171309B (nl) 1982-10-01
GB1318832A (en) 1973-05-31
NL7102685A (nl) 1971-09-06
FR2084089A5 (nl) 1971-12-17
US3920489A (en) 1975-11-18
US3920492A (en) 1975-11-18
US3821783A (en) 1974-06-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL171309C (nl) Werkwijze voor de vervaardiging van een halfgeleiderlichaam, waarbij een laag van siliciumdioxyde wordt gevormd op een oppervlak van een monokristallijn lichaam van silicium.
NL163059C (nl) Werkwijze ter vervaardiging van een halfgeleiderinrich- ting, waarbij een op een oppervlak van een halfgeleider- lichaam aangebrachte laag materiaal met ionen wordt ge- bombardeerd.
NL147160B (nl) Werkwijze voor de bereiding van een plakmiddel en voorwerpen, vervaardigd met behulp van dit plakmiddel.
NL161305B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleiderin- richting.
NL170901C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleiderinrichting.
NL158025B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleiderinrichting en halfgeleiderinrichting, vervaardigd volgens deze werkwijze.
NL161302B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleiderin- richting.
NL174062B (nl) Werkwijze voor de vervaardiging van een uit een polycarbonaat bestaand, bekleed substraat.
NL166361C (nl) Werkwijze voor het anisotroop etsen van een mono- kristallijn plaatje van silicium.
NL7512514A (nl) Werkwijze ter vervaardiging van een halfgeleider- inrichting, en inrichting vervaardigd volgens de werkwijze.
NL171795C (nl) Werkwijze voor de bereiding van een siliciumdioxyde-vrij zilveroxyde-houdend glas en daarmee verkregen voorwerpen.
NL172167C (nl) Werkwijze voor de bereiding van een plakmiddel.
NL164321C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een enzymatisch actief membraan.
NL158022B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleiderinrichting.
NL161301C (nl) Halfgeleiderinrichting en werkwijze voor de vervaar- diging daarvan.
NL161920C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een half- geleiderinrichting, waarbij de roostervervorming t.g.v. doteerstoffen wordt gecompenseerd.
NL7611057A (nl) Werkwijze voor de vervaardiging van een halfgeleiderinrichting.
NL161919B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleider- inrichting, die een p,n-overgang bevat.
NL154059B (nl) Werkwijze voor het etsen van siliciumnitride in aanwezigheid van gedoteerd silicium.
NL161921C (nl) Werkwijze ter vervaardiging van een halfgeleiderlichaam, omvattende een halfgeleideroppervlaktelaag, die is aan- gebracht op een hoger gedoteerd halfgeleidersubstraat- gebied en halfgeleiderlichaam, vervaardigd volgens de werkwijze.
NL7409192A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een basis voor een halfgeleiderinrichting, inrichting voor het toepassen van de werkwijze en basis voor een halfgeleiderinrichting vervaardigd onder toepassing van de werkwijze.
NL173507C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een verpakking.
NL7410978A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een half- geleiderinrichting, en inrichting vervaardigd volgens de werkwijze.
NL149711B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van pillen, alsmede de aldus vervaardigde pillen.
NL7604392A (nl) Werkwijze voor de vervaardiging van een half- geleiderinrichting met een vlak oppervlak.

Legal Events

Date Code Title Description
V4 Discontinued because of reaching the maximum lifetime of a patent