NL1007418C2 - Flat positioning of optical disc substrates against support by suction, used during production of e.g. CD's or CD=ROM's - Google Patents
Flat positioning of optical disc substrates against support by suction, used during production of e.g. CD's or CD=ROM's Download PDFInfo
- Publication number
- NL1007418C2 NL1007418C2 NL1007418A NL1007418A NL1007418C2 NL 1007418 C2 NL1007418 C2 NL 1007418C2 NL 1007418 A NL1007418 A NL 1007418A NL 1007418 A NL1007418 A NL 1007418A NL 1007418 C2 NL1007418 C2 NL 1007418C2
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- substrate
- support
- vacuum suction
- clamping means
- gripper
- Prior art date
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 123
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 15
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 11
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 9
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 4
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 3
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6838—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25B—TOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING OR HOLDING
- B25B11/00—Work holders not covered by any preceding group in the subclass, e.g. magnetic work holders, vacuum work holders
- B25B11/002—Magnetic work holders
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25B—TOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING OR HOLDING
- B25B11/00—Work holders not covered by any preceding group in the subclass, e.g. magnetic work holders, vacuum work holders
- B25B11/005—Vacuum work holders
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C33/00—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
- B29C33/30—Mounting, exchanging or centering
- B29C33/305—Mounting of moulds or mould support plates
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/707—Chucks, e.g. chucking or un-chucking operations or structural details
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B23/00—Record carriers not specific to the method of recording or reproducing; Accessories, e.g. containers, specially adapted for co-operation with the recording or reproducing apparatus ; Intermediate mediums; Apparatus or processes specially adapted for their manufacture
- G11B23/0057—Intermediate mediums, i.e. mediums provided with an information structure not specific to the method of reproducing or duplication such as matrixes for mechanical pressing of an information structure ; record carriers having a relief information structure provided with or included in layers not specific for a single reproducing method; apparatus or processes specially adapted for their manufacture
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29L—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASS B29C, RELATING TO PARTICULAR ARTICLES
- B29L2017/00—Carriers for sound or information
- B29L2017/001—Carriers of records containing fine grooves or impressions, e.g. disc records for needle playback, cylinder records
- B29L2017/003—Records or discs
- B29L2017/005—CD''s, DVD''s
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
Description
Korte aanduiding: Inrichting voor het vlak positioneren van een schijf vormig substraat alsmede een dergelijke werkwijze.Short designation: Device for flat positioning of a disc-shaped substrate as well as such a method.
De uitvinding heeft betrekking op een inrichting voor 5 het vlak positioneren van een schijfvormig substraat tegen een ondersteuning, waarbij de ondersteuning is voorzien van klemmiddelen en vacuüm aanzuigmiddelen, waarbij met behulp van de klemmiddelen de buitenrand van het substraat en met behulp van de vacuüm aanzuigmiddelen het midden van het substraat tegen de ondersteuning klembaar is.The invention relates to a device for flat positioning of a disc-shaped substrate against a support, wherein the support is provided with clamping means and vacuum suction means, wherein the outer edge of the substrate and the vacuum suction means are used to clamp the outer edge of the substrate. center of the substrate against the support.
10 De uitvinding heeft tevens betrekking op een werkwijze voor het vlak positioneren van een schijfvormig substraat, waarbij het schijfvormige substraat nabij een vlakke ondersteuning wordt gebracht, vervolgens in een dwars op de vlakke ondersteuning uitstrekkende richting naar de ondersteuning toe wordt verplaatst en daarna met klemmiddelen en 15 vacuüm aanzuigmiddelen tegen de ondersteuning wordt geklemd, waarbij het substraat langs de buitenrand met behulp van de klemmiddelen tegen de ondersteuning aan wordt geklemd, en met behulp van de vacuüm aanzuigmiddelen het midden van het substraat tegen de ondersteuning aan wordt getrokken.The invention also relates to a method for flat positioning of a disc-shaped substrate, wherein the disc-shaped substrate is brought close to a flat support, is then moved towards the support in a direction extending transversely of the flat support and then with clamping means and The vacuum suction means is clamped against the support, wherein the substrate is clamped along the outer edge by means of the clamping means against the support, and the center of the substrate is pulled against the support by means of the vacuum suction means.
20 Bij een dergelijke, uit het Amerikaanse octrooi US-A-3.608.909 bekende inrichting en werkwijze wordt een grammofoonplaat vlak tegen een ondersteuning aangetrokken. De klemmiddelen omvatten haakvormige elementen welke aan een van de ondersteuning afgekeerde zijde tegen de grammofoonplaat aan worden gedrukt.In such an apparatus and method known from US patent US-A-3,608,909, a gramophone record is drawn flat against a support. The clamping means comprise hook-shaped elements which are pressed against the gramophone record on a side remote from the support.
25 Indien een dergelijke inrichting zal worden gebruikt voor het uitvoeren van bepaalde bewerkingen op een schijfvormig substraat, kunnen deze bewerkingen zich niet uitstrekken over dat gedeelte van het substraat waartegen de grijpmiddelen aanliggen.If such a device is to be used to perform certain operations on a disc-shaped substrate, these operations cannot extend over that part of the substrate against which the gripping means abut.
De uitvinding beoogt een inrichting te verschaffen 30 waarbij een substraat op eenvoudige wijze vlak gepositioneerd tegen een ondersteuning kan worden geklemd terwijl de van de ondersteuning afgekeerde zijde van het substraat geheel vrij is.The object of the invention is to provide a device in which a substrate can be clamped flatly positioned against a support in a simple manner, while the side of the substrate remote from the support is completely free.
Dit doel wordt bij de inrichting volgens de uitvinding bereikt doordat de klemmiddelen tenminste een magneet omvatten, terwijl 35 het substraat magnetiseerbaar is.This object is achieved in the device according to the invention in that the clamping means comprise at least one magnet, while the substrate can be magnetized.
Met behulp van een magneet is de buitenrand van een 1007418 2 magnetiseerbaar substraat eenvoudig tegen de ondersteuning aan te klemmen. Een dergelijke inrichting is met name geschikt voor het positioneren van bijvoorbeeld nikkel omvattende substraten die voor de fabricage van matrijzen voor schijfvormige registratiedragers zoals CD-s, CD-ROM’s en 5 dergelijke worden gebruikt.Using a magnet, the outer edge of a 1007418 2 magnetizable substrate can easily be clamped against the support. Such a device is particularly suitable for positioning, for example, nickel-containing substrates which are used for the production of molds for disc-shaped record carriers such as CD-s, CD-ROMs and the like.
Bij het aanbrengen van een substraat op de ondersteuning wordt met behulp van de klemmiddelen de buitenrand van het substraat tegen de ondersteuning aangetrokken. Indien het substraat concaaf is ligt het midden van het substraat reeds tegen de ondersteuning aan en zal door de 10 klemmiddelen de buitenrand van het substraat tegen de ondersteuning aan worden getrokken. Indien het substraat convex is wordt door het met behulp van de klemmiddelen uitoefenen van een klemkracht op de buitenrand van het substraat ook het midden van het substraat tegen de ondersteuning aangetrokken waarna met behulp van de vacuüm aanzuigmiddelen een verdere 15 klemkracht op het midden van het substraat wordt uitgeoefend. Met name bij schijfvormige substraten die (nog) niet zijn voorzien van een centrale doorgang wordt op deze wijze een uitstekende vlakke klemming van het substraat tegen de ondersteuning verkregen. Ook bij substraten die reeds zijn voorzien van een centrale doorgang kan op deze wijze het substraat 20 tegen de ondersteuning aan worden getrokken.When a substrate is applied to the support, the outer edge of the substrate is pulled against the support by means of the clamping means. If the substrate is concave, the center of the substrate already lies against the support and the outer edge of the substrate will be pulled against the support by the clamping means. If the substrate is convex, by applying a clamping force to the outer edge of the substrate by means of the clamping means, the center of the substrate is also attracted to the support, after which a further clamping force is applied to the center of the substrate by means of the vacuum suction means. is exercised. In particular with disc-shaped substrates that are not (yet) provided with a central passage, an excellent flat clamping of the substrate against the support is obtained in this way. In the case of substrates already provided with a central passage, the substrate 20 can in this way also be pulled against the support.
Opgemerkt wordt verder dat uit de Europese octrooiaanvrage EP-A1-0.770.467 een inrichting en werkwijze bekend zijn, waarbij een matrijsdeel vormend substraat in een spuitgietmachine tegen een ondersteuning wordt geklemd. De vlakheid van de met de spuitgietmachine 25 te vervaardigen producten hangt in grote mate af van de vlakheid van het substraat in de spuitgietmachine. Bij de bekende inrichting is de ondersteuning voorzien van een centrale as die zich dwars door een gat in het middelpunt van het ringvormige substraat heen uitstrekt. De inrichting is verder voorzien van een om de centrale as gelegen ringvormige 30 permanentmagneet en om de permanentmagneet heen gelegen vacuüm aanzuigmiddelen. Met behulp van de permanentmagneet wordt het midden van het substraat tegen de ondersteuning getrokken, terwijl met de daaromheen uitstrekkende vacuüm aanzuigmiddelen de buitenrand van het substraat tegen de ondersteuning wordt getrokken. Vacuüm aanzuigmiddelen kunnen pas een 35 klemkracht op het substraat uitoefenen op het moment dat de afstand tussen het substraat en de vlakke ondersteuning nagenoeg nihil is. Dit heeft als t "7 ^ 3 nadeel dat als bij het aanbrengen van het substraat tegen de ondersteuning het substraat een concave vorm heeft, alleen het midden tegen de ondersteuning aanligt en de buitenrand op afstand van de ondersteuning ligt, waarbij met behulp van de vacuüm aanzuigmiddelen het substraat niet 5 tegen de ondersteuning kan worden aangetrokken.It is further noted that from European patent application EP-A1-0.770.467 an apparatus and method are known, in which a mold-forming substrate is clamped against a support in an injection molding machine. The flatness of the products to be manufactured with the injection molding machine 25 depends largely on the flatness of the substrate in the injection molding machine. In the known device, the support is provided with a central axis which extends transversely through a hole in the center of the annular substrate. The device is further provided with an annular permanent magnet located around the central axis and vacuum suction means disposed around the permanent magnet. With the aid of the permanent magnet, the center of the substrate is pulled against the support, while with the vacuum suction means extending around it, the outer edge of the substrate is pulled against the support. Vacuum suction means can only exert a clamping force on the substrate when the distance between the substrate and the flat support is practically nil. This has the drawback that the substrate has a concave shape when the substrate is applied to the support, only the center rests against the support and the outer edge is spaced from the support, whereby with the aid of the vacuum suction means the substrate cannot be attracted to the support.
Een andere uitvoeringsvorm van de inrichting volgens de uitvinding wordt gekenmerkt doordat de klemmiddelen een aandrukring omvatten.Another embodiment of the device according to the invention is characterized in that the clamping means comprise a pressure ring.
Met behulp van de aandrukring wordt vanaf een van de 10 ondersteuning afgekeerde zijde een aandrukkracht op de buitenrand van het substraat uitgeoefend. Vervolgens wordt met behulp van de vacuüm aanzuigmiddelen het midden van het substraat tegen de ondersteuning aangetrokken.With the aid of the pressing ring, a pressing force is exerted on the outer edge of the substrate from a side remote from the support. Then, with the aid of the vacuum suction means, the center of the substrate is pulled against the support.
Het is uiteraard ook mogel ijk om voor een relatief grote 15 klemkracht gebruik te maken van zowel een aandrukring voor het uitoefenen van aandrukkrachten op het substraat en een magneet voor het uitoefenen van aantrekkrachten op het substraat.It is of course also possible for a relatively large clamping force to make use of both a pressing ring for exerting pressing forces on the substrate and a magnet for exerting attractive forces on the substrate.
De uitvinding beoogt tevens een werkwijze te verschaffen waarbij de nadelen van de bekende werkwijze worden voorkomen.Another object of the invention is to provide a method in which the drawbacks of the known method are avoided.
20 Dit doel wordt bij de werkwijze volgens de uitvinding bereikt doordat het substraat langs de buitenrand met behulp van de klemmiddelen tegen de ondersteuning aan wordt geklemd, waarna met behulp van de vacuüm aanzuigmiddelen het midden van het substraat tegen de ondersteuning aan wordt getrokken.This object is achieved in the method according to the invention in that the substrate is clamped along the outer edge with the aid of the clamping means against the support, after which the center of the substrate is pulled against the support with the aid of the vacuum suction means.
25 Met behulp van de klemmiddelen wordt zowel bij een convex, vlak als concaaf gevormd substraat de buitenrand stevig tegen de ondersteuning aangedrukt. Vervolgens wordt met behulp van de vacuüm aanzuigmiddelen het midden van het substraat tegen de ondersteuning aangetrokken en ligt het substraat in een vlakke vorm tegen de ondersteu-30 ning aan.With the aid of the clamping means, the outer edge is pressed firmly against the support both with a convex, flat and concave shaped substrate. Then, with the aid of the vacuum suction means, the center of the substrate is pulled against the support and the substrate lies in a flat shape against the support.
De uitvinding zal nader worden toegelicht aan de hand van de tekeningen, waarin fig. 1 een bovenaanzicht toont van een apparaat voorzien van een inrichting volgens de uitvinding, 35 fig. 2 een grijper volgens de uitvinding toont, fig. 3-5 het vlak positioneren van een substraat op 1007418 4 een ondersteuning volgens de uitvinding tonen, fig. 6A-I verschillende processtappen tonen van het bewerken van een substraat met het in fig. 1 weergegeven apparaat, fig. 7 een dwarsdoorsnede toont van de in fig. 3 5 weergegeven ondersteuning, fig. 8 een dwarsdoorsnede toont van een deel van de in fig. 7 weergegeven ondersteuning, fig. 9 een dwarsdoorsnede toont van een andere ondersteuning volgens de uitvinding, 10 fig. 10 een uitvergroot gedeelte van een deel van de in fig. 9 weergegeven ondersteuning toont, fig. 11 de in fig. 9 weergegeven ondersteuning toont alsmede een aandrukring volgens de uitvinding.The invention will be further elucidated with reference to the drawings, in which fig. 1 shows a top view of an apparatus provided with a device according to the invention, fig. 2 shows a gripper according to the invention, fig. 3-5 position the plane of a substrate on 1007418 4 show a support according to the invention, Fig. 6A-I show various process steps of processing a substrate with the apparatus shown in Fig. 1, Fig. 7 shows a cross section of the one shown in Fig. 3 support, fig. 8 shows a cross-section of a part of the support shown in fig. 7, fig. 9 shows a cross-section of another support according to the invention, fig. 10 shows an enlarged part of part of the support shown in fig. 9 Fig. 11 shows the support shown in fig. 9 and a pressure ring according to the invention.
In de figuren zijn overeenkomende onderdelen voorzien 15 van eenzelfde verwijzingscijfer.Corresponding parts are provided with the same reference numerals in the figures.
Fig. 1 toont een apparaat 1 volgens de uitvinding voor het bewerken van een schijfvormig substraat op een wijze die in grote lijnen overeenkomt met de werkwijze zoals beschreven in de Europese octrooiaanvrage EP-A1-0.667.608 van aanvraagster.Fig. 1 shows an apparatus 1 according to the invention for processing a disc-shaped substrate in a manner broadly corresponding to the method as described in applicant's European patent application EP-A1-0.667.608.
20 Het in bovenaanzicht weergegeven apparaat 1 omvat drie cassettes 2, 3, 4 die elk zijn voorzien van een aantal boven elkaar gelegen schijfvormige substraten 5. De cassettes 2, 3 zijn voorzien van nog te bewerken substraten 5 terwijl de cassette 4 is voorzien van de substraten die de in apparaat 1 uit te voeren bewerkingen reeds hebben ondergaan.The apparatus 1 shown in top view comprises three cassettes 2, 3, 4, each of which is provided with a number of disc-shaped substrates 5 situated one above the other. The cassettes 2, 3 are provided with substrates 5 yet to be processed, while the cassette 4 is provided with the substrates that have already undergone the operations to be performed in device 1.
25 Het apparaat 1 is verder voorzien van een grijper 6 die met behulp van op zich bekende transportmiddelen verplaatsbaar is in X-, Y- en Z-richting als mede zwenkbaar is in (D-richting.The device 1 is further provided with a gripper 6 which is movable in X, Y and Z direction by means of known means of transport, as well as being pivotable in (D direction).
Het apparaat 1 is verder voorzien van een op zich bekende laserbundel recorder 7, waarin een ondersteuning 8 volgens de 30 uitvinding is voorzien. De ondersteuning 8 is voorzien van een ringvormige permanentmagneet 9 en daarbinnen gelegen vacuüm aanzuigmiddelen 10.The device 1 is further provided with a laser beam recorder 7 known per se, in which a support 8 according to the invention is provided. The support 8 is provided with an annular permanent magnet 9 and vacuum suction means 10 located therein.
Het apparaat 1 is verder voorzien van een centreereen-heid 11 die ten opzichte van een middelpunt 12 drie schuin omhoog uitstrekkende pennen 13 omvat.The device 1 is further provided with a centering unit 11 which comprises three pins 13 extending upwards with respect to a center point 12.
35 Het apparaat 1 is verder voorzien van twee verwarmings- eenheden 14, 15 die elk zijn voorzien van een verwarmbare ondersteuning 1001ζ· ' 5 16, 17.The device 1 is furthermore provided with two heating units 14, 15, each of which is provided with a heatable support 1001, 16, 17.
De verwarmingseenheden 14, 15 zijn voorzien van een aantal op een cirkel gelegen magneten en daarbinnen gelegen vacuüm aanzuigmiddelen.The heating units 14, 15 are provided with a number of magnets located on a circle and vacuum suction means located therein.
5 Het apparaat 1 is verder voorzien van een ontwikkel en belichtingsinrichting 18 die een cirkelvormige ontwikkelkamer 19 en een om een zich in Z-richting uitstrekkende zwenkas 20 zwenkbaar gelagerde belichtingseenheid 21 met twee lampen 22 omvat.The apparatus 1 is further provided with a developing and exposure device 18 which comprises a circular developing chamber 19 and an illumination unit 21 with two lamps 22 pivotally mounted about a pivot axis 20 extending in the Z-direction.
Het apparaat 1 is verder voorzien van een UV-10 belichtingseenheid 23.The device 1 is further provided with a UV-10 exposure unit 23.
De ontwikkelkamer 19 en de UV-belichtingseenheid 23 zijn voorzien van cirkel vormige ondersteuningen 8 die elk een ringvormige magneet 10 en daarbinnen gelegen vacuüm aanzuigmiddelen 9 omvatten.The developing chamber 19 and the UV exposure unit 23 are provided with circular supports 8, each comprising an annular magnet 10 and vacuum suction means 9 located therein.
Fig. 2 toont een grijper 6 volgens de uitvinding die 15 is voorzien van een met de transportmiddelen (niet weergegeven) verbonden pl aatvormige drager 24 en een evenwijdig daaraan uitstrekkende pl aatvormige schijf 25 die is voorzien van een aantal groeven 26 waarin vacuüm kan worden aangebracht.Fig. 2 shows a gripper 6 according to the invention, which is provided with a plate-shaped carrier 24 connected to the transporting means (not shown) and a plate-shaped disc 25 extending parallel thereto, which is provided with a number of grooves 26 in which vacuum can be applied.
Onder vacuüm wordt een onderdruk verstaan die voldoende 20 is om het substraat 5 met voldoende kracht te kunnen aantrekken tegen de schijf 25 of de ondersteuning 8.By vacuum is meant an underpressure which is sufficient to be able to attract the substrate 5 with sufficient force against the disc 25 or the support 8.
Fig. 3 toont een ondersteuning 8 die is voorzien van een conisch gevormde voet 27 die aan een zich horizontaal uitstrekkend bovenvlak 28 is voorzien van een magnetische ring 9 en daarbinnen gelegen 25 vacuüm aanzuigmiddelen 10. De vacuüm aanzuigmiddelen 10 omvatten in het bovenvlak 28 gelegen cirkel vormige groeven 40 (zie fig. 7, 8) die op een vacuümpomp (niet weergegeven) zijn aangesloten. Om de conisch gevormde voet 27 is een ringvormige drager 29 gelegen die aan de bovenzijde is voorzien van zes regelmatig langs de omtrek verdeelde pennen 30. Elke 30 pen 30 is aan een van de drager afgekeerde zijde voorzien van een magneet 31. De ringvormige drager 29 is met behulp van een flens 32 verbonden met een verplaatsingsinrichting (niet weergegeven) met behulp waarvan de ringvormige drager 29 in Z-richting verplaatsbaar is.Fig. 3 shows a support 8 which is provided with a conically shaped foot 27 which is provided on a horizontally extending top surface 28 with a magnetic ring 9 and vacuum suction means 10 situated therein. The vacuum suction means 10 comprise circular grooves located in the top surface 28 40 (see fig. 7, 8) connected to a vacuum pump (not shown). An annular carrier 29 is disposed around the conically shaped base 27 and is provided at the top with six pins 30 regularly distributed along the circumference. Each 30 pin 30 is provided with a magnet 31 on a side remote from the carrier. The annular carrier 29 is connected by means of a flange 32 to a displacement device (not shown) by means of which the annular support 29 is displaceable in the Z direction.
De werking van het apparaat 1, de grijper 6 en de 35 ondersteuning 8 zal nu beknopt worden toegelicht, waarbij aan de hand van fig. 6 de verschillende processtappen zullen worden beschreven.The operation of the device 1, the gripper 6 and the support 8 will now be briefly explained, with the various process steps being described with reference to Fig. 6.
66
In de cassettes 3 worden substraten 5 aangeleverd die zijn voorzien van een nikkel omvattende basisplaat 33 (fig. 6A) en een daarop aangebrachte, negatief werkende fotoresistlaag 34 (fig. 6B). De fotoresistlaag is buiten het apparaat 1 gedroogd (fig. 6C).Substrates 5 provided in the cassettes 3 are provided with a nickel-containing base plate 33 (Fig. 6A) and a negative-acting photoresist layer 34 (Fig. 6B) applied thereto. The photoresist layer has dried outside the device 1 (Fig. 6C).
5 De grijper 6 wordt vanuit de in fig. 1 weergegeven stand in een door pijl PI aangegeven richting in de cassette 2 verplaatst tot onder een substraat 5. Vervolgens wordt de grijper 6 in opwaartse richting verplaatst totdat het substraat 5 op de flens 25 ligt, waarna met behulp van de vacuüm aanzuigmiddelen 26 op het midden van het substraat 5 een 10 klemkracht wordt uitgeoefend.The gripper 6 is moved from the position shown in fig. 1 in the direction 2 indicated by arrow P1 in the cassette 2 to below a substrate 5. Then the gripper 6 is moved in an upward direction until the substrate 5 lies on the flange 25, after which a clamping force is exerted on the center of the substrate 5 by means of the vacuum suction means 26.
Vervolgens wordt de grijper 6 met het daarop gelegen substraat 5 in een aan pijl PI tegengestelde richting verplaatst, gezwenkt over 180° in een door pijl P2 aangegeven richting, in X-richting verplaatst in een door pijl P3 aangegeven richting tot nabij de centreerinrichting 15 en in een door pijl P4 aangegeven richting boven de centreerinrichting 11 gebracht. Het vacuüm wordt tijdelijk uitgezet. De pennen 13 worden naar het midden 12 toe gekanteld waarbij de buitenrand van het substraat 5 in aanraking komt met de schuin naar beneden en naar het midden 12 toelopende pennen 13. Tengevolge van deze aanraking met de pennen 13 wordt het 20 substraat 5 ten opzichte van de pennen 13 en het centrum 12 gecentreerd. Het substraat 5 ondergaat hierbij een geringe verplaatsing ten opzichte van de grijper 6. Vervolgens wordt het vacuüm weer aangezet en de pennen 13 worden weer naar buiten gekanteld. Na het centreren van het substraat 5 in de centreerinrichting 11 wordt de grijper 6 samen met het substraat 5 25 in een aan pijl P4 tegengestelde richting verplaatst, over 90° in een aan pijl P2 tegengestelde richting geroteerd en in een door pijl P3 aangegeven richting verplaatst totdat de grijper 6 met het daarop gelegen substraat 5 de ondersteuning 8 in de laserbundel recorder 7 bereikt. Tijdens het naderen van de ondersteuning 8 wordt de ringvormige drager 29 met behulp van 30 flens 32 in een door pijl P5 aangegeven richting omhoog verplaatst tengevolge waarvan de magneten 31 boven het bovenvlak 28 van de conische voet 27 komen te liggen.Then the gripper 6 with the substrate 5 lying thereon is moved in an opposite direction to arrow P1, swiveled through 180 ° in a direction indicated by arrow P2, moved in X direction in a direction indicated by arrow P3, close to the centering device 15 and brought above the centering device 11 in a direction indicated by arrow P4. The vacuum is temporarily turned off. The pins 13 are tilted towards the center 12, whereby the outer edge of the substrate 5 comes into contact with the obliquely downwards and pins 13 tapering towards the center 12. As a result of this contact with the pins 13, the substrate 5 becomes pins 13 and center 12 centered. The substrate 5 hereby undergoes a slight displacement relative to the gripper 6. Subsequently, the vacuum is turned on again and the pins 13 are tilted out again. After centering the substrate 5 in the centering device 11, the gripper 6 together with the substrate 5 is moved in an opposite direction to arrow P4, rotated through 90 ° in an opposite direction to arrow P2 and moved in an direction indicated by arrow P3 until the gripper 6 with the substrate 5 thereon reaches the support 8 in the laser beam recorder 7. As the support 8 approaches, the annular support 29 is moved upwards by means of flange 32 in a direction indicated by arrow P5, as a result of which the magnets 31 come to lie above the top surface 28 of the conical base 27.
Zodra het substraat 5 boven de pennen 30 is gelegen wordt de grijper 6 in een aan pijl P5 tegengestelde, neerwaartse richting 35 verplaatst tengevolge waarvan het substraat 5 op de pennen 30 komt te liggen. Het vacuüm van de vacuüm aanzuigmiddelen 26 is hierbij uitgescha- 1007418 7 keld. Het substraat 5 wordt hierbij door de magneten 31 stevig vastgeklemd waardoor de met de grijper 6 bepaalde gecentreerde positie van het substraat 5 ten opzichte van de ondersteuning 8 gewaarborgd blijft. De grijper 6 wordt vervolgens in een aan pijl P3, door pijl P6 aangegeven 5 richting onder het substraat 5 vandaan verplaatst, zoals is weergegeven in fig. 5. Daarna wordt de flens 32 in een aan pijl P5 tegengestelde richting verplaatst waardoor het substraat 5 op het bovenvlak 28 komt te liggen en onmiddellijk door de ringvormige magneet 9 tegen het bovenvlak 28 wordt aangetrokken. De vacuüm aanzuigmiddelen 10 zijn dan inmiddels ook 10 geactiveerd waardoor tevens het midden van het substraat 5 tegen het bovenvlak 28 wordt aangetrokken. Op de hier beschreven wijze wordt een positie van het substraat 5 ten opzichte van de grijper 6 eenduidig overgenomen op het bovenvlak 28 van de conische voet 27.As soon as the substrate 5 is located above the pins 30, the gripper 6 is moved in a downward direction 35 opposite to arrow P5, as a result of which the substrate 5 comes to lie on the pins 30. The vacuum of the vacuum suction means 26 is switched off in this case. The substrate 5 is hereby firmly clamped by the magnets 31, so that the centered position of the substrate 5 relative to the support 8 determined with the gripper 6 remains guaranteed. The gripper 6 is then moved in a direction indicated by arrow P3, indicated by arrow P6, from below the substrate 5, as shown in Fig. 5. Thereafter, the flange 32 is moved in an opposite direction to the arrow P5, so that the substrate 5 the top surface 28 comes to lie and is immediately attracted to the top surface 28 by the annular magnet 9. The vacuum suction means 10 are now also activated 10, whereby the center of the substrate 5 is also attracted to the top surface 28. In the manner described here, a position of the substrate 5 with respect to the gripper 6 is unambiguously adopted on the top surface 28 of the conical base 27.
Nadat het substraat 5 nauwkeurig op de ondersteuning 15 is gepositioneerd en met behulp van de ringvormige magneet en vacuüm aanzuigmiddelen 10 vlak tegen het bovenvlak 28 van de voet 27 is aangetrokken, wordt met behulp van de laserbundel recorder 7 de gewenste gedeeltes 35 van de fotogevoelige laag 34 belicht (fig. 6D).After the substrate 5 has been accurately positioned on the support 15 and has been attracted flat against the top surface 28 of the base 27 with the aid of the annular magnet and vacuum suction means 10, the desired parts 35 of the photosensitive layer are obtained with the aid of the laser beam recorder 7. 34 exposed (Fig. 6D).
Vervolgens worden de vacuüm aanzuigmiddelen 10 20 gedeactiveerd, waarna met behulp van de ringvormige drager 29 en de daarop bevestigde pennen 30 het substraat 5 in een door pijl P5 aangegeven richting wordt verplaatst, de grijper 6 onder het substraat 5 wordt gepositioneerd en de vacuüm aanzuigmiddelen 26 worden geactiveerd. Na het laten zakken van de ringvormige drager 29 is het substraat 5 wederom op 25 de grijper 6 gelegen en wordt uit de laserbundel recorder 7 verwijderd. Het substraat 5 wordt met behulp van de grijper 6 vervolgens naar de verwarmingseenheid 16 gebracht alwaar op een wijze overeenkomend met de wijze zoals beschreven bij de laserbundel recorder 7 het substraat 5 op een ondersteuning 8 wordt gepositioneerd. De verwarmingsinrichting 16 is 30 verder voorzien van een aandrukring (zie fig. 11). Met behulp van de aandrukring, waarvan de diameter bij voorkeur overeenkomt met de diameter van de ring van magneten, wordt het substraat 5 vanaf een van de ondersteuning 8 afgekeerde zijde stevig tegen de ondersteuning 8 aangedrukt. Nadat is waargenomen dat met behulp van de vacuüm aanzuigmidde-35 len het substraat stevig tegen de ondersteuning is aangezogen, wordt de aandrukring verwijderd. Met behulp van de aandrukring worden eventuele 1ΓΦ · · ·'* 1 <. Λ * 8 vervormingen ten gevolge van het opwarmen van het substraat volledig voorkomen. Het verwarmen van het substraat met de belichte gedeeltes 35 is weergegeven in fig. 6E. Nadat het substraat 5 is verwarmd wordt met behulp van de grijper 6 het substraat 5 boven de ontwikkelkamer 19 5 gebracht, alwaar het substraat 5 wederom op een ondersteuning 8 wordt gepositioneerd. Vervolgens wordt de belichtingseenheid 21 in een door pijl P7 aangegeven richting om de zwenkas 20 tot boven het substraat 5 gezwenkt waarna met behulp van de lampen 22 het gehele substraat 5 wordt belicht (fig. 6F). Na het in een aan pijl P7 tegengestelde richting zwenken 10 van de bel ichtingseenheid 21 wordt de fotogevoel ige laag 34 in de ontwikkelkamer 19 ontwikkeld (fig. 6G).Subsequently, the vacuum suction means 10 are deactivated, after which the substrate 5 is moved in a direction indicated by arrow P5 with the aid of the annular carrier 29 and the pins 30 mounted thereon, the gripper 6 is positioned under the substrate 5 and the vacuum suction means 26 be activated. After the ring-shaped carrier 29 has been lowered, the substrate 5 is again located on the gripper 6 and the laser beam recorder 7 is removed. The substrate 5 is then brought with the aid of the gripper 6 to the heating unit 16 where, in a manner corresponding to the manner as described with the laser beam recorder 7, the substrate 5 is positioned on a support 8. The heating device 16 is further provided with a pressure ring (see Fig. 11). The substrate 5 is pressed firmly against the support 8 from a side remote from the support 8 by means of the pressure ring, the diameter of which preferably corresponds to the diameter of the ring of magnets. After it has been observed that the substrate has been sucked firmly against the support by means of the vacuum suction means, the pressing ring is removed. Using the pressure ring, any 1ΓΦ · · · '* 1 <. Λ * 8 completely prevent deformation due to heating of the substrate. Heating the substrate with the exposed portions 35 is shown in Fig. 6E. After the substrate 5 has been heated, the substrate 5 is brought with the aid of the gripper 6 above the developing chamber 19, where the substrate 5 is again positioned on a support 8. Subsequently, the exposure unit 21 is pivoted about the pivot axis 20 above the substrate 5 in a direction indicated by arrow P7, after which the entire substrate 5 is exposed by means of the lamps 22 (Fig. 6F). After pivoting the exposure unit 21 in an opposite direction to arrow P7, the photosensitive layer 34 is developed in the developing chamber 19 (Fig. 6G).
Na het ontwikkelen van de fotogevoel ige laag wordt het substraat 5 met behulp van de grijper 6 in de UV-belichtingsinrichting 23 gebracht en wederom op een ondersteuning 8 gepositioneerd. In de 15 inrichting 23 wordt het thans belichte en ontwikkelde deel van de fotogevoelige laag 35 met behulp van diepe UV-stralen 36 bestraald (fig. 6H) tengevolge waarvan de randen 37 van de delen 35 worden uitgehard.After developing the photosensitive layer, the substrate 5 is brought into the UV exposure device 23 with the aid of the gripper 6 and again positioned on a support 8. In the device 23, the currently exposed and developed part of the photosensitive layer 35 is irradiated by means of deep UV rays 36 (Fig. 6H), as a result of which the edges 37 of the parts 35 are cured.
Vervolgens wordt het substraat 5 in de verwarmingsinrichting 17 gebracht alwaar de gedeeltes 35 worden verwarmd en volledig 20 worden uitgehard (fig. 61). De inrichting 17 is evenals de inrichting 16 voorzien van een in Z-richting verplaatsbare aandrukring met behulp waarvan het substraat 5 stevig tegen de ondersteuning 8 wordt aangedrukt zodat kromtrekken van het substraat 5 volledig wordt voorkomen.Subsequently, the substrate 5 is introduced into the heating device 17 where the parts 35 are heated and completely cured (Fig. 61). The device 17, like the device 16, is provided with a pressure ring which can be moved in Z-direction, with the aid of which the substrate 5 is pressed firmly against the support 8, so that warping of the substrate 5 is completely prevented.
Na de verwarmingsinrichting 17 wordt het substraat 5 25 met behulp van de grijper 6 naar de cassette 4 verplaatst, welke cassette 4 na geheel of gedeeltelijk te zijn gevuld uit het apparaat 1 wordt verwijderd.After the heating device 17, the substrate 5 is moved with the aid of the gripper 6 to the cassette 4, which cassette 4 is removed from the device 1 after being wholly or partly filled.
Fig. 7 en 8 tonen dwarsdoorsnedes van de in fig. 3 weergegeven ondersteuning 8 waarbij met name de magnetische ring 9 en de 30 daarbinnen gelegen vacuüm aanzuigmiddelen 10 duidelijk zijn weergegeven. De vacuüm aanzuigmiddelen 10 omvatten in het bovenvlak 28 gelegen cirkel vormige groeven 40 die met op zich bekende middelen op een vacuümpomp zijn aangesloten.Fig. 7 and 8 show cross-sections of the support 8 shown in Fig. 3, in particular the magnetic ring 9 and the vacuum suction means 10 situated therein are clearly shown. The vacuum suction means 10 comprise circular grooves 40 located in the top surface 28, which are connected to a vacuum pump by means known per se.
Fig. 9-11 tonen respectievelijk een dwarsdoorsnede, 35 een in dwarsdoorsnede uitvergroot detail en het gebruik van de aandrukring volgens een andere uitvoeringsvorm van een ondersteuning 41 volgens de 1007418 9 uitvinding. Een dergelijke ondersteuning is met name geschikt voor toepassing bij de verwarmingsinrichtingen 16, 17. De ondersteuning 41 is voorzien van zes in een cirkel opgestelde magneetjes 42 die in een ondersteuningsplaat 43 zijn aangebracht. De ondersteuningsplaat 43 is 5 verder voorzien van een aantal cirkelvormige groeven 40 die op vacuüm kanalen 44 zijn aangesloten. De ondersteuningsplaat 43 is met op zich bekende middelen verwarmbaar tot een gewenste temperatuur. Het gebruik van afzonderlijke losse magneetjes 42 verdient hierbij de voorkeur om uitzettingsverschillen tussen de afzonderlijke onderdelen van de 10 ondersteuning 41 te kunnen ondervangen. Om de ondersteuningsplaat 43 is een ringvormige drager 29 met daarop bevestigde pennen 30 en magneten 31 gelegen, welke met behulp van een flens 32 in en tegengesteld aan een door pijl P5 aangegeven richting verplaatsbaar is.Fig. 9-11 respectively show a cross-section, a detail enlarged in cross-section and the use of the pressure ring according to another embodiment of a support 41 according to the 1007418 invention. Such a support is particularly suitable for use with the heating devices 16, 17. The support 41 is provided with six magnets 42 arranged in a circle, which are arranged in a support plate 43. The support plate 43 is further provided with a number of circular grooves 40 which are connected to vacuum channels 44. The support plate 43 can be heated to a desired temperature by means known per se. The use of separate loose magnets 42 is hereby preferred in order to be able to overcome differences in expansion between the individual parts of the support 41. An annular carrier 29 with pins 30 and magnets 31 mounted thereon is disposed about the support plate 43, which is movable in a direction opposite to that indicated by arrow P5 by means of a flange 32.
Fig. 11 toont de in fig. 9 weergegeven ondersteuning 41 15 met een daarbij behorende aandrukring 45. De aandrukring 45 is met behulp van een ringvormige schijf 46 en een daaraan bevestigde flens 47 verbonden met een verplaatsingsinrichting (niet weergegeven) met behulp waarvan de aandrukringen 45 in en tegengesteld aan een door pijl P8 aangegeven richting verplaatsbaar is. Bij het op de ondersteuningsplaat 43 aanbrengen 20 van het substraat 5 wordt door de magneten 42 en het in de groeven 40 voorziene vacuüm een aantrekkracht op het substraat 5 uitgeoefend. Om een vlakke positionering van het substraat 5 op de verwarmbare ondersteuning 43 te garanderen wordt de aandrukring 45 in een aan pijl P8 tegengestelde richting naar de ondersteuning 43 toe verplaatst waarbij de aandrukring 45 25 het substraat 5 tegen de ondersteuningsplaat 43 aandrukt. Bij voorkeur heeft de aandrukring 45 een diameter die overeenkomt met de diameter van de ring waarop de magneten 42 zijn gelegen, waardoor de door de aandrukring 45 uitgeoefende aandrukkrachten de door de magneten 42 op het substraat 5 uitgeoefende aantrekkrachten worden versterkt.Fig. 11 shows the support 41 15 shown in FIG. 9 with an associated pressure ring 45. The pressure ring 45 is connected by means of an annular disc 46 and a flange 47 attached thereto to a displacement device (not shown) by means of which the pressure rings 45 and is displaceable opposite to a direction indicated by arrow P8. When the substrate 5 is applied to the support plate 43, the magnets 42 and the vacuum provided in the grooves 40 exert an attractive force on the substrate 5. In order to ensure a flat positioning of the substrate 5 on the heatable support 43, the pressure ring 45 is moved in a direction opposite to arrow P8 towards the support 43, the pressure ring 45 pressing the substrate 5 against the support plate 43. Preferably, the pressing ring 45 has a diameter corresponding to the diameter of the ring on which the magnets 42 are located, as a result of which the pressing forces exerted by the pressing ring 45 increase the attractive forces exerted by the magnets 42 on the substrate 5.
30 Het is ook mogelijk dat de grijper 6 niet in Z-richting verplaatsbaar is, in welk geval andere delen van het apparaat een Z-verplaatsing dienen te ondergaan.It is also possible that the gripper 6 cannot be moved in the Z direction, in which case other parts of the device must undergo a Z displacement.
tCO·/'-:: -tCO · / '- :: -
Claims (11)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL1007418A NL1007418C2 (en) | 1997-11-03 | 1997-11-03 | Flat positioning of optical disc substrates against support by suction, used during production of e.g. CD's or CD=ROM's |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL1007418 | 1997-11-03 | ||
| NL1007418A NL1007418C2 (en) | 1997-11-03 | 1997-11-03 | Flat positioning of optical disc substrates against support by suction, used during production of e.g. CD's or CD=ROM's |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| NL1007418C2 true NL1007418C2 (en) | 1999-05-04 |
Family
ID=19765933
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| NL1007418A NL1007418C2 (en) | 1997-11-03 | 1997-11-03 | Flat positioning of optical disc substrates against support by suction, used during production of e.g. CD's or CD=ROM's |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| NL (1) | NL1007418C2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2017198697A1 (en) * | 2016-05-17 | 2017-11-23 | Koninklijke Philips N.V. | Plasma fill sensor |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3608909A (en) * | 1969-11-03 | 1971-09-28 | Jacob Rabinow | Record-flattening turntable |
| JPS6163926A (en) * | 1984-09-05 | 1986-04-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Clamp device for metallic mold of disk shape recording carrier |
| DE8502555U1 (en) * | 1985-01-31 | 1987-02-19 | Modellbau Paul Apitz, 7913 Senden, De | |
| EP0302561A2 (en) * | 1987-08-07 | 1989-02-08 | Philips and Du Pont Optical Deutschland GmbH | Suction holding device to hold a disc-like information carrier during reproduction |
| US5564682A (en) * | 1993-08-13 | 1996-10-15 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Wafer stage apparatus for attaching and holding semiconductor wafer |
| EP0770467A1 (en) * | 1995-10-25 | 1997-05-02 | SEIKOH GIKEN Co., Ltd. | Means for holding stamper plate in molding metal die |
| EP0782911A2 (en) * | 1995-11-28 | 1997-07-09 | SEIKOH GIKEN Co., Ltd. | Stamper plate attaching/detaching device of injection mold for optical disc substrate |
-
1997
- 1997-11-03 NL NL1007418A patent/NL1007418C2/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3608909A (en) * | 1969-11-03 | 1971-09-28 | Jacob Rabinow | Record-flattening turntable |
| JPS6163926A (en) * | 1984-09-05 | 1986-04-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Clamp device for metallic mold of disk shape recording carrier |
| DE8502555U1 (en) * | 1985-01-31 | 1987-02-19 | Modellbau Paul Apitz, 7913 Senden, De | |
| EP0302561A2 (en) * | 1987-08-07 | 1989-02-08 | Philips and Du Pont Optical Deutschland GmbH | Suction holding device to hold a disc-like information carrier during reproduction |
| US5564682A (en) * | 1993-08-13 | 1996-10-15 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Wafer stage apparatus for attaching and holding semiconductor wafer |
| EP0770467A1 (en) * | 1995-10-25 | 1997-05-02 | SEIKOH GIKEN Co., Ltd. | Means for holding stamper plate in molding metal die |
| EP0782911A2 (en) * | 1995-11-28 | 1997-07-09 | SEIKOH GIKEN Co., Ltd. | Stamper plate attaching/detaching device of injection mold for optical disc substrate |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 010, no. 229 (P - 485) 8 August 1986 (1986-08-08) * |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2017198697A1 (en) * | 2016-05-17 | 2017-11-23 | Koninklijke Philips N.V. | Plasma fill sensor |
| CN109154557A (en) * | 2016-05-17 | 2019-01-04 | 皇家飞利浦有限公司 | Blood plasma filling sensor |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0833315B1 (en) | Method of correcting nonalignment of a storage disc | |
| JP3916677B2 (en) | Assembly line for temporary hardening of compact discs | |
| JP3618057B2 (en) | Optical element manufacturing equipment | |
| JP2001515637A (en) | Method and apparatus for making optical information records | |
| JP2000507735A (en) | Optical disc adhesive label applicator | |
| EP0576253B1 (en) | Disc loading device | |
| NL1007418C2 (en) | Flat positioning of optical disc substrates against support by suction, used during production of e.g. CD's or CD=ROM's | |
| JP4577522B2 (en) | Pattern transfer apparatus and pattern transfer method | |
| EP0025387A1 (en) | Apparatus for moulding information carrying discs | |
| JPH08293131A (en) | Production of optical disk | |
| JP3777737B2 (en) | Pattern forming substrate manufacturing apparatus and pattern forming substrate manufacturing method | |
| KR920010555A (en) | Optical reading disc manufacturing method and apparatus | |
| JPH02166645A (en) | Manufacture of substrate for optical recording medium | |
| JP2822251B2 (en) | Disk substrate manufacturing equipment | |
| KR940001174B1 (en) | Stretched surface recording medium | |
| JPH06876A (en) | Apparatus for producing optical disk | |
| JP3703230B2 (en) | How to pick a storage disk from a holding stand | |
| JP4087158B2 (en) | Recording medium manufacturing apparatus and recording medium manufacturing method | |
| WO2006123507A1 (en) | Laminating device and laminating method | |
| JPH10134423A (en) | Method for taking up memory disk from holding base and device therefor | |
| JP2844667B2 (en) | Transfer device | |
| JP3277989B2 (en) | Correction method of misalignment in storage disk | |
| JP2002260306A (en) | Method and apparatus for manufacturing optical disk | |
| JPH1064126A (en) | Holder for stamper | |
| JP2004358888A (en) | Apparatus and method for sticking objects together |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PD2B | A search report has been drawn up | ||
| VD1 | Lapsed due to non-payment of the annual fee |
Effective date: 20020601 |