MX2010002871A - Metodo de inspeccion de estructura de panal. - Google Patents

Abstract

Un método de inspección de una estructura de panal comprende el paso de iluminar una cara extrema 15 de una estructura de panal 11 como un blanco de inspección por una fuente de luz 1; condensar, por medio de una lente de condensación 2 como una lente que tiene un ángulo de observación, luz la cual es emitida desde la fuente de luz 1 hasta la cara extrema 15, que pasa a través de las células de la estructura de panal 11 e irradiada desde la otra cara extrema 16; recibir la luz condensada sobre la lente de condensación 2 por una cámara 3; someter la luz recibida por la cámara 3 al procesamiento de imágenes por medio de un procesador de imágenes 4, especificando por lo tanto la posición irradiada de la luz sobre la otra cara extrema 16; y calcular la inclinación de las células 14 de la estructura de panal 11 de la posición irradiada de la luz sobre la otra cara extrema 16, y la dirección de la inclinación. Se describe el método de inspección de la estructura de panal que puede medir eficientemente la inclinación de las células de la estructura de panal y la dirección de la inclinación.

Description

La presente invención ha sido desarrollada en vista de los problemas anteriores, y un objeto en · si ¦es proporcionar un- método de inspección para una estructura ;, de panal en' el que puede medir eficientemente la inclinación y la dirección de la inclinación de células de la estructura;' de panal . ,· ¡i\ ·¦ ,» Para lograr el objetivo anterior, de acuerdo con la radiación especifico, y el ángulo de radiación tiene' . un <i . ¡ ' ; ·, i tamaño el cual no es menor que la inclinación' 'máxima presumida como la inclinación de la célula de la estructura de panal . ' !' ': i' ;,; [4] El método de inspección de la estructura :· de panal de acuerdo con lo anterior [3], donde el ángulo: 'de radiación tiene un tamaño de 10° o menos. '' !|.' ·".

De acuerdo con el método de inspección: de' ¡: 'una estructura de panal obstruida de la presente invención';¦'<' la luz transmitida a través de las porciones porosas obstruidas de la estructura de panal obstruida es condensadá por' la lente que tiene el ángulo de observación, la luz condersáda es recibida por la cámara, y la posición irradiada de '¡l'a' iluz en la otra cara extrema de la estructura de panal obstruida es especificada por el procesamiento de imágenes,; | :para calcular la inclinación de las células de la ("posición irradiada por la luz, donde la inclinación y la dirección,' de inclinación de las células puede ser medida en ?' 'corto tiempo sin dañar el trabajo. ' BREVE DESCRIPCION DE LOS DIBUJOS :' ?| ! :|; La Fig. 1 es un diagrama esquemático que: muestra una modalidad de un método de inspección de una estructura' de panal de la presente invención se ' efectúa usandó; ¦ un dispositivo de inspección de la estructura de panal; ': La Fig 2. es un diagrama esquemático qu ra que la modalidad del método , de inspección de la estructura;.; de panal de la presente invención es efectuado' usaridoj \el dispositivo de inspección de la estructura de panal; -, . ¦.< La Fig. 3A es una vista en perspectiva que' muestra esquemáticamente la estructura de panal como un blanco ', de ,; ' !' ' ¦ ' i ' ' inspección del método de inspección de la estructura de panal de la presente invención. , ¡'. , ¡! :,¦¦. '¡.

La Fig 3B es un diagrama esquemático que' mü'estra esquemáticamente una parte de la estructura de panal 'quedes , 'í . ' ¦,' el blanco de inspección del método de inspección ¡jdé ¦ la estructura de panal de la presente invención, es decir:, .: 'que muestra la sección transversal de la estructura dej: 'panal paralela a un eje central de la misma. ',':!''¦ ¦¦¦ ' La Figura 4 es un diagrama esquemático que muestra '.: ¦ , ' ? ? • ' ' ." ' »' ·; · ? un resultado obtenido efectuando el método de inspección' de la estructura de panal .de la presente invención mientras.- la estructura de panal es colocada de modo que el eje central de la misma se. empareje con la linea central de una lente de ; ! i; · :" condensación, y que muestra el estado de la luz qujé ;ipa'sá a través de las células. ¡ '¿A · ·; La Figura 5 es un diagrama esquemático qué ¦;.:'mSu:e;Ís:Ítra un resultado obtenido efectuando el método de inspección' : de la estructura de panal de la presente invención mieñtra's 'que el eje central de la estructura de panal se inclina 'ajiló . más 1.0° desde la linea central de la lente de condensación, y imagen, x: dirección en x, y: dirección en y, a: ángulo de radiación, ß: ángulo de dispersión de la luz emitida désele, la fuente de luz, y 100: dispositivo de inspección de estructura , ;> ?' de panal . " i; 1 ,'.

DESCRIPCION DE LA MODALIDAD PREFERIDA ' i i' A continuación, será descrita una modalidad > de !' la presente invención con detalle con referencia a las "figuras, pero deberá comprenderse que la · presente invención ' .sbíb se limita a la siguiente modalidad y que la alteración, mejora y similares del diseño sean agregadas .apropiadamente sobre * la condensación 2 y la fuente de luz 1, la lente de condensación es enfocada preferiblemente sobre la otra cara extrema : ,(la cara extrema orientada hacia, un lado de la fuente de;lliu¿',;!'15 de la estructura de panal 11. Además, la distancia entrevia ': ;Í| ; ' '¦'< lente de condensación 2 y la otra cara extrema (la cara extrema orientada hacia un lado de la lente de condensación) ; ' ? · ; ; i 16 es preferiblemente de 40 a 2000 mm. Puesto " qué' ;'la distancia es más corta en este intervalo, la célula p'ue;d ¡ser medida en un intervalo limitado, y en un intervalo!, ¡de inclinación mspeccionable se amplia. Por otro lado, a medida que la distancia entre la lente de condensación 2 y, la otra cara extrema (la cara extrema orientada hacia un lado !: de ¡la lente de condensación) 16 es más grande, el intervalo! 1 de inclinación inspeccionable se es.trecha, pero la inclinación i ' de la célula en un intervalo grande 'puede ser medida,|i¡jy : el número de tiempos de inspección puede disminuir .P Si;' .la distancia es excesivamente corta, la estructura de. '< panal ic ·< i' entra en contacto con la lente de condensación 2, y la1, lente de condensación. 2 puede romperse. Si la distancia i|es '' í¡ ,' i! excesivamente grande, el tamaño de un dispositivo seria excesivamente grande. - '¡ :·.. 3. Dispositivo de inspección de la estructura . ¡de ,;¦ '.'i :¡ : !; panal . , V ' ;! ; . ' ; ; ; El método de inspección de la estructura de ;'panal de la presente invención es efectuado preferiblemente usando línea central de la lente de condensación, y muéstra :jel estado de la luz transmitida a través de las porciones obstruidas . " > [ ,? '? Tabla 1 Tabla 2 Se observa en el Ejemplo 1 que mediante el Imétpdo - :¦ l|¦:' de inspección de la estructura de pañal de la presente invención, es posible medir el ángulo de inclinación : de; las ; i ; < células de la estructura de panal en el cual las células se inclinan, y la dirección de la inclinación. T :' , ; (Ejemplos 2 a 17) i:

Claims (1)

1. insufficientOCRQuality