MA39558A1 - Procédé pour correction automatique de l'astigmatisme - Google Patents

Procédé pour correction automatique de l'astigmatisme

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Intelligent Virus Imaging Inc
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Abstract

La présente invention porte sur un procédé qui permet de corriger automatiquement l'astigmatisme d'un système de lentille. Une première image (96) est utilisée, celle-ci n'étant pas au point au niveau d'un premier réglage par stigmateur d'un ensemble de lentilles. Un dispositif de calcul calcule une première image de spectre de fourier correspondante (312). Une distribution et une direction de pixels de l'image de spectre de fourier (128, 130, 312) sont déterminées par calcul d'un premier vecteur (132) et d'un deuxième vecteur (134). Le premier vecteur (132) est comparé au second vecteur (134). Le système de lentille est changé depuis un premier réglage par stigmateur à un second réglage de stigmateur pour fournir une seconde image (98). Une image de spectre de fourier (314) correspondante est calculée. La distribution et la direction de pixels de la seconde image de spectre de fourier (314) sont déterminées par le calcul d'un troisième vecteur et d'un quatrième vecteur. Le troisième vecteur est comparé au quatrième vecteur. L'image qui présente le rapport de vecteur le plus faible est sélectionnée.
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