KR980005985A - 면위치검출장치를 구비한 주사노광장치 - Google Patents

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Abstract

제1스테이지에 놓인 제 1물체면상의 패턴을 조명수단의 슬릭개구로부터의 노광광에 의해 조명하고, 상기 제 1물체면상의 패턴을 투영광학계에 의해 제2스테이지에 놓인 제2 물체면상에 상기 제 1스테이지와 제 2스테이지를 슬릿개구의 폭방향으로 상기 투영광학계의 투영배율에 대응시킨 속도비로 동기시켜서 상대적으로 주사시키면서 투영노광하는 주사노광장치.
상기 장치는 상기 제 1스테이지 및 제 2스테이지중의 한쪽의 스테이지에 소정의 마크를 가진 기준플레이트와, 상기 제 1스테이지 및 제2스테이지중의 상기 기준플레이트가 설치되어 있지 않은 다른쪽의 스테이지에 설치된 반사면 플레이트와, 상기 기준플레이트의 마크를 상기 투영광학계를 개재해서 상기 반사면플레이트에 투영하는 동시에 상기 제 1스테이지 및 제 2스테이지중의 한쪽을 광축방향으로 이동시키고, 상기 반사면플레이트에 의해 반사된 상에 의거해서 상기 제2 물체면의 광축방향의 면위치를 검출하는 면위치검출계를 구비하고 있다.

Description

면위치검출장치를 구비한 주사노광장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 일실시예에 의한 주사노광장치의 주요부개략설명도.

Claims (12)

  1. 제1 스테이지에 놓인 제1 물체면상의 패턴을 조명수단의 슬릿개구로부터의 노광광에 의해 조명하고, 상기 제1 물체면상의 패턴을 투영광학계에 의해 제2 스테이지에 놓인 제2 물체면상에 상기 제1 스테이지와 제2 스테이지를 슬릿개구의 폭방향으로 상기 투영광학계의 투영배율에 대응시킨 속도비로 동기시켜서 상대적으로 주사시키면서 투영노광하는 주사노광장치에 있어서, 상기 제1 스테이지와 제2 스테이지중의 한쪽의 스테이지에 설치된 소정의 마크를 가진 기준플레이트와; 상기 제1 스테이지와 제2 스테이지중의 상기 기준플레이트가 설치되어 있지 않은 다른쪽의 스테이지에 설치된 반사면 플레이트와; 상기 기준플레이트의 마크를 상기 투영광학계를 개재해서 상기 반사면플레이트에 투영하는 동시에 상기 제1 스테이지와 제2 스테이지중의 한쪽을 광축방향으로 이동시키고, 상기 반사면 플레이트에 의해 반사된 상에 의거해서 상기 제2 물체면의 광축방향의 면위치를 검출하는 면위치검출계;를 구비한 것을 특징으로 하는 주사노광장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 장치는 상기 제1 스테이지상에 상기 제1 물체의 주사방향으로 배치되어 있는 복수의 상기 기준플레이트를 구비하고, 상기 면위치검출계는, 상기 복수의 기준플레이트중에 상기 투영광학계의 광축에 가까운쪽의 기준플레이트에 의거해서 상기 제2 물체의 광축방향의 면위치를 검출하는 것을 특징으로 하는 주사노광장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 기준플레이트에는 주사방향과 직교방향으로 면위치검출용의 복수의 마크가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 주사노광장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 장치는 복수의 상기 반사면플레이트를 구비하고, 상기 면위치검출계는, 상기 복수의 반사면플레이트중에 상기 투영광학계의 광축에 가까운 쪽의 반사면플레이트에 의거해서 상기 제2 물체의 면위치를 검출하는 것을 특징으로 하는 주사노광장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 반사면 플레이트는 상기 제2 스테이지 부분에 배치되어 있고, 상기 반사면플레이트는 주사방향에 직교하는 방향의 길이가 상기 제2 스테이지상의 제2 물체면의 직경보다도 큰 것을 특징으로 하는 주사노광장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 투영광학계를 개재하지 않고 투광계에 의해 상기 제2 물체면상에 비스듬히 패턴을 투영하고, 상기 제2 물체면에 형성된 패턴의 상을 수광계에 의해 수광소자면상에 재결상하고, 상기 수광소자면상의 재결상한 패턴의 상의 위치신호에 의거하여 상기 제2 물체면의 광축방향의 위치정보를 검출하는 오프액시스면위치검출계를 구비하고, 상기 오프액시스면위치검출계는 상기 첫 번째 언급한 면위치검출계에 의해 얻을 수 있는 데이터에 의거해서 보정을 행하고 있는 것을 특징으로 하는 주사노광장치.
  7. 제1 스테이지에 놓인 제1 물체면상의 패턴을 조명수단의 슬릿개구로부터의 노광광으로 조명하고, 상기 제1 물체의 패턴을 투영광학계에 의해 제2 스테이지에 놓인 제2 물체면상에 상기 제1 스테이지와 제2 스테이지를 슬릿개구의 폭방향으로 상기 투영광학계의 투영배율에 대응시킨 속도비로 동기시켜서 상대적으로 주사시키면서 투영노광하는 주사노광장치에 있어서, 상기 제1 스테이지와 제2 스테이지중의 한쪽의 스테이지에 설치된 소정의 마크를 가진 반사플레이트와; 상기 제1 스테이지와 제2 스테이지중의 반사플레이트가 설치되어 있지 않은 다른쪽의 스테이지에 설치된 기준면플레이트와; 상기 반사플레이트의 마크를 상기 투영광학계를 개재해서 상기 기준면 플레이트의 투과부를 통해서 관찰하는 동시에 상기 제1 스테이지와 제2 스테이지중의 한쪽을 광축방향으로 이동시켜서, 상기 반사플레이트상의 상기 마크의 상에 의거하여 상기 제2 물체면의 광축방향의 면위치를 검출하는 면위치검출계를 구비한 것을 특징으로 하는 주사노광장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 장치는 상기 제1 스테이지상에 상기 제1 물체의 주사방향으로 배치되어 있는 복수의 상기 기준면 플레이트를 구비하고, 상기 면위치검출계는, 상기 복수의 기준플레이트중에 상기 투영광학계의 광축에 가까운쪽의 기준면 플레이트에 의거해서 상기 제2 물체의 광축방향의 면위치를 검출하는 것을 특징으로 하는 주사노광장치.
  9. 제7항에 있어서, 상기 기준면 플레이트에서 주사방향과 직교방향으로 면위치검출용의 복수의 마크가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 주사노광장치.
  10. 제7항에 있어서, 상기 장치는 복수의 상기 반사플레이트를 구비하고, 상기 면위치검출계는, 상기 복수의 반사플레이트중에 상기 투영광학계의 광축에 가까운 쪽의 반사플레이트에 의거해서 상기 제2 물체의 면위치를 검출하는 것을 특징으로 하는 주사노광장치.
  11. 제7항에 있어서, 상기 플레이트는 상기 제2 스테이지의 부분에 배치되어 있고, 상기 반사플레이트는 주사방향에 직교하는 방향의 길이가 상기 제2 스테이지상의 제2 물체면의 직경보다도 큰 것을 특징으로 하는 주사노광장치.
  12. 제7항에 있어서, 상기 투영광학계를 개재하지 않고 투광계에 의해 상기 제2 물체면상에 비스듬히 패턴을 투영하고, 상기 제2 물체면에 형성된 패턴의 상을 수광계에 의해 수광소자면상에 재결상하고, 상기 수광소자면상에 재결상한 패턴의 상의 위치신호에 의거하여 상기 제2 물체면의 광축방향의 위치정보를 검출하는 오프액시스면위치검출계를 구비하고, 상기 오프액시스면위치검출계는 상기 첫 번째 언급한 면위치 검출계에 의해 얻을 수 있는 데이터에 의거해서 보정을 행하고 있는 것을 특징으로 하는 주사노광장치.
    ※참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019970024609A 1996-06-13 1997-06-13 면위치검출장치를 구비한 주사노광장치 KR100287504B1 (ko)

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