KR970077151A - 반도체 제조 장치의 퍼니스 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체 제조 장치의 퍼니스에 관한 것으로, 본 발명에 따른 수평형 퍼니스에 있어서, 앳모스캔 튜브에 형성된 플랜지는 상기 프로세스 튜브의 단부와 접하는 면에 부착된 탄성 재질의 0-링을 포함한다.
본 발명에 의하면, 프로세스 튜브와 앳모스캔 튜브 사이의 밀봉 효과를 향상시킬 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2A도 및 제2B도는 본 발명에 따른 수평형 퍼니스의 일부 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
Claims (2)
- 반도체 제조 공정을 진행하기 위한 프로세스 튜브와, 상기 프로세스 튜브의 내부로 삽입되고 상기 프로세스 튜브와의 밀봉을 위한 플랜지가 형성된 앳모스캔 튜브를 포함하는 반도체 제조 장치의 수평형 퍼니스에 있어서, 상기 플랜지는 상기 프로세스 튜브의 단부와 접하는 면에 부착된 탄성 재질의 0-링을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장치의 수평형 퍼니스.
- 제1항에 있어서, 상기 플랜지는 스테인레스 스틸 재질로 구성되고, 상기 플랜지와 접하는 상기 프로세스튜브의 단부에는 냉각수가 도입되는 냉각 유로가 설치된 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장치의 수평형 퍼니스.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960015559A KR970077151A (ko) | 1996-05-11 | 1996-05-11 | 반도체 제조 장치의 퍼니스 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960015559A KR970077151A (ko) | 1996-05-11 | 1996-05-11 | 반도체 제조 장치의 퍼니스 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970077151A true KR970077151A (ko) | 1997-12-12 |
Family
ID=66219974
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960015559A KR970077151A (ko) | 1996-05-11 | 1996-05-11 | 반도체 제조 장치의 퍼니스 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970077151A (ko) |
-
1996
- 1996-05-11 KR KR1019960015559A patent/KR970077151A/ko not_active Application Discontinuation
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