KR970072262A - 웨이퍼 클램프(Wafer Clamp) - Google Patents
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Abstract
돌출 길이의 가변성을 가지며, 탈착이 가능한 클램프 핑거를 구비한 웨이퍼 클램프에 대하여 기재되어 있다. 이는 웨이퍼 클램프의 몸체로부터 돌출된 클램프 핑거의 길이를 조절할 수 있도록 홈이 형성되어 있는 웨이퍼 클램프 몸체를 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 클램프를 제공한다. 이로써, 종래의 웨이퍼 클램프가 갖는 문제, 즉 웨이퍼를 클램핑하면서 그 위치를 바꿀 수 없기 때문에 웨이퍼에 손상을 주는 문제를 해결할 수 있으며, 결과적으로 설비의 안정화를 이룰 수 있으며, 클램프 핑거만을 분리할 수 있음으로써 장비 수명을 연장시킬 수 있는 효과가 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 의한 웨이퍼 클램프의 일 실시예를 설명하기 위하여 개략적으로 도시한 도면이다.
Claims (1)
- 웨이퍼 클램프에 있어서, 웨이퍼 클램프의 몸체로부터 돌출된 클램프 핑거의 길이를 조절할 수 있도록 홈이 형성되어 있는 웨이퍼 클램프 몸체를 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 클램프※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개되는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960009710A KR970072262A (ko) | 1996-04-01 | 1996-04-01 | 웨이퍼 클램프(Wafer Clamp) |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960009710A KR970072262A (ko) | 1996-04-01 | 1996-04-01 | 웨이퍼 클램프(Wafer Clamp) |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970072262A true KR970072262A (ko) | 1997-11-07 |
Family
ID=66222892
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960009710A KR970072262A (ko) | 1996-04-01 | 1996-04-01 | 웨이퍼 클램프(Wafer Clamp) |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970072262A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100560641B1 (ko) * | 1999-11-09 | 2006-03-16 | 삼성전자주식회사 | 반도체 제조공정용 테이프 라미네이팅 장치의 웨이퍼 핑거 |
-
1996
- 1996-04-01 KR KR1019960009710A patent/KR970072262A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100560641B1 (ko) * | 1999-11-09 | 2006-03-16 | 삼성전자주식회사 | 반도체 제조공정용 테이프 라미네이팅 장치의 웨이퍼 핑거 |
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