KR970071034A - X-y스테이지의 수직방향 변위 측정장치 - Google Patents

X-y스테이지의 수직방향 변위 측정장치 Download PDF

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Abstract

X-Y스테이지의 수직방향 변위 측정장치가 개시되어 있다.
이 개시된 장치는 광원;과 이 광원에서 출사된 광을 선택적으로 회절통과시키 수 있도록 투명영역과 불투명영역이 주기적으로 형성된 제1스케일글레스와, 상기 제1스케일글래스를 통과한 광을 선택적으로 회절반사시킬 수 있도록 반사영역과 흡수영역이 주기적으로 형성되고 X-Y스테이지의 수직방향으로 이동 가능하게 설치된 제2스케일글래스;와 X-Y스테이지의 수직방향 변위를 감지하고, 감지된 변위에 대응하는 폭으로 제2스케일글래스가 움직이도록 제2스케일글래스의 일단에 고정 설치된 변위감지센서;와, 제2스케일글래스에서 반사되어 제1스케일글래스를 통과한 광을 수광할 수 있도록 된 수광부;와, 이 수광부에서 수광된 신호로부터 X-Y스테이지의 제2스케일글래스의 변위를 측정하고, 스테이지의 수직방향 변위를 제어하는 회로부;로 이루어진 것을 특징으로 한다.

Description

X-Y스테이지의 수직방향 변위 측정장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 X-Y스테이지의 수직방향 변위 측정장치의 실시예를 나타낸 개략적인 구성도, 제2도는 제1도의 제1스케일글래스와 제2스케일글래스를 나타낸 개략적인 구성도, 제3도는 제1도의 수광부와 회로부를 나타낸 개략적인 구성도.

Claims (7)

  1. 광을 생성 조사하는 광원과, 이 광원에서 출사된 광을 선택적으로 회절통과시키 수 있도록 투명영역과 불투명영역이 주기적으로 형성된 제1스케일글레스와, 상기 제1스케일글래스를 통과한 광을 선택적으로 회절반사시킬 수 있도록 반사영역과 흡수영역이 주기적으로 형성되고 X-Y스테이지의 수직방향으로 이동 가능하게 설치된 제2스케일글래스;와 X-Y스테이지의 수직방향 변위를 감지하고, 감지된 변위에 대응하는 폭으로 제2스케일글래스가 움직이도록 제2스케일글래스의 일단에 고정 설치된 변위감지센서;와, 이 수광부에서 수광된 신호로부터 X-Y스테이지의 제2스케일글래스의 변위를 측정하고, 스테이지의 수직방향 변위를 제어하는 회로부가 구비되어 된 것을 특징으로 하는 X-Y스테이지의 수직방향 변위 측정장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 광원과 제1스케일글래스 사이의 광경로 상에 상기 광원에서 출사된 발산광을 접속할 수 있도록 된 제1집속렌즈가 더 구비된 것을 특징으로 하는 X-Y스테이지의 수직방향 변위 측정장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제1스케일글래스와 상기 수광부 사이의 광경로 상에 상기 제1스케일글래스를 수렴할 수 있도록 된 제2집속렌즈가 더 구비된 것을 특징으로 하는 X-Y스테이지의 수직방향 변위 측정장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제1스케일그래스와 제2스케일글래스이 네 영역 각각이 동일폭으로 형성되어 상기 제1스케일글래스 및 제2스케일글래스에서 회절된 광 중 소정 회절광만이 상기 수광부로 향하도록 된 것을 특징으로 하는 X-Y스테이지의 수직방향 변위 측정장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 수광부는 광을 수광하고, 이 수광된 광량에 대응하는 전류신호로 변환하는 네 개의 광센서(P1,P2,P3,P4)로 이루어진 것을 특징으로 하는 X-Y스테이지의 수직방향 변위 측정장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 광센서(P1,P2,P3,P4)는 십자형 경계선을 중심으로 네 분면에 각각 위치되어 수광된 광량이 서로 인접한 광센서끼리 90도의 위상차를 가지도록 된 것을 특징으로 하는 X-Y스테이지의 수직방향 변위 측정장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 회로부는 상기 광센서(P1,P2,P3,P4)의 출력단에 각각 연결되어 검출된 전류신호를 전압신호로 변환하는 네 개의 전류-전압변환기와, 이 각각의 전류-전압변환기에서 변환된 전압신호중 180도 위상차를 갖는 두 전압신호를 각각 입력받아 차동증폭하는 제1 및 제2차동증폭기와, 상기 제1 및 제2차동증폭기에서 출력된 양 입력단에서 입력받아 신호 파형을 정형화하고 이 정형화된 파형을 계수하는 파형정형/계수기와, 상기 파형정형/계수기에서 계수된 값을 상기 제1 및 제2스케일글래스의 격자주기와 비교하여 이동변위량을 계산하는 연산기와, 계산된 이동변위량과 실제 이동변위량을 비교하여 오차값을 검출하여 오차를 보정할 수 있도록 상기 X-Y스테이지 구동용 모터 제어부로 전송하는 비교기가 구비되어 된 것을 특징으로 하는 X-Y스테이지의 수직방향 변위 측정장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960011454A 1996-04-16 1996-04-16 X-y스테이지의 수직방향 변위 측정장치 KR0165222B1 (ko)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2024101465A1 (ko) * 2022-11-08 2024-05-16 엘지전자 주식회사 릴레이티브 액티브 얼라인 장치

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100554876C (zh) * 2005-10-14 2009-10-28 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 光学式定位装置
CN103148779B (zh) * 2013-01-30 2016-01-13 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 位置测量设备中光源的调整装置
CN108195293B (zh) 2018-03-26 2024-05-10 磐石电气（常州）有限公司 一种数字式位移传感器及其位移测量方法
CN108981623B (zh) * 2018-07-23 2020-04-28 浙江大学 一种基于微波信号的远距离微小位移探测方法
CN109164465B (zh) * 2018-08-29 2023-04-28 西安电子科技大学 基于微脉冲激光雷达测量云高的同轴光学***

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2024101465A1 (ko) * 2022-11-08 2024-05-16 엘지전자 주식회사 릴레이티브 액티브 얼라인 장치

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