KR970052523A - 초음파 보조 콘택트 홀 충전 방법 및 그 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판의 표면위에 재료의 물리적 기상 증착에 수반되는 높은 종횡비 홀의 하부에 형성된 보이드 제거방법 또는 제거에 관한 것이다. 상기 방법은 유체로 충전되고 초음파원을 가지는 초음파 처리 챔버에 기판에 배치시키는 단계를 포함한다. 상기 초음파원은 기판위의 다른 곳에 증착된 재료에 상당한 영향을 끼치지 않고 보이드에 인접한 재료가 이런 보이드내로 유동하기에 충분한 주파수보다 낮은 주파수로 초음파를 발생하기 위해 사용된다.

Description

초음파 보조 콘택트 홀 충전 방법 및 그 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 따른 기판의 레벨간 비아 보이드를 제거하는 방법을 수행하기 위하여 이용된 초음파 장치의 개략적인 단면도.

Claims (16)

  1. 박막층을 통과하여 연장하는 홀을 가지는 기판 표면상에 진공 상태에서 이미 증착된 재료가 상기 홀의 상부를 충전하지만 홀의 하부는 충전하지 않을때 발생되는 보이드를 제거하기 위한 방법에 있어서, (a)유체로 충전되고 초음파원을 포함하는 초음파 처리 챔버에 상기 기판을 배치시키는 단계; 및 (b)상기 초음파원으로 상기 유체내에서 초음파를 발생시키는 단계를 포함하는데, 상기 초음파는 상기 기판 표면상에 증착된 상기 재료의 노출 표면에 충돌하기 위해 상기 유체를 통해 이동하여 상기 재료를 상기 홀의 충전되지 않은 하부로 유동시키는 것을 특징으로 하는 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 초음파원을 발생시키는 상기 단계는 상기 보이드에 인접한 상기 재료가 상기 보이드내로 유동하기에 충분한 주파수보다 낮은 주파수로 초음파를 발생시키는 것을 특징으로 하는 방법.
  3. 제1항에 있어서, (a)상기 초음파를 발생시키는 상기 단계는 단방향파를 발생시키는 단계를 포함하고; (b)상기 챔버에 상기 기판을 배치시키는 상기 단계는 상기 기판상에 증착된 상기 재료의 표면이 상기 초음파에 의해 수직 방향으로 충돌되도록 상기 기판의 방향을 유지하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 초을파를 발생시키는 상기 단계는 (a)초기에 상당히 낮은 주파수로 상기 초음파를 발생시키는 단계;및 (b)상기 보이드에 인접한 상기 재료가 상기 보이드내로 유동할 때까지의 시간에 걸쳐 상기 초음파 주파수를 증가시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 챔버를 충전하는 상기 유체는 상기 기판 및 상기 기판에 형성된 임의의 구조에 비반응적인 것을 특징으로 하는 방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 챔버를 충전하는 상기 유체는 (ⅰ) 탈이온수 및 (ⅱ) 가스 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 방법.
  7. 제1항에 있어서, 상기 기판과 상기 기판에 형성된 임의의 구조에 해롭지 않은 온도 및 압력으로 상기 챔버 내부를 유지하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 온도 및 압력 유지 단계는 대기 온도 및 압력으로 상기 챔버 내부를 유지하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  9. 박막층을 통과하여 연장하는 홀을 가지는 기판 표면상에 진공 상태에서 이미 증착된 재료가 상기 홀의 상부를 충전하지만 하부는 충전하지 않을때 발생되는 보이드를 제거하기 위한 장치에 있어서, (a)유체로 충전되는 초음파 처리 챔버; (b)상기 초음파 처리 챔버내에서 홀을 커버하는 박막층을 가지는 기판을 홀딩하기 위한 기판 홀더; 및 (c)상기 유체내에 초음파를 발생하기 위한 초음파원을 포함하는데, 상기 초음파원은 상기 기판이 상기 기판 홀더에 배치될 때마다 상기 유체를 통해 이동되는 상기 초음파가 상기 기판의 표면상에 증착된 상기 재료의 노출된 표면에 충돌할 수 있도록 배치되는 것을 특징으로 하는 장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 초음파원은 상기 보이드에 인접한 상기 재료가 상기 보이드내로 유동하기에 충분한 주파수보다 낮은 주파수로 초음파를 발생시키는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  11. 제9항에 있어서, (a) 상기 초음파원은 단방향파를 발생시키기 위한 수단을 포함하고; (b)상기 기판홀더는 상기 기판상에 증착된 상기 재료의 표면이 상기 단방향 초음파에 의해 수직 방향으로 충돌되도록 상기 기판의 방향을 유지하는 것을 특징으로 하는 장치.
  12. 제9항에 있어서, 상기 초음파원은 (a)초기에 상당히 낮은 주파수로 상기 초음파를 발생시키기 위한 수단; 및 (b)상기 보이드에 인접한 상기 재료가 상기 보이드내로 유동할때까지의 시간에 걸쳐 상기 초음파 주파수를 증가시키기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  13. 제9항에 있어서, 상기 챔버를 충전하는 상기 유체는 상기 기판 및 상기 기판에 형성된 임의의 구조에 비반응적인 것을 특징으로 하는 장치.
  14. 제9항에 있어서, 상기 챔버를 충전하는 상기 유체는 (ⅰ) 탈이온수 및 (ⅱ) 가스중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 장치.
  15. 제9항에 있어서, 상기 기판과 상기 기판에 형성된 임으의 구조에 해롭지 않은 온도 및 압력으로 상기 챔버 내부를 유지하기 위한 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  16. 제15항에 있어서, 상기 유지수단은 상기 챔버내부를 대기 온도 및 압력으로 유지하기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960063414A 1995-12-12 1996-12-10 초음파 보조 콘택트 홀 충전 방법 및 그 장치 KR970052523A (ko)

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