KR970028849A - 감광성수지 조성물 및 이것을 사용한 패턴형성방법 - Google Patents

감광성수지 조성물 및 이것을 사용한 패턴형성방법 Download PDF

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KR970028849A
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다카오 미와
요시아키 오카베
미나 이시다
야스나리 마에카와
도시노리 히라노
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가나이 츠토무
히다치세사쿠쇼 가부시키가이샤
단야 다케시
히다치가세고교 가부시키가이샤
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Abstract

감광성수지 조성물 및 이것을 사용한 페턴형성방법에 관한 것으로서, 생성된 전구체에서 염소이온의 제거가 필요하게 되는 등 순도에 관한 문제점을 해소하기 위해, 10,000 내지 1,000,000 범위의 분자량을 갖고, 수지의 전체량에 대하여 적어도 20중량%를 갖는 폴리(카르복실산), 전자파의 조사에 의해 폴리(카르복실산)내의 카르복실기에 대하여 0.005∼0.2몰당량인 산을 발생하는 광산발생제와 폴리(카르복실산)내의 카르복실기에 대하여 0.2∼2.0몰당량인 염기성물질을 함유하는 감광성수지 조성물 및 이것을 사용한 패턴형성방법을 마련한다.
이것을 이용하는 것에 의해, 용이하게 현상가능한 감광성수지 조성물을 얻을 수가 있다.

Description

감광성수지 조성물 및 이것을 사용한 패턴형성방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (7)

  1. (a) 다음의 화학식(1)
    (여기서, A는 적어도 2개의 탄소원자를 갖는 유기기, n은 10∼200,000 사이의 정의 정수, R1은 적어도 1개의 탄소원자를 갖는 유기기, 수소원자 또는 할로겐원자 중의 어느 하나)로 나타내지는 10,000 내지 1,000,000범위의 분자량을 갖고, 수지의 전체량에 대하여 적어도 20중량%를 갖는 폴리(카르복실산), (b) 진자파의 조사에 의해 상기 폴리(카르복실산)내의 카르복실기에 대하여 0.005∼0.2몰당량인 산을 발생하는 광산발생제와 (c) 상기 폴리(카르복실산)내의 카르복실기에 대하여 0.2∼2.0몰당량인 염기성물질을 함유하는 것을 특징으로 하는 감광성수지 조성물.
  2. 제1항에 있어서, 상기 화학식(1)은 다음의 화학식(2)
    (여기서, R2는 적어도 2개의 탄소원자를 갖는 유기기, R3은 적어도 4개의 탄소원자를 갖는 유기기)로 나타내지는 것을 특징으로 하는 감광성수지 조성물.
  3. 제1항에 있어서, 상기 광산발생제(b)는 디아조늄염, 술폰산 에스테르. 술폰산염, 니트로벤질 에스테르, 오늄염, 할로겐화물, 할로겐화 이소시아누레이트, 할로겐화 트리아진, 비스알릴술포닐디아조메탄, 디술폰으로 이루어진 군에서 선택된 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 감광성수지 조성물.
  4. 제1항에 있어서, 상기 염기성물질(c)는 알킬아민 화합물인 것을 특징으로 하는 감광성수지 조성물.
  5. 제1항에 있어서, 상기 염기성물질(c)는 수산기를 갖는 제3급아민 화합물인 것을 특징으로 하는 감광성수지 조성물.
  6. 제1항에 있어서, 상기 염기성물질(c)는 카르복실기를 갖는 제3급아민 화합물인 것을 특징으로 하는 감광성수지 조성물.
  7. 감광성수지 조성물을 형성하도록, (a) 다음의 일반식(1)
    (여기서, A는 적어도 2개의 탄소원자를 갖는 유기기, n은 10∼200,000 사이의 정의 정수, R1은 적어도 1개의 탄소원자를 갖는 유기기, 수소원자 또는 할로겐원자 중의 어느 하나)로 나타내지는 10,000 내지 1,000,000범위의 분자량을 갖는 적어도 20중량%의 폴리(카르복실산), (b) 전자파의 조사에 의해 상기 폴리(카르복실산)내의 카르복실기에 대하여 0.005∼0.2몰당량인 산을 발생하는 광산발생체와 (c) 상기 폴리(카르복실산)내의 카르복실기에 대하여 0.2∼2.0몰당량인 염기성물질을 혼합하는 스텝, 상기 감광성수지 조성물을 기판상에 도포하는 스텝, 상기 기판을 건조하는 스텝, 포토마스크를 거쳐서 상기 기판에 전자파를 조사하는 스텝과 패턴을 현상하는 스텝을 포함하는 패턴형성방법.
    ※ 참고사항:최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960053885A 1995-11-27 1996-11-14 감광성수지 조성물 및 이것을 사용한 패턴형성방법 KR970028849A (ko)

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