KR970022342A - 반도체 장치의 테스트 장치 - Google Patents
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Abstract
측정장비와 웨이퍼 프로버간의 연결상태를 정확히 검진함으로써 웨이퍼 소자 특성 측정의 정확성을 기할 수 있는 반도체 장치의 테스트 장치를 개시한다.
반도체 장치의 전기적 특성검사 장치에 있어서, 측정장비와 웨이퍼 프로버 사이의 단자간 끊김(OPEN) 또는 단락(SHORT)를 측정하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 테스트 장치를 제공한다.
상기 테스터 장치는 각각의 측정단자 사이에 저항기를 사용하여 연결한다.
본 발명의 바람직한 실시예는 상기 각각의 측정 단자에 일정 전압을 인가하여 전류와 저항값을 읽음으로써 상기 각 저항기의 고유의 저항값과 측정된 저항값을 비교하여 단자간의 연결상태를 검진한다.
따라서, 본 발명에 의하면 측정장비와 웨이퍼 프로버간의 연결상태를 정확히 검진함으로써 웨이퍼 소자 특성 측정의 정확성을 기하고 단자간 끊김과 단락(open/short)를 사전에 검증함으로써 측정결과에 신뢰성을 높일 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 의해 각 단자 사이에 일정한 저항값을 가진 저항기를 연결한 모습을 나타낸 테스터 장치의 개념도이다,
제2도는 본 발명에 의해 각 단자 사이에 일정한 저항값을 가진 저항기를 연결하고 웨이퍼 프로브와 연결할 수 있는 커넥터가 달린 보드를 구비한 테스터 장치의 평면도이다.
Claims (3)
- 반도체 장치의 진기적 특성검사 장치에 있어서, 측정장비와 웨이퍼 프로버 사이의 단자간 끊김(OPEN) 또는 단락(SHORT)를 측정하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 테스트 장치.
- 제1항에 있어서. 상기 테스터 장치는 각각의 측정단자 사이에 저항기를 사용하여 연결한 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 테스트 장치.
- 제2항에 있어서, 상기 각각의 측정 단자에 일겅 전압을 인가하여 전류와 저항값을 읽음으로써 상기 각 저항기의 고유의 저항값과 측정원 저항값을 비교하여 단자간의 연결상태를 검진하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 테스트 장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950034951A KR970022342A (ko) | 1995-10-11 | 1995-10-11 | 반도체 장치의 테스트 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950034951A KR970022342A (ko) | 1995-10-11 | 1995-10-11 | 반도체 장치의 테스트 장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970022342A true KR970022342A (ko) | 1997-05-28 |
Family
ID=66583669
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950034951A KR970022342A (ko) | 1995-10-11 | 1995-10-11 | 반도체 장치의 테스트 장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970022342A (ko) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100322620B1 (ko) * | 1999-08-16 | 2002-03-18 | 황인길 | 스탠더드 메커니컬 인터페이스 시스템의 카세트 캐리어 이송장치 |
| KR100739883B1 (ko) * | 2006-11-07 | 2007-07-16 | (주)피엘텍 | 프로브카드 신호채널의 검사장치 및 방법 |
| KR20210049257A (ko) * | 2019-10-25 | 2021-05-06 | 마이크로 인스펙션 주식회사 | 인쇄회로기판의 검사장치 및 그 제어방법 |
-
1995
- 1995-10-11 KR KR1019950034951A patent/KR970022342A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100322620B1 (ko) * | 1999-08-16 | 2002-03-18 | 황인길 | 스탠더드 메커니컬 인터페이스 시스템의 카세트 캐리어 이송장치 |
| KR100739883B1 (ko) * | 2006-11-07 | 2007-07-16 | (주)피엘텍 | 프로브카드 신호채널의 검사장치 및 방법 |
| KR20210049257A (ko) * | 2019-10-25 | 2021-05-06 | 마이크로 인스펙션 주식회사 | 인쇄회로기판의 검사장치 및 그 제어방법 |
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