KR970015795A - 크리스털 풀러 - Google Patents

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KR970015795A
KR970015795A KR1019960041961A KR19960041961A KR970015795A KR 970015795 A KR970015795 A KR 970015795A KR 1019960041961 A KR1019960041961 A KR 1019960041961A KR 19960041961 A KR19960041961 A KR 19960041961A KR 970015795 A KR970015795 A KR 970015795A
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crystal
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puller
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Inventor
슐만 윈프리이드
슈흘러 요한
Original Assignee
피터 좀머캄프, 하랄드 하게돈
발제르스 운트 레이볼드 도이치란드 홀딩 앗크티엔게젤샤프트
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
    • C30B15/14—Heating of the melt or the crystallised materials
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
    • C30B15/10—Crucibles or containers for supporting the melt

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Abstract

포트(4)에서 용융가능한 재료로부터 크리스털 블록을 형성하기 위한 크리스털 풀러는 용기(1)에서 상기 포트(4)를 에워싸는 히터(5)를 갖는다. 이 용기(1)는 상기 포트(4)의 영역에서 내측 보호관(6)에 의해 히터(5)를 향해 제한된, 상기 보호 가스 아웃렛(14, 15)과 연결되어 있는 원형 공간(8)을 가지며, 이것은 외측에서 외측 보호관(7)에 의해 제한되며, 이 뒤에 상기 용기(1)의 열전열물(10)이 위치한다.

Description

크리스털 풀러
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (4)

  1. 포트에서 용융가능한 재료로부터 크리스털 블록을 형성하기 위해, 상기 포트가 히터에 의해 감싸여 용기에 배열되며, 그의 벽이 열전연물을 구비하며 또한 외측에서는 냉각 매체를 위한 냉각 채널을 구비하며, 상기 용기가 적어도 하나의 보호 가스 인렛과 보호 가스 아웃렛을 가지는 크리스털 풀러에 있어서,상기 용기(1)가 상기 포트(4)의 영역에서 내측 보호관(6)에 의해 히터(5)를 향해 경계를 이루는 보호 가스 인렛(14, 15)과 연결되어 있는 원형 공간(8)을 가지며, 이것은 외측에서 외측 보호관(7)에 의해 제한되며, 이것 뒤에 상기 용기(1)의 열전열물(10)이 위치하는 것을 특징으로 하는 크리스털 풀러.
  2. 제1항에 있어서, 상기 원형 공간(8)은 스크린 판(9)의 하측 정면에서 경계를 이루고, 이 스크린 판에 의해 상기 보호 가스 아웃렛(14, 15)에 대한 연결이 이루어지는 것을 특징으로 하는 크리스털 풀러.
  3. 제1항에 있어서, 상기 용기(1)는 그의 바닥(16)에서 상기 용기(1)에 대해 동축으로 향해있는, 서로 마주하는 2개의 보호가스 아웃렛(14, 15)을 갖는 것을 특징으로 하는 크리스털 풀러.
  4. 전술한 항 중 한 항에 있어서, 상기 내측 보호관(6)은 위를 향해 상기 히터(5)의 상측 가장자리까지 도달하는 것을 특징으로 하는 크리스털 풀러.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960041961A 1995-09-26 1996-09-24 크리스털 풀러 KR100220118B1 (ko)

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DE59601759D1 (de) 1999-06-02
DE19539316A1 (de) 1997-03-27
KR100220118B1 (ko) 1999-09-01

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