KR970013543A - 공기 이온화 장치 및 공기 이온화 방법 - Google Patents

Abstract

수분(수소)와 불순물을 함유하지 않은 시스 가스로서 코로나 전극을 덮는 타입의 공기 이온화 장치에 있어서, 충분히 이온을 생성함으로써 클린룸 등의 생산 환경 내의 정전기의 제거를 충분히 행하고, 또, 코로나 전극 상에 불순물이 퇴적하는 것을 방지하는 공기 이온화 장치를 제공한다. 코로나 전극(21a, 21b)의 선단부가 시스 가스 노즐(4a, 4b)의 선단으로부터 내부로 일정 거리 몰입하도록 하고, 그 거리는, 시스 가스가 부성 기체 분자를 함유하지 않은 가스인 경우에, 코로나 방전에 의해 방출되는 전자가 시스가스 노즐(4b) 외부에 공기중에 도달할 수 있는 거리로 하고, 또, 시스 가스가 부성 기체 분자를 포함하는 가스인 경우에, 코로나 방전에 의해서 방출되는 부이온이 시스 가스 노즐(4b) 내에 충만하지 않고, 해당 노즐 외부의 공기중에 신속하게 확산할 수 있는 거리로 한다.

Description

공기 이온화 장치 및 공기 이온화 방법

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 발명의 일실시예에 의한 공기 이온화 장치의 구성을 나타내는 개략도,

제2도는 본 실시예에 의한 시스(sheath) 가스 노즐(4)의 구성을 나타내는 (A) 종단면, 및 (b) 횡단면도,

제3도는 본 실시예에 의한 시스 가스 노즐(4)에 관련되는 실험장치의 구성을 나타내는 개략도,

제7도는 종래의 공기 이온화 장치의 구성을 나타내는 개략도.

Claims (9)

1. 정(＋) 또는 부(－)의 이온을 생성함으로써, 정전기를 제거하는 공기 이온화 장치에 있어서, 노즐과, 상기 노즐 내에 삽입된 바늘 모양의 코로나 전극과, 코로나 방전을 발생시키기 위해 상기 코로나 전극에 접속된 고전압 전원 및 상기 노즐 내에 시스 가스를 공급하고, 그 시스 가스를 상기 코로나 전극의 근방을 통과하여 상기 노즐의 선단으로부터 외부로 유출시키는 가스 공급수단을 구비하고, 상기 코로나 전극은 그 선단부가 상기 노즐의 선단으로부터 노즐 내부로 일정 거리 몰입된 위치에 설치되며, 상기 코로나 전극의 노즐 선단으로부터의 몰입 거리는 상기 시스 가스가 부성기체 분자를 포함하지 않는 가스인 경우는 상기 코로나 방전에 의해 방출되며 또, 상기 시스 가스와 함께 노즐 선단으로부터 송출되는 전자가 해당 노즐 외부의 공기중에 도달 가능한 값으로 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 공기 이온화 장치.
2. 정 또는 부의 이온을 생성함으로써 정전기를 제거하는 공기 이온화 장치에 있어서, 노즐과, 상기 노즐 내에 삽입된 바늘 모양의 코로나 전극과, 코로나 방전을 발생시키기 위해 상기 코로나 전극에 접속된 고전압 전원 및 상기 노즐내에 시스 가스를 공급하고, 그 시스 가스를 상기 코로나 전극의 근방을 통과하여 상기 노즐의 선단으로부터 외부로 유출시키는 가스 공급수단을 구비하고, 상기 코로나 전극은, 그 선단부가 상기 노즐의 선단으로부터 노즐 내부로 일정거리 몰입된 위치에 설치되며, 상기 코로나 전극의 노즐 선단으로부터의 몰입거리는 상기 시스 가스가 부성 기체 분자를 포함하는 가스인 경우는, 상기 코로나 방전에 의해 방출되는 부이온이, 해당 노즐 내에 충만하지 않고, 해당 노즐의 외부 공기중에 신속하게 확산 가능한 값으로 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 공기 이온화 장치.
3. 정 또는 부의 이온을 생성함으로써, 정전기를 제거하는 공기 이온화 장치에 있어서, 노즐과, 상기 노즐 내에 삽입된 바늘 모양의 코로나 전극과, 코로나 방전을 발생시키기 위해 상기 코로나 전극에 접속된 고전압 전원 및 상기 노즐내에 시스 가스를 공급하고, 그 시스 가스를 상기 코로나 전극의 근방을 통과하여 상기 노즐의 선단으로부터 외부로 유출시키는 가스 공급수단을 구비하고, 상기 코로나 전극은 그 선단부가 상기 노즐의 선단으로부터 노즐 내부로 일정 거리 몰입된 위치에 설치되며, 상기 코로나 전극의 노즐 선단으로부터의 몰입 거리는 1mm 이내인 것을 특징으로 하는 공기 이온화 장치.
4. 제1항 또는 제3항에 있어서, 상기 시스 가스는 불활성 가스인 것을 특징으로 하는 공기 이온화 장치.
5. 제1항, 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 시스 가스의 속도는 상기 노즐의 선단부 근방에 기류의 휩쓸림을 발생시키지 않는 속도인 것을 특징으로 하는 공기 이온화 장치.
6. 제5항에 있어서, 상기 시스 가스의 속도는 1.0m/s 이상인 것을 특징으로 하는 공기 이온화 장치.
7. 정 또는 부의 이온을 각각 생성함으로써, 정전기를 제거하는 공기 이온화 방법에 있어서, 고전압 전원에 접속된 바늘 모양의 코로나 전극을, 상기 노즐 내에 삽입하고, 코로나 전극의 선단부가 상기 노즐의 선단으로부터 노즐 내부로 일정 거리 몰입하도록 하고, 또, 상기 시스 가스가 부성 기체 분자를 포함하지 않는 가스인 경우는, 상기 코로나 방전에 의해 방출되는 전자가 상기 노즐 외부의 공기중에 도달할 수 있도록 상기 노즐 선단부에 근접하여 배치하고, 상기 노즐 내에 시스 가스를 공급하고, 그 시스 가스를 상기 코로나 전극의 근방을 통과하여 상기 노즐의 선단으로부터 외부로 유출시키고, 이 시스 가스에 의해 코로나 전극에서 발생한 이온을 노즐외부의 공기중으로 송출시키도록 한 것을 특징으로 하는 공기 이온화 방법.
8. 정 또는 부의 이온을 각각 생성함으로써, 정전기를 제거하는 공기이온화 방법에 있어서, 고전압 전원에 접속된 바늘 모양의 코로나 전극을, 상기 노즐 내에 삽입하고, 코로나 전극의 선단부가 상기 노즐의 선단으로부터 노즐 내부로 일정 거리 몰입하도록 하고 또, 상기 시스 가스가 부성 기체 분자를 포함하는 가스인 경우는, 상기 코로나 방전에 의해서 방출되는 부이온이 상기 노즐 내에 충만하지 않고, 해당 노즐 외부의 공기중에 신속히 확산할 수 있도록 상기 노즐 선단부에 근접하여 배치하고, 상기 노즐 내에 시스 가스를 공급하고, 그 시스 가스를 상기 코로나 전극의 근방을 통과하여 상기 노즐의 선단으로부터 외부로 유출시켜, 이 시스 가스에 의해 코로나 전극에서 발생한 이온을 노즐 외부의 공기중으로 송출시키도록 한 것을 특징으로 하는 공기 이온화 방법.
9. 정 또는 부의 이온을 각각 생성함으로써, 정전기를 제거하는 공기이온화 방법에 있어서, 고전압 전원에 접속된 바늘 모양의 코로나 전극을, 상기 노즐 내에 삽입하고, 코로나 전극의 선단부가 상기 노즐의 선단으로부터 노즐 내부로 일정 거리 몰입하도록 하고, 또, 상기 코로나 전극의 노즐 선단으로부터의 몰입 거리가 1mm 이내로 되도록 배치하고, 상기 노즐 내에 시스 가스를 공급하고, 그 시스 가스를 상기 코로나 전극의 근방을 통과하여 상기 노즐의 선단으로부터 외부로 유출시켜, 이 시스 가스에 의해 코로나 전극에서 발생한 이온을 노즐 외부의 공기중으로 송출시키도록 한 것을 특징으로 하는 공기 이온화 방법.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.