KR970002094Y1

KR970002094Y1 - 에칭장비 운송용 챔버의 펌프시스템 및 인터록장치

Info

Publication number: KR970002094Y1
Application number: KR2019940003032U
Authority: KR
Inventors: 배병철
Original assignee: 금성일렉트론 주식회사; 문정환
Priority date: 1994-02-19
Filing date: 1994-02-19
Publication date: 1997-03-19
Also published as: KR950025882U

Abstract

내용없음.

Description

에칭장비 운송용챔버의 펌프시스템 및 인터록장치

제1도는 종래의 시스템 구성도.

제2도는 제1도의 로타리 펌프의 전원공급 및 인터록도.

제3도는 본 고안의 구성도.

제4도는 제 3 도의 전원공급 및 인터록도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 주챔버 2 : 운송용챔버

V1-V5 : 밸브 P1, P2 : 로타리펌프

P1a, P2a : 부스터펌프 P3 : 극저온 진공펌프

P4 : 터보펌프 SR1-SR4 : 무접점 릴레이

RL1 : 접점 릴레이 RL2 : 진공릴레이

S1 : 로타리펌프 작동신호 S2 : 부스터펌프 작동신호

CB1, CB2 : 로타리펌프 및 부스터펌프 전원차단장치

본 고안은 에칭장비 운송용챔버의 펌프시스템 및 인터록장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 에칭장비 운송용챔버에 적당하도록한 펌프 시스템개조 및 그 펌프 시스템의 인터록(Interlock)장치에 관한 것이다. 종래의 에칭장비 운송용챔버시스템은 제1도에 도시된 바와 같으며, 주챔버(1)는 항상 고진공상태를 유지하고 있으며, 운송용챔버(2)가 열려 웨어퍼를 실은 다음 문이 닫히고 밸브1(V1)이 열리면서 경로1를 통해 로타리펌프(P1)로 운송용챔버(2)를 진공상태로 만들기 시작한다.

그리고 상기 운송용챔버(2)가 일정압력(약200mT)에 도달하면 밸브1(V1)이 닫히고 밸브4(V4)가 열려 극저온 진공펌프(P3)로 고진공 압력상태(약0.1mT)로 만들어 웨어퍼를 공정이 이루어지는 주챔버(1)로 운반하여 공정이 진행되도록 한다.

그리고 상기의 운송용챔버(2)는 제2도와 같은 전원공급 및 인터록장치에 의해 전원을 공급받게 되며, 이는 도시하지 않은 외부의 제어장치로 부터의 로타리펌프 작동신호(S1)가 하이에서 로우로 되면 로터리펌프 전원제어용 무접점 릴레이(SR1),(SR2)가 온되어 3상의 메인전원라인(A), (B), (C)으로부터 로타리펌프(P1)에 전원이 공급되게 된다.

그리고 여기서(CB1)은 로타리펌프 전원차단장치로 퓨즈나 코일등으로 되어 과전류시 자동으로 전원이 차단되도록 된다.

그러나 상기와 같은 종래의 시스템에서는 부피가 큰 운송용챔버를 로터리펌프 하나로만 진공상태를 만들어야 하므로 시간소모가 많으며, 로타리 펌프의 상태가 조금만 나빠져도 필요한 압력에 도달하는데 시간이 너무 많이 걸리거나 아예 도달하지 못해 에러가 발생하여 필요 이상으로 펌프를 교체해야 하는 등의 문제점이 있었다.

본 고안은 이러한 점을 해결하기 위한 것으로, 운송용챔버의 로타리 펌프에 부스터펌프를 달아 운송용챔버의 진공상태 도달시간을 단축하며, 로타리 펌프 작동시만 부스터 펌프가 작동하도록하여 부스터 펌프의 손상을 방지한 에칭장비 운송용챔버의 펌프시스템 및 인터록장치를 제공함에 있다.

이하, 본 고안의 바람직한 일실시예를 첨부도면을 참조로하여 상세히 설명한다.

제3도는 본 고안의 시스템 구성도로써, 운송용챔버(2)의 밸브1(V1)을 통하여 연결되는 로터리 펌프(P1)에 부스터 펌프(P1a)를 구성시킨 것이며, 나머지의 시스템 전체 구성은 제1도의 종래의 시스템과 동일하므로 설명을 생략한다.

제4도는 본 고안의 전원공급 및 인터록장치로써, 메인전원라인(A), (B), (C)에 접속되며 과전류시 로타리 펌프(P1) 및 부스터 펌프(P1a)의 전원공급을 차단하는 로타리펌프 및 부스터펌프 전원차단장치(CB1), (CB2)와, 상기 로타리펌프 전원차단장치(CB1)에 접속되며 로타리 펌프 작동신호(S1)에 따라 작동되는 로타리펌프 전원제어용 무접점 릴레이(SR1), (SR2)와, 상기 로타리펌프 전원제어용 무접점 릴레이(SR1), (SR2)에 연결되는 보조전원라인(a), (b)에 접속되며 상기 로타리펌프(P1)에 전원공급되는 것을 감지하는 접점릴레이(RL1)와, 상기 접점릴레이(RL1)에 접속되며 상기 로타리펌프(P1)가 제대로 작동하는지를 알기 위해 진공을 감지하는 진공 릴레이(RL2)와, 상기 부스터펌프 전원차단장치(CB2) 및 상기 진공 릴레이(RL2)에 접속되며 상기 접점릴레이(RL1) 및 진공릴레이(RL2) 온시 온되어 부스터펌프에 전원을 공급하는 부스터 펌프 전원제어용 무접점 릴레이(SR3), (SR4)로 구성된다.

상기와 같이 구성된 본 고안은 운송용챔버(2)가 열려 웨이퍼를 실은 다음 문이 닫히고 밸브1(V1)이 열리면서 경로a를 통해 로타리펌프(P1)로 운송용챔버(2)를 진공상태로 만들 경우 상기 로타리 펌프(P1)와 함께 부스터펌프(P1a)를 이용함으로 필요로되는 일정압력(200mT) 상태에 보다 빨리 도달하게 된다.

그리고 상기 부스터 펌프(P1a)는 로타리펌프(P1)가 작동하지 않을 경우 작동되면 자체가 손상을 입게 되어 심한 경우 펌프를 사용하지 못하게 되는 경우가 발생될 수도 있으므로 제4도는 이를 방지하기 위한 것이다.

즉, 상기 로타리펌프(P1)에 전원이 가해져 작동하고 있을 경우에만 접점릴레이(RL1)가 온되어 도시하지 않은 외부의 제어장치로부터의 부스터펌프 작동신호(S2)가 상기 접점릴레이(RL1) 및 진공릴레이(RL2)를 거쳐 무접점 릴레이(SR3), (SR4)를 온시켜 메인전원라인(A), (B), (C)으로부터 전원이 공급되어 부스터펌프(P1a)가 작동될 수 있도록 한다.

그리고 상기 로타리펌프(P1)에 전원이 가해지더라도 모터나 펌프자체가 문제가 있어 진공이 형성되지 않을 경우는 상기 진공릴레이(RL2)가 온되지 못한다.

따라서 상기 무접점 릴레이(SR3), (SR4)가 온되지 못하므로 부스터펌프(P1a)에 전원이 공급되지 않게 되어 부스터펌프(P1a)가 작동되지 않게 된다.

한편, 로타리펌프 및 부스터펌프 전원차단장치(CB1), (CB2)는 과전류시 로타리펌프(P1)나 부스터펌프(P1a)로의 전원공급을 차단하게 된다.

이상에서 살펴본 바와 같이 본 고안은 운송용챔버의 로타리펌프에 부스터펌프를 추가로 설치함으로써 운송용챔버가 일정압력에 도달하는 시간을 종래(약 10분)에 비해 단축하였으며(약 2분으로), 인터록장치를 구성하여 로타리펌프 작동시만 부스터펌프가 작동토록함으로써 펌프자체나 장비의 안전을 도모한 효과가 있다.

Claims

로타리펌프(P1)를 구비하는 반도체 에칭장비의 운송용챔버(2)에 설치되는 부스터펌프(P1a)와, 메인전원라인(A), (B), (C)에 접속되어 관전류시 상기 로타리 펌프(P1) 및 부스터 펌프(P1a)의 전원을 차단하기 위한 로타리펌프 및 부스터펌프 전원차단장치(CB1), (CB2)와, 상기 로타리펌프 전원차단장치(CB1)에 접속되며 로타리 펌프 작동신호(S1)에 따라 작동되는 로타리펌프 전원제어용 무접점 릴레이(SR1), (SR2 )와, 상기 로타리펌프 전원제어용 무접점 릴레이(SR1), (SR2)에 연결되는 보조전원라인(a), (b)에 접속되어 상기 로타리펌프(P1)에 전원이 공급되는 것을 감지하는 접점릴레이(RL1)와, 상기 접점릴레이(RL1)에 접속되며 상기 로타리펌프(P1)가 제대로 작동되는지를 알기위해 진공상태를 감지하는 진공 릴레이(RL2)와, 상기 부스터펌프 전원차단장치(CB2) 및 상기 진공릴레이(RL2)에 접속되며 상기 접점릴레이(RL1) 및 진공릴레이(RL2) 온시 온되어 부스터 펌프에 전원을 공급하는 부스터 펌프 전원제어용 무접점 릴레이(SR3), (SR4)로 구성됨을 특징으로 하는 에칭장비 운송용챔버의 펌프시스템 및 인터록장치.