KR960705384A - 가스레이저장치 - Google Patents

가스레이저장치

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KR960705384A
KR960705384A KR1019960701237A KR19960701237A KR960705384A KR 960705384 A KR960705384 A KR 960705384A KR 1019960701237 A KR1019960701237 A KR 1019960701237A KR 19960701237 A KR19960701237 A KR 19960701237A KR 960705384 A KR960705384 A KR 960705384A
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KR
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gas
laser
cabinet
halogen
chamber
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KR1019960701237A
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Inventor
주니찌 후지모또
하까루 미조구찌
Original Assignee
안자끼 사토루
고마쯔 리미티드
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Publication date
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02—Constructional details
    • H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
    • H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/14—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range characterised by the material used as the active medium
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Abstract

레이저가스를 레이저챔버에 공급하고 그 레이저가스를 여기함으로써 레이저발진을 행하는 레이저장치에 있어서, 상기 레이저가스의 가스봄베(12),(13)가 내장된 가스캐비넷(11)을 레이저발진기본체(1)에 인접시키던지 또는 이들을 일체화함과 동시에, 상기 레이저가스용의 가스배관을 상기 캐비넷에 내장함으로써 레이저성능의 안정성이 높고 메인티넌스성이 좋으며 게다가 저렴한 가스레이저장치를 제공하도록 한다.

Description

가스레이저장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1a도~제1d도는 본 발명의 제1실시예를 나타내는 3면도.

Claims (7)

  1. 레이저가스를 레이저챔버에 공급하고 그 레이저가스를 여기함으로써 레이저발진을 행하는 가스레이저장치에 있어서, 상기 레이저가스봄베가 내장된 가스캐비넷을 레이저발진본체에 인접시키던지 또는 이들을 일체화함과 동시에, 상기 레이저가스용의 가스배관을 상기 캐비넷에 내장하도록 한 가스레이저장치.
  2. 상기 가스캐비넷은 레이저발진기본체의 전면으로 자유로이 인출하도록 구성한 것을 특징으로 하는 청구항 1기재의 가스레이저장치.
  3. 회가스, 할로겐 가스 및 버퍼가스로 된 레이저가스를 레이저챔버에 공급하고, 그 레이저가스를 여기함으로써 레이저발진을 행하는 가스레이저장치에 있어서, 상기 레이저가스 중에 할로겐 가스의 가스봄베 및 그 할로겐 가스용의 가스배관을 상기 레이저챔버가 포함되는 레이저챔버유니트내에 내장하도록 한 것을 특징으로 하는 가스레이저장치.
  4. 상기 회가스 및 할로겐가스 및 버퍼가스의 적어도 1종의 가스가 내장된 가스캐비넷을 레이저발진기본체에 인접시키던지 또는 이들을 일체화함과 동시에, 이들 회가스 및 할로겐 가스용의 가스배관을 상기 캐비넷에 내장하도록 한 것을 특징으로 하는 청구항 3기재의 가스레이저장치.
  5. 상기 할로겐가스의 가스봄베 및 그 할로겐가스용의 가스배관을 가스캐비넷에 내장시키고, 그 가스캐비넷 및 상기 레이저챔버유니트를 상기 레이저발진기본체로부터 일체로 자유롭게 착탈되도록 구성한 것을 특징으로 하는 청구항 3기재의 가스레이저장치.
  6. 회가스, 할로겐가스 및 버퍼가스로 된 레이저가스를 레이저챔버에 공급하고, 그 레이저가스를 여기함으로써 레이저발진을 행하는 가스레이저장치에 있어서, 상기 레이저가스의 가스봄베 및 그 할로겐가스용의 가스배관을 상기 레이저챔버가 포함되는 레이저 챔버유니트내에 내장하도록 한 것을 특징으로 하는 가스레이저장치.
  7. 상기 레이저챔버 및 상기 각 레이저가스용의 가스봄베 및 가스배관을 레이저발진기본체로부터 자유롭게 착탈되는 대차에 탑재하도록 한 것을 특징으로 하는 청구항 6기재의 가스레이저 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960701237A 1993-09-29 1994-09-28 가스레이저장치 KR100337735B1 (ko)

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JP52759 1993-09-29
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