KR960014929A - Sensor element using a constant temperature heating element as a substrate - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체식 가스 센서 등에 사용되는 기판을 제공하기 위한 것으로, 세라믹 PTC 발열체로 된 정온 발열체 기판의 양면에 사각형상의 발열체 전극이 도포되어 있고, 상기 전극의 일면에 알루미나 절연층이 형성되어 있으며, 상기 알루미나 절연층 상에 통상의 경우와 같이 전극 및 감지 물질이 각각 인쇄되어 있는 정온 발열체를 기판으로 사용한 센서 소자인 것이다.The present invention is to provide a substrate for use in a semiconductor gas sensor or the like, a rectangular heating element electrode is coated on both sides of the constant temperature heating element substrate made of a ceramic PTC heating element, an alumina insulating layer is formed on one surface of the electrode, It is a sensor element using a constant temperature heating element on which an electrode and a sensing material are respectively printed on the alumina insulating layer as a substrate.

본 발명에 따른 센서 소자는 외부 분위기의 영향을 받지 않고, 안정적인 온도를 유지시켜 주는 정온 발열체 기판을 사용하고 있음으로 소자를 항상 일정 온도로 가열할 수 있어서 사용 온도에 따라 특성 변화가 있는 소재에 대해 정확한 작동 특성을 얻을 수 있게 된다.The sensor element according to the present invention uses a constant temperature heating element substrate that maintains a stable temperature without being influenced by an external atmosphere, so that the element can be heated to a constant temperature at all times, and thus the material having a characteristic change depending on the use temperature. Accurate operating characteristics can be obtained.

Description

정온 발열체를 기판으로 사용한 센서 소자Sensor element using a constant temperature heating element as a substrate

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음As this is a public information case, the full text was not included.

제1도는 본 발명에 따른 정온 발열체를 기판으로 사용한 센서 소자의 평면도 및 측면도이고,1 is a plan view and a side view of a sensor element using a constant temperature heating element according to the present invention as a substrate,

제2도는 종래의 센서 소자의 평면도, 측면도 및 배면도이며,2 is a plan view, side view and back view of a conventional sensor element,

제3도는 여러 가지 검출 대상 가스에 대한 반도체식 가스 센서의 검출 특성을 조사한 그래프이다.3 is a graph illustrating the detection characteristics of the semiconductor gas sensor with respect to various detection target gases.

Claims (2)

세라믹 PTC 발열체로 된 정온 발열체 기판(7)의 양면에 사각형상의 발열체 전극(8)이 도포되어 있고, 상기 전극의 일면에 알루미나 절연층(6)이 형성되어 있으며, 상기 알루미나 절연층(6) 상에 통상의 경우와 같이 전극(2) 및 감지 물질(1)이 각각 인쇄되어 있는 것을 특징으로 하는 정온 발열체를 기판으로 사용한 센서 소자인 것이다.A rectangular heating element electrode 8 is coated on both sides of the constant temperature heating element substrate 7 made of a ceramic PTC heating element, and an alumina insulating layer 6 is formed on one surface of the electrode, and the alumina insulating layer 6 is formed on the substrate. The sensor element using the constant temperature heating element as a board | substrate characterized in that the electrode 2 and the sensing substance 1 are printed, respectively as usual. 제1항에 있어서, 상기 감지 물질은 반도체식 가스 감지 물질 또는 습도 감지 물질인 것을 특징으로 하는 정온 발열체를 기판으로 사용한 센서 소자.The sensor element according to claim 1, wherein the sensing material is a semiconductor gas sensing material or a humidity sensing material. ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.※ Note: The disclosure is based on the initial application.