KR960008274A - 표면 검사 시스템 - Google Patents

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KR960008274A
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찌아끼 후까자와
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사또 후미오
가부시끼가이샤 도시바
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    • G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • G—PHYSICS
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Abstract

이동하는 시트 재료(running sheet material)에 있는 표면 결함(surface fault)의 영상을 검출하기 위한 검출회로, 상기 영상을 수신하여 동일한 형태의 결함부분으로 구성된 클러스터 결함(cluster fault)을 포함하고 있는 결함 영역을 결정하기 위한 결함 영역 판정 회로, 및 상기 영상을 수신하기 위한 상기 검출 회로에 연결되어 있고 상기 결함 영역을 수신하여 상기 결함 영역에 포함된 상기 클러스터 결함의 형태(type) 및 정도(grade)를 식별하기 위한 상기 영역 판정 회로에 연결되어 있는 식별 회로를 포함하고 있는 표면 검사 시스템.

Description

표면 검사 시스템
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 일실시예에 따른 표면 검사 시스템의 구성을 나타내는 블럭선도.
제3도는 투영 방법에 의한 절단 회로(23)의 결함 영역 결정 동작을 설명하는 도면.
제4도는 절단 회로(23)의 한 에의 회로도.
제5도는 종래 기술의 표면 검사 시스템의 블럭선도.

Claims (6)

  1. 표면 검사 시스템(surface inspection system)에 있어서, 이동하는 시트 재료(running sheet material)에 있는 표면 결함(surface fatlt)의 영상을 검출하기 위한 검출 수단 상기 영상을 수신하여 동일한 형태의 결합부분으로 구성된 클러스터 결함(cluster fault)을 포함하고 있는 결함 영역을 결정하기 위한 결함 영역 판정 수단; 및 상기 영상을 수신하기 위한 상기 검출 회로에 연결되어 있고, 상기 결함 영역을 수신하여 상기 결함 영역에 포함된 상기 클러스터 결함의 형태(type) 및 정도(grade)를 식별하기 위한 상기 영역 판정 수단에 연결되어 있는 식별 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 표면 검사 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 결함 영역 판정 수단이 상기 검출 수단에 연결되어 있으며 상기 영상을 수신하여 상기 영상을 이진 촬상하여 이진 영상 패턴을 생성하기 위한 이진 촬상 회로; 상기 이진 촬상 회로에 연결되어 있으며 상기 이진 영상 패턴을 수신하여 상기 이진 영상 패턴으로부터 동일한 형태의 상기 결함 부분으로 구성된 결함을 상기 클러스터 결함으로 판정하기 위한 그룹 판정 회로; 및 상기 그룹 판정 회로에 연결되어 있으며 상기 클러스터 결함을 수신하여 상기 클러스터 결함의 분리(Separation)를 판정함으로써 상기 클러스터 결함을 포함하고 있는 상기 결함 영역을 결정하기 위한 절단 회로(segmentation clrcuit)를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 표면 검사 시스템.
  3. 제2항에 있어서, 상기 그룹 판정 회로는 착상 처리(expansion processing) 및 확대 처리(enlargement processing)중 하나에 의해 상기 이진 영상패턴에 있는 상기 결함 부분의 화소 주위의 특정 영역을 상기 클러스터 결함으로 판정하는 것을 특징으로 하는 표면 검사 시스템.
  4. 제2항에 있어서, 상기 절난 회로는 상기 클러스터 결함의 화소 각각의 연결성(connectivity)를 판정하여 상기 화소에 번호를 부여함(numbering)으로써 상기 클러스터 겨함을 포함하는 상기 결함 영역을 결정하는 것을 특징으로 하는 표면 검사 시스템.
  5. 제2항에 있어서, 상기 절단 회로(segmentation corcuit)는 상기 이동하는 시트 재료의 길이 방향 및 폭방향으로의 상기 클러스터 결함의 투영(projection)을 취하여 상기 투영 으로부터 상기 클러스터 결함을 포함하는 상기 결함 영역을 결정하는 것을 특징으로 하는 표면 검사 시스템.
  6. 제5항에 있어서, 상기 절단 회로는 길이 방향으로의 상기 클러스터 결함의 길이 투영(length projection)의 각 단부에서 폭 방향으로의 상기 클러스터 결함의 상기 투영을 폭 투영(width projection)으로 취하여 상기 클러스터 결함을 포함하는 상기 결함 영역으로서의 상기 폭 투영 및 상기 길이 투영에 의해 결성된 직사각형영역을 결정하는 것을 특징으로 하는 표면 검사 시스템.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950024687A 1994-08-12 1995-08-10 표면 검사 시스템 KR100194776B1 (ko)

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KR100194776B1 KR100194776B1 (ko) 1999-06-15

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US5672886A (en) 1997-09-30

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