KR960006358U - 프로세스 쿨링워터를 이용한 디스크 쿨링장치 - Google Patents
프로세스 쿨링워터를 이용한 디스크 쿨링장치Info
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- cooling system
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Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR2019940017277U KR960006358U (ko) | 1994-07-12 | 1994-07-12 | 프로세스 쿨링워터를 이용한 디스크 쿨링장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR2019940017277U KR960006358U (ko) | 1994-07-12 | 1994-07-12 | 프로세스 쿨링워터를 이용한 디스크 쿨링장치 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR960006358U true KR960006358U (ko) | 1996-02-17 |
Family
ID=60665983
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR2019940017277U KR960006358U (ko) | 1994-07-12 | 1994-07-12 | 프로세스 쿨링워터를 이용한 디스크 쿨링장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR960006358U (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100576813B1 (ko) * | 1999-10-12 | 2006-05-10 | 삼성전자주식회사 | 반도체 노광 공정용 레티클의 먼지 제거 장치 |
-
1994
- 1994-07-12 KR KR2019940017277U patent/KR960006358U/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100576813B1 (ko) * | 1999-10-12 | 2006-05-10 | 삼성전자주식회사 | 반도체 노광 공정용 레티클의 먼지 제거 장치 |
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