KR960005808A - 반도체 소자의 미세 축적용량 패턴 형성방법 - Google Patents
반도체 소자의 미세 축적용량 패턴 형성방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 일정한 간격을 유지하는 측정용량 패턴 형성방법에 관한 것으로, 레티클 상에 상호간에 인접하지않고 원하는 측적용량 패턴 수의 절반만 크롬 패턴(20)을 형성하는 단계; 1차 노광작업을 실시하는 단계; 웨이퍼를 상기 일정한 간격(x)만큼 이동시키는 단계; 2차 노광작업을 실시하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2A도 내지 제2D도는 본 발명의 일실시예에 따른 미세 축적용량 패턴 형성 공정 순서도이다.
Claims (1)
- 일정한 간격을 유지하는 측정용량 패턴 형성방법에 있어서, 레티클 상에 상호간에 인접하지 않고 원하는 측적용량 패턴 수의 절반만 크롬 패턴(20)을 형성하는 단계; 일차 노광작업을 실시하는 단계; 웨이퍼를 상기 일정한 간격(x)만큼 이동시키는 단계; 이차 노광작업을 실시하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 축적용량 패턴 형성방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940017308A KR960005808A (ko) | 1994-07-18 | 1994-07-18 | 반도체 소자의 미세 축적용량 패턴 형성방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940017308A KR960005808A (ko) | 1994-07-18 | 1994-07-18 | 반도체 소자의 미세 축적용량 패턴 형성방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR960005808A true KR960005808A (ko) | 1996-02-23 |
Family
ID=66689170
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019940017308A KR960005808A (ko) | 1994-07-18 | 1994-07-18 | 반도체 소자의 미세 축적용량 패턴 형성방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR960005808A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8304173B2 (en) | 2009-08-25 | 2012-11-06 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Photomasks, methods of exposing a substrate to light, methods of forming a pattern, and methods of manufacturing a semiconductor device |
-
1994
- 1994-07-18 KR KR1019940017308A patent/KR960005808A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8304173B2 (en) | 2009-08-25 | 2012-11-06 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Photomasks, methods of exposing a substrate to light, methods of forming a pattern, and methods of manufacturing a semiconductor device |
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