KR960001789A - Quartz glass waveguide and its manufacturing method - Google Patents

Abstract

본 발명은 광의 손실이 적은 석영유리 도파로에 높은 전기광학 특성을 부여하고 고속 및 저손실의 석영유리 도파로의 제조를 가능하게 하여 종래 석영유리 도파로가 각종 고속의 광소자들에 응용될 수 없었던 한계를 극복한 것이다. 따라서, 본 발명은 위상변조기를 비롯하여 광스위치, 광간섭기, 편광조절기 등의 각종 광부품들에 매우 유용하게 적용될 수 있다. 또한, 종래 석영유리 도포로가 갖는 응력유기 복굴절율에 의한 편광이방성 문제를 제거할 수 있다.The present invention provides high electro-optical properties to quartz glass waveguides with low light loss and enables the production of high-speed and low-loss quartz glass waveguides, thereby overcoming the limitations that conventional quartz glass waveguides could not be applied to various high-speed photonic devices. It is. Therefore, the present invention can be very usefully applied to various optical components such as an optical switch, an optical interferometer, a polarization controller, including a phase modulator. In addition, the problem of polarization anisotropy due to the stress organic birefringence of the conventional quartz glass coating furnace can be eliminated.

Description

석영유리 광도파로의 그의 제조방법Method for manufacturing the quartz glass optical waveguide

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음As this is a public information case, the full text was not included.

제2도는 본 발명에 의해 전기광학 효과를 갖는 석영유리 광도파로의 구조를 설명하기 위한 도면으로서,2 is a view for explaining the structure of a quartz glass optical waveguide having an electro-optic effect according to the present invention,

(a)는 x방향 편광을 조절하기 위해 도파로 양측면 부위에 전기광학 부재를 형성한 도면,(a) is a view in which the electro-optical member is formed on both side portions of the waveguide to control the x-direction polarization,

(b) 및 (c)는 y방향 편광을 조절하기 위해 도파로의 상단부위에 전기광학부재를 형성한 도면,(b) and (c) are diagrams in which an electro-optic member is formed on the upper portion of the waveguide to control the polarization in the y direction

제3(a) 내지 (d)도는 본 발명에 의한 석영유리 광도파로의 제조방법을 도시한 공정단면도.3 (a) to (d) are process cross-sectional views showing a method for manufacturing a quartz glass optical waveguide according to the present invention.

Claims (9)

하부전극이 형성된 기판과, 상기 기판상에 차례로 형성된 버퍼층 및 클래드층과, 상기 버퍼층 및 클래드층 사이에 코아형상의 석영유리로 매입된 전파경로와, 상기 전파경로의 편광을 조절하고 전기광학 특성을 부여하기 위하여 상기 전파경로 주위의 클래드층 일부에 형성된 전기광학부재와, 상기 전기광학부재 상부 혹은 하부에 형성된 전극으로 구성된 석영유리 광도파로.A substrate having a lower electrode formed thereon, a buffer layer and a cladding layer sequentially formed on the substrate, and a propagation path embedded in core-shaped quartz glass between the buffer layer and the cladding layer, and controlling the polarization of the propagation path and A quartz glass optical waveguide comprising an electro-optical member formed on a portion of the cladding layer around the propagation path and an electrode formed on or below the electro-optic member. 제1항에 있어서, 상기 전기광학부재가 높은 전기광학효과를 갖는 유기물 고분자 중합체, Ⅲ-Ⅴ족 화합물 반도체, 및 LiNbO₃중의 하나로 이루어진 석영유리 광도파로.The quartz glass optical waveguide according to claim 1, wherein the electro-optic member comprises one of an organic polymer polymer having a high electro-optic effect, a group III-V compound semiconductor, and LiNbO ₃ . 제1항에 있어서, 상기 전기광학부재가 전파경로의 x방향의 편광을 조절하기 위하여 전파경로의 일측 및 양측면 중의 어느 한 부위에 형성된 석영유리 광도파로.The quartz glass optical waveguide of claim 1, wherein the electro-optical member is formed on any one of one side and both sides of the propagation path in order to adjust the polarization in the x direction of the propagation path. 제1항에 있어서, 상기 전기광학부재가 전파경로의 y방향의 편광을 조절하기 위하여 전파경로의 상단 및 하단부위 중의 어느 한 곳에 형성된 석영유리 광도파로.The quartz glass optical waveguide of claim 1, wherein the electro-optical member is formed at any one of an upper end and a lower end of the propagation path in order to adjust the polarization in the y direction of the propagation path. 하부전극을 갖는 실리콘기판상에 버퍼층과 클래드층, 그리고 상기 버퍼층과 클래드층 사이에 버퍼 및 클래드층 보다 높은 굴절율을 갖고 광학적으로 투명한 석영유리로 이루어진 코아형상의 전파경로를 형성하는 공정, 상기 전파경로 주위의 클래드층의 일부를 활성화 이온식각 등의 방법으로 식각하고, 식각된 부위에 높은 전기광학 특성을 갖는 전기광학부재를 형성하는 공정, 및 상기 전기광학부재 상부에 상부전극을 형성하는 공정으로 이루어지는 석영유리 광도파로의 제조방법.Forming a core-shaped propagation path made of optically transparent quartz glass having a higher refractive index than the buffer and clad layers, and a buffer layer and a cladding layer between the buffer layer and the cladding layer on a silicon substrate having a lower electrode, the propagation path A portion of the surrounding clad layer is etched by activation ion etching or the like, forming an electro-optic member having high electro-optic properties on the etched portion, and forming an upper electrode on the electro-optic member. Method for manufacturing a quartz glass optical waveguide. 제5항에 있어서, 상기 전기광학부재가 높은 전기광학효과를 갖는 유기물 고분자 중합체, Ⅲ-Ⅴ족 화합물 반도체, 및 LiNbO₃중의 어느 하나로 이루어진 석영유리 광도파로의 제조방법.The method of manufacturing a quartz glass optical waveguide according to claim 5, wherein the electro-optic member is made of any one of an organic polymer having a high electro-optic effect, a group III-V compound semiconductor, and LiNbO ₃ . 제5항에 있어서, 상기 전기광학부재를 전파경로의 x방향의 편광을 조절하기 위하여 전파경로의 일측 및 양측면중의 어느 한 부위에 형성하는 석영유리 광도파로의 제조방법.The method of manufacturing a quartz glass optical waveguide according to claim 5, wherein the electro-optical member is formed on any one of one side and both sides of the propagation path in order to adjust the polarization in the x direction of the propagation path. 제5항에 있어서, 상기 전기광학부재를 전파경로의 y방향의 편광을 조절하기 위하여 전파경로의 상측 및 하측부위 중의 어느 한 부위에 형성하는 석영유리 광도파로의 제조방법.The method of manufacturing a quartz glass optical waveguide according to claim 5, wherein the electro-optical member is formed on any one of an upper side and a lower side of the propagation path in order to adjust the polarization in the y direction of the propagation path. 자체의 전파경로의 일부에 설치되어 있되, 하부전극이 형성된 기판과, 상기 기판상에 차례로 형성된 버퍼층 및 클래드층과, 상기 버퍼층 및 클래드층 사이에 코아형상의 석영유리로 매입된 전파경로와, 상기 전파경로의 편광을 조절하고 전기광학 특성을 부여하기 위하여 상기 전파경로 주위의 클래드층 일부에 형성된 전기광학부재와, 상기 전기광학부재 상부에 형성된 상부전극으로 구성된 석영유리 광도파로를 사용한 광학소자.A propagation path provided on a part of its propagation path, the substrate having a lower electrode formed thereon, a buffer layer and a cladding layer sequentially formed on the substrate, and a radio wave path embedded between the buffer layer and the clad layer by core-shaped quartz glass; An optical element using a quartz glass optical waveguide comprising an electro-optic member formed on a part of a clad layer around the propagation path and an upper electrode formed on the electro-optic member to control polarization of the propagation path and to impart electro-optic characteristics. ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.※ Note: The disclosure is based on the initial application.